KR20190107075A

KR20190107075A - 로봇시스템과 로봇의 제어장치

Info

Publication number: KR20190107075A
Application number: KR1020197023507A
Authority: KR
Inventors: 하루히코 탄; 마사히코 스미토모; 료타 사카이; 준 칸자키
Original assignee: 카와사키 주코교 카부시키 카이샤
Priority date: 2017-01-20
Filing date: 2018-01-19
Publication date: 2019-09-18
Also published as: JP2018114601A; EP3572194A1; WO2018135613A1; TWI721242B; EP3572194A4; EP3572194B1; CN110177663A; JP6853675B2; US20210362326A1; TW201831288A; CN110177663B; US11331798B2

Abstract

로봇과, 교시기능을 가지는 가반형 조작단말과, 상기 가반형 조작단말을 통하여 상기 로봇의 동작을 교시하기 위한 교시모드 및 상기 교시모드 이외의 동작모드를 가지는 로봇의 제어장치를 구비하는 로봇시스템이다. 상기 제어장치는, 상기 가반형 조작단말과의 전기적인 접속의 유무를 검지하고, 상기 가반형 조작단말과의 접속을 검지한 경우에는 상기 로봇의 동작모드를 교시모드로 전환하고, 상기 제어장치와 상기 가반형 조작단말과의 비접속을 검지한 경우에는 상기 로봇의 동작모드를 상기 교시모드 이외의 다른 동작모드로 전환한다.

Description

로봇시스템과 로봇의 제어장치

본 발명은, 로봇시스템(robot system)과 로봇의 제어장치에 관한 것이다.

티칭 플레이백(teaching playback) 방식의 로봇시스템에서는, 티치 펜던트(teach pendant)를 통하여 로봇의 동작을 교시(敎示)하기 위한 교시모드와, 교시모드에 의해 교시받은 로봇의 동작을 반복 실행하기 위한 리피트모드(repeat mode)를 가진다.

종래의 로봇시스템에서는, 안정성의 관점에서 로봇의 제어장치에 교시모드와 리피트모드를 전환하는 모드 변경스위치가 구비되어 있다. 이 때문에, 오퍼레이터(operator)는 제어장치의 모드전환 스위치를 조작하여 리피트모드로 전환작업 프로그램의 재생을 행함으로써 작업프로그램에 의한 로봇이나 주변설비와의 신호 수수(授受)의 확인을 행하고 있었다. 그러나, 이와 같은 종래 시스템의 조작순서에서는 작업 프로그램에 의한 로봇의 동작확인을 할 때마다, 로봇제어장치에서 모드전환스위치를 직접 조작해야만 하여 번잡하였다. 특히 복수 대의 로봇에게 각각 접속된 복수 대의 제어장치와 공통의 티치 펜던트에 의해 구성되는 방식의 로봇시스템(특허문헌 1 참조)에서는, 그 과제가 현저하다. 이 때문에 1 대의 제어장치로 1 또는 그 이상의 로봇의 동작을 제어하고, 1 대의 티치 펜던트를 공통으로 사용할 수 있는 구성이 바람직하다.

최근, 보다 편리성을 고려하여 교시 펜던트 자체에 모드전환스위치를 구비하는 로봇시스템이 제안되어 있다. 특허문헌 2에 개시된 로봇시스템에서는, 티치 펜던트가, 리피트모드 및 교시모드 중 어느 하나를 선택하는 모드선택부와 로봇의 조작부를 가진다. 로봇의 제어장치는, 리피트모드로의 전환을 허가하는 허가신호와 재생모드로의 전환을 금지하는 금지신호를 출력하는 재생모드 전환허가장치를 구비하고, 모드 선택부가 동작모드를 선택하며, 또한 재생모드 전환허가장치가 허가신호를 출력한 때만 재생모드로 이행시킨다. 특허문헌 3에는, 티치 펜던트로의 매커니컬 키(mechanical key)의 삽입 유무에 의해 모드전환을 행하는 로봇시스템이 개시되어 있다. 특허문헌 4에는, 작업자의 안전방호책(安全防護柵)으로의 입퇴출을 검지하고, 퇴출을 검지한 경우에는 리피트모드로 전환하고, 입장을 검지한 경우에는 교시모드로 전환 가능한 로봇시스템이 개시되어 있다. 특허문헌 5에는, 티치 펜던트 또는 로봇의 제어장치에 동작모드전환스위치를 구비한 로봇시스템이 개시되어 있다.

일본 특허 제4990504호 일본 특허 제4556802호 일본 특개 2010-052106호 공보 일본 특개 2009-262257호 공보 일본 특표 2006-137239호 공보

그러나 상기 종래의 로봇시스템에서는, 오퍼레이터가 교시모드와 리피트모드의 전환을 위한 조작이 필요하게 되기 때문에 조작이 번잡하였다. 또 오퍼레이터의 기량 부족에 기인하여 조작 미스가 일어날 수 있다고 하는 과제가 있었다.

그래서 본 발명은, 이와 같은 과제를 해결하기 위해 이루어진 것이고, 오퍼레이터의 조작 미스를 미연에 방지하여, 로봇의 동작모드를 간단하게 또한 확실하게 전환 가능한 로봇시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기의 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 한 태양(態樣)에 관계되는 로봇시스템은, 로봇과, 교시기능을 가지는 가반형(可搬型) 조작단말과, 상기 가반형 조작단말을 통하여 상기 로봇의 동작을 교시하기 위한 교시모드, 및, 상기 교시모드 이외의 동작을 가지는 로봇의 제어장치를 구비하는 로봇시스템으로서, 상기 제어장치는, 상기 가반형 조작단말과의 전기적인 접속의 유무를 검지하고, 상기 가반형 조작단말과의 접속을 검지한 경우에는 상기 로봇의 동작모드를 교시모드로 전환하고, 상기 제어장치와 상기 가반형 조작단말과의 비접속을 검지한 경우에는 상기 로봇의 동작모드를, 상기 교시모드 이외의 다른 동작모드로 전환한다.

또한, "교시모드 이외의 다른 동작모드"라 함은, 가반형 조작단말을 필요로 하지 않는 로봇의 동작모드를 말한다. 예를 들면 리피트모드(자동운전모드), 로봇의 정지모드가 포함된다.

상기 구성에 의하면, 로봇의 제어장치와 티치 펜던트(가반형 조작단말)와의 전기적인 접속이 검지된 경우에는 로봇의 동작모드가 교시모드로 전환되고, 티치 펜던트와의 비접속이 검지된 경우에는 로봇의 동작모드가, 예를 들면 리피트모드로 전환된다. 즉, 오퍼레이터는 로봇의 제어장치에 티치 펜던트를 착탈시키는 것만으로 교시모드와 교시모드 이외의 다른 동작모드의 전환이 자동으로 행해진다. 오퍼레이터는 모드전환조작이 불필요하게 되므로 작업부담이 경감된다. 따라서, 오퍼레이터의 조작 미스를 미연에 방지하여 로봇의 동작모드를 간단하게 또한 확실하게 전환할 수 있다.

또 티치 펜던트와는 별도로, 모드전환스위치를 가지는 조작박스를 구비하는 구성과 비교하여 염가로 시스템을 구성할 수 있다.

