CN110177663A - 机器人系统及机器人的控制装置 - Google Patents

Abstract

一种机器人系统，具备：机器人；具有教示功能的可搬移式操作终端；及具有用于通过上述可搬移式操作终端来教示上述机器人的动作的教示模式、及上述教示模式以外的动作模式的机器人的控制装置。上述控制装置检测与上述可搬移式操作终端的电性连接的有无，在检测出与上述可搬移式操作终端的连接的情况下，将上述机器人的动作模式切换为教示模式，在检测出上述控制装置与上述可搬移式操作终端的非连接的情况下，将上述机器人的动作模式切换为上述教示模式以外的其他动作模式。

Description

机器人系统及机器人的控制装置

技术领域

本发明涉及一种机器人系统及机器人的控制装置。

背景技术

教示・再现（teaching playback）方式的机器人系统中，具有用于通过教导器（teach pendant）来教示机器人动作的教示模式、和用于反复执行藉由教示模式而教示的机器人动作的重复模式。

以往的机器人系统中，基于安全性的观点，在机器人的控制装置中具备切换教示模式和重复模式的模式变更开关。因此，作业员操作控制装置的模式切换开关而切换至重复模式，进行作业程序的再现，从而利用作业程序进行与机器人或外围设备的信号授受的确认。然而，这种以往系统的操作流程中，每当利用作业程序进行机器人的动作确认时，必须在机器人控制装置中直接操作模式切换开关，因而繁琐。尤其，由分别连接于多台机器人的多台控制装置及共通的教导器构成的机器人系统（参照专利文献1）中，该问题显著。因此，利用一台控制装置控制一个或一个以上的机器人的动作，并可共享一台教导器的结构较为理想。

近年，进一步考虑便利性而提出教示器自身具备模式切换开关的机器人系统。专利文献2所公开的机器人系统中，教导器具有选择重复模式及教示模式中的任一者的模式选择部和机器人的操作部。机器人的控制装置具备输出允许切换至重复模式的许可信号和禁止切换至再现模式的禁止信号的再现模式切换许可装置，仅在模式选择部选择动作模式且再现模式切换许可装置输出许可信号时跳转至再现模式。专利文献3中，公开了根据有无机械钥匙插入教导器来进行模式切换的机器人系统。专利文献4中，公开了下述机器人系统，其检测作业者相对于安全防护栏的进入/退出，在检测出退出的情况下切换为重复模式，在检测出进入的情况下可切换为教示模式。专利文献5中，公开了在教导器或机器人的控制装置中具备动作模式切换开关的机器人系统。

现有技术文献：

专利文献：

专利文献1：日本专利第4990504号；

专利文献2：日本专利第4556802号；

专利文献3：日本特开2010-052106号公报；

专利文献4：日本特开2009-262257号公报；

专利文献5：日本特表2006-137239号公报。

发明内容

发明要解决的问题：

然而，上述以往的机器人系统中，需要作业员切换教示模式和重复模式的操作，因此操作繁琐。又，存在有可能因作业员的技术水平不足引起操作失误的问题。

因此，本发明是为解决这种问题而完成的，其目的在于提供一种防止作业员的操作失误于未然，可简单且可靠地切换机器人的动作模式的机器人系统。

解决问题的手段：

为解决上述问题，本发明的一形态的机器人系统具备：机器人；具有教示功能的可搬移式操作终端；以及具有教示模式、和上述教示模式以外的动作的机器人的控制装置，上述教示模式用于通过上述可搬移式操作终端来教示上述机器人的动作，上述控制装置检测与上述可搬移式操作终端的电性连接的有无，在检测出与上述可搬移式操作终端的连接的情况下，将上述机器人的动作模式切换为教示模式，在检测出上述控制装置与上述可搬移式操作终端的非连接的情况下，将上述机器人的动作模式切换为上述教示模式以外的其他动作模式。

此外，“教示模式以外的其他动作模式”是指不需要可搬移式操作终端的机器人的动作模式。例如包含重复模式（自动运转模式）、机器人的停止模式。

根据上述结构，在检测出机器人的控制装置与教导器（可搬移式操作终端）的电性连接的情况下，机器人的动作模式切换为教示模式，在检测出与教导器的非连接的情况下，机器人的动作模式切换为例如重复模式。即，作业员只需使教导器装卸于机器人的控制装置，便可自动进行教示模式与教示模式以外的其他动作模式的切换。作业员不需要模式切换操作，因此作业负担减轻。因而，可将作业员的操作失误防止于未然，简单且可靠地切换机器人的动作模式。

