JP2000024971A - ワーク搬送ロボットの教示システム - Google Patents
ワーク搬送ロボットの教示システムInfo
- Publication number
- JP2000024971A JP2000024971A JP10193044A JP19304498A JP2000024971A JP 2000024971 A JP2000024971 A JP 2000024971A JP 10193044 A JP10193044 A JP 10193044A JP 19304498 A JP19304498 A JP 19304498A JP 2000024971 A JP2000024971 A JP 2000024971A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- teaching
- work
- transfer robot
- connection
- work transfer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
- B25J19/06—Safety devices
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/42—Recording and playback systems, i.e. in which the programme is recorded from a cycle of operations, e.g. the cycle of operations being manually controlled, after which this record is played back on the same machine
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Numerical Control (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ワーク搬送ロボットに対する教示処理の操作性
を向上させるとともに安全性をも確保する。 【解決手段】ロボットコントローラ４によって搬送制御
されるワーク搬送ロボットＲは、クリーンルーム１内の
広域の作業エリアでワークの搬送動作を行う。クリーン
ルーム１の外側にはロボットコントローラ４に有線接続
される接続プラグ６ａ〜６ｄが設置される。ワーク搬送
ロボットＲに教示を行う場合、ワーク搬送ロボットＲに
最も近い接続プラグ６ａ〜６ｄの１つに接続されている
ダミープラグ７ａ〜７ｄを取り外し、ティーチングペン
ダントＴＰを接続するティーチングペンダント接続プラ
グ８を接続プラグに接続する。接続認識部５ａは、この
ティーチングペンダントＴＰが接続され、他の接続プラ
グにダミープラグが接続されていると認識した場合、ワ
ーク搬送ロボットＲを停止し、搬送制御状態から教示処
理状態に移行する。
を向上させるとともに安全性をも確保する。 【解決手段】ロボットコントローラ４によって搬送制御
されるワーク搬送ロボットＲは、クリーンルーム１内の
広域の作業エリアでワークの搬送動作を行う。クリーン
ルーム１の外側にはロボットコントローラ４に有線接続
される接続プラグ６ａ〜６ｄが設置される。ワーク搬送
ロボットＲに教示を行う場合、ワーク搬送ロボットＲに
最も近い接続プラグ６ａ〜６ｄの１つに接続されている
ダミープラグ７ａ〜７ｄを取り外し、ティーチングペン
ダントＴＰを接続するティーチングペンダント接続プラ
グ８を接続プラグに接続する。接続認識部５ａは、この
ティーチングペンダントＴＰが接続され、他の接続プラ
グにダミープラグが接続されていると認識した場合、ワ
ーク搬送ロボットＲを停止し、搬送制御状態から教示処
理状態に移行する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置製造シ
ステムに組み込んで、半導体ウェハ、ガラス基板等のワ
ークを所定の半導体処理装置まで搬送するとともにその
出し入れを行うワーク搬送ロボットに対する教示を効率
的かつ安全に行うことができるワーク搬送ロボットの教
示システムに関する。
ステムに組み込んで、半導体ウェハ、ガラス基板等のワ
ークを所定の半導体処理装置まで搬送するとともにその
出し入れを行うワーク搬送ロボットに対する教示を効率
的かつ安全に行うことができるワーク搬送ロボットの教
示システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から半導体装置製造システムで用い
られるワーク搬送ロボットは、教示された内容に従って
ロボットコントローラが半導体ウェハ等のワークの搬送
制御を行っている。
られるワーク搬送ロボットは、教示された内容に従って
ロボットコントローラが半導体ウェハ等のワークの搬送
制御を行っている。
【０００３】例えば、図９に示すように、ワーク搬送ロ
ボット２５は、クリーンルーム２４内に設置され、ケー
ブル２３を介してロボットコントローラ２０によって制
御される。ワーク搬送ロボット２５は、例えばフロッグ
レグ型ロボットが採用され、アームの回転によってエン
ドエフェクタとしてのハンド２６を動かし、ハンド上に
半導体ウェハ等のワークを載置して搬送する。そして、
このワーク搬送ロボット２５の搬送動作は、予めキーボ
ード等の教示手段及び教示処理部２１を用いて教示さ
れ、この教示された内容に従って所定の搬送動作を行う
ことになる。
ボット２５は、クリーンルーム２４内に設置され、ケー
ブル２３を介してロボットコントローラ２０によって制
御される。ワーク搬送ロボット２５は、例えばフロッグ
レグ型ロボットが採用され、アームの回転によってエン
ドエフェクタとしてのハンド２６を動かし、ハンド上に
半導体ウェハ等のワークを載置して搬送する。そして、
このワーク搬送ロボット２５の搬送動作は、予めキーボ
ード等の教示手段及び教示処理部２１を用いて教示さ
れ、この教示された内容に従って所定の搬送動作を行う
ことになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年、
取り扱うべき半導体ウェハ等のワークが大きくなり、そ
れに伴って各種の半導体プロセスを行う半導体処理装置
も大きくなり、ワーク搬送ロボット２５の稼動エリアも
広がってきている。
取り扱うべき半導体ウェハ等のワークが大きくなり、そ
れに伴って各種の半導体プロセスを行う半導体処理装置
も大きくなり、ワーク搬送ロボット２５の稼動エリアも
広がってきている。
【０００５】従って、ワーク搬送ロボットに所定の搬送
動作を教示する場合、キーボード等の教示手段はロボッ
トコントローラ２０に直結しており、しかも、ワーク搬
送ロボットがロボットコントローラ２０から離れている
場合、このロボットコントローラ２０の位置からでは当
該ワーク搬送ロボットに対する見通しがきかず、当該ワ
ーク搬送ロボットに対する教示を確実に行うことができ
ないという問題点があった。
動作を教示する場合、キーボード等の教示手段はロボッ
トコントローラ２０に直結しており、しかも、ワーク搬
送ロボットがロボットコントローラ２０から離れている
場合、このロボットコントローラ２０の位置からでは当
該ワーク搬送ロボットに対する見通しがきかず、当該ワ
ーク搬送ロボットに対する教示を確実に行うことができ
ないという問題点があった。
【０００６】ここで、ティーチングペンダントを用いて
ワーク搬送ロボットに教示する場合、このティーチング
ペンダントとロボットコントローラとの間をケーブルで
接続して行うことができる。
ワーク搬送ロボットに教示する場合、このティーチング
ペンダントとロボットコントローラとの間をケーブルで
接続して行うことができる。
【０００７】しかし、上述したワーク搬送ロボット２５
の稼動エリアは、例えば１０ｍ四方もあり、この１０ｍ
もの間に多対ケーブルを延ばすことは煩に耐えず、操作
性を著しく劣化させることになる。
の稼動エリアは、例えば１０ｍ四方もあり、この１０ｍ
もの間に多対ケーブルを延ばすことは煩に耐えず、操作
性を著しく劣化させることになる。
【０００８】しかも、半導体ウェハ等を取り扱うことか
ら、上述したようにワーク搬送ロボットはクリーンルー
ム２４内に配置されるので、このケーブルを引きずって
ワーク搬送ロボットの近くまで移動することは、クリー
ンルーム内に塵を発生させ、当該クリーンルームのクリ
ーン度を低下させることになる。
ら、上述したようにワーク搬送ロボットはクリーンルー
ム２４内に配置されるので、このケーブルを引きずって
ワーク搬送ロボットの近くまで移動することは、クリー
ンルーム内に塵を発生させ、当該クリーンルームのクリ
ーン度を低下させることになる。
【０００９】また、ワーク搬送ロボット２５の稼動エリ
ア２７はクリーンルーム２４内であり、クリーンルーム
２４のクリーン度を適正に維持する必要から、クリーン
ルーム２４の大きさは、できるかぎり稼動エリア２７の
大きさとはほぼ等しくなるように設計される。従って、