상기 로봇시스템은, 단락(短絡) 플러그(plug)를 더 구비하고, 상기 로봇의 제어장치는, 전원공급단자, 제1입력단자, 및, 제2입력단자를 가지는 인터페이스 커넥터(interface connector)와, 상기 전원공급단자에 접속되는 제1단자, 및, 상기 제2입력단자에 접속되는 제2단자, 및, 상기 제1입력단자에 접속되는 제3단자를 가지는 중계(中繼) 커넥터를 더 구비하고, 상기 가반형 조작단말용 케이블의 선단에 부착된 커넥터를 통하여 상기 중계 커넥터의 제1단자 및 제2단자가 단락되는 제1의 접속태양(接續態樣)에서, 상기 제2입력단자에 전원전압(電源電壓)이 입력된 경우에, 상기 가반형 조작단말과의 접속을 검지하여 상기 로봇의 동작모드를 교시모드로 전환하고, 상기 단락 플러그를 통하여 상기 중계 커넥터의 제1단자 및 제3단자가 단락되는 제2의 접속태양(態樣)에서, 상기 제1입력단자에 전원전압이 입력된 경우에, 상기 가반형 조작단말과의 비접속을 검지하여 상기 로봇의 동작모드를, 상기 교시모드 이외의 다른 동작모드로 전환하여도 좋다.

또한, 상기 제2접속태양에서의 "교시모드 이외의 다른 동작모드"는, 리피트모드라도 좋다.

상기 구성에 의하면, 로봇의 제어장치와 티치 펜던트(가반형 조작단말)와의 접속이 중계 커넥터를 통하여 행해지므로, 오퍼레이터는 로봇 및 그 제어장치가 설치된 설비(예를 들면 반도체 처리설비)로부터 떨어진 장소에서 티치 펜던트의 착탈작업(모드전환)을 행할 수 있으며, 설비 내로 들어가서 작업을 할 필요가 없다. 따라서, 오퍼레이터의 작업부담이 경감된다.

상기 로봇시스템은, 제1의 로봇과, 제2의 로봇과, 제1단락 플러그와, 제2단락 플러그를 더 구비하고, 상기 로봇의 제어장치는, 상기 전원공급단자, 제1입력단자, 제2입력단자, 및, 제3입력단자를 가지는 인터페이스 커넥터와, 상기 전원공급단자에 접속되는 제1단자, 상기 제2입력단자에 접속되는 제2단자, 및, 제3단자를 가지는 제1중계 커넥터와, 상기 제1중계 커넥터의 제3단자에 접속되는 제1단자, 상기 제3입력단자에 접속되는 제2단자, 및, 상기 제1입력단자에 접속되는 제3단자를 가지는 제2중계 커넥터를 더 구비하고, 상기 가반형 조작단말용 케이블의 선단에 부착된 커넥터를 통하여 상기 제1중계 커넥터의 제1단자 및 제2단자가 단락되는 제1의 접속태양(態樣)에서, 상기 제2입력단자에 전원전압이 입력된 경우에, 상기 가반형 조작단말과의 접속을 검지하여 상기 제1의 로봇의 동작모드를 교시모드로 전환함과 동시에 상기 제2의 로봇의 동작모드를, 교시모드 이외의 다른 동작모드로 전환하고, 상기 제1단락 플러그를 통하여 상기 제1중계 커넥터의 제1단자 및 제3단자가 단락되고, 상기 가반형 조작단말용 케이블의 선단에 부착된 커넥터를 통하여 상기 제2중계 커넥터의 제1단자 및 제2단자가 단락되는 제2의 접속태양에서, 상기 제3입력단자에 전원전압이 입력된 경우에, 상기 가반형 조작 단말과의 접속을 검지하여 상기 제2의 로봇의 동작모드를 교시모드로 전환함과 동시에 상기 제1의 로봇의 동작모드를, 교시모드 이외의 다른 동작모드로 전환하고, 상기 제1단락 플러그를 통하여 상기 제1중계 커넥터의 제1단자 및 제3단자가 단락되고, 상기 제2단락 플러그를 통하여 상기 제2중계 커넥터의 제1단자 및 제3단자가 단락되는 제3의 접속태양(態樣)에서, 상기 제1입력단자에 전원전압이 입력된 경우에, 상기 가반형 조작단말과의 비접속을 검지하여 상기 제1의 로봇 및 제2의 로봇의 동작모드를, 교시모드 이외의 다른 모드로 전환하여도 좋다.

상기 구성에 의하면, 2 대의 로봇에게 접속된 로봇의 제어장치와 티치 펜던트(가반형 조작 단말)와의 접속이 2 개의 중계 커넥터를 통하여 행해지므로, 오퍼레이터는 2 대의 로봇 및 그 제어장치가 설치된 설비(예를 들면 반도체 처리설비)로부터 떨어진 장소에서 티치 펜던트(가반형 조작 단말)의 착탈작업(모드전환)을 행할 수 있어, 설비 내로 들어가 작업을 할 필요가 없다. 따라서, 오퍼레이터의 작업부담이 경감된다.

또한, 상기 제1접속태양에서의 상기 제2의 로봇의 "교시모드 이외의 다른 동작모드"는 정지모드이고, 상기 제2접속태양에서의 상기 제1의 로봇의 "교시모드 이외의 다른 동작모드"는 정지모드라도 좋다. 또 제3접속태양(態樣)에서의 상기 제1의 로봇 및 제2의 로봇의 "교시모드 이외의 다른 동작모드"는 리피트 모드라도 좋다.

상기 로봇시스템에 있어서의 상기 로봇의 제어장치는 핫스왑(hot swap;

) 기능을 구비하고, 상기 로봇의 제어장치와 상기 가반형 조작단말을 접속하는 제어장치 측의 커넥터 및 가반형 조작단말 측의 커넥터는, 그라운드단자(ground terminal), 신호단자, 및 전원단자를 각각 가지고, 상기 양 커넥터의 접속시에는 최초에 상기 그라운드단자끼리가 접속되고, 상기 양 커넥터의 비접속시에는 마지막에 상기 그라운드단자끼리가 차단되도록 구성되어도 좋다.

상기 구성에 의하면, 로봇의 제어장치가 핫스왑(hot swap)기능을 구비하고 있으므로, 오퍼레이터는 로봇의 제어장치와 티치 펜던트(가반형 조작단말)을 접속하는 양 커넥터를 착탈할 때에 제어장치의 전원을 정지시킬 필요가 없으므로, 시스템의 재기동 등의 번잡한 조작이 불필요하게 된다. 따라서, 오퍼레이터의 작업부담이 경감된다. 또한, 상기 가반형 조작단말은, 티치 펜던트라도 좋으며, 태블릿 단말, 스마트폰 등의 휴대정보단말이어도 좋다.

본 발명의 한 태양(態樣)에 관계되는 로봇의 제어장치는, 교시기능을 가지는 가반형 조작단말을 통하여 로봇의 동작을 교시하기 위한 교시모드, 및, 상기 교시모드 이외의 다른 동작모드를 가지는 로봇의 제어장치로서, 상기 가반형 조작단말과의 전기적인 접속의 유무를 검지하고, 상기 가반형 조작단말과의 접속을 검지한 경우에는 상기 로봇의 동작모드를 교시모드로 전환하며, 상기 로봇 컨트롤러와 상기 가반형 조작단말과의 비접속을 검지한 경우에는 상기 로봇의 동작모드를, 상기 교시모드 이외의 다른 동작모드로 전환한다.