又，与独立于教导器而配备具有模式切换开关的操作盒的结构相比，可廉价地构成系统。

上述机器人系统亦可进而具备短路插头，上述机器人的控制装置进而具备：接口连接器，其具有电源供给端子、第一输入端子及第二输入端子；以及中继连接器，其具有与上述电源供给端子连接的第一端子、与上述第二输入端子连接的第二端子、及与上述第一输入端子连接的第三端子，在上述中继连接器的第一端子及第二端子借助安装于上述可搬移式操作终端用缆线梢端的连接器而短路的第一连接形态下，上述第二输入端子输入有电源电压的情况下，检测出与上述可搬移式操作终端的连接并将上述机器人的动作模式切换为教示模式，在上述中继连接器的第一端子及第三端子借助上述短路插头而短路的第二连接形态下，上述第一输入端子输入有电源电压的情况下，检测出与上述可搬移式操作终端的非连接并将上述机器人的动作模式切换为上述教示模式以外的其他动作模式。

此外，上述第二连接形态下的“教示模式以外的其他动作模式”亦可为重复模式。

根据上述结构，机器人的控制装置与教导器（可搬移式操作终端）的连接借助中继连接器而进行，因此作业员可在远离设置有机器人及其控制装置的设备（例如半导体处理设备）的场所进行教导器的装卸作业（模式切换），不需要进入设备内进行作业。因而，作业员的作业负担减轻。

上述机器人系统亦可进而具备第一机器人、第二机器人、第一短路插头及第二短路插头，上述机器人的控制装置进而具备：接口连接器，其具有上述电源供给端子、第一输入端子、第二输入端子及第三输入端子；第一中继连接器，其具有与上述电源供给端子连接的第一端子、与上述第二输入端子连接的第二端子、及第三端子；以及第二中继连接器，其具有与上述第一中继连接器的第三端子连接的第一端子、与上述第三输入端子连接的第二端子、及与上述第一输入端子连接的第三端子，在上述第一中继连接器的第一端子及第二端子借助安装于上述可搬移式操作终端用缆线梢端的连接器而短路的第一连接形态下，上述第二输入端子输入有电源电压的情况下，检测出与上述可搬移式操作终端的连接并将上述第一机器人的动作模式切换为教示模式，且将上述第二机器人的动作模式切换为教示模式以外的其他动作模式，在上述第一中继连接器的第一端子及第三端子借助上述第一短路插头而短路，且上述第二中继连接器的第一端子及第二端子借助安装于上述可搬移式操作终端用缆线梢端的连接器而短路的第二连接形态下，上述第三输入端子输入有电源电压的情况下，检测出与上述可搬移式操作终端的连接并将上述第二机器人的动作模式切换为教示模式，且将上述第一机器人的动作模式切换为教示模式以外的其他动作模式，在上述第一中继连接器的第一端子及第三端子借助上述第一短路插头而短路，且上述第二中继连接器的第一端子及第三端子借助上述第二短路插头而短路的第三连接形态下，上述第一输入端子输入有电源电压的情况下，检测出与上述可搬移式操作终端的非连接并将上述第一机器人及第二机器人的动作模式切换为教示模式以外的其他动作模式。

根据上述结构，与两台机器人连接的机器人的控制装置和教导器（可搬移式操作终端）的连接借助两个中继连接器而进行，因此作业员可在远离设置有两台机器人及其控制装置的设备（例如半导体处理设备）的场所进行教导器（可搬移式操作终端）的装卸作业（模式切换），不需要进入设备内进行作业。因而，作业员的作业负担减轻。

此外，上述第一连接形态下的上述第二机器人的“教示模式以外的其他动作模式”亦可为停止模式，上述第二连接形态下的上述第一机器人的“教示模式以外的其他动作模式”亦可为停止模式。又，第三连接形态下的上述第一机器人及第二机器人的“教示模式以外的其他动作模式”亦可为重复模式。

上述机器人系统中的上述机器人的控制装置亦可具备热插拔功能，将上述机器人的控制装置和上述可搬移式操作终端进行连接的控制装置侧的连接器及可搬移式操作终端侧的连接器分别具有接地端子、信号端子及电源端子，且构成为如下结构：在上述两个连接器的连接时，最先使上述接地端子彼此连接，在上述两个连接器的非连接时，最后使上述接地端子彼此阻断。

根据上述结构，由于机器人的控制装置具备热插拔功能，因此作业员对连接机器人的控制装置和教导器（可搬移式操作终端）的两连接器进行装卸时，无需使控制装置的电源停止，因此不需要系统的重启等繁琐操作。因而，作业员的作业负担减轻。此外，上述可搬移式操作终端可为教导器，还可为平板终端、智能型手机等行动信息终端。

本发明的一形态的机器人的控制装置，是具有教示模式、及上述教示模式以外的其他动作模式的机器人的控制装置，上述教示模式用于通过具有教示功能的可搬移式操作终端来教示机器人的动作，检测与上述可搬移式操作终端的电性连接的有无，在检测出与上述可搬移式操作终端的连接的情况下，将上述机器人的动作模式切换为教示模式，在检测出上述机器人的控制装置与上述可搬移式操作终端的非连接的情况下，将上述机器人的动作模式切换为上述教示模式以外的其他动作模式。

