KR102339973B1 - 산업용 로봇 - Google Patents

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겐이치로 가네코
다카히로 시라키
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니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
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Abstract

2개의 아암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 공통 아암을 구비하는 산업용 로봇에 있어서, 산업용 로봇의 조립 후에도, 용이하게, 수평 방향에 대한 한쪽 아암의 기울기와 수평 방향에 대한 다른쪽 아암의 기울기를 개별로 조정하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공한다.
산업용 로봇(1)은 핸드(4, 5)와, 핸드(4)가 선단측에 연결되는 아암(6)과, 핸드(5)가 선단측에 연결되는 아암(7)과, 아암(6, 7)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 공통 아암(8)과, 공통 아암(8)이 회동 가능하게 연결되는 본체부(9)를 구비하고 있다. 공통 아암(8)은 본체부(9)에 연결되는 베이스부(20)와, 아암(6)의 기단부측이 연결되는 제1 아암 연결부(21)와, 아암(7)의 기단부측이 연결되는 제2 아암 연결부(22)를 구비하고 있고, 베이스부(20)와 별체로 형성되는 제1 아암 연결부(21) 및 제2 아암 연결부(22)가 베이스부(20)에 착탈 가능하게 고정되어 있다.

Description

산업용 로봇{INDUSTRIAL ROBOT}
본 발명은 2개의 아암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 공통 아암을 구비하는 산업용 로봇에 관한 것이다.
종래, 반도체 웨이퍼를 반송하는 산업용 로봇이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 반도체 웨이퍼가 탑재되는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 제1 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제1 아암과, 제2 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제2 아암과, 제1 아암의 기단부측 및 제2 아암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 공통 아암과, 공통 아암이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고 있다. 또한, 이 산업용 로봇은, 제1 아암에 대하여 제1 핸드를 회동시킴과 함께 공통 아암에 대하여 제1 아암을 회동시키는 제1 회동 기구와, 제2 아암에 대하여 제2 핸드를 회동시킴과 함께 공통 아암에 대하여 제2 아암을 회동시키는 제2 회동 기구를 구비하고 있다.
제1 회동 기구는, 본체부의 일부를 구성하는 중실 회전축과, 중실 회전축을 회동시키는 모터와, 공통 아암의 내부에 배치되고 중실 회전축의 상단부측에 고정되는 제1 풀리와, 공통 아암에 고정되는 제1 고정축과, 제1 고정축에 회동 가능하게 보유 지지됨과 함께 공통 아암의 내부에 배치되고 제1 아암의 기단부측에 고정되는 제2 풀리와, 제1 풀리와 제2 풀리에 걸쳐지는 벨트와, 제1 고정축의 상단부측에 고정되고 제1 아암의 내부에 배치되는 제3 풀리와, 제1 아암의 선단측에 고정되는 제2 고정축과, 제2 고정축에 회동 가능하게 보유 지지됨과 함께 제1 아암의 내부에 배치되고 제1 핸드에 고정되는 제4 풀리와, 제3 풀리와 제4 풀리에 걸쳐지는 벨트를 구비하고 있다.
마찬가지로, 제2 회동 기구는, 본체부의 일부를 구성하는 중공 회전축과, 중공 회전축을 회동시키는 모터와, 공통 아암의 내부에 배치되고 중공 회전축의 상단부측에 고정되는 제5 풀리와, 공통 아암에 고정되는 제3 고정축과, 제3 고정축에 회동 가능하게 보유 지지됨과 함께 공통 아암의 내부에 배치되고 제2 아암의 기단부측에 고정되는 제6 풀리와, 제5 풀리와 제6 풀리에 걸쳐지는 벨트와, 제2 고정축의 상단부측에 고정되고 제2 아암의 내부에 배치되는 제7 풀리와, 제2 아암의 선단측에 고정되는 제4 고정축과, 제4 고정축에 회동 가능하게 보유 지지됨과 함께 제2 아암의 내부에 배치되고 제2 핸드에 고정되는 제8 풀리와, 제7 풀리와 제8 풀리에 걸쳐지는 벨트를 구비하고 있다.