人間がクリーンルーム２４内に入り、教示手段によって
ワーク搬送ロボット２５に教示する際、ワーク搬送ロボ
ット２５が教示状態になく、搬送動作状態である場合、
人間が退避する領域や隙間がなく非常に危険である。
ア２７はクリーンルーム２４内であり、クリーンルーム
２４のクリーン度を適正に維持する必要から、クリーン
ルーム２４の大きさは、できるかぎり稼動エリア２７の
大きさとはほぼ等しくなるように設計される。従って、
人間がクリーンルーム２４内に入り、教示手段によって
ワーク搬送ロボット２５に教示する際、ワーク搬送ロボ
ット２５が教示状態になく、搬送動作状態である場合、
人間が退避する領域や隙間がなく非常に危険である。
【００１０】従って、ワーク搬送ロボット２５に対する
教示状態と搬送動作状態とを確実かつ適正に切り分けて
安全を確保する必要もある。
教示状態と搬送動作状態とを確実かつ適正に切り分けて
安全を確保する必要もある。
【００１１】そこで、本発明は、かかる問題点を除去
し、ワーク搬送ロボットに対する教示処理の操作性を向
上させるとともに安全性をも確保することができるワー
ク搬送ロボットの教示システムを提供することを目的と
する。
し、ワーク搬送ロボットに対する教示処理の操作性を向
上させるとともに安全性をも確保することができるワー
ク搬送ロボットの教示システムを提供することを目的と
する。
【００１２】
【課題を解決するための手段および効果】第１の発明
は、広域の作業エリアで所定のワークを搬送するワーク
搬送ロボットと、教示された内容をもとに前記ワーク搬
送ロボットが行う所定のワークの搬送を制御する制御手
段と、前記制御手段から分離され、前記ワーク搬送ロボ
ットによる所定のワークの搬送動作を教示する教示手段
と、前記作業エリアの周囲に設けられた接続点を介して
前記教示手段を前記制御手段に接続する接続手段とを具
備したことを特徴とする。
は、広域の作業エリアで所定のワークを搬送するワーク
搬送ロボットと、教示された内容をもとに前記ワーク搬
送ロボットが行う所定のワークの搬送を制御する制御手
段と、前記制御手段から分離され、前記ワーク搬送ロボ
ットによる所定のワークの搬送動作を教示する教示手段
と、前記作業エリアの周囲に設けられた接続点を介して
前記教示手段を前記制御手段に接続する接続手段とを具
備したことを特徴とする。
【００１３】第１の発明では、教示手段を接続する接続
点をワーク搬送ロボットの近傍まで配置することができ
るので、教示操作が容易となるという作用効果を有する
とともに、教示手段と制御手段とを接続するための長い
ケーブルを引き延ばす必要がなくなり、例えばワーク搬
送ロボットがクリーンルーム内で搬送動作を行う場合、
ケーブルの引きまわしによってケーブルに付着したゴミ
や塵等の散乱によってクリーンルーム内のクリーン度が
低下しないという作用効果を有する。
点をワーク搬送ロボットの近傍まで配置することができ
るので、教示操作が容易となるという作用効果を有する
とともに、教示手段と制御手段とを接続するための長い
ケーブルを引き延ばす必要がなくなり、例えばワーク搬
送ロボットがクリーンルーム内で搬送動作を行う場合、
ケーブルの引きまわしによってケーブルに付着したゴミ
や塵等の散乱によってクリーンルーム内のクリーン度が
低下しないという作用効果を有する。
【００１４】第２の発明は、第１の発明において、前記
接続点は、前記作業エリア外に設けられることを特徴と
する。
接続点は、前記作業エリア外に設けられることを特徴と
する。
【００１５】第２の発明では、教示手段による教示を行
う度に接続点に教示手段を接続する操作が強要され、こ
れにより教示時の安全性が確保されるという作用効果を
有する。
う度に接続点に教示手段を接続する操作が強要され、こ
れにより教示時の安全性が確保されるという作用効果を
有する。
【００１６】第３の発明は、第１または第２の発明にお
いて、前記接続点は、複数であることを特徴とする。
いて、前記接続点は、複数であることを特徴とする。
【００１７】第３の発明では、接続点が複数設けられる
ので、教示手段と接続点との間の配線を短くすることが
できるとともに、教示操作が容易になるという作用効果
を有する。
ので、教示手段と接続点との間の配線を短くすることが
できるとともに、教示操作が容易になるという作用効果
を有する。
【００１８】第４の発明は、第１の発明において、前記
接続手段の接続点に前記教示手段が接続されたか否かを
認識する認識手段をさらに具備し、前記制御手段は、前
記認識手段が前記教示手段が接続されたと認識した場
合、前記ワーク搬送ロボットの搬送制御から前記教示手
段による教示処理に切り換えることを特徴とする。
接続手段の接続点に前記教示手段が接続されたか否かを
認識する認識手段をさらに具備し、前記制御手段は、前
記認識手段が前記教示手段が接続されたと認識した場
合、前記ワーク搬送ロボットの搬送制御から前記教示手
段による教示処理に切り換えることを特徴とする。
【００１９】第４の発明では、接続の状態によって搬送
制御状態と教示処理状態とを適正に切り換えるようにし
ているので、教示を行う際の安全性を確実に確保するこ
とができる作用効果を有する。
制御状態と教示処理状態とを適正に切り換えるようにし
ているので、教示を行う際の安全性を確実に確保するこ
とができる作用効果を有する。
【００２０】第５の発明は、第３の発明において、前記
接続手段の接続点が使用されないことを示すダミープラ
グと、前記接続手段の接続点にダミープラグが接続され
ているか否かを認識するダミープラグ認識手段とをさら
に具備し、前記制御手段は、前記ダミープラグ認識手段
が全ての接続点でダミープラグが接続されていると認識
された場合、前記ワーク搬送ロボットの搬送制御を行う
ことを特徴とする。
接続手段の接続点が使用されないことを示すダミープラ
グと、前記接続手段の接続点にダミープラグが接続され
ているか否かを認識するダミープラグ認識手段とをさら
に具備し、前記制御手段は、前記ダミープラグ認識手段
が全ての接続点でダミープラグが接続されていると認識
された場合、前記ワーク搬送ロボットの搬送制御を行う
ことを特徴とする。
【００２１】第５の発明では、全てのダミープラグが接
続されて初めてワーク搬送ロボットの搬送制御を行うよ
うにしているので、教示処理状態と搬送制御処理とを確
実に分離して安全性を確保することができる。
続されて初めてワーク搬送ロボットの搬送制御を行うよ
うにしているので、教示処理状態と搬送制御処理とを確
実に分離して安全性を確保することができる。
【００２２】第６の発明は、第５の発明において、前記
制御手段は、前記ダミープラグ認識手段が１以上の接続
点にダミープラグが接続されていないと認識した場合、
前記ワーク搬送ロボットの搬送動作を禁止することを特
徴とする。
制御手段は、前記ダミープラグ認識手段が１以上の接続
点にダミープラグが接続されていないと認識した場合、
前記ワーク搬送ロボットの搬送動作を禁止することを特
徴とする。
【００２３】第６の発明では、第５の発明とは逆に１以
上の接続点にダミープラグが接続されていない場合には
搬送動作を行わせないようにしているので、第５の発明
と同様に教示処理状態と搬送制御処理とを確実に分離し
て安全性を確保することができる。
上の接続点にダミープラグが接続されていない場合には
搬送動作を行わせないようにしているので、第５の発明
と同様に教示処理状態と搬送制御処理とを確実に分離し
て安全性を確保することができる。
【００２４】第７の発明は、広域の作業エリアで所定の
ワークを搬送するワーク搬送ロボットと、教示された内
容をもとに前記ワーク搬送ロボットが行う所定のワーク
の搬送を制御する制御手段と、前記制御手段から分離さ
れ、前記ワーク搬送ロボットによる所定のワークの搬送
動作を教示する複数の教示手段と、前記作業エリアの周
囲に設けられた複数の接続点を介して前記複数の教示手
段をそれぞれ前記制御手段に接続する接続手段とを具備
し、前記制御手段は、前記複数の教示手段のうちのいず
れかを選択し、当該選択された教示手段による教示処理
に切り換えることを特徴とする。
ワークを搬送するワーク搬送ロボットと、教示された内
容をもとに前記ワーク搬送ロボットが行う所定のワーク
の搬送を制御する制御手段と、前記制御手段から分離さ
れ、前記ワーク搬送ロボットによる所定のワークの搬送
動作を教示する複数の教示手段と、前記作業エリアの周
囲に設けられた複数の接続点を介して前記複数の教示手
段をそれぞれ前記制御手段に接続する接続手段とを具備
し、前記制御手段は、前記複数の教示手段のうちのいず
れかを選択し、当該選択された教示手段による教示処理
に切り換えることを特徴とする。
【００２５】第７の発明では、ダミープラグの取り外し
に代えて、制御手段による教示手段の選択を行うことが
できので、教示処理状態への移行操作が格段に向上する
という作用効果を有する。
に代えて、制御手段による教示手段の選択を行うことが
できので、教示処理状態への移行操作が格段に向上する
という作用効果を有する。
【００２６】第８の発明は、広域の作業エリアで所定の