본 발명에 의하면, 오퍼레이터의 조작 미스를 미연에 방지하여, 로봇의 동작모드를 간단하게 또한 확실하게 전환할 수 있다.

도 1은, 본 발명의 제1실시형태에 관계되는 로봇시스템의 구성을 걔략적으로 보여주는 블록도이다.
도 2는 도 1의 로봇시스템에 있어서의 제1의 접속태양(態樣)을 보여주는 도면이다.
도 3은 제1의 접속태양에서의 커넥터의 기타 접속부분을 보여준 개략도이다.
도 4는 로봇시스템에 있어서의 제2의 접속태양을 보여주는 도면이다.
도 5는 도 1의 로봇시스템의 비교예에 관계되는 구성을 개략적으로 보여주는 블록도이다.
도 6은 본 발명의 제2실시형태에 관계되는 로봇시스템의 구성을 개략적으로 보여주는 블록도이다.
도 7은 로봇시스템에 있어서의 제1의 접속태양(態樣)을 보여주는 도면이다.
도 8은 로봇시스템에 있어서의 제2의 접속태양을 보여주는 도면이다.
도 9는 로봇시스템에 있어서의 제3의 접속태양을 보여주는 도면이다.

본 발명의 실시의 형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 이하에서는, 모든 도면을 통하여 동일 또는 상당하는 요소에는 동일한 부호를 붙이고 중복되는 설명은 생략한다.

(제1실시형태)

도 1은, 본 발명의 제1실시형태에 관계되는 로봇시스템(120)의 구성을 보여주는 그래프도이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 로봇시스템(120)은, 로봇(1)과, 로봇(1)의 동작을 제어하는 제어장치(7)와, 제어장치(7)에 접속 가능한 티치 펜던트(8)에 의해 구성된다. 티치 펜던트(8)는, 본 발명의 "가반형 조작단말"에 상당한다.

로봇(1)의 구성은 한정되지 않으나, 예를 들면 반도체 웨이퍼(wafer)를 보지(保持)하는 핸드(hand)를 구비한 수평다관절형의 로봇에 의해 실현된다. 본 실시형태에서는, 로봇(1)은, 반도체 웨이퍼를 처리하기 위한 반도체 처리설비(100) 내에 로봇(1)의 제어장치(7)와 함께 설치된다.

로봇(1)의 제어장치(7)에는 티치 펜던트(8)와 접속하기 위한 I/F 커넥터(10)가 설치되어 있다. I/F 커넥터(10)에는 소정 길이의 제어장치용 케이블(K1)이 접속되고, 그 선단에는 중계 커넥터(11)가 부착된다. 한편, 티치 펜던트(8)에는 소정 길이의 티치 펜던트용 케이블(K2)이 접속되고, 그 선단에는 중계 커넥터(11)에 장착 가능한 커넥터(이하, TP 커넥터라 칭함)(12)가 부착되어 있다. 티치 펜던트(8)는, 제어장치(7) 외부의 I/F 커넥터(10), 케이블(K1), 중계 커넥터(11), TP 커넥터 및 케이블(K2)을 통하여 제어장치(7)와 접속되고, 본 실시형태에서는 반도체 처리설비(100)의 외측에 배치된다.

제어장치(7)는, 예를 들면, CPU 등의 연산기를 가지는 제어부(70)와, 서보 제어부(71)와, ROM 및 RAM 등의 메모리를 가지는 기억부(72)와, 외부 I/F부(73)를 구비한다. 제어장치(7)는, 집중제어하는 단독의 제어장치로 구성되어 있어도 좋으며, 서로 협동하여 분산제어하는 복수의 제어장치로 구성되어도 좋다. 본 실시형태에서는, 제어부(70)는, 접속검지부(70a), 모드전환부(70b), 및, 모드실행부(70c)를 포함한다. 이들의 기능부(70a~70c)는, 기억부(72)에 저장된 소정의 제어프로그램을 제어부(70)가 실행함으로써 실현되는 기능 블록이다.

제어장치(7)는, 티치 펜던트(8)를 통하여 로봇(1)의 동작을 교시하기 위한 교시모드, 및, 교시모드 이외의 다른 동작모드를 가진다. 또한, 교시모드 이외의 다른 동작모드라 함은, 티치 펜던트(8)를 필요로 하지 않는 로봇(1)의 동작모드를 말한다.

접속검지부(70a)는, 제어장치(7)와 티치 펜던트(8)와의 전기적인 접속의 유무를 검지하도록 구성된다.

모드전환부(70b)는, 본 실시형태에서는, 접속검지부(70a)가 제어장치(7)와 티치 펜던트(8)와의 접속을 검지한 경우에는 로봇(1)의 동작모드를 교시모드로 전환하고, 제어장치(7)와 티치 펜던트(8)와의 비접속을 검지한 경우에는 로봇(1)의 동작모드를 리피트모드로 전환하도록 구성된다. 여기서, 교시모드라 함은, 로봇(1)으로 특정한 작업 등의 각종 동작을 행하기 위한 동작 프로그램 작성과 편집을 행하는 동작모드다. 리피트모드라 함은, 교시모드에 있어서 작성 또는 편집된 동작 프로그램의 재생을 행하여 목적이 되는 특정한 작업을 행하는 동작모드다. 리피트모드는 실행시에 티치 펜던트(8)를 필요로 하지 않는다.

모드실행부(70c)는, 모드전환부(70b)에 의해 결정된 로봇의 동작모드를 실행한다. 여기서 동작모드는, 교시모드 및 교시모드 이외의 다른 동작모드를 가리킨다. 교시모드 이외의 다른 동작모드에는, 교시모드에 의해 교시된 로봇(1)의 동작을 반복 실행하기 위한 리피트모드, 로봇의 정지모드가 포함된다.

모드실행부(70c)는, 교시모드의 경우는, 조작부(8b)에서 생성되는 조작정보에 따라서, 로봇 암(robot arm)(4)의 동작을 제어하도록 구성된다. 한편, 리피트모드의 경우는, 기억부(72)에 기록된 동작 프로그램에 따라서, 로봇 암(4)의 동작을 제어하도록 구성된다. 모드실행부(70c)는, 구체적으로는, 로봇(1)의 각 구동부(도시 생략)를 구동하는 서보 모터(도시 생략)의 위치지령값을 생성하고, 생성한 위치지령값과 서보 모터에 설치된 인코더(encoder)(도시 생략)의 검출값(실제값)의 편차에 근거하여 속도지령값을 생성한다. 그리고 생성한 속도지령값과 속도현재값의 편차에 근거하여 토오크 지령값(전류지령값)을 생성하고, 생성한 전류지령값과 전류센서(도시 생략)와의 편차의 검출값(실제값)에 근거하여 제어지령을 생성하여, 서보 제어부(71)로 출력한다.

서보 제어부(71)는, 모드실행부(70c)에 의해 생성된 제어지령에 근거하여 전류를 발생하고, 발생한 전류를, 로봇(1)의 각 구동부의 서보 모터에 흘려서 로봇(1)을 동작하게 한다.