국제 공개 제2009/028178호
특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에서는, 제1 아암의 기단부측에 고정되는 제2 풀리가, 공통 아암에 고정되는 제1 고정축에 회동 가능하게 보유 지지되어 있기 때문에, 산업용 로봇의 조립 후에, 수평 방향에 대한 공통 아암의 기울기를 조정함으로써, 수평 방향에 대한 제1 아암의 기울기를 조정하는 것이 가능하다. 또한, 이 산업용 로봇에서는, 제2 아암의 기단부측에 고정되는 제6 풀리가, 공통 아암에 고정되는 제3 고정축에 회전 가능하게 보유 지지되어 있기 때문에, 산업용 로봇의 조립 후에, 수평 방향에 대한 공통 아암의 기울기를 조정함으로써, 수평 방향에 대한 제2 아암의 기울기를 조정하는 것이 가능하다.
그러나, 이 산업용 로봇에서는, 제1 고정축 및 제3 고정축이 공통 아암에 고정되어 있기 때문에, 수평 방향에 대한 제1 아암의 기울기를 조정하면, 수평 방향에 대한 제2 아암의 기울기가 바뀌고, 수평 방향에 대한 제2 아암의 기울기를 조정하면, 수평 방향에 대한 제1 아암의 기울기가 바뀐다. 즉, 이 산업용 로봇에서는, 산업용 로봇의 조립 후에, 수평 방향에 대한 제1 아암의 기울기와 수평 방향에 대한 제2 아암의 기울기를 개별로 조정하는 것은 곤란하다.
따라서, 본 발명의 과제는, 제1 아암의 기단부측 및 제2 아암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 공통 아암을 구비하는 산업용 로봇에 있어서, 산업용 로봇의 조립 후에도, 용이하게, 수평 방향에 대한 제1 아암의 기울기와 수평 방향에 대한 제2 아암의 기울기를 개별로 조정하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공하는 데 있다.
상기의 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 산업용 로봇은, 반송 대상물이 탑재되는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 제1 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제1 아암과, 제2 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제2 아암과, 제1 아암의 기단부측 및 제2 아암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 공통 아암과, 공통 아암이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고, 공통 아암은, 본체부에 연결되는 베이스부와, 제1 아암의 기단부측이 연결되는 제1 아암 연결부와, 제2 아암의 기단부측이 연결되는 제2 아암 연결부를 구비하고, 베이스부와 제1 아암 연결부와 제2 아암 연결부는 별체로 형성되고, 제1 아암 연결부 및 제2 아암 연결부는, 베이스부에 착탈 가능하게 고정되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 산업용 로봇에서는, 본체부에 연결되는 베이스부와, 제1 아암의 기단부측이 연결되는 제1 아암 연결부와, 제2 아암의 기단부측이 연결되는 제2 아암 연결부가 별체로 형성되고, 제1 아암 연결부 및 제2 아암 연결부는, 베이스부에 착탈 가능하게 고정되어 있다. 그로 인해, 본 발명에서는, 산업용 로봇의 조립 후에, 베이스부에 대한 제1 아암 연결부의 고정 위치나 기울기를 조정함으로써, 수평 방향에 대한 제1 아암의 기울기를 조정해도, 수평 방향에 대한 제2 아암의 기울기는 변동되지 않는다. 또한, 산업용 로봇의 조립 후에, 베이스부에 대한 제2 아암 연결부의 고정 위치나 기울기를 조정함으로써, 수평 방향에 대한 제2 아암의 기울기를 조정해도, 수평 방향에 대한 제1 아암의 기울기는 변동되지 않는다. 따라서, 본 발명에서는, 산업용 로봇의 조립 후에도, 용이하게, 수평 방향에 대한 제1 아암의 기울기와 수평 방향에 대한 제2 아암의 기울기를 개별로 조정하는 것이 가능해진다.
본 발명에 있어서, 예를 들어, 베이스부는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 직사각 형상이 되는 직육면체 형상으로 형성되고, 제1 아암 연결부 및 제2 아암 연결부는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 대략 L 형상으로 되는 블록형으로 형성되고, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 제1 아암 연결부는, 베이스부의 길이 방향의 일단부에 고정되고, 제2 아암 연결부는, 베이스부의 길이 방향의 타단부에 고정되어 있다. 상하 방향으로부터 보았을 때의 제1 아암 연결부 및 제2 아암 연결부의 형상이 대략 L 형상으로 되어 있으면, 절삭 가공에 의해 공통 아암을 일체로 제조하는 경우에, 공통 아암을 제조하기 위하여 필요한 재료의 크기가 커질 우려가 있지만, 본 발명에서는, 베이스부와 제1 아암 연결부와 제2 아암 연결부가 별체로 형성되어 있기 때문에, 절삭 가공에 의해 공통 아암을 제조하는 경우에, 공통 아암을 제조하기 위하여 필요한 재료의 크기를 작게 하는 것이 가능해진다. 따라서, 공통 아암을 저비용으로 제조하는 것이 가능해진다.