ワークを搬送するワーク搬送ロボットと、教示された内
容をもとに前記ワーク搬送ロボットが行う所定のワーク
の搬送を制御する制御手段と、前記制御手段から分離さ
れ、前記ワーク搬送ロボットによる所定のワークの搬送
動作を教示するとともに当該教示手段の選択を指示する
選択ボタンを有する複数の教示手段と、前記作業エリア
の周囲に設けられた複数の接続点を介して前記複数の教
示手段をそれぞれ前記制御手段に接続する接続手段とを
具備し、前記制御手段は、前記教示手段の選択ボタンが
選択された場合、前記ワーク搬送ロボットの搬送制御か
ら当該選択ボタンを有する教示手段による教示処理に切
り換えることを特徴とする。
ワークを搬送するワーク搬送ロボットと、教示された内
容をもとに前記ワーク搬送ロボットが行う所定のワーク
の搬送を制御する制御手段と、前記制御手段から分離さ
れ、前記ワーク搬送ロボットによる所定のワークの搬送
動作を教示するとともに当該教示手段の選択を指示する
選択ボタンを有する複数の教示手段と、前記作業エリア
の周囲に設けられた複数の接続点を介して前記複数の教
示手段をそれぞれ前記制御手段に接続する接続手段とを
具備し、前記制御手段は、前記教示手段の選択ボタンが
選択された場合、前記ワーク搬送ロボットの搬送制御か
ら当該選択ボタンを有する教示手段による教示処理に切
り換えることを特徴とする。
【００２７】第８の発明では、ダミープラグの取り外し
に代えて選択ボタンのみの押下という操作のみで教示処
理状態に移行することができるので、教示処理状態に移
行する際の操作性が格段に向上するという作用効果を有
する。
に代えて選択ボタンのみの押下という操作のみで教示処
理状態に移行することができるので、教示処理状態に移
行する際の操作性が格段に向上するという作用効果を有
する。
【００２８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。
施の形態について説明する。
【００２９】図１は、本発明の第１の実施の形態である
半導体装置製造システム１０の概要構成を示す図であ
る。図１において、半導体装置製造システム１０は、ク
リーンルーム１とこのクリーンルーム１にゲート９ａ〜
９ｄを介して接続される４つの処理加工装置２ａ〜２ｄ
を有する。処理加工装置２ａ〜２ｄのそれぞれは、半導
体ウェハ等のワークに対して所定の処理加工、例えば熱
処理等の処理加工を行うもので、各処理加工装置２ａ〜
２ｄによる各処理加工を施すことにより、ワークに対し
て一連の処理加工がなされることになる。
半導体装置製造システム１０の概要構成を示す図であ
る。図１において、半導体装置製造システム１０は、ク
リーンルーム１とこのクリーンルーム１にゲート９ａ〜
９ｄを介して接続される４つの処理加工装置２ａ〜２ｄ
を有する。処理加工装置２ａ〜２ｄのそれぞれは、半導
体ウェハ等のワークに対して所定の処理加工、例えば熱
処理等の処理加工を行うもので、各処理加工装置２ａ〜
２ｄによる各処理加工を施すことにより、ワークに対し
て一連の処理加工がなされることになる。
【００３０】このワークは、処理加工装置２ａ〜２ｄと
同様にクリーンルーム１に接続されるカセット３内に処
理加工対象として整然と配置され、クリーンルーム１内
を稼動するワーク搬送ロボットＲによって取り出され
る。ワーク搬送ロボットＲは、例えば図１に示すような
フロッグレグ型ロボットによって実現される。フロッグ
レグ型ロボットは、その名の通り、蛙の足のようにアー
ムが伸縮し、アームの先端に取り付けられたエンドエフ
ェクタとしてのハンドＨ上に載置されるワークを搬送す
る。アームの伸縮は、アームの軸を互いに異なる方向に
回転することによって達成され、各アームの軸を同じ方
向に回転することによってハンドＨを軸周りに回転する
ことができる。また、このフロッグレグ型ロボットは、
クリーンルーム１の長手方向に延びる所定の軌道Ｌｎ上
を移動することにより、各処理加工装置２ａ〜２ｄ及び
カセット３の前面に概ね移動することができる。
同様にクリーンルーム１に接続されるカセット３内に処
理加工対象として整然と配置され、クリーンルーム１内
を稼動するワーク搬送ロボットＲによって取り出され
る。ワーク搬送ロボットＲは、例えば図１に示すような
フロッグレグ型ロボットによって実現される。フロッグ
レグ型ロボットは、その名の通り、蛙の足のようにアー
ムが伸縮し、アームの先端に取り付けられたエンドエフ
ェクタとしてのハンドＨ上に載置されるワークを搬送す
る。アームの伸縮は、アームの軸を互いに異なる方向に
回転することによって達成され、各アームの軸を同じ方
向に回転することによってハンドＨを軸周りに回転する
ことができる。また、このフロッグレグ型ロボットは、
クリーンルーム１の長手方向に延びる所定の軌道Ｌｎ上
を移動することにより、各処理加工装置２ａ〜２ｄ及び
カセット３の前面に概ね移動することができる。
【００３１】ワーク搬送ロボットＲを制御することによ
ってワークに対する所定の処理加工を行う場合、まずワ
ーク搬送ロボットＲは、カセット３内の未処理のワーク
を取り出す。この取り出しは、カセットを上下あるいは
ハンドＨを上下し、ワーク搬送ロボットＲがハンドＨ上
に載置することによって行われる。その後、ハンドＨ上
のワークは、最初の処理加工装置、例えば処理加工装置
２ａの前面に搬送され、ゲート９ａを介して処理加工装
置２ａ内に送り込まれる。そして、処理加工装置２ａに
よって処理加工されたワークは、再びワーク搬送ロボッ
トＲによって取り出され、次の処理加工装置、例えば処
理加工装置２ｂの前面に搬送され、ゲート９ｂを介して
処理加工装置２ｂ内に送り込まれ、所定の処理加工が施
される。以下同様にして、処理加工装置毎の加工処理が
順次施され、一連の加工処理が終了する。例えば、最終
の処理加工が処理加工装置２ｃで行われた場合、ワーク
搬送ロボットＲは、ゲート９ｃを介して処理加工された
ワークを取り出し、カセット３の前面に搬送して、再び
カセット３内に処理加工済みのワークを格納する。ワー
ク搬送ロボットＲは、複数のワークに対して同時並行的
に各処理加工装置２ａ〜２ｄに対して処理加工を行わせ
るように効率的な搬送処理を実行する。
ってワークに対する所定の処理加工を行う場合、まずワ
ーク搬送ロボットＲは、カセット３内の未処理のワーク
を取り出す。この取り出しは、カセットを上下あるいは
ハンドＨを上下し、ワーク搬送ロボットＲがハンドＨ上
に載置することによって行われる。その後、ハンドＨ上
のワークは、最初の処理加工装置、例えば処理加工装置
２ａの前面に搬送され、ゲート９ａを介して処理加工装
置２ａ内に送り込まれる。そして、処理加工装置２ａに
よって処理加工されたワークは、再びワーク搬送ロボッ
トＲによって取り出され、次の処理加工装置、例えば処
理加工装置２ｂの前面に搬送され、ゲート９ｂを介して
処理加工装置２ｂ内に送り込まれ、所定の処理加工が施
される。以下同様にして、処理加工装置毎の加工処理が
順次施され、一連の加工処理が終了する。例えば、最終
の処理加工が処理加工装置２ｃで行われた場合、ワーク
搬送ロボットＲは、ゲート９ｃを介して処理加工された
ワークを取り出し、カセット３の前面に搬送して、再び
カセット３内に処理加工済みのワークを格納する。ワー
ク搬送ロボットＲは、複数のワークに対して同時並行的
に各処理加工装置２ａ〜２ｄに対して処理加工を行わせ
るように効率的な搬送処理を実行する。
【００３２】このワーク搬送ロボットＲの搬送制御は、
クリーンルーム１の外部に配置されたロボットコントロ
ーラ４によって制御される。
クリーンルーム１の外部に配置されたロボットコントロ
ーラ４によって制御される。
【００３３】一方、クリーンルーム１の長手方向の側壁
には、４つの接続プラグ６ａ〜６ｄが設置される。この
接続プラグ６ａ〜６ｄは、それぞれロボットコントロー
ラ４に電気的に接続される。接続プラグ６ａ〜６ｄの全
てにダミープラグ７ａ〜７ｄが接続されている場合、ロ
ボットコントローラ４は、教示状態ではないとして搬送
制御を行う。また、ロボットコントローラ４は、接続プ
ラグ６ａ〜６ｄのいずれかにティーチングペンダントＴ
Ｐを接続するティーチングペンダント接続プラグ８が接
続され、かつ他の接続プラグ６ａ〜６ｄの全てにダミー
プラグ７ａ〜７ｄが接続されている場合、教示状態であ
ると認識する。この認識判断は、ロボットコントローラ
４の接続認識部５ａによって行われる。ロボットコント
ローラ４は、この接続認識部５ａの認識によって搬送制
御状態と教示処理状態との切換を行う。
には、４つの接続プラグ６ａ〜６ｄが設置される。この
接続プラグ６ａ〜６ｄは、それぞれロボットコントロー
ラ４に電気的に接続される。接続プラグ６ａ〜６ｄの全
てにダミープラグ７ａ〜７ｄが接続されている場合、ロ
ボットコントローラ４は、教示状態ではないとして搬送
制御を行う。また、ロボットコントローラ４は、接続プ
ラグ６ａ〜６ｄのいずれかにティーチングペンダントＴ
Ｐを接続するティーチングペンダント接続プラグ８が接
続され、かつ他の接続プラグ６ａ〜６ｄの全てにダミー
プラグ７ａ〜７ｄが接続されている場合、教示状態であ