기억부(72)에는 교시모드에서 작성된 교시 데이터가 소정의 동작 프로그램으로서 기억되고, 리피트모드에서 제어부(70)가 동작 프로그램을 읽어내어 실행함으로써, 로봇(1)의 동작이 제어된다. 소정의 동작 프로그램이라 함은, 예를 들어 로봇(1)의 핸드(2)를 소정의 위치로 이동시키는 명령이다.

티치 펜던트(8)는, 표시부(8a) 및 조작부(8b)를 가진다. 표시부(8a)는, 로봇(1)의 조작, 리피트 운전 또는 교시의 개시, 종료, 정지 및 교시점의 기록을 지령하기 위한 각종의 조작 키를 포함한다. 조작부(8b)는, 조작에 따른 조작정보를 생성하고, 생성된 조작정보는, 제어장치(7)로 출력하도록 구성된다. 제어장치(7)는, 조작부(8b)로부터의 조작정보나 각종 지령이 입력되고, 각종 지령값이나 연산결과 등을 표시부(8a)로 출력하도록 구성되어 있다. 오퍼레이터는, 반도체 처리설비(100)의 외측으로부터, 티치 펜던트(8)를 조작하여, 로봇(1)을 원격조작함으로써 교시작업을 행한다. 본 실시형태에서는, 로봇시스템(120)은 단락 플러그(9)를 더 구비한다. 오퍼레이터는 교시모드로부터 리피트모드로 전환할 때에는 이 단락 플러그(9)를 사용한다.

[동작예]

다음으로, 로봇시스템(120)의 동작예를 설명한다. 먼저, 오퍼레이터는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 티치 펜던트(8)를 사용하여 로봇(1)의 동작을 교시하기 위해, 티치 펜던트(8)를 제어장치(7)에 접속한다(제1의 접속태양). 제어장치용 케이블(K1)의 선단의 중계 커넥터(11)를 티치 펜던트용 케이블(K2)의 선단의 TP 커넥터(12)에 접속한다.

도 2는, 로봇시스템(120)에 있어서의 제1의 접속태양(態樣)을 개략적으로 보여주는 도면이다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 제어장치(7)의 I/F 커넥터(10)는, 제어장치(7) 내부의 전원(도시 생략)으로부터 전원전압(예를 들면 DC 24V)이 공급되는 전원공급단자(10a), 비접속(제2의 접속태양)을 나타내는 검지신호(예를 들면 DC 24V)가 입력되는 제1입력단자(10b), 및, 접속(제1의 접속태양)을 나타내는 검지신호(예를 들면 DC 24V)가 입력되는 제2입력단자(10c)를 가진다. 중계 커넥터(11)는, 제어장치용 케이블(K1)의 선단에 부착되고, I/F 커넥터(10)의 전원공급단자(10a)에 접속되는 제1단자(11a), I/F 커넥터(10)의 제2입력단자(10c)에 접속되는 제2단자(11b), 및, I/F 커넥터(10)의 제1입력단자(10b)에 접속되는 제3단자(11c)를 가진다.

티치 펜던트용 케이블(K2)의 선단의 TP 커넥터(12)는, 중계 커넥터(11)의 제1단자(11a) 및 제2단자(11b)를 단락하도록 구성되어 있다. TP 커넥터(12)에 의해 중계 커넥터(11)의 제1단자(11a) 및 제2단자(11b)가 단락된다.

제어장치(7)의 I/F 커넥터(10)의 전원공급단자(10a)로부터 전원전압(예를 들면 DC 24V)이 출력되고, 제어장치용 케이블(K1)을 통하여 중계 커넥터(11)의 제1단자(11a)에 전원전압이 입력된다. TP 커넥터(12)에 의해 중계 커넥터(11)의 제1단자(11a) 및 제2단자(11b)가 단락되어 있으므로, 중계 커넥터(11)의 제2단자(11b)로부터 출력된 전원전압은, 접속을 나타내는 검지신호로서, 제어장치용 케이블(K1)을 통하여 I/F 커넥터(10)의 제2입력단자(10c)에 입력된다(하이(high)레벨). 이때, 중계 커넥터(11)의 제3단자(11c)는 TP 커넥터(12)에 의해 단락되어 있으므로, 제3단자(11c)에 제어장치용 케이블(K1)을 통하여 접속된 I/F 커넥터(10)의 제1입력단자(10b)도 또한 단락된다. 본 실시형태에서는, 제1접속태양으로는 I/F 커넥터(10)의 제1입력단자(10b)에는 접지전위(로우(low)레벨)가 입력된다.

접속검지부(70a)는, I/F 커넥터(10)의 제2입력단자(10c)에 입력된 접속을 나타내는 검지신호(전원전압)를 검출함으로써, 제어장치(7)와 티치 펜던트(8)와의 접속을 검지한다. 이것에 의해, 모드전환부(70b)는, 로봇(1)의 동작모드를 교시모드로 전환한다.

도 3은, 제1의 접속태양에서의 중계 커넥터(11) 및 TP 커넥터(12)의 기타 접속부분을 보여준 개략도이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 중계 커넥터(11)는 전원단자(11d), 신호단자(11e) 및 그라운드단자(11f)를 구비한다. 전원단자(11d)에는 제어장치용 케이블(K1)의 전원라인이 접속되고, 신호단자(11e)는 조작정보나 각종 지령, 화상신호 등을 전송하는 제어장치용 케이블(K1)의 신호라인이 접속되고, 그라운드단자(11f)에는 제어장치용 케이블(K1)의 그라운드라인이 접속된다. TP 커넥터(12)는 전원단자(12d), 신호단자(12e) 및 그라운드단자(12f)를 구비한다. 전원단자(12d)에는 티치 펜던트용 케이블(K2)의 전원라인이 접속되고, 신호단자(12e)는 조작정보나 각종 지령, 화상신호 등을 전송하는 티치 펜던트용 케이블(K2)의 신호라인이 접속되고, 그라운드단자(12f)에는 티치 펜던트용 케이블(K2)의 그라운드라인이 접속된다.

로봇(1)의 제어장치(7)는 핫스왑(

) 기능을 구비하고, 중계 커넥터(11) 및 TP 커넥터(12)는 핫스왑 커넥터이다. 중계 커넥터(11) 및 TP 커넥터(12)는, 접속시에는 처음에 그라운드단자끼리(11f, 12f)가 접속되고, 비접속시에는 마지막에 그라운드단자끼리(11f, 12f)가 차단되도록 구성된다. 본 실시형태에서는, 접속시에는 그라운드단자(11f, 12f), 신호단자(11e, 12e), 전원단자(11d, 12d)의 순서로 접속되고, 비접속시에는 전원단자(11d, 12d), 신호단자(11e, 12e), 그라운드단자(11f, 12f)의 순서로 차단되도록 중계 커넥터(11)의 각 단자의 길이가 다르다. 또 본 실시형태에서는, 티치 펜던트(8)와 티치 펜던트용 케이블(K2)과의 사이에는 저항소자 R, 용량소자 C로 구성되는 돌입전류(突入電流) 억제회로가 설치된다.

이와 같은 구성에 의해, 오퍼레이터는, 제어장치(7)의 주전원을 정지시키지 않고, 제어장치(7)의 중계 커넥터(11)와 TP 커넥터(12)를 착탈할 수 있다. 제어장치(7)와 티치 펜던트(8)와의 접속이 검지되면, 로봇의 동작모드가 자동적으로 교시모드로 전환되므로, 오퍼레이터는, 교시모드에 있어서, 티치 펜던트(8)를 조작하여, 로봇(1)을 원격조작함으로써 교시작업을 행한다. 본 실시형태에서는, 모드실행부(70c)는, 조작부(8b)에서 생성되는 조작정보에 따라서, 특정한 조작을 행하도록 로봇 암(4)의 동작을 제어한다. 교시모드에서 작성 또는 편집된 소정의 동작 프로그램은 기억부(72)에 기억된다.