본 발명에 있어서, 산업용 로봇은, 예를 들어, 제1 아암에 대하여 제1 핸드를 회동시킴과 함께 공통 아암에 대하여 제1 아암을 회동시키는 제1 모터와, 제2 아암에 대하여 제2 핸드를 회동시킴과 함께 공통 아암에 대하여 제2 아암을 회동시키는 제2 모터를 구비하고, 제1 모터는 제1 아암 연결부에 고정되고, 제2 모터는 제2 아암 연결부에 고정되어 있다. 이 경우에는, 제1 모터 및 제2 모터가 본체부의 내부에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 제1 모터의 동력 전달 기구의 구성 및 제2 모터의 동력 전달 기구의 구성을 간소화하는 것이 가능해진다.
또한, 이 경우에는, 산업용 로봇은, 제1 아암과 공통 아암의 연결 부분인 제1 관절부를 구성함과 함께 제1 모터에 연결되는 제1 감속기와, 제2 아암과 공통 아암의 연결 부분인 제2 관절부를 구성함과 함께 제2 모터에 연결되는 제2 감속기를 구비하고, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 제1 모터의 축심과 제1 감속기의 축심이 어긋나 있고, 제2 모터의 축심과 제2 감속기의 축심이 어긋나 있는 것이 바람직하다. 이렇게 구성하면, 제1 모터와 제1 감속기가 동축 상에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 제1 모터의 배치 자유도를 높이는 것이 가능해진다. 또한, 제2 모터와 제2 감속기가 동축 상에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 제2 모터의 배치 자유도를 높이는 것이 가능해진다. 또한, 이렇게 구성하면, 제1 감속기나 제2 감속기가, 그 직경 방향의 중심으로 관통 구멍이 형성된 중공 감속기라면, 에어 튜브나 배선 케이블을 관통 구멍에 통과시키는 것이 가능해진다.
본 발명에 있어서, 상하 방향으로부터 보았을 때에 가늘고 긴 직사각 형상을 이루는 베이스부의 짧은 변에 평행한 직선이며 본체부에 대한 공통 아암의 회동 중심을 통과하는 직선을 가상선이라 하면, 예를 들어, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 제1 아암 연결부와 제2 아암 연결부는, 가상선에 대하여 선대칭으로 형성되어 있다.
본 발명에 있어서, 산업용 로봇은, 제1 아암에 대하여 제1 핸드를 회동시킴과 함께 공통 아암에 대하여 제1 아암을 회동시키는 제1 모터와, 제2 아암에 대하여 제2 핸드를 회동시킴과 함께 공통 아암에 대하여 제2 아암을 회동시키는 제2 모터를 구비하고, 제1 모터는 제1 아암 연결부에 고정되고, 제2 모터는 제2 아암 연결부에 고정되고, 제1 모터의 적어도 일부 및 제2 모터의 적어도 일부는, 공통 아암의 하면으로부터 하측으로 돌출됨과 함께, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 제1 모터 및 제2 모터는 본체부보다도 본체부의 외주측에 배치되어 있는 것이 바람직하다.
이렇게 구성하면, 제1 모터가 제1 아암 연결부에 고정되고, 제2 모터가 제2 아암 연결부에 고정되어 있기 때문에, 본체부의 내부에 제1 모터 및 제2 모터가 배치되어 있는 경우와 비교하여, 본체부의 높이를 낮게 하는 것이 가능해진다. 또한, 이렇게 구성하면, 제1 모터의 적어도 일부 및 제2 모터의 적어도 일부가 공통 아암의 하면으로부터 하측으로 돌출되어 있기 때문에, 제1 모터의 전체 및 제2 모터의 전체가 공통 아암의 내부에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 공통 아암의 높이를 낮게 하는 것이 가능해진다. 또한, 이렇게 구성하면, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 제1 모터 및 제2 모터가 본체부보다도 본체부의 외주측에 배치되어 있기 때문에, 제1 모터 및 제2 모터가 상하 방향으로 본체부와 중첩되어 있는 경우와 비교하여, 상하 방향에 있어서의 본체부와 공통 아암의 거리를 가깝게 하는 것이 가능해진다. 따라서, 제1 핸드 및 제2 핸드가 액세스 가능한 최저 높이(패스 라인)를 낮게 하는 것이 가능해진다.