ると認識する。この認識判断は、ロボットコントローラ
４の接続認識部５ａによって行われる。ロボットコント
ローラ４は、この接続認識部５ａの認識によって搬送制
御状態と教示処理状態との切換を行う。
【００３４】クリーンルーム１は、４つの開閉ドア１ａ
〜１ｄを有し、この開閉ドア１ａ〜１ｄを通してティー
チングペンダントＴＰはクリーンルーム１内に持ち込ま
れる。例えば図１において、処理加工装置２ｂ近傍でワ
ーク搬送ロボットＲに対して教示を行う場合、最も近傍
に位置する接続プラグ６ｂからダミープラグ７ｂを取り
外し、ティーチングペンダント接続プラグ８を接続プラ
グ６ｂに接続し、開閉ドア１ｂを通してティーチングペ
ンダントＴＰをクリーンルーム１内に持ち込んでワーク
搬送ロボットＲの近傍で教示を行う。教示処理部５ｂ
は、このティーチングペンダントＴＰから指示された内
容を格納する等の教示処理を行う。
〜１ｄを有し、この開閉ドア１ａ〜１ｄを通してティー
チングペンダントＴＰはクリーンルーム１内に持ち込ま
れる。例えば図１において、処理加工装置２ｂ近傍でワ
ーク搬送ロボットＲに対して教示を行う場合、最も近傍
に位置する接続プラグ６ｂからダミープラグ７ｂを取り
外し、ティーチングペンダント接続プラグ８を接続プラ
グ６ｂに接続し、開閉ドア１ｂを通してティーチングペ
ンダントＴＰをクリーンルーム１内に持ち込んでワーク
搬送ロボットＲの近傍で教示を行う。教示処理部５ｂ
は、このティーチングペンダントＴＰから指示された内
容を格納する等の教示処理を行う。
【００３５】次に、図２のフローチャートを参照して接
続認識部５ａの認識結果をもとにロボットコントローラ
４が行う搬送制御状態と教示処理状態との切換処理につ
いて説明する。
続認識部５ａの認識結果をもとにロボットコントローラ
４が行う搬送制御状態と教示処理状態との切換処理につ
いて説明する。
【００３６】図２において、まずロボットコントローラ
４は、ワーク搬送ロボットＲを停止状態にしている（ス
テップ１００）。その後、接続認識部５ａの認識結果か
らダミープラグ７ａ〜７ｄの全てが接続プラグ６ａ〜６
ｄに接続されているか否かを判断する（ステップ１０
２）。
４は、ワーク搬送ロボットＲを停止状態にしている（ス
テップ１００）。その後、接続認識部５ａの認識結果か
らダミープラグ７ａ〜７ｄの全てが接続プラグ６ａ〜６
ｄに接続されているか否かを判断する（ステップ１０
２）。
【００３７】ダミープラグ７ａ〜７ｄの全てが接続され
ていない場合、ロボットコントローラ４は、さらにティ
ーチングペンダントＴＰが１つの接続プラグに接続さ
れ、かつ他の接続プラグの全てにダミープラグが接続さ
れているか否かを接続認識部５ａの認識結果をもとに判
断する（ステップ１０４）。このステップ１０４の条件
を満足しない場合はステップ１０２に移行してダミープ
ラグ７ａ〜７ｄの全てが接続されているか否かを判断す
る。一方、ステップ１０４の条件を満足する場合、教示
処理状態に移行する（ステップ１０６）。これにより、
ティーチングペンダントＴＰによる教示が可能となる。
ていない場合、ロボットコントローラ４は、さらにティ
ーチングペンダントＴＰが１つの接続プラグに接続さ
れ、かつ他の接続プラグの全てにダミープラグが接続さ
れているか否かを接続認識部５ａの認識結果をもとに判
断する（ステップ１０４）。このステップ１０４の条件
を満足しない場合はステップ１０２に移行してダミープ
ラグ７ａ〜７ｄの全てが接続されているか否かを判断す
る。一方、ステップ１０４の条件を満足する場合、教示
処理状態に移行する（ステップ１０６）。これにより、
ティーチングペンダントＴＰによる教示が可能となる。
【００３８】その後、ロボットコントローラ４はティー
チングペンダントＴＰの教示終了ボタンが押下されたか
否かを判断し（ステップ１０８）、教示終了ボタンが押
下された場合、タイマのカウントを開始し（ステップ１
１０）、所定時間経過したか否かを判断する（ステップ
１１２）。この所定時間経過した段階で初めてステップ
１００に移行し、ワーク搬送ロボットＲは停止状態とな
り、上述した処理を繰り返すことになる。一方、ステッ
プ１０８で教示終了ボタンが押下されていない場合、テ
ィーチングペンダントＴＰが１つの接続プラグに接続さ
れ、かつ他の接続プラグの全てにダミープラグが接続さ
れているか否かを判断し（ステップ１２０）、この条件
を満足する判断結果である場合には、ステップ１０８に
移行し、この条件を満足しない判断結果である場合に
は、ステップ１００に移行して上述した処理を繰り返
す。このように教示終了ボタンを押下を停止状態への移
行の条件としたのは安全性の確保のためである。また、
所定時間の経過を停止状態への移行条件としたのは、教
示を行った人間がまだクリーンルーム１内に存在する場
合があり、人間がクリーンルーム１から出るまでに少な
くとも所定時間かかるものと考えられるからである。こ
のような２重、３重のチェックによって安全性の確保を
行うようにしている。特にクリーンルーム１の空間とワ
ーク搬送ロボットＲの作業エリアとの間隙が少ないた
め、ワーク搬送ロボットＲの搬送制御によりクリーンル
ーム１内の人間に危害を加える可能性があるからであ
る。なお、各開閉ドア１ａ〜１ｄの開閉を認識する装置
を設け、この開閉ドアが閉まることを停止状態への移行
条件としてさらに加えてもよい。
チングペンダントＴＰの教示終了ボタンが押下されたか
否かを判断し（ステップ１０８）、教示終了ボタンが押
下された場合、タイマのカウントを開始し（ステップ１
１０）、所定時間経過したか否かを判断する（ステップ
１１２）。この所定時間経過した段階で初めてステップ
１００に移行し、ワーク搬送ロボットＲは停止状態とな
り、上述した処理を繰り返すことになる。一方、ステッ
プ１０８で教示終了ボタンが押下されていない場合、テ
ィーチングペンダントＴＰが１つの接続プラグに接続さ
れ、かつ他の接続プラグの全てにダミープラグが接続さ
れているか否かを判断し（ステップ１２０）、この条件
を満足する判断結果である場合には、ステップ１０８に
移行し、この条件を満足しない判断結果である場合に
は、ステップ１００に移行して上述した処理を繰り返
す。このように教示終了ボタンを押下を停止状態への移
行の条件としたのは安全性の確保のためである。また、
所定時間の経過を停止状態への移行条件としたのは、教
示を行った人間がまだクリーンルーム１内に存在する場
合があり、人間がクリーンルーム１から出るまでに少な
くとも所定時間かかるものと考えられるからである。こ
のような２重、３重のチェックによって安全性の確保を
行うようにしている。特にクリーンルーム１の空間とワ
ーク搬送ロボットＲの作業エリアとの間隙が少ないた
め、ワーク搬送ロボットＲの搬送制御によりクリーンル
ーム１内の人間に危害を加える可能性があるからであ
る。なお、各開閉ドア１ａ〜１ｄの開閉を認識する装置
を設け、この開閉ドアが閉まることを停止状態への移行
条件としてさらに加えてもよい。
【００３９】一方、ステップ１０２でダミープラグ７ａ
〜７ｄの全てが接続プラグ６ａ〜６ｄに接続されている
と判断された場合、さらにロボットコントローラ４上の
搬送制御ボタンが押下されたか否かを判断する（ステッ
プ１３０）。搬送制御ボタンが押下されていない場合は
ステップ１０２に移行して上述した処理を繰り返し、搬
送制御ボタンが押下されている場合は、搬送制御状態に
移行する（ステップ１３２）。すなわち、ロボットコン
トローラ４は教示された内容に従ってワーク搬送ロボッ
トＲにワーク搬送を行わせる。その後、ダミープラグ７
ａ〜７ｄの全てが接続プラグ６ａ〜６ｄに接続されてい
るか否かを判断し（ステップ１３４）、ダミープラグ７
ａ〜７ｄの全てが接続プラグ６ａ〜６ｄに接続されてい
ないと判断された場合のみステップ１００に移行してワ
ーク搬送ロボットＲを停止状態に移行する。
〜７ｄの全てが接続プラグ６ａ〜６ｄに接続されている
と判断された場合、さらにロボットコントローラ４上の
搬送制御ボタンが押下されたか否かを判断する（ステッ
プ１３０）。搬送制御ボタンが押下されていない場合は
ステップ１０２に移行して上述した処理を繰り返し、搬
送制御ボタンが押下されている場合は、搬送制御状態に
移行する（ステップ１３２）。すなわち、ロボットコン
トローラ４は教示された内容に従ってワーク搬送ロボッ
トＲにワーク搬送を行わせる。その後、ダミープラグ７
ａ〜７ｄの全てが接続プラグ６ａ〜６ｄに接続されてい
るか否かを判断し（ステップ１３４）、ダミープラグ７
ａ〜７ｄの全てが接続プラグ６ａ〜６ｄに接続されてい
ないと判断された場合のみステップ１００に移行してワ
ーク搬送ロボットＲを停止状態に移行する。
【００４０】次に、図３を参照して接続プラグ６ａ〜６
ｄとダミープラグ７ａ〜７ｄとの接続機構及び接続プラ
グ６ａ〜６ｄとティーチングペンダントＴＰとの接続機
構について説明する。
ｄとダミープラグ７ａ〜７ｄとの接続機構及び接続プラ
グ６ａ〜６ｄとティーチングペンダントＴＰとの接続機
構について説明する。
【００４１】図３（ａ）は、接続プラグ６ａとダミープ