다음으로, 오퍼레이터는 교시모드에 의해 교시된 로봇(1)의 동작을 반복 실행할 수 있도록, 티치 펜던트(8)를 제어장치(7)로부터 떼어냄과 동시에 단락 플러그(9)를 중계 커넥터(11)에 접속한다. 도 4는, 로봇시스템(120)에 있어서의 제2의 접속태양을 개략적으로 보여주는 도면이다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 단락 플러그(9)는 중계 커넥터(11)의 제1단자(11a) 및 제3단자(11c)를 단락하도록 구성된다.

제어장치(7)의 I/F 커넥터(10)의 전원공급단자(10a)로부터 전원전압(예를 들면 DC 24V)이 출력되고, 제어장치용 케이블(K1)을 통하여 중계 커넥터(11)의 제1단자(11a)에 전원전압이 입력된다. 단락 플러그(9)에 의해 중계 커넥터(11)의 제1단자(11a) 및 제3단자(11c)가 단락되어 있으므로, 중계 커넥터(11)의 제3단자(11c)로부터 출력된 전원전압은, 비접속을 나타내는 검지신호로서, 제어장치용 케이블(K1)을 통하여 I/F 커넥터(10)의 제1입력단자(10b)에 입력된다(하이 레벨). 이 때, 중계 커넥터(11)의 제2단자(11b)는 단락 플러그(9)에 의해 단락되므로, 제2단자(11b)에 제어장치용 케이블(K1)을 통하여 접속된 I/F 커넥터(10)의 제2입력단자(10c)도 또한 단락된다. 본 실시형태에서는 제2접속태양으로는 I/F 커넥터(10)의 제2입력단자(10c)에는 접지전위(로우 레벨)가 입력된다.

접속검지부(70a)는, I/F 커넥터(10)의 제1입력단자(10b)에 입력된 비접속을 나타내는 검지신호(전원전압)를 검출함으로써, 제어장치(7)와 티치 펜던트(8)와의 비접속을 검지한다. 이것에 의해, 모드전환부(70b)는, 로봇(1)의 동작모드를 리피트모드로 전환한다. 즉, 제어장치(7)와 티치 펜던트(8)와의 비접속이 검지되면, 로봇의 동작모드가 자동적으로 교시모드로 전환된다.

모드실행부(70c)는, 교시모드에 있어서 작성 또는 편집된 동작 프로그램을 기억부(72)로부터 읽어내고, 동작 프로그램에 따라서, 특정한 작업을 행하도록 로봇 암(4)의 동작을 제어한다.

따라서, 본 실시형태에 의하면, 로봇(1)의 제어장치(7)와 티치 펜던트(8)와의 접속이 검지된 경우에는 로봇(1)의 동작모드가 교시모드로 전환되고, 제어장치(7)와 티치 펜던트(8)와의 비접속이 검지된 경우에는 로봇(1)의 동작모드가 리피트모드로 전환된다. 즉, 오퍼레이터는 제어장치(7)와 티치 펜던트(8)와의 착탈작업을 행하는 것 만으로 교시모드와 리피트모드의 전환이 자동으로 행해진다. 오퍼레이터는 모드전환조작이 불필요하게 되므로 작업부담이 경감된다. 따라서, 오퍼레이터의 조작 미스를 미연에 방지하여 로봇의 동작모드를 간단하게 또한 확실하게 전환할 수 있다.

또한, 본 실시형태에서는, 제2접속태양(도 4 참조)에서, I/F 커넥터(10)의 제1입력단자(10b)에 전원전압이 입력된 경우에는, 제어장치(7)는, 리피트모드로 전환하는 구성으로 하였으나, 티치 펜던트(8)를 필요로 하지 않는 동작모드이면 교시모드 이외의 다른 동작모드(예를 들면 정지모드)로 전환하여도 좋다.

또한, 본 실시형태에서는, 로봇(1)의 제어장치(7)와 티치 펜던트(8)와의 접속이 중계 커넥터(11)를 통하여 행해지므로(도 1 참조), 오퍼레이터는 반도체 처리설비(100)의 외측에서 착탈작업(모드전환)을 행할 수 있어, 설비 내로 들어가 작업을 할 필요가 없다. 따라서, 오퍼레이터의 작업부담이 경감된다.

또한, 제어장치(7)는 핫스왑(hot swap)기능을 구비하고 있으므로, 오퍼레이터는 제어장치(7)와 티치 펜던트(8)를 접속하는 중계 커넥터(11)와 TP 커넥터(12)를 착탈할 때에 제어장치(7)의 전원을 정지시킬 필요가 없다. 따라서, 시스템의 재기동 등의 번잡한 조작이 불필요하게 된다. 따라서, 오퍼레이터의 작업부담이 경감된다.

[비교예]

도 5는, 본 실시형태의 로봇시스템의 비교예에 관계되는 구성을 개략적으로 보여주는 블록도이다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 비교예의 로봇시스템(120B)은, 동작모드를 전환하기 위한 스위치(SW)를 가지는 조작박스(200)를, 티치 펜던트(8)와는 별도로 구비하는 점이 다르다. 비교예에서는, 오퍼레이터는 반도체 처리설비(100)의 외측에서 조작박스(200)의 스위치(SW)를 조작하여 동작모드를 전환한다. 교시모드에서는 티치 펜던트(8)를 조작하여 교시작업을 행한다. 한편, 리피트모드에서는 조작박스(20)와 티치 펜던트(8)와의 접속을 떼어내고, 단락 플러그(201)에 의해, 조작박스(200)의 단자를 단락시킨다.

비교예의 로봇시스템(120B)은 스위치(SW)를 조작하여 동작모드를 전환하는 구성이기 때문에, 조작박스(200)가 필수인 것에 대하여, 본 실시형태(도 1 참조)에서는, 티치 펜던트(8)와의 접속의 유무에 의해 동작모드를 전환하므로, 조작박스(200)를 설치할 필요가 없다. 본 실시형태에 의하면, 비교예의 로봇시스템(120b)과 비교하여 염가인 로봇시스템(120)을 실현할 수 있다.

(제2실시형태)

다음으로, 본 발명의 제2실시형태에 대하여 설명한다. 이하에서는, 제1실시형태와 공통되는 구성의 설명은 생략하고, 상이한 구성에 대해서만 설명한다.

도 6은, 본 발명의 제2실시형태에 관계되는 로봇시스템의 구성을 개략적으로 보여주는 프로그램도이다 도 6에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에서는, 로봇시스템(120A)은, 2 대의 로봇(1A) 및 로봇(1B)와, 2 개의 단락 플러그(9)와, 2 개의 중계 커넥터(11A 및 11B)를 구비하는 점이 제1실시형태(도 1)와 다르다. 본 실시형태에서는 제어장치용 케이블(K1)의 선단이 두 갈래로 분기하고, 제어장치용 케이블(K1)의 한쪽의 선단(先端)에 중계 커넥터(11A), 다른 쪽의 선단에 중계 커넥터(11B)가 각각 부착되어 있다.