본 발명에 있어서, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 공통 아암에 대한 제1 아암의 회동 중심과, 본체부에 대한 공통 아암의 회동 중심과, 공통 아암에 대한 제2 아암의 회동 중심을 순차 연결하는 선은 V자를 이루고 있는 것이 바람직하다. 이렇게 구성하면, 제1 핸드와 제2 핸드를 상하 방향으로 중첩하는 것이 가능해진다. 따라서, 제1 핸드에 의한 반송 대상물의 반입 반출 동작의 방향과, 제2 핸드에 의한 반송 대상물의 반입 반출 동작의 방향이 동일한 방향일 경우에, 예를 들어, 제1 핸드에 의한 반송 대상물의 반출 동작 종료 후에, 본체부에 대하여 공통 아암을 회동시키지 않아도, 제2 핸드에 의한 반송 대상물의 반입 동작을 개시하는 것이 가능해진다. 그 결과, 산업용 로봇의 택트 타임을 단축하는 것이 가능해진다.
이상과 같이, 본 발명에서는, 제1 아암의 기단부측 및 제2 아암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 공통 아암을 구비하는 산업용 로봇에 있어서, 산업용 로봇의 조립 후에도, 용이하게, 수평 방향에 대한 제1 아암의 기울기와 수평 방향에 대한 제2 아암의 기울기를 개별로 조정하는 것이 가능해진다.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시하는 산업용 로봇의 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시하는 산업용 로봇의 정면도이다.
도 4는 도 1에 도시하는 공통 아암 및 구동 기구의 구성을 설명하기 위한 단면도이다.
도 5는 도 1에 도시하는 공통 아암의 평면도이다.
이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.
(산업용 로봇의 개략 구성)
도 1은, 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇(1)의 사시도이다. 도 2는, 도 1에 도시하는 산업용 로봇(1)의 평면도이다. 도 3은, 도 1에 도시하는 산업용 로봇(1)의 정면도이다.
본 형태의 산업용 로봇(1)(이하, 「로봇(1)」이라 한다.)은 반송 대상물인 반도체 웨이퍼(도시 생략)를 반송하기 위한 로봇으로서, 도시를 생략하는 반도체의 제조 시스템에 내장되어서 사용된다. 이 로봇(1)은 반도체 웨이퍼가 탑재되는 2개의 핸드(4, 5)와, 핸드(4)가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 아암(6)과, 핸드(5)가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 아암(7)과, 아암(6, 7)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 공통 아암(8)과, 공통 아암(8)이 회동 가능하게 연결되는 본체부(9)를 구비하고 있다.
핸드(4)는 핸드(5)보다도 하측에 배치되어 있다. 아암(6)은 핸드(4)보다도 하측에 배치되어 있다. 아암(7)은 핸드(5)보다도 상측에 배치되어 있다. 공통 아암(8)은 아암(6)보다도 하측에 배치되어 있다. 또한, 공통 아암(8)은 본체부(9)보다도 상측에 배치되어 있다. 본 형태의 핸드(4)는 제1 핸드이며, 핸드(5)는 제2 핸드이며, 아암(6)은 제1 아암이며, 아암(7)은 제2 아암이다.
본체부(9)는 대략 원통형으로 형성되어 있다. 이 본체부(9)는 상측 본체부(12)와, 상측 본체부(12)를 상하 이동 가능하게 보유 지지하는 하측 본체부(13)를 구비하고 있다. 상측 본체부(12)의 내부에는, 공통 아암(8)을 회동시키는 회동 기구(도시 생략)와, 이 회동 기구와 함께 공통 아암(8)을 승강시키는 승강 기구(도시 생략)가 배치되어 있다. 하측 본체부(13)의 내부에는, 상측 본체부(12)를 승강시키는 승강 기구(도시 생략)가 배치되어 있다.
공통 아암(8)은 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 대략 직사각 형상이 되는 블록형으로 형성되어 있다. 또한, 공통 아암(8)은 중공 형상으로 형성되어 있다. 상하 방향으로부터 보았을 때의 공통 아암(8)의 길이는, 본체부(9)의 외경보다도 길게 되어 있다. 아암(6, 7)은, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 타원형 형상이 됨과 함께 상하 방향의 두께가 얇은 블록형으로 형성되어 있다. 본 형태에서는, 아암(6)의 길이와 아암(7)의 길이가 같게 되어 있다. 또한, 아암(6, 7)은 중공 형상으로 형성되어 있다. 본 형태의 아암(6, 7) 및 공통 아암(8)은 절삭 가공으로 형성되어 있다.