发明效果：

根据本发明，能够防止作业员的操作失误于未然，简单且可靠地切换机器人的动作模式。

附图说明

图1是概略示出本发明的第一实施形态的机器人系统的结构的框图；

图2是示出图1的机器人系统的第一连接形态的图；

图3是示出第一连接形态下的连接器的其他连接部分的概略图；

图4是示出机器人系统的第二连接形态的图；

图5是概略示出图1的机器人系统的比较例的结构的框图；

图6是概略示出本发明的第二实施形态的机器人系统的结构的框图；

图7是示出机器人系统的第一连接形态的图；

图8是示出机器人系统的第二连接形态的图；

图9是示出机器人系统的第三连接形态的图。

具体实施方式

参照附图说明本发明的实施形态。以下，对于所有附图中相同或相当的要素标注相同的符号，并省略重复说明。

（第一实施形态）

图1是示出本发明的第一实施形态的机器人系统120的结构的框图。如图1所示，机器人系统120由机器人1、控制机器人1的动作的控制装置7、及能与控制装置7连接的教导器8构成。教导器8相当于本发明的“可搬移式操作终端”。

机器人1的结构并无限定，例如藉由具备保持半导体晶圆的手的水平多关节型机器人而实现。本实施形态中，机器人1与机器人1的控制装置7一同设置在用于处理半导体晶圆的半导体处理设备100内。

机器人1的控制装置7中，设有用于与教导器8连接的I/F连接器10。I/F连接器10上连接有规定长度的控制装置用缆线K1，在其梢端安装有中继连接器11。另一方面，教导器8上连接有规定长度的教导器用缆线K2，在其梢端安装有能装配至中继连接器11的连接器（以下称作TP连接器）12。教导器8借助控制装置7外部的I/F连接器10、缆线K1、中继连接器11、TP连接器及缆线K2而与控制装置7连接，在本实施形态中，配置于半导体处理设备100的外侧。

控制装置7例如具备具有CPU等运算器的控制部70、伺服控制部71、具有ROM及RAM等内存的存储部72、及外部I/F部73。控制装置7可由进行集中控制的单个控制装置构成，亦可由彼此协动地分散控制的多个控制装置所构成。本实施形态中，控制部70包含连接检测部70a、模式切换部70b及模式执行部70c。这些功能部（70a～70c）是藉由控制部70执行保存于存储部72中的规定的控制程序而实现的功能块。

控制装置7具有用于通过教导器8来教示机器人1的动作的教示模式、及教示模式以外的其他动作模式。此外，教示模式以外的其他动作模式，是指不需要教导器8的机器人1的动作模式。

连接检测部70a构成为，检测控制装置7与教导器8的电性连接的有无。

本实施形态中，模式切换部70b构成为，在连接检测部70a检测出控制装置7与教导器8的连接的情况下，将机器人1的动作模式切换为教示模式，在检测出控制装置7与教导器8的非连接的情况下，将机器人1的动作模式切换为重复模式。此处，教示模式是指进行用于以下内容的动作程序制作与编辑的动作模式：利用机器人1执行特定作业等各种动作。重复模式是指进行在教示模式中制作或编辑的动作程序的再现而执行作为目标的特定作业的动作模式。重复模式在执行时不需要教导器8。

模式执行部70c执行由模式切换部70b决定的机器人的动作模式。此处，动作模式是指教示模式、及教示模式以外的其他动作模式。教示模式以外的其他动作模式包含反复执行藉由教示模式而教示的机器人1的动作的重复模式、机器人的停止模式。

模式执行部70c构成为，在教示模式的情况下，依照由操作部8b生成的操作信息，控制机械臂4的动作。另一方面，构成为，在重复模式的情况下，依照记录于存储部72中的动作程序，控制机械臂4的动作。具体而言，模式执行部70c生成对机器人1的各驱动部（未图示）进行驱动的伺服马达（未图示）的位置指令值，并基于所生成的位置指令值与伺服马达中所设的编码器（未图示）的检测值（实际值）的偏差而生成速度指令值。并且，基于所生成的速度指令值与速度当前值的偏差而生成扭矩指令值（电流指令值），并基于所生成的电流指令值与电流传感器（未图示）的偏差的检测值（实际值）来生成控制指令，并输出至伺服控制部71。

伺服控制部71基于由模式执行部70c生成的控制指令而产生电流，使产生的电流流向机器人1的各驱动部的伺服马达而使机器人1进行动作。

在教示模式中制作的教示数据作为规定的动作程序储存于存储部72中，在重复模式中控制部70读取并执行动作程序，从而控制机器人1的动作。规定的动作程序例如为使机器人1的手2移动至规定位置的命令。