ラグ７ａとの接続状態を示す図である。図３（ａ）に示
すダミープラグ７ａは、端子Ｔ２と端子Ｔｎとを短絡接
続する配線をもつ。このダミープラグ７ａが接続される
と、接続認識部５ａは、端子Ｔ２と端子Ｔｎとの接続を
認識し、これにより接続プラグ６ａにはダミープラグ７
ａが接続されていると認識する。
ラグ７ａとの接続状態を示す図である。図３（ａ）に示
すダミープラグ７ａは、端子Ｔ２と端子Ｔｎとを短絡接
続する配線をもつ。このダミープラグ７ａが接続される
と、接続認識部５ａは、端子Ｔ２と端子Ｔｎとの接続を
認識し、これにより接続プラグ６ａにはダミープラグ７
ａが接続されていると認識する。
【００４２】図３（ｂ）は、接続プラグ６Ａとティーチ
ングペンダントＴＰとの接続状態を示す図である。図３
（ｂ）に示すティーチングペンダント接続プラグ８は、
端子Ｔ１と端子Ｔｎとを少なくとも短絡接続する配線を
もつ。このティーチングペンダント接続プラグ８が接続
されると、接続認識部５ａは、端子Ｔ１と端子Ｔｎとの
接続を認識し、これにより接続プラグ６ａにはティーチ
ングペンダント接続プラグ８、すなわちティーチングペ
ンダントＴＰが接続されていると認識する。このティー
チングペンダント接続プラグ８は、ティーチングペンダ
ントＴＰから指示される情報をロボットコントローラ４
側に送信し、あるいはロボットコントローラ４側からの
情報を受信するための線も接続される。
ングペンダントＴＰとの接続状態を示す図である。図３
（ｂ）に示すティーチングペンダント接続プラグ８は、
端子Ｔ１と端子Ｔｎとを少なくとも短絡接続する配線を
もつ。このティーチングペンダント接続プラグ８が接続
されると、接続認識部５ａは、端子Ｔ１と端子Ｔｎとの
接続を認識し、これにより接続プラグ６ａにはティーチ
ングペンダント接続プラグ８、すなわちティーチングペ
ンダントＴＰが接続されていると認識する。このティー
チングペンダント接続プラグ８は、ティーチングペンダ
ントＴＰから指示される情報をロボットコントローラ４
側に送信し、あるいはロボットコントローラ４側からの
情報を受信するための線も接続される。
【００４３】このような接続認識を行うための機構につ
いては様々な態様が考えられる。例えば、ダミープラグ
７ａ〜７ｄ側あるいはティーチングペンダント接続プラ
グ８側に短絡配線を設けず、単に所定位置にピンを設
け、このピンに対応する位置に接続プラグ６ａ〜６ｄ側
に凹部を設け、この凹部へのピンの挿入に基づいた接続
を認識することによっても接続認識を行うことができ
る。あるいは、接続認識部５ａが接続認識を行うのでは
なく、接続プラグ６ａ〜６ｄ側に接続検出部を設け、こ
の検出結果をロボットコントローラ４に設けるようにし
てもよい。さらに、電気的、機械的な接触状態を検出す
るのではなく、光学的に接触状態を検出するようにして
もよい。
いては様々な態様が考えられる。例えば、ダミープラグ
７ａ〜７ｄ側あるいはティーチングペンダント接続プラ
グ８側に短絡配線を設けず、単に所定位置にピンを設
け、このピンに対応する位置に接続プラグ６ａ〜６ｄ側
に凹部を設け、この凹部へのピンの挿入に基づいた接続
を認識することによっても接続認識を行うことができ
る。あるいは、接続認識部５ａが接続認識を行うのでは
なく、接続プラグ６ａ〜６ｄ側に接続検出部を設け、こ
の検出結果をロボットコントローラ４に設けるようにし
てもよい。さらに、電気的、機械的な接触状態を検出す
るのではなく、光学的に接触状態を検出するようにして
もよい。
【００４４】このような第１の実施の形態によれば、ワ
ーク搬送ロボットＲの近傍で教示を行うことができるの
で、教示時における操作性を格段に向上することができ
る。また、ワーク搬送ロボットＲに最も近い接続点から
ケーブルを引き延ばせばよく、クリーンルーム１内に長
いケーブルを引きずることがないので、ケーブルの被覆
に付着したゴミや塵等をクリーンルーム１内に散乱させ
ることがなくクリーン度を適正に維持することができ
る。さらに、クリーンルーム１内で教示を行う際、必ず
接続プラグ６ａ〜６ｄのいずれかにティーチングペンダ
ント接続プラグ８を接続するという手動操作を強要して
ワーク搬送ロボットＲを停止させるようにしているの
で、教示時における事故を未然に防止することができ
る。また、全てのダミープラグが接続されている場合に
のみワーク搬送ロボットの搬送制御を許可するようにし
ているので、安全性をさらに高めることができる。
ーク搬送ロボットＲの近傍で教示を行うことができるの
で、教示時における操作性を格段に向上することができ
る。また、ワーク搬送ロボットＲに最も近い接続点から
ケーブルを引き延ばせばよく、クリーンルーム１内に長
いケーブルを引きずることがないので、ケーブルの被覆
に付着したゴミや塵等をクリーンルーム１内に散乱させ
ることがなくクリーン度を適正に維持することができ
る。さらに、クリーンルーム１内で教示を行う際、必ず
接続プラグ６ａ〜６ｄのいずれかにティーチングペンダ
ント接続プラグ８を接続するという手動操作を強要して
ワーク搬送ロボットＲを停止させるようにしているの
で、教示時における事故を未然に防止することができ
る。また、全てのダミープラグが接続されている場合に
のみワーク搬送ロボットの搬送制御を許可するようにし
ているので、安全性をさらに高めることができる。
【００４５】次に、図４及び図５を参照して第２の実施
の形態について説明する。第１の実施の形態では、クリ
ーンルーム１の外側に接続プラグを設け、この接続プラ
グのいずれかにティーチングペンダント接続プラグ８を
接続するようにしていたが、第２の実施の形態では、ク
リーンルーム１の内部に接続プラグを設けるようにして
いる。
の形態について説明する。第１の実施の形態では、クリ
ーンルーム１の外側に接続プラグを設け、この接続プラ
グのいずれかにティーチングペンダント接続プラグ８を
接続するようにしていたが、第２の実施の形態では、ク
リーンルーム１の内部に接続プラグを設けるようにして
いる。
【００４６】すなわち、図４に示すように、クリーンル
ーム１の内部側にダミープラグ７ａ〜７ｄあるいはティ
ーチングペンダント接続プラグ８を接続する機構を設け
ている。この場合、第１の実施の形態のように接続プラ
グ６ａ〜６ｄにティーチングペンダント接続プラグ８を
接続するという手動操作を強要せず、クリーンルーム１
内でティーチングペンダント接続プラグ８を接続プラグ
６ａ〜６ｄに接続するようにしているので、安全性を確
実に確保できない期間が生ずる。このため、各開閉ドア
１ａ〜１ｄに開閉を認識する検出手段を設け、この検出
手段とロボットコントローラ４とを接続して、ロボット
コントローラ４が各開閉ドア１ａ〜１ｄの開閉を認識す
るようにする。
ーム１の内部側にダミープラグ７ａ〜７ｄあるいはティ
ーチングペンダント接続プラグ８を接続する機構を設け
ている。この場合、第１の実施の形態のように接続プラ
グ６ａ〜６ｄにティーチングペンダント接続プラグ８を
接続するという手動操作を強要せず、クリーンルーム１
内でティーチングペンダント接続プラグ８を接続プラグ
６ａ〜６ｄに接続するようにしているので、安全性を確
実に確保できない期間が生ずる。このため、各開閉ドア
１ａ〜１ｄに開閉を認識する検出手段を設け、この検出
手段とロボットコントローラ４とを接続して、ロボット
コントローラ４が各開閉ドア１ａ〜１ｄの開閉を認識す
るようにする。
【００４７】この第２の実施の形態における搬送制御状
態と教示処理状態との切換処理について図５のフローチ
ャートを参照して説明する。
態と教示処理状態との切換処理について図５のフローチ
ャートを参照して説明する。
【００４８】図５において、まずロボットコントローラ
４は、ワーク搬送ロボットＲを停止状態にしている（ス
テップ１００）。その後、接続認識部５ａの認識結果か
らダミープラグ７ａ〜７ｄの全てが接続プラグ６ａ〜６
ｄに接続されているか否かを判断する（ステップ１０
２）。
４は、ワーク搬送ロボットＲを停止状態にしている（ス
テップ１００）。その後、接続認識部５ａの認識結果か
らダミープラグ７ａ〜７ｄの全てが接続プラグ６ａ〜６
ｄに接続されているか否かを判断する（ステップ１０
２）。
【００４９】ダミープラグ７ａ〜７ｄの全てが接続され
ていない場合、図２のステップ１０４から１２０までの
処理と同様の処理を行って教示処理状態に移行し、さら
には停止状態に移行する。
ていない場合、図２のステップ１０４から１２０までの
処理と同様の処理を行って教示処理状態に移行し、さら
には停止状態に移行する。
【００５０】一方、ステップ１０２でダミープラグ７ａ
〜７ｄの全てが接続プラグ６ａ〜６ｄに接続されている
と判断された場合、さらにロボットコントローラ４上の
搬送制御ボタンが押下されたか否かを判断する（ステッ
プ１３０）。搬送制御ボタンが押下されていない場合は
ステップ１０２に移行して上述した処理を繰り返し、搬
送制御ボタンが押下されている場合は、搬送制御状態に
移行する（ステップ１３２）。すなわち、ロボットコン
トローラ４は教示された内容に従ってワーク搬送ロボッ