[동작예]

다음으로, 로봇시스템(120A)의 동작예를 설명한다. 먼저, 오퍼레이터는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 티치 펜던트(8)를 사용하여 제1의 로봇(1A)의 동작을 교시하기 위해, 티치 펜던트(8)를 제어장치(7)에 접속한다(제1의 접속태양). 제어장치용 케이블(K1)의 한쪽의 선단의 중계 커넥터(11A)를 티치 펜던트용 케이블(K2)의 선단의 TP 커넥터(12)에 접속하고, 제어장치용 케이블(K1)의 다른 쪽의 선단의 중계 커넥터(11B)를 단락 플러그(9)에 접속한다.

도 7은, 로봇시스템(120A)에 있어서의 제1의 접속태양을 보여주는 도면이다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 제어장치(7A)의 I/F 커넥터(10A)는, 제어장치(7) 내부의 전원(도시 생략)으로부터 전원전압(예를 들면 DC 24V)이 공급되는 전원공급단자(10a), 비접속을 나타내는 검지신호(예를 들면 DC 24V)가 입력되는 제1입력단자(10b), 접속(제1의 접속태양)을 나타내는 검지신호(예를 들면 DC 24V)가 입력되는 제2입력단자(10c), 및, 접속(제2의 접속태양)을 나타내는 검지신호(예를 들면 DC 24V)가 입력되는 제3입력단자(10d)를 가진다.

제1중계 커넥터(11A)는, 제어장치용 케이블(K1)의 한쪽의 선단에 부착된다. 제1중계 커넥터(11A)는, I/F 커넥터(10A)의 전원공급단자(10a)에 접속되는 제1단자(11a), I/F 커넥터(10A)의 제2입력단자(10c)에 접속되는 제2단자(11b), 및, 제2중계 커넥터(11B)에 접속되는 제3단자(11c)를 가진다.

제2중계 커넥터(11B)는, 제어장치용 케이블(K1)의 다른 쪽의 선단에 부착된다. 제2중계 커넥터(11B)는, 제1중계 커넥터(11A)의 제3단자(11c)에 접속되는 제1단자(11a), I/F 커넥터(10A)의 제3입력단자(10d)에 접속되는 제2단자(11b), 및, I/F 커넥터(10A)의 제1입력단자(10b)에 접속되는 제3단자(11c)를 가진다.

티치 펜던트용 케이블(K2)의 선단의 TP 커넥터(12)는, 중계 커넥터(11A)의 제1단자(11a) 및 제2단자(11b)를 단락하도록 구성되어 있다. TP 커넥터(12)에 의해 중계 커넥터(11A)의 제1단자(11a) 및 제2단자(11b)가 단락된다. 단락 플러그(9)는, 중계 커넥터(11B)의 제1단자(11a) 및 제3단자(11c)를 단락하도록 구성되어 있다. 단락 플러그(9)에 의해 중계 커넥터(11B)의 제1단자(11a) 및 제3단자(11c)가 단락된다.

제어장치(7A)의 I/F 커넥터(10A)의 전원공급단자(10a)로부터 전원전압(예를 들면 DC 24V)이 출력되고, 제어장치용 케이블(K1)을 통하여 중계 커넥터(11A)의 제1단자(11a)에 전원전압이 입력된다. TP 커넥터(12)에 의해 중계 커넥터(11A)의 제1단자(11a) 및 제2단자(11b)가 단락되어 있으므로, 중계 커넥터(11A)의 제2단자(11b)로부터 출력된 전원전압은, 제어장치용 케이블(K1)을 통하여 I/F 커넥터(10A)의 제2입력단자(10c)에 입력된다(하이 레벨).

한편, 중계 커넥터(11A)의 제3단자(11c)는 TP 커넥터(12)에 의해 단락되어 있으므로, 중계 커넥터(11B)의 제1단자(11a)도 또한 단락된다. 단락 플러그(9)에 의해 중계 커넥터(11B)의 제1단자(11a) 및 제3단자(11c)가 단락되므로, 중계 커넥터(11B)의 제3단자(11c)에 제어장치용 케이블(K1)을 통하여 접속된 I/F 커넥터(10A)의 제1입력단자(10b)도 또한 단락된다. 이 때, 중계 커넥터(11B)의 제2단자(11b)는 단락 플러그(9)에 의해 단락되어 있으므로, 중계 커넥터(11B)의 제2단자(11b)에 제어장치용 케이블(K1)을 통하여 접속된 I/F 커넥터(10A)의 제3입력단자(10d)도 또한 단락된다. 본 실시형태에서는 제1접속태양으로는 I/F 커넥터(10A)의 제1입력단자(10b) 및 제3입력단자(10d)에는 접지전위(로우 레벨)가 입력된다.

접속검지부(70a)는, I/F 커넥터(10A)의 제2입력단자(10c)에 입력된 접속을 나타내는 검지신호(하이레벨신호)를 검출함으로써, 제어장치(7)와 티치 펜던트(8)와의 접속(제1접속태양)을 검지한다. 본 실시형태에서는, 모드전환부(70b)는, 제1의 로봇(1A)의 동작모드를 교시모드로 전환하고, 제2의 로봇(1B)의 동작을 정지시킨다.

다음으로, 오퍼레이터는, 티치 펜던트(8)를 사용하여 제2의 로봇(1B)의 동작을 교시하기 위해, 티치 펜던트(8)를 제어장치(7)에 접속한다(제2의 접속태양). 도 8은, 로봇시스템(120A)에 있어서의 제2의 접속태양을 보여주는 도면이다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 제어장치용 케이블(K1)의 한쪽의 선단의 중계 커넥터(11A)를 단락 플러그(9)에 접속하고, 제어장치용 케이블(K1)의 다른 쪽의 선단의 중계 커넥터(11B)를 티치 펜던트용 케이블(K2)의 선단의 TP 커넥터(12)에 접속한다.

단락 플러그(9)를 통하여 제1중계 커넥터(11A)의 제1단자(11a) 및 제3단자(11c)가 단락된다. 한편, 티치 펜던트용 케이블(K2)의 선단에 부착된 TP 커넥터(12)를 통하여 제2중계 커넥터(11B)의 제1단자(11a) 및 제2단자(11b)가 단락되고, I/F 커넥터(10A)의 제3입력단자(10d)에 전원전압이 입력된다(하이 레벨).

한편, 중계 커넥터(11A)의 제2단자(11b)는 단락 플러그(9)에 의해 단락되어 있으므로, 제어장치용 케이블(K1)을 통하여 접속된 I/F 커넥터(10A)의 제2입력단자(10c)도 또한 단락된다. 또 중계 커넥터(11B)의 제3단자(11c)는 TP 커넥터(12)에 의해 단락되어 있으므로, 제어장치용 케이블(K1)을 통하여 접속된 I/F 커넥터(10A)의 제1입력단자(10b)도 또한 단락된다. 본 실시형태에서는 제2접속태양으로는 I/F 커넥터(10A)의 제1입력단자(10b) 및 제2입력단자(10c)에는 접지전위(로우 레벨)가 입력된다.