教导器8具有显示部8a及操作部8b。显示部8a，操作部8b包含用于指令机器人1的操作、重复运转或教示的开始、结束、停止及教示点的记录的各种操作键。操作部8b构成为，生成与操作相应的操作信息，并将生成的操作信息输出至控制装置7。控制装置7构成为，被输入来自操作部8b的操作信息或各种指令，并将各种指令值或运算结果等输出至显示部8a。作业员从半导体处理设备100的外侧操作教导器8，藉由对机器人1进行远程操作而进行教示作业。本实施形态中，机器人系统120还具备短路插头9。作业员在从教示模式切换为重复模式时，使用该短路插头9。

[动作例]

接着，对机器人系统120的动作例进行说明。首先，作业员如图1所示，为使用教导器8来教示机器人1的动作，将教导器8与控制装置7连接（第一连接形态）。将控制装置用缆线K1梢端的中继连接器11与教导器用缆线K2梢端的TP连接器12连接。

图2是概略示出机器人系统120的第一连接形态的图。如图2所示，控制装置7的I/F连接器10具有从控制装置7内部的电源（未图示）供给电源电压（例如DC24 V）的电源供给端子10a、表示非连接（第二连接形态）的检测信号（例如DC24 V）输入的第一输入端子10b、及表示连接（第一连接形态）的检测信号（例如DC24 V）输入的第二输入端子10c。中继连接器11安装于控制装置用缆线K1的梢端，具有与I/F连接器10的电源供给端子10a连接的第一端子11a、与I/F连接器10的第二输入端子10c连接的第二端子11b、及与I/F连接器10的第一输入端子10b连接的第三端子11c。

教导器用缆线K2梢端的TP连接器12构成为，将中继连接器11的第一端子11a及第二端子11b短路。中继连接器11的第一端子11a及第二端子11b藉由TP连接器12而短路。

从控制装置7的I/F连接器10的电源供给端子10a输出电源电压（例如DC24 V），电源电压借助控制装置用缆线K1而输入至中继连接器11的第一端子11a。由于中继连接器11的第一端子11a及第二端子11b藉由TP连接器12而短路，因此从中继连接器11的第二端子11b输出的电源电压作为表示连接的检测信号而借助控制装置用缆线K1输入至I/F连接器10的第二输入端子10c（高电平；High level）。此时，中继连接器11的第三端子11c藉由TP连接器12而短路，因此借助控制装置用缆线K1而与第三端子11c连接的I/F连接器10的第一输入端子10b亦被短路。本实施形态中，第一连接形态下，对I/F连接器10的第一输入端子10b输入接地电位（低电平；Low level）。

连接检测部70a藉由检测向I/F连接器10的第二输入端子10c输入的表示连接的检测信号（电源电压），从而检测控制装置7与教导器8的连接。藉此，模式切换部70b将机器人1的动作模式切换为教示模式。

图3是示出第一连接形态下的中继连接器11及TP连接器12的其他连接部分的概略图。如图3所示，中继连接器11具备电源端子11d、信号端子11e及接地端子11f。电源端子11d上连接有控制装置用缆线K1的电源线，信号端子11e连接有对操作信息或各种指令、图像信号等进行传输的控制装置用缆线K1的信号线，接地端子11f上连接有控制装置用缆线K1的接地线。TP连接器12具备电源端子12d、信号端子12e及接地端子12f。电源端子12d上连接有教导器用缆线K2的电源线，信号端子12e连接有对操作信息或各种指令、图像信号等进行传输的教导器用缆线K2的信号线，接地端子12f上连接有教导器用缆线K2的接地线。

机器人1的控制装置7具备热插拔功能，中继连接器11及TP连接器12为热插拔连接器。中继连接器11及TP连接器12构成为，在连接时，接地端子最先彼此（11f、12f）连接，在非连接时，接地端子最后彼此（11f、12f）阻断。本实施形态中，中继连接器11的各端子的长度不同，以使得在连接时，依照接地端子（11f、12f）、信号端子（11e、12e）、电源端子（11d、12d）的顺序连接，在非连接时，依照电源端子（11d、12d）、信号端子（11e、12e）、接地端子（11f、12f）的顺序阻断。又，本实施形态中，在教导器8与教导器用缆线K2之间，设有由电阻组件R、电容组件C所构成的突入电流抑制电路。

藉由此种结构，作业员无须使控制装置7的主电源停止，便可装卸控制装置7的中继连接器11和TP连接器12。当检测出控制装置7与教导器8的连接时，机器人的动作模式自动切换为教示模式，因此作业员在教示模式下，操作教导器8来对机器人1进行远程操作，藉此进行教示作业。本实施形态中，模式执行部70c以依照由操作部8b生成的操作信息，执行特定作业的形式，控制机械臂4的动作。在教示模式下制作或编辑的规定的动作程序储存于存储部72中。