トＲにワーク搬送を行わせる。その後、開閉ドア１ａ〜
１ｄの検出手段からの検出結果をもとに少なくとも１つ
の開閉ドアが開いたか否かを判断し（ステップ１３
３）、開いた場合は直ちにステップ１００に移行して停
止状態に移行する。開閉ドアが開いていない場合は、さ
らにダミープラグ７ａ〜７ｄの全てが接続プラグ６ａ〜
６ｄに接続されているか否かを判断する（ステップ１３
４）。このステップ１３４において、ダミープラグ７ａ
〜７ｄの全てが接続プラグ６ａ〜６ｄに接続されていな
いと判断された場合のみステップ１００に移行してワー
ク搬送ロボットＲを停止状態にする。
〜７ｄの全てが接続プラグ６ａ〜６ｄに接続されている
と判断された場合、さらにロボットコントローラ４上の
搬送制御ボタンが押下されたか否かを判断する（ステッ
プ１３０）。搬送制御ボタンが押下されていない場合は
ステップ１０２に移行して上述した処理を繰り返し、搬
送制御ボタンが押下されている場合は、搬送制御状態に
移行する（ステップ１３２）。すなわち、ロボットコン
トローラ４は教示された内容に従ってワーク搬送ロボッ
トＲにワーク搬送を行わせる。その後、開閉ドア１ａ〜
１ｄの検出手段からの検出結果をもとに少なくとも１つ
の開閉ドアが開いたか否かを判断し（ステップ１３
３）、開いた場合は直ちにステップ１００に移行して停
止状態に移行する。開閉ドアが開いていない場合は、さ
らにダミープラグ７ａ〜７ｄの全てが接続プラグ６ａ〜
６ｄに接続されているか否かを判断する（ステップ１３
４）。このステップ１３４において、ダミープラグ７ａ
〜７ｄの全てが接続プラグ６ａ〜６ｄに接続されていな
いと判断された場合のみステップ１００に移行してワー
ク搬送ロボットＲを停止状態にする。
【００５１】これにより、第１の実施の形態のようにテ
ィーチングペンダントＴＰをクリーンルーム１の外部か
らケーブルを導入する必要がないので、クリーンルーム
１のクリーン度をさらに高めることができる。
ィーチングペンダントＴＰをクリーンルーム１の外部か
らケーブルを導入する必要がないので、クリーンルーム
１のクリーン度をさらに高めることができる。
【００５２】次に、図６を参照して第３の実施の形態に
ついて説明する。第１及び第２の実施の形態では、いず
れもティーチングペンダントＴＰとティーチングペンダ
ント接続プラグ８とがケーブルで接続されていたが、第
３の実施の形態では、ティーチングペンダントＴＰとテ
ィーチングペンダント接続プラグ８とを無線接続してい
る。
ついて説明する。第１及び第２の実施の形態では、いず
れもティーチングペンダントＴＰとティーチングペンダ
ント接続プラグ８とがケーブルで接続されていたが、第
３の実施の形態では、ティーチングペンダントＴＰとテ
ィーチングペンダント接続プラグ８とを無線接続してい
る。
【００５３】すなわち、図６においてティーチングペン
ダント接続プラグ８及びティーチングペンダントＴＰは
相互に送受信するため、それぞれ送受信部ＴＲ１，ＴＲ
２を有している。
ダント接続プラグ８及びティーチングペンダントＴＰは
相互に送受信するため、それぞれ送受信部ＴＲ１，ＴＲ
２を有している。
【００５４】これにより、クリーンルーム１内でケーブ
ルを這わせることなく教示を行うことができるので、操
作性を格段に向上することができる。また、送受信部Ｔ
Ｒ１を有するティーチングペンダント接続プラグを手動
で接続プラグ６ａ〜６ｄに接続するという操作を必要と
するので、第１の実施の形態と同様に安全性も確保する
ことができる。
ルを這わせることなく教示を行うことができるので、操
作性を格段に向上することができる。また、送受信部Ｔ
Ｒ１を有するティーチングペンダント接続プラグを手動
で接続プラグ６ａ〜６ｄに接続するという操作を必要と
するので、第１の実施の形態と同様に安全性も確保する
ことができる。
【００５５】なお、送受信部ＴＲ１の電源は、接続プラ
グ６ａ〜６ｄを介してロボットコントローラから供給さ
れる。また、送受信部ＴＲ２の電源は、携帯用の電池を
内蔵させることによって実現することができる。
グ６ａ〜６ｄを介してロボットコントローラから供給さ
れる。また、送受信部ＴＲ２の電源は、携帯用の電池を
内蔵させることによって実現することができる。
【００５６】また、クリーンルーム１内のワーク搬送ロ
ボットＲに対する電磁干渉を防ぐため、使用周波数帯を
重複しないようにしたり、スペクトラム拡散通信方式を
採用することが望ましい。
ボットＲに対する電磁干渉を防ぐため、使用周波数帯を
重複しないようにしたり、スペクトラム拡散通信方式を
採用することが望ましい。
【００５７】次に、図７及び図８を参照して第４の実施
の形態について説明する。第１〜第３の実施の形態で
は、ティーチングペンダントＴＰ及びこれを接続するテ
ィーチングペンダント接続プラグ８は、この半導体装置
製造システムに１つ設けるようにしていたが、このティ
ーチングペンダントＴＰを接続プラグ６ａ〜６ｄの全て
に割り当て、その個数分のティーチングペンダントＴＰ
をそれぞれ接続プラグ６ａ〜６ｄに接続した状態として
いる。
の形態について説明する。第１〜第３の実施の形態で
は、ティーチングペンダントＴＰ及びこれを接続するテ
ィーチングペンダント接続プラグ８は、この半導体装置
製造システムに１つ設けるようにしていたが、このティ
ーチングペンダントＴＰを接続プラグ６ａ〜６ｄの全て
に割り当て、その個数分のティーチングペンダントＴＰ
をそれぞれ接続プラグ６ａ〜６ｄに接続した状態として
いる。
【００５８】すなわち、図７において、ダミープラグは
用いず、このダミープラグに代わって全ての接続プラグ
６ａ〜６ｄにティーチングペンダント接続プラグ８を接
続して各接続プラグ毎にティーチングペンダントＴＰを
設けるようにしている。
用いず、このダミープラグに代わって全ての接続プラグ
６ａ〜６ｄにティーチングペンダント接続プラグ８を接
続して各接続プラグ毎にティーチングペンダントＴＰを
設けるようにしている。
【００５９】この場合、第１または第３の実施の形態の
ようなティーチングペンダントＴＰを接続するという手
動操作がなくなるが、この操作に代わって、ティーチン
グペンダントＴＰ上の選択ボタンを押下する操作を強要
する。そして、この選択ボタンの押下という手動操作
は、ロボットコントローラ４に通知され、この通知によ
ってロボットコントローラ４は、ティーチングペンダン
ト接続プラグ８の接続と同様に接続認識を行う。
ようなティーチングペンダントＴＰを接続するという手
動操作がなくなるが、この操作に代わって、ティーチン
グペンダントＴＰ上の選択ボタンを押下する操作を強要
する。そして、この選択ボタンの押下という手動操作
は、ロボットコントローラ４に通知され、この通知によ
ってロボットコントローラ４は、ティーチングペンダン
ト接続プラグ８の接続と同様に接続認識を行う。
【００６０】図８は、図７のロボットコントローラ４に
よる搬送制御状態と教示処理状態との切換処理手順を示
すフローチャートである。図８において、まずロボット
コントローラ４は選択ボタンが押下されたか否かを判断
し（ステップ２００）、この選択ボタンが押下されるま
で搬送制御状態を維持する。選択ボタンが押下された場
合、直ちにワーク搬送ロボットＲを停止状態にする（ス
テップ２０２）。さらに、ワーク搬送ロボットＲを教示
処理状態に移行させる（ステップ２０４）。これによ
り、ティーチングペンダントＴＰによる教示が可能とな
る。
よる搬送制御状態と教示処理状態との切換処理手順を示
すフローチャートである。図８において、まずロボット
コントローラ４は選択ボタンが押下されたか否かを判断
し（ステップ２００）、この選択ボタンが押下されるま
で搬送制御状態を維持する。選択ボタンが押下された場
合、直ちにワーク搬送ロボットＲを停止状態にする（ス
テップ２０２）。さらに、ワーク搬送ロボットＲを教示
処理状態に移行させる（ステップ２０４）。これによ
り、ティーチングペンダントＴＰによる教示が可能とな
る。
【００６１】その後、ロボットコントローラ４はティー
チングペンダントＴＰの教示終了ボタンが押下されたか
否かを判断し（ステップ２０６）、教示終了ボタンが押
下されていない場合は、この判断処理を繰り返し教示処
理状態を継続する。一方、教示終了ボタンが押下された
場合、タイマのカウントを開始し（ステップ２０８）、
所定時間経過したか否かを判断する（ステップ２１
０）。この所定時間経過した段階で初めて教示処理状態
から搬送制御状態に移行し（ステップ２１２）、ステッ
プ１００に移行し、上述した処理を繰り返す。
チングペンダントＴＰの教示終了ボタンが押下されたか
否かを判断し（ステップ２０６）、教示終了ボタンが押
下されていない場合は、この判断処理を繰り返し教示処
理状態を継続する。一方、教示終了ボタンが押下された
場合、タイマのカウントを開始し（ステップ２０８）、
所定時間経過したか否かを判断する（ステップ２１
０）。この所定時間経過した段階で初めて教示処理状態
から搬送制御状態に移行し（ステップ２１２）、ステッ
プ１００に移行し、上述した処理を繰り返す。
【００６２】これにより、第１から第３の実施の形態と