접속검지부(70a)는, I/F 커넥터(10A)의 제3입력단자(10d)에 입력된 접속을 나타내는 검지신호(전위전압)를 검출함으로써, 제어장치(7)와 티치 펜던트(8)와의 접속을 검지한다. 본 실시형태에서는, 모드전환부(70b)는, 제2의 로봇(1B)의 동작모드를 교시모드로 전환함과 동시에 함께 제1의 로봇(1A)의 동작을 정지시킨다.

마지막으로, 오퍼레이터는 교시모드에 의해 교시된 제1의 로봇(1A) 및 제2의 로봇(1B)의 동작을 반복 실행하기 위해, 티치 펜던트(8)를 제어장치(7)로부터 떼어낸다(제3의 접속태양). 도 9는, 로봇시스템(120A)에 있어서의 제3의 접속태양을 보여주는 도면이다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 2 개의 단락 플러그(9)를 제어장치용 케이블(K1)의 선단의 중계 커넥터(11A) 및 (11B)에 각각 접속한다.

제1의 단락 플러그(9)에 의해 제1중계 커넥터(11A)의 제1단자(11a) 및 제3단자(11c)가 단락되고, 제2의 단락 플러그(9)에 의해 제2중계 커넥터(11B)의 제1단자(11a) 및 제3단자(11c)가 단락된다.

제어장치(7A)의 I/F 커넥터(10A)의 전원공급단자(10a)로부터 전원전압(예를들면 2V)이 출력되고, 제어장치용 케이블(K1)을 통하여 제1중계 커넥터(11A)의 제1단자(11a)에 전원전압이 입력된다. 제1의 단락 플러그(9)에 의해 제1중계 커넥터(11A)의 제1단자(11a) 및 제3단자(11c)가 단락되어 있으므로, 제1중계 커넥터(11A)의 제3단자(11c)로부터 출력된 전원전압은, 제어장치용 케이블(K1)을 통하여 제2중계 커넥터(11B)의 제1단자(11a)에 입력된다. 제2의 단락 플러그(9)에 의해 제2중계 커넥터(11B)의 제1단자(11a) 및 제3단자(11c)가 단락되어 있으므로, 제2중계 커넥터(11B)의 제3단자(11c)로부터 출력된 전원전압은, 제어장치용 케이블(K1)을 통하여 I/F 커넥터(10A)의 제1입력단자(10b)에 입력된다(하이 레벨).

한편, 중계 커넥터(11A)의 제2단자(11b)는 제1의 단락 플러그(9)에 의해 단락되어 있으므로, 제어장치용 케이블(K1)을 통하여 접속된 I/F 커넥터(10A)의 제2입력단자(10c)도 또한 단락된다. 또 중계 커넥터(11B)의 제2단자(11b)는 제2의 단락 플러그(9)에 의해 단락되어 있으므로, 제어장치용 케이블(K1)을 통하여 접속된 I/F 커넥터(10A)의 제3입력단자(10d)도 또한 단락된다. 본 실시형태에서는 제3접속태양으로는 I/F 커넥터(10A)의 제2입력단자(10c) 및 제3입력단자(10d)에는 접지전위(로우 레벨)가 입력된다.

접속검지부(70a)는, I/F 커넥터(10A)의 제1입력단자(10b)에 입력된 접속을 나타내는 검지신호(전원전압)를 검출함으로써, 제어장치(7)와 티치 펜던트(8)와의 비접속을 검지한다. 본 실시형태에서는, 모드전환부(70b)는, 제1의 로봇(1A) 및 제2의 로봇(1B)의 동작모드를 리피트모드로 전환한다.

따라서, 본 실시형태에 의하면, 오퍼레이터는 2 대의 로봇(1A, 1B)에 접속된 제어장치(7A)와 티치 펜던트(8)와의 착탈작업을 행하는 것만으로 교시모드와 리피트모드의 전환이 자동으로 행해진다. 즉, 제어장치(7A)와 티치 펜던트(8)와의 접속이 2 개의 중계 커넥터(11A, 11B)를 통하여 행해지므로, 오퍼레이터는 반도체 처리설비(100)의 외측에서 티치 펜던트(8)의 착탈작업(모드전환)을 행할 수 있어, 설비 내로 들어가서 작업을 할 필요가 없다. 따라서, 오퍼레이터의 작업부담이 경감된다.

또한, 본 실시형태에서는, 제어장치(7A)는, 제1접속태양(도 7 참조) 또는 제2접속태양(도 8 참조)에 있어서, 한쪽의 로봇(1A(1B))이 교시모드인 경우는, 다른 쪽의 로봇(1B(1A))의 동작을 정지시킴으로써, 로봇시스템(120A)을 안전하게 운전시킬 수 있다.

또한, 본 실시형태에서는, 제3접속태양(도 9 참조)에 있어서, I/F 커넥터(10A)의 제1입력단자(10b)에 전원전압(하이 레벨)이 입력된 경우에는, 제어장치(7A)는, 리피트모드로 전환하는 방식의 구성으로 하였으나, 티치 펜던트(8)를 필요로 하지 않는 동작모드이면 교시모드 이외의 다른 동작모드로 전환하여도 좋다.

(기타 실시형태)

또한, 상기 각 실시형태의 로봇(1)은, 수평다관절형의 로봇에 의해 실현되었으나, 티치 펜던트에 접속되어 교시모드와 리피트모드를 가지는 로봇이면, 수직다관절 로봇이어도 좋다. 또 로봇(1)의 용도는 기판반송이나 용접(容接) 등의 산업용도에 한정되지 않는다.

또한, 상기 각 실시형태의 로봇시스템(120)에서는, 핫스왑(hot swap;

)기능을 구비하고, 중계 커넥터는 핫스왑(hot swap) 커넥터를 사용하며, 그 인터페이스 규격에 대하여는 한정하고 있지 않았으나, USB, IEEE1394 대응의 I/F에 의해 접속/비접속을 검지하여, 동작모드를 전환하는 구성이라도 좋다.

또한, 상기 각 실시형태의 로봇(1) 및 그 제어장치(7)의 설치장소는, 반도체 처리설비(100) 내부에 설치되었으나, 안전방호책의 내부에 설치되어도 좋다. 또 설치장소에 제한을 두지 않아도 좋다.

또한, 각 실시형태의 가반형 조작단말은 티치 펜던트(8)이었으나, 교시기능을 갖고 있으면 태블릿 단말, 스마트 폰 등의 휴대정보단말이어도 좋다.

또한, 상기 각 실시형태의 제어장치7(7A)는, I/F 커넥터(10(10A))의 각 입력단자(10b~10d)중 어느 하나에 하이레벨신호(전원전압)가 입력된 경우에 접속/비접속을 판정하고, 동작모드를 전환하는 구성이었으나, 신호의 레벨이 반대여도 좋다. 즉, 각 입력단자 중 어느 하나에 로우레벨신호(예를 들면 접지전위)가 입력된 경우에 접속/비접속을 판정하고, 동작모드를 전환하는 구성이어도 좋다.

상기 설명으로부터 통상의 기술자에게는, 본 발명의 많은 개량이나 다른 실시형태가 명백하다. 따라서, 상기 설명은, 예시로서만 해석되어야 하며, 본 발명을 실행하는 최선의 태양을 통상의 기술자에게 교시하는 목적으로 제공된 것이다. 본 발명의 정신을 일탈하지 않고, 그 구조 및/또는 기능의 상세를 실질적으로 변경할 수 있다.