接着，作业员为反复执行藉由教示模式教示的机器人1的动作，将教导器8从控制装置7断开，且将短路插头9与中继连接器11连接。图4是概略示出机器人系统120的第二连接形态的图。如图4所示，短路插头9构成为，将中继连接器11的第一端子11a及第三端子11c短路。

从控制装置7的I/F连接器10的电源供给端子10a输出电源电压（例如DC24 V），电源电压借助控制装置用缆线K1而输入至中继连接器11的第一端子11a。由于中继连接器11的第一端子11a及第三端子11c藉由短路插头9而短路，因此从中继连接器11的第三端子11c输出的电源电压作为表示非连接的检测信号而借助控制装置用缆线K1输入至I/F连接器10的第一输入端子10b（高电平）。此时，中继连接器11的第二端子11b藉由短路插头9而短路，因此，借助控制装置用缆线K1而与第二端子11b连接的I/F连接器10的第二输入端子10c亦被短路。本实施形态中，第二连接形态下，对I/F连接器10的第二输入端子10c输入接地电位（低电平）。

连接检测部70a藉由检测对I/F连接器10的第一输入端子10b输入的表示非连接的检测信号（电源电压），从而检测控制装置7与教导器8的非连接。藉此，模式切换部70b将机器人1的动作模式切换为重复模式。即，当检测出控制装置7与教导器8的非连接时，机器人的动作模式自动切换为教示模式。

模式执行部70c从存储部72中读取在教示模式下制作或编辑的动作程序，并以依照动作程序，执行特定作业的形式，控制机械臂4的动作。

因而，根据本实施形态，在检测出机器人1的控制装置7与教导器8的连接的情况下，机器人1的动作模式切换为教示模式，在检测出控制装置7与教导器8的非连接的情况下，机器人1的动作模式切换为重复模式。即，作业员只需进行控制装置7与教导器8的装卸作业，便自动进行教示模式与重复模式的切换。由于作业员不需要模式切换操作，因此作业负担减轻。因而，可将作业员的操作失误防止于未然，从而可简单且可靠地切换机器人的动作模式。

又，本实施形态中，采用了下述结构，即，在第二连接形态（参照图4）下，I/F连接器10的第一输入端子10b输入有电源电压的情况下，控制装置7切换为重复模式，但只要为不需要教导器8的动作模式，则亦可切换为教示模式以外的其他动作模式（例如停止模式）。

又，本实施形态中，机器人1的控制装置7与教导器8的连接借助中继连接器11而进行（参照图1），因此作业员可在半导体处理设备100的外侧进行装卸作业（模式切换），而不需要进入设备内进行作业。因而，作业员的作业负担减轻。

又，由于控制装置7具备热插拔功能，因此作业员在对连接控制装置7与教导器8的中继连接器11及TP连接器12进行装卸时，无须使控制装置7的电源停止。因而，不需要系统的重启等繁琐操作。因而，作业员的作业负担减轻。

[比较例]

图5是概略示出本实施形态的机器人系统的比较例的结构的框图。如图5所示，比较例的机器人系统120B的不同的处在于，独立于教导器8而具备操作盒200，该操作盒200具有用于切换动作模式的开关SW。比较例中，作业员在半导体处理设备100的外侧对操作盒200的开关SW进行操作而切换动作模式。在教示模式下，操作教导器8来进行教示作业。另一方面，在重复模式下断开操作盒200与教导器8的连接，并藉由短路插头201来使操作盒200的端子短路。

比较例的机器人系统120B为操作开关SW来切换动作模式的结构，因此操作盒200是必须的，相对于此，本实施形态（参照图1）中，根据与教导器8的连接的有无来切换动作模式，因此无需设置操作盒200。根据本实施形态，可实现与比较例的机器人系统120B相比较为廉价的机器人系统120。

（第二实施形态）

接着，对本发明的第二实施形态进行说明。以下，省略与第一实施形态共通的结构的说明，仅对不同的结构进行说明。

图6是概略示出本发明的第二实施形态的机器人系统的结构的框图。如图6所示，本实施形态中，与第一实施形态（图1）的不同的处在于，机器人系统120A具备两台机器人1A及机器人1B、两个短路插头9和两个中继连接器11A及11B。本实施形态中，控制装置用缆线K1的梢端分支为二股，在控制装置用缆线K1的其中一梢端安装有中继连接器11A，在另一梢端安装有中继连接器11B。

[动作例]

接着，对机器人系统120A的动作例进行说明。首先，作业员如图6所示，为使用教导器8来教示第一机器人1A的动作，将教导器8与控制装置7连接（第一连接形态）。将控制装置用缆线K1的其中一梢端的中继连接器11A与教导器用缆线K2梢端的TP连接器12连接，将控制装置用缆线K1的另一梢端的中继连接器11B与短路插头9连接。