同様な作用効果を有するとともに、ダミープラグの引き
抜き等の機械的操作をする必要がないので、故障が少な
くなり、選択ボタンを押下する操作のみで教示処理状態
に移行することができるので操作性を格段に向上させる
ことができる。
同様な作用効果を有するとともに、ダミープラグの引き
抜き等の機械的操作をする必要がないので、故障が少な
くなり、選択ボタンを押下する操作のみで教示処理状態
に移行することができるので操作性を格段に向上させる
ことができる。
【００６３】なお、第４の実施の形態では、ティーチン
グペンダントＴＰの選択ボタンの押下を停止状態を介し
た教示処理状態への移行条件としたが、これに限らず、
例えばロボットコントローラ４上に複数のティーチング
ペンダントＴＰのいずれかを選択する選択ボタンを設
け、この選択ボタンの押下を停止状態を介した教示処理
状態への移行条件とするようにしてもよい。
グペンダントＴＰの選択ボタンの押下を停止状態を介し
た教示処理状態への移行条件としたが、これに限らず、
例えばロボットコントローラ４上に複数のティーチング
ペンダントＴＰのいずれかを選択する選択ボタンを設
け、この選択ボタンの押下を停止状態を介した教示処理
状態への移行条件とするようにしてもよい。
【図１】本発明の第１の実施の形態である半導体装置製
造システムの概要構成を示す図である。
造システムの概要構成を示す図である。
【図２】図１に示すロボットコントローラによる搬送制
御状態と教示処理状態との切換処理手順を示すフローチ
ャートである。
御状態と教示処理状態との切換処理手順を示すフローチ
ャートである。
【図３】接続プラグとダミープラグあるいはティーチン
グペンダント接続プラグの接続機構の一例を示す図であ
る。
グペンダント接続プラグの接続機構の一例を示す図であ
る。
【図４】本発明の第２の実施の形態である半導体装置製
造システムの教示システム要部構成を示す図である。
造システムの教示システム要部構成を示す図である。
【図５】図４に示すロボットコントローラによる搬送制
御状態と教示処理状態との切換処理手順を示すフローチ
ャートである。
御状態と教示処理状態との切換処理手順を示すフローチ
ャートである。
【図６】本発明の第３の実施の形態である半導体装置製
造システムの教示システム要部構成を示す図である。
造システムの教示システム要部構成を示す図である。
【図７】本発明の第４の実施の形態である半導体装置製
造システムの教示システム要部構成を示す図である。
造システムの教示システム要部構成を示す図である。
【図８】図７に示すロボットコントローラによる搬送制
御状態と教示処理状態との切換処理手順を示すフローチ
ャートである。
御状態と教示処理状態との切換処理手順を示すフローチ
ャートである。
【図９】従来の教示システムを含む半導体装置製造シス
テムの概要構成を示す図である。
テムの概要構成を示す図である。
１…クリーンルーム ２ａ〜２ｄ…処理加工装置 ３…
カセット ４…ロボットコントローラ ５ａ…接続認識部 ５ｂ…
教示処理部 ６ａ〜６ｄ…接続プラグ ７ａ〜７ｄ…ダミープラグ ８…ティーチングペンダント接続プラグ ９ａ〜９ｄ…
開閉ドア １０…半導体装置製造システム Ｒ…ワーク搬送ロボッ
ト Ｈ…ハンド ＴＲ１，ＴＲ２…送受信部 １５ａ…選択認識部
カセット ４…ロボットコントローラ ５ａ…接続認識部 ５ｂ…
教示処理部 ６ａ〜６ｄ…接続プラグ ７ａ〜７ｄ…ダミープラグ ８…ティーチングペンダント接続プラグ ９ａ〜９ｄ…
開閉ドア １０…半導体装置製造システム Ｒ…ワーク搬送ロボッ
ト Ｈ…ハンド ＴＲ１，ＴＲ２…送受信部 １５ａ…選択認識部
Claims (8)
- 【請求項１】 広域の作業エリアで所定のワークを搬送
するワーク搬送ロボットと、 教示された内容をもとに前記ワーク搬送ロボットが行う
所定のワークの搬送を制御する制御手段と、 前記制御手段から分離され、前記ワーク搬送ロボットに
よる所定のワークの搬送動作を教示する教示手段と、 前記作業エリアの周囲に設けられた接続点を介して前記
教示手段を前記制御手段に接続する接続手段とを具備し
たことを特徴とするワーク搬送ロボットの教示システ
ム。 - 【請求項２】 前記接続点は、前記作業エリア外に設け
られることを特徴とする請求項１に記載のワーク搬送ロ
ボットの教示システム。 - 【請求項３】 前記接続点は、複数であることを特徴と
する請求項１または２に記載のワーク搬送ロボットの教
示システム。 - 【請求項４】 前記接続手段の接続点に前記教示手段が
接続されたか否かを認識する認識手段をさらに具備し、 前記制御手段は、前記認識手段が前記教示手段が接続さ
れたと認識した場合、前記ワーク搬送ロボットの搬送制
御から前記教示手段による教示処理に切り換えることを
特徴とする請求項１に記載のワーク搬送ロボットの教示
システム。 - 【請求項５】 前記接続手段の接続点が使用されないこ
とを示すダミープラグと、 前記接続手段の接続点にダミープラグが接続されている
か否かを認識するダミープラグ認識手段とをさらに具備
し、 前記制御手段は、前記ダミープラグ認識手段が全ての接
続点でダミープラグが接続されていると認識された場
合、前記ワーク搬送ロボットの搬送制御を行うことを特
徴とする請求項３に記載のワーク搬送ロボットの教示シ
ステム。 - 【請求項６】 前記制御手段は、前記ダミープラグ認識
手段が１以上の接続点にダミープラグが接続されていな
いと認識した場合、前記ワーク搬送ロボットの搬送動作
を禁止することを特徴とする請求項５に記載のワーク搬
送ロボットの教示システム。 - 【請求項７】 広域の作業エリアで所定のワークを搬送
するワーク搬送ロボットと、 教示された内容をもとに前記ワーク搬送ロボットが行う
所定のワークの搬送を制御する制御手段と、 前記制御手段から分離され、前記ワーク搬送ロボットに
よる所定のワークの搬送動作を教示する複数の教示手段
と、 前記作業エリアの周囲に設けられた複数の接続点を介し
て前記複数の教示手段をそれぞれ前記制御手段に接続す
る接続手段とを具備し、 前記制御手段は、前記複数の教示手段のうちのいずれか
を選択し、当該選択された教示手段による教示処理に切
り換えることを特徴とするワーク搬送ロボットの教示シ
ステム。 - 【請求項８】 広域の作業エリアで所定のワークを搬送
するワーク搬送ロボットと、 教示された内容をもとに前記ワーク搬送ロボットが行う
所定のワークの搬送を制御する制御手段と、 前記制御手段から分離され、前記ワーク搬送ロボットに
よる所定のワークの搬送動作を教示するとともに当該教
示手段の選択を指示する選択ボタンを有する複数の教示
手段と、 前記作業エリアの周囲に設けられた複数の接続点を介し
て前記複数の教示手段をそれぞれ前記制御手段に接続す
る接続手段とを具備し、 前記制御手段は、前記教示手段の選択ボタンが選択され
た場合、前記ワーク搬送ロボットの搬送制御から当該選
択ボタンを有する教示手段による教示処理に切り換える
ことを特徴とするワーク搬送ロボットの教示システム。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10193044A JP2000024971A (ja) | 1998-07-08 | 1998-07-08 | ワーク搬送ロボットの教示システム |
| TW088108170A TW425500B (en) | 1998-07-08 | 1999-05-19 | System for teaching robot for work transfer |
| PCT/JP1999/003663 WO2000002714A1 (fr) | 1998-07-08 | 1999-07-07 | Systeme d'apprentissage de robot aux fins de transfert de pieces a traiter |
| KR1020007014169A KR20010052839A (ko) | 1998-07-08 | 1999-07-07 | 공작물 반송 로봇의 티칭 시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10193044A JP2000024971A (ja) | 1998-07-08 | 1998-07-08 | ワーク搬送ロボットの教示システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000024971A true JP2000024971A (ja) | 2000-01-25 |
Family
ID=16301249
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10193044A Pending JP2000024971A (ja) | 1998-07-08 | 1998-07-08 | ワーク搬送ロボットの教示システム |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000024971A (ja) |