본 발명은, 교시모드 및 교시모드 이외의 다른 동작모드를 가지는 로봇시스템에 유용하다.

1, 1A, 1B: 로봇
7, 7A: 로봇의 제어장치
8: 티치 펜던트 (가반형(可搬型) 조작단말)
8a: 조작부
8b: 표시부
9: 단락 플러그
10: I/F 커넥터
10a: 전원단자
10b: 제1입력단자
10c: 제2입력단자
10d: 제3입력단자
11: 중계 커넥터
11a: 제1단자
11b: 제2단자
11c: 제3단자
12: TP 커넥터
70: 연산부
70a: 접속검지부
70b: 모드전환부
70c: 모드실행부
71: 서보 제어부
72: 기억부
73: I/F
100: 반도체 처리설비
120, 120A, 120B: 로봇시스템
200: 조작박스

Claims

로봇; 교시(敎示) 기능을 가지는 가반형(可搬型) 조작단말; 상기 가반형 조작단말을 통하여 상기 로봇의 동작을 교시하기 위한 교시모드 및 상기 교시모드 이외의 동작모드를 가지는 로봇의 제어장치를 구비하는 로봇시스템에 있어서,
상기 제어장치는, 상기 가반형 조작단말과의 전기적인 접속의 유무를 검지하고, 상기 가반형 조작단말과의 접속을 검지한 경우에는 상기 로봇의 동작모드를 교시모드로 전환하며, 상기 제어장치와 상기 가반형 조작단말과의 비접속을 검지한 경우에는 상기 로봇의 동작모드를 상기 교시모드 이외의 다른 동작모드로 전환하는, 로봇시스템.
제1항에 있어서,
단락 플러그를 더 구비하고,
상기 로봇의 제어장치는,
전원공급단자, 제1입력단자, 및 제2입력단자를 가지는 인터페이스 커넥터(interface connector);
상기 전원공급단자에 접속되는 제1단자 및 상기 제2입력단자에 접속되는 제2단자 및 제1입력단자에 접속되는 제3단자를 가지는 중계 커넥터를 더 구비하고,
상기 가반형 조작단말용 케이블의 선단에 부착된 커넥터를 통하여 상기 중계 커넥터의 제1단자 및 제2단자가 단락되는 제1의 접속태양에서, 상기 제2입력단자에 전원전압이 입력된 경우에, 상기 가반형 조작단말과의 접속을 검지하여 상기 로봇의 동작모드를 교시모드로 전환하고,
상기 단락 플러그를 통하여 상기 중계 커넥터의 제1단자 및 제3단자가 단락되는 제2의 접속태양에서, 상기 제1입력단자에 전원전압이 입력된 경우에, 상기 가반형 조작단말과의 비접속을 검지하여 상기 로봇의 동작모드를 상기 교시모드 이외의 다른 동작모드로 전환하는, 로봇시스템.
제2항에 있어서,
상기 제2의 접속태양에서의 상기 교시모드 이외의 다른 동작모드는, 리피트모드(repeat mode)인, 로봇시스템.
제1항에 있어서,
제1의 로봇; 제2의 로봇; 제1단락 플러그; 제2단락 플러그를 더 구비하고,
상기 로봇의 제어장치는,
상기 전원공급단자, 제1입력단자, 제2입력단자 및 제3입력단자를 가지는 인터페이스 커넥터(interface connector);
상기 전원공급단자에 접속되는 제1단자, 상기 제2입력단자에 접속되는 제2단자 및 제3단자를 가지는 제1중계 커넥터;
상기 제1중계 커넥터의 제3단자에 접속되는 제1단자, 상기 제3입력단자에 접속되는 제2단자 및 상기 제1입력단자에 접속되는 제3단자를 가지는 제2중계 커넥터를 더 구비하고,
상기 가반형 조작단말용 케이블의 선단에 부착된 커넥터를 통하여 상기 제1중계 커넥터의 제1단자 및 제2단자가 단락되는 제1의 접속태양에서, 상기 제2입력단자에 전원전압이 입력된 경우에, 상기 가반형 조작단말과의 접속을 검지하여 상기 제1의 로봇의 동작모드를 교시모드로 전환함과 동시에 상기 제2의 로봇의 동작모드를 교시모드 이외의 다른 동작모드로 전환하고,
상기 제1단락 플러그를 통하여 상기 제1중계 커넥터의 제1단자 및 제3단자가 단락되고, 상기 가반형 조작단말용 케이블의 선단에 부착된 커넥터를 통하여 상기 제2중계 커넥터의 제1단자 및 제2단자가 단락되는 제2의 접속태양에서, 상기 제3입력단자에 전원전압이 입력된 경우에, 상기 가반형 조작단말과의 접속을 검지하여 상기 제2의 로봇의 동작모드를 교시모드로 전환함과 동시에 상기 제1의 로봇의 동작모드를 교시모드 이외의 다른 동작모드로 전환하고,
상기 제1단락 플러그를 통하여 상기 제1중계 커넥터의 제1단자 및 제3단자가 단락되고, 상기 제2단락 플러그를 통하여 상기 제2중계 커넥터의 제1단자 및 제3단자가 단락되는 제3의 접속태양에서, 상기 제1입력단자에 전원전압이 입력된 경우에, 상기 가반형 조작단말과의 비접속을 검지하여 상기 제1의 로봇 및 제2의 로봇의 동작모드를 교시모드 이외의 다른 동작모드로 전환하는, 로봇시스템.
제4항에 있어서,
상기 제1의 접속태양에서의 상기 제2의 로봇의 상기 교시모드 이외의 다른 동작모드는 정지모드이고, 상기 제2의 접속태양에서의 상기 제1의 로봇의 상기 교시모드 이외의 다른 동작모드는 정지모드인, 로봇시스템.
제4항 또는 제5항에 있어서,
상기 제3의 접속태양에서의 상기 제1의 로봇 및 제2의 로봇의 상기 교시모드 이외의 다른 동작모드는 리피트 모드인, 로봇시스템.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 로봇의 제어장치는 핫스왑(hot swap)기능을 구비하고,
상기 로봇의 제어장치와 상기 가반형 조작단말을 접속하는 제어장치 측의 커넥터 및 가반형 조작단말 측의 커넥터는, 그라운드단자(ground terminal), 신호단자, 및 전원단자를 각각 가지며,
상기 양 커넥터의 접속 시에는 최초에 상기 그라운드단자끼리 접속되고, 상기 양 커넥터의 비접속시에는 마지막에 상기 그라운드단자끼리 차단되도록 구성되는, 로봇시스템.
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 가반형 조작단말은, 티치 펜던트(teach pendant)인, 로봇시스템.
교시기능을 가지는 가반형 조작단말을 통하여 로봇의 동작을 교시하기 위한 교시모드 및 상기 교시모드 이외의 다른 동작모드를 가지는 로봇의 제어장치에 있어서,
상기 가반형 조작단말과의 전기적인 접속의 유무를 검지하고, 상기 가반형 조작단말과의 접속을 검지한 경우에는 상기 로봇의 동작모드를 교시모드로 전환하고, 상기 로봇 컨트롤러와 상기 가반형 조작단말과의 비접속을 검지한 경우에는 상기 로봇의 동작모드를 상기 교시모드 이외의 다른 동작모드로 전환하는, 로봇의 제어장치.