图7是示出机器人系统120A的第一连接形态的图。如图7所示，控制装置7A的I/F连接器10A具有从控制装置7内部的电源（未图示）供给电源电压（例如DC24 V）的电源供给端子10a、表示非连接的检测信号（例如DC24 V）输入的第一输入端子10b、表示连接（第一连接形态）的检测信号（例如DC24 V）输入的第二输入端子10c、及表示连接（第二连接形态）的检测信号（例如DC24 V）输入的第三输入端子10d。

第一中继连接器11A安装于控制装置用缆线K1的其中一梢端。第一中继连接器11A具有与I/F连接器10A的电源供给端子10a连接的第一端子11a、与I/F连接器10A的第二输入端子10c连接的第二端子11b、及与第二中继连接器11B连接的第三端子11c。

第二中继连接器11B安装于控制装置用缆线K1的另一梢端。第二中继连接器11B具有与第一中继连接器11A的第三端子11c连接的第一端子11a、与I/F连接器10A的第三输入端子10d连接的第二端子11b、及与I/F连接器10A的第一输入端子10b连接的第三端子11c。

教导器用缆线K2梢端的TP连接器12构成为，将中继连接器11A的第一端子11a及第二端子11b短路。中继连接器11A的第一端子11a及第二端子11b藉由TP连接器12而短路。短路插头9构成为，将中继连接器11B的第一端子11a及第三端子11c短路。中继连接器11B的第一端子11a及第三端子11c藉由短路插头9而短路。

从控制装置7A的I/F连接器10A的电源供给端子10a输出电源电压（例如DC24 V），电源电压借助控制装置用缆线K1而输入至中继连接器11A的第一端子11a。由于中继连接器11A的第一端子11a及第二端子11b藉由TP连接器12而短路，因此从中继连接器11A的第二端子11b输出的电源电压借助控制装置用缆线K1而输入至I/F连接器10A的第二输入端子10c（高电平）。

另一方面，中继连接器11A的第三端子11c藉由TP连接器12而短路，因此中继连接器11B的第一端子11a亦被短路。由于中继连接器11B的第一端子11a及第三端子11c藉由短路插头9而短路，因此借助控制装置用缆线K1而与中继连接器11B的第三端子11c连接的I/F连接器10A的第一输入端子10b亦被短路。此时，由于中继连接器11B的第二端子11b藉由短路插头9而短路，因此借助控制装置用缆线K1而与中继连接器11B的第二端子11b连接的I/F连接器10A的第三输入端子10d亦被短路。本实施形态中，第一连接形态下，对I/F连接器10A的第一输入端子10b及第三输入端子10d输入接地电位（低电平）。

连接检测部70a藉由检测对I/F连接器10A的第二输入端子10c输入的表示连接的检测信号（高电平信号），从而检测控制装置7与教导器8的连接（第一连接形态）。本实施形态中，模式切换部70b将第一机器人1A的动作模式切换为教示模式，并停止第二机器人1B的动作。

接着，作业员为使用教导器8来教示第二机器人1B的动作，将教导器8与控制装置7连接（第二连接形态）。图8是示出机器人系统120A的第二连接形态的图。如图8所示，将控制装置用缆线K1的其中一梢端的中继连接器11A与短路插头9连接，将控制装置用缆线K1的另一梢端的中继连接器11B与教导器用缆线K2梢端的TP连接器12连接。

第一中继连接器11A的第一端子11a及第三端子11c借助短路插头9而短路。另一方面，第二中继连接器11B的第一端子11a及第二端子11b借助安装于教导器用缆线K2梢端的TP连接器12而短路，对I/F连接器10A的第三输入端子10d输入电源电压（高电平）。

另一方面，由于中继连接器11A的第二端子11b藉由短路插头9而短路，因此借助控制装置用缆线K1而连接的I/F连接器10A的第二输入端子10c亦被短路。又，由于中继连接器11B的第三端子11c藉由TP连接器12而短路，因此借助控制装置用缆线K1而连接的I/F连接器10A的第一输入端子10b亦被短路。本实施形态中，第二连接形态下，对I/F连接器10A的第一输入端子10b及第二输入端子10c输入接地电位（低电平）。

连接检测部70a藉由检测对I/F连接器10A的第三输入端子10d输入的表示连接的检测信号（电源电压），从而检测控制装置7与教导器8的连接。本实施形态中，模式切换部70b将第二机器人1B的动作模式切换为教示模式，且停止第一机器人1A的动作。

最后，作业员为反复执行藉由教示模式而教示的第一机器人1A及第二机器人1B的动作，将教导器8从控制装置7断开（第三连接形态）。图9是示出机器人系统120A的第三连接形态的图。如图9所示，将两个短路插头9分别与控制装置用缆线K1梢端的中继连接器11A及11B连接。