| KR (1) | KR20010052839A (ja) |
| TW (1) | TW425500B (ja) |
| WO (1) | WO2000002714A1 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005118967A (ja) * | 2003-10-20 | 2005-05-12 | Yaskawa Electric Corp | ロボットシステム |
| WO2007094175A1 (ja) * | 2006-02-14 | 2007-08-23 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | ロボットシステム |
| JP2014525852A (ja) * | 2011-07-12 | 2014-10-02 | ザ・ボーイング・カンパニー | 複合材部品を製造するクリーンセクション及びダーティセクションを含むセル |
| JP2018114601A (ja) * | 2017-01-20 | 2018-07-26 | 川崎重工業株式会社 | ロボットシステムとロボットの制御装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60198607A (ja) * | 1984-03-22 | 1985-10-08 | Amada Co Ltd | ロボツト操作装置 |
| JP2669925B2 (ja) * | 1990-05-17 | 1997-10-29 | ファナック株式会社 | 複数の操作パネルを有する数値制御装置 |
| JP2884912B2 (ja) * | 1992-05-19 | 1999-04-19 | 日産自動車株式会社 | ロボット制御装置 |
| JP2796048B2 (ja) * | 1993-11-11 | 1998-09-10 | 三菱電機株式会社 | ロボット制御装置及びそのティーチングボックス |
-
1998
- 1998-07-08 JP JP10193044A patent/JP2000024971A/ja active Pending
-
1999
- 1999-05-19 TW TW088108170A patent/TW425500B/zh not_active IP Right Cessation
- 1999-07-07 WO PCT/JP1999/003663 patent/WO2000002714A1/ja not_active Application Discontinuation
- 1999-07-07 KR KR1020007014169A patent/KR20010052839A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005118967A (ja) * | 2003-10-20 | 2005-05-12 | Yaskawa Electric Corp | ロボットシステム |
| WO2007094175A1 (ja) * | 2006-02-14 | 2007-08-23 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | ロボットシステム |
| JPWO2007094175A1 (ja) * | 2006-02-14 | 2009-07-02 | 株式会社安川電機 | ロボットシステム |
| US8364313B2 (en) | 2006-02-14 | 2013-01-29 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Robot system |
| JP5131186B2 (ja) * | 2006-02-14 | 2013-01-30 | 株式会社安川電機 | ロボットシステム |
| JP2014525852A (ja) * | 2011-07-12 | 2014-10-02 | ザ・ボーイング・カンパニー | 複合材部品を製造するクリーンセクション及びダーティセクションを含むセル |
| JP2018114601A (ja) * | 2017-01-20 | 2018-07-26 | 川崎重工業株式会社 | ロボットシステムとロボットの制御装置 |
| WO2018135613A1 (ja) * | 2017-01-20 | 2018-07-26 | 川崎重工業株式会社 | ロボットシステムとロボットの制御装置 |
| CN110177663A (zh) * | 2017-01-20 | 2019-08-27 | 川崎重工业株式会社 | 机器人系统及机器人的控制装置 |
| EP3572194A4 (en) * | 2017-01-20 | 2020-10-28 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | ROBOT SYSTEM AND ROBOT CONTROL DEVICE |
| TWI721242B (zh) * | 2017-01-20 | 2021-03-11 | 日商川崎重工業股份有限公司 | 機器人系統與機器人之控制裝置 |
| CN110177663B (zh) * | 2017-01-20 | 2022-04-29 | 川崎重工业株式会社 | 机器人系统及机器人的控制装置 |
| US11331798B2 (en) | 2017-01-20 | 2022-05-17 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Robot system and robot controller |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20010052839A (ko) | 2001-06-25 |
| TW425500B (en) | 2001-03-11 |
| WO2000002714A1 (fr) | 2000-01-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7577497B2 (en) | Industrial robot with portable emergency stop unit | |
| US11670534B2 (en) | Transport apparatus and adapter pendant | |
| EP1719588A1 (en) | A robot control system comprising a portable operating device with safety equipment | |
| JPWO2009119384A1 (ja) | 可動機械制御システム | |
| JP2000024971A (ja) | ワーク搬送ロボットの教示システム | |
| TW201008730A (en) | Transfer robot control method | |
| WO2021117619A1 (ja) | 映像確認用コンピュータ | |
| JPH07299777A (ja) | 搬送ロボットの制御方法 | |
| KR100780383B1 (ko) | 반도체공정장비 원격제어시스템 및 그 방법 | |
| JP3221502B2 (ja) | ロボットの制御方法 | |
| KR100656056B1 (ko) | 반도체 제조 장치 조정 방법 | |
| TWI819401B (zh) | 工業用機器人的控制裝置 | |
| JP2611773B2 (ja) | 搬送設備 | |
| KR100561306B1 (ko) | Ｓｍｉｆ 포드 도어의 동력 전달 장치 | |
| KR100542670B1 (ko) | 리드프레임 이송 장치 | |
| JP2002010530A (ja) | インタ−ロック装置及び処理装置 | |
| US8260997B1 (en) | Magnetic switch for automatic network traffic shutdown while unlocking network line card | |
| US20080057968A1 (en) | Wireless Communication Apparatus and Communication Control Method Thereof | |
| JPH0657584U (ja) | ロボット把持機構の動作確認回路 | |
| JPH04157748A (ja) | 半導体処理装置における操作・監視用のパネル装置 | |
| JPH0398277A (ja) | 自動結線装置 | |
| JPS5937093A (ja) | 産業用ロボットの制御装置 | |
| JPH0613278A (ja) | 半導体製造装置の操作制御装置 | |
| JP2649822B2 (ja) | 処理装置 | |
| JP2023104607A (ja) | 作業システム、作業装置、および作業方法 |