第一中继连接器11A的第一端子11a及第三端子11c藉由第一短路插头9而短路，第二中继连接器11B的第一端子11a及第三端子11c藉由第二短路插头9而短路。

从控制装置7A的I/F连接器10A的电源供给端子10a输出电源电压（例如24 V），电源电压借助控制装置用缆线K1而输入至第一中继连接器11A的第一端子11a。由于第一中继连接器11A的第一端子11a及第三端子11c藉由第一短路插头9而短路，因此从第一中继连接器11A的第三端子11c输出的电源电压借助控制装置用缆线K1而输入至第二中继连接器11B的第一端子11a。由于第二中继连接器11B的第一端子11a及第三端子11c藉由第二短路插头9而短路，因此从第二中继连接器11B的第三端子11c输出的电源电压借助控制装置用缆线K1而输入至I/F连接器10A的第一输入端子10b（高电平）。

另一方面，由于中继连接器11A的第二端子11b藉由第一短路插头9而短路，因此借助控制装置用缆线K1而连接的I/F连接器10A的第二输入端子10c亦被短路。又，由于中继连接器11B的第二端子11b藉由第二短路插头9而短路，因此借助控制装置用缆线K1而连接的I/F连接器10A的第三输入端子10d亦被短路。本实施形态中，第三连接形态下，对I/F连接器10A的第二输入端子10c及第三输入端子10d输入接地电位（低电平）。

连接检测部70a藉由检测对I/F连接器10A的第一输入端子10b输入的表示连接的检测信号（电源电压），从而检测控制装置7与教导器8的非连接。本实施形态中，模式切换部70b将第一机器人1A及第二机器人1B的动作模式切换为重复模式。

因而，根据本实施形态，作业员只需进行与两台机器人1A、1B连接的控制装置7A和教导器8的装卸作业，便自动进行教示模式与重复模式的切换。即，由于控制装置7A与教导器8的连接藉由两个中继连接器11A、11B而进行，因此作业员可在半导体处理设备100的外侧进行教导器8的装卸作业（模式切换），而不需要进入设备内进行作业。因而，作业员的作业负担减轻。

又，本实施形态中，控制装置7A在第一连接形态（参照图7）或第二连接形态（参照图8）下，其中一个机器人1A（1B）为教示模式的情况下，停止另一个机器人1B（1A）的动作，藉此，可使机器人系统120A安全地运转。

又，本实施形态中，采用了下述结构，即，在第三连接形态（参照图9）下，I/F连接器10A的第一输入端子10b输入有电源电压（高电平）的情况下，控制装置7A切换为重复模式，但只要为不需要教导器8的动作模式，则亦可切换为教示模式以外的其他动作模式。

（其他实施形态）

此外，上述各实施形态的机器人1藉由水平多关节型机器人而实现，但只要是与教导器连接且具有教示模式与重复模式的机器人，则亦可为垂直多关节机器人。又，机器人1的用途并不限定于基板搬送或焊接等工业用途。

此外，上述各实施形态的机器人系统120中，具备热插拔功能，中继连接器使用热插拔连接器，对于其接口规格并无限定，但亦可采用下述结构，即，藉由支持USB、IEEE1394的I/F来检测连接/非连接，以切换动作模式。

此外，上述各实施形态的机器人1及其控制装置7的设置场所设置于半导体处理设备100内部，但亦可设置于安全防护栏的内部。又，亦可不对设置场所设限。

此外，上述各实施形态的可搬移式操作终端为教导器8，但只要具有教示功能，则亦可为平板终端、智能型手机等移动信息终端。

此外，上述各实施形态的控制装置7（7A）采用下述结构，即，在I/F连接器10（10A）的各输入端子（10b～10d）中的任一个输入有高电平信号（电源电压）的情况下判定连接/非连接并切换动作模式，但信号的电平亦可相反。即，亦可采用下述结构：在各输入端子中的任一个输入有低电平信号（例如接地电位）的情况下判定连接/非连接并切换动作模式。

根据上述说明，对于本领域技术人员而言，可明了本发明的多种改良或其他实施形态。因而，上述说明应仅作为例示而解释，是以向本领域技术人员教示执行本发明的最佳形态的目的而提供的。可在不脱离本发明的精神的情况下实质上变更其结构及/或功能的具体内容。

工业应用性：

本发明对于具有教示模式及教示模式以外的其他动作模式的机器人系统是有用的。

符号说明：

1、1A、1B：机器人

7、7A：机器人的控制装置

8：教导器（可搬移式操作终端）

8a：操作部

8a：显示部

9：短路插头

10：I/F连接器

10a：电源端子

10b：第一输入端子

10c：第二输入端子

10d：第三输入端子

11：中继连接器

11a：第一端子

11b：第二端子

11c：第三端子

12：TP连接器

70：运算部

70a：连接检测部

70b：模式切换部

70c：模式执行部

71：伺服控制部

72：存储部

73：I/F

100：半导体处理设备

120、120A、120B：机器人系统

200：操作盒。

Claims (9)

1.一种机器人系统，其特征在于，所述机器人系统具备：机器人；具有教示功能的可搬移式操作终端；以及具有教示模式和上述教示模式以外的动作模式的机器人的控制装置，上述教示模式用于通过上述可搬移式操作终端来教示上述机器人的动作，

上述控制装置检测与上述可搬移式操作终端的电性连接的有无，在检测出与上述可搬移式操作终端的连接的情况下，将上述机器人的动作模式切换为教示模式，在检测出上述控制装置与上述可搬移式操作终端的非连接的情况下，将上述机器人的动作模式切换为上述教示模式以外的其他动作模式。

2.根据权利要求1所述的机器人系统，其特征在于，还具备短路插头，

上述机器人的控制装置还具备：

接口连接器，其具有电源供给端子、第一输入端子及第二输入端子；以及

中继连接器，其具有与上述电源供给端子连接的第一端子、与上述第二输入端子连接的第二端子及与上述第一输入端子连接的第三端子，

在上述中继连接器的第一端子及第二端子借助安装于上述可搬移式操作终端用缆线梢端的连接器而短路的第一连接形态下，上述第二输入端子输入有电源电压的情况下，检测出与上述可搬移式操作终端的连接并将上述机器人的动作模式切换为教示模式，

在上述中继连接器的第一端子及第三端子借助上述短路插头而短路的第二连接形态下，上述第一输入端子输入有电源电压的情况下，检测出与上述可搬移式操作终端的非连接并将上述机器人的动作模式切换为上述教示模式以外的其他动作模式。

3.根据权利要求2所述的机器人系统，其特征在于，上述第二连接形态下的上述教示模式以外的其他动作模式为重复模式。

4.根据权利要求1所述的机器人系统，其特征在于，还具备第一机器人、第二机器人、第一短路插头及第二短路插头，

上述机器人的控制装置还具备：

接口连接器，其具有上述电源供给端子、第一输入端子、第二输入端子及第三输入端子；

第一中继连接器，其具有与上述电源供给端子连接的第一端子、与上述第二输入端子连接的第二端子及第三端子；以及

第二中继连接器，其具有与上述第一中继连接器的第三端子连接的第一端子、与上述第三输入端子连接的第二端子及与上述第一输入端子连接的第三端子，

在上述第一中继连接器的第一端子及第二端子借助安装于上述可搬移式操作终端用缆线梢端的连接器而短路的第一连接形态下，上述第二输入端子输入有电源电压的情况下，检测出与上述可搬移式操作终端的连接并将上述第一机器人的动作模式切换为教示模式，且将上述第二机器人的动作模式切换为教示模式以外的其他动作模式，

在上述第一中继连接器的第一端子及第三端子借助上述第一短路插头而短路，且上述第二中继连接器的第一端子及第二端子借助安装于上述可搬移式操作终端用缆线梢端的连接器而短路的第二连接形态下，上述第三输入端子输入有电源电压的情况下，检测出与上述可搬移式操作终端的连接并将上述第二机器人的动作模式切换为教示模式，且将上述第一机器人的动作模式切换为教示模式以外的其他动作模式，

在上述第一中继连接器的第一端子及第三端子借助上述第一短路插头而短路，且上述第二中继连接器的第一端子及第三端子借助上述第二短路插头而短路的第三连接形态下，上述第一输入端子输入有电源电压的情况下，检测出与上述可搬移式操作终端的非连接并将上述第一机器人及第二机器人的动作模式切换为教示模式以外的其他动作模式。

5.根据权利要求4所述的机器人系统，其特征在于，上述第一连接形态下的上述第二机器人的上述教示模式以外的其他动作模式为停止模式，上述第二连接形态下的上述第一机器人的上述教示模式以外的其他动作模式为停止模式。

6.根据权利要求4或5所述的机器人系统，其特征在于，上述第三连接形态下的上述第一机器人及第二机器人的上述教示模式以外的其他动作模式为重复模式。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的机器人系统，其特征在于，上述机器人的控制装置具备热插拔功能，

将上述机器人的控制装置和上述可搬移式操作终端进行连接的控制装置侧的连接器及可搬移式操作终端侧的连接器分别具有接地端子、信号端子及电源端子，

且构成为如下结构：在上述两个连接器的连接时，最先使上述接地端子彼此连接；在上述两个连接器的非连接时，最后使上述接地端子彼此阻断。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的机器人系统，其特征在于，上述可搬移式操作终端为教导器。

9.一种机器人的控制装置，其特征在于，是具有教示模式及上述教示模式以外的其他动作模式的机器人的控制装置，上述教示模式用于通过具有教示功能的可搬移式操作终端来教示机器人的动作，

检测与上述可搬移式操作终端的电性连接的有无，在检测出与上述可搬移式操作终端的连接的情况下，将上述机器人的动作模式切换为教示模式，在检测出上述机器人的控制装置与上述可搬移式操作终端的非连接的情况下，将上述机器人的动作模式切换为上述教示模式以外的其他动作模式。