아암(6)의 기단부측은, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 대략 직사각 형상이 되는 공통 아암(8)의 일단부측에 회동 가능하게 연결되고, 아암(7)의 기단부측은, 공통 아암(8)의 타단부측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 아암(6)과 공통 아암(8)의 연결 부분은 관절부(14)로 되어 있다. 아암(7)과 공통 아암(8)의 연결 부분은 관절부(15)로 되어 있다. 본 형태의 관절부(14)는 제1 관절부이며, 관절부(15)는 제2 관절부이다.
또한, 로봇(1)은 아암(6)에 대하여 핸드(4)를 회동시킴과 함께 공통 아암(8)에 대하여 아암(6)을 회동시키는 구동 기구(16)(도 4 참조)와, 아암(7)에 대하여 핸드(5)를 회동시킴과 함께 공통 아암(8)에 대하여 아암(7)을 회동시키는 구동 기구(17)(도 4 참조)를 구비하고 있다. 이하, 공통 아암(8)의 구체적인 구성 및 구동 기구(16, 17)의 구성에 대하여 설명한다.
(공통 아암 및 구동 기구의 구성)
도 4는, 도 1에 도시하는 공통 아암(8) 및 구동 기구(16, 17)의 구성을 설명하기 위한 단면도이다. 도 5는, 도 1에 도시하는 공통 아암(8)의 평면도이다.
공통 아암(8)은 본체부(9)에 연결되는 베이스부(20)와, 아암(6)의 기단부측이 연결되는 제1 아암 연결부(21)와, 아암(7)의 기단부측이 연결되는 제2 아암 연결부(22)를 구비하고 있다. 베이스부(20)와 제1 아암 연결부(21)와 제2 아암 연결부(22)는 별체로 형성되어 있고, 베이스부(20)와 제1 아암 연결부(21)와 제2 아암 연결부(22)가 고정되어서 일체화됨으로써 공통 아암(8)이 구성되어 있다. 본 형태에서는, 제1 아암 연결부(21) 및 제2 아암 연결부(22)가 베이스부(20)에 착탈 가능하게 고정되어 있다. 또한, 상술한 바와 같이, 공통 아암(8)은 절삭 가공으로 형성되어 있고, 공통 아암(8)을 구성하는 베이스부(20), 제1 아암 연결부(21) 및 제2 아암 연결부(22)는 절삭 가공으로 형성되어 있다.
베이스부(20)는 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 직사각 형상이 됨과 함께 상하 방향의 두께가 얇은 블록형으로 형성되어 있다. 베이스부(20)의 중심에는, 상측 본체부(12)의 내부에 배치되는 회동 기구를 구성하는 중공 감속기의 출력축이 고정되어 있다. 도 5에 도시한 바와 같이, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 직사각 형상이 되는 베이스부(20)의 길이 방향(베이스부(20)의 긴 변에 평행한 방향, 도 5의 X 방향)을 좌우 방향이라 하고, 좌우 방향에 직교하는 베이스부(20)의 짧은 방향(베이스부(20)의 짧은 변에 평행한 방향, 도 5의 Y 방향)을 전후 방향이라 하면, 좌우 방향에 있어서의 베이스부(20)의 양단에는, 제1 아암 연결부(21) 및 제2 아암 연결부(22) 각각을 고정하기 위한 고정부(20a)가 형성되어 있다. 고정부(20a)의 상면은, 베이스부(20)의, 고정부(20a)를 제외한 부분의 상면보다도 낮게 되어 있다. 또한, 이하의 설명에서는, 도 5의 Y1 방향측을 「전」측이라 하고, Y2 방향측을 「후(뒤)」측이라 한다.
도 5에 도시한 바와 같이, 제1 아암 연결부(21) 및 제2 아암 연결부(22)는 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 대략 L 형상으로 되는 블록형으로 형성되어 있다. 제1 아암 연결부(21)는 좌우 방향에 있어서의 베이스부(20)의 일단부에 고정되고, 제2 아암 연결부(22)는 좌우 방향에 있어서의 베이스부(20)의 타단부에 고정되어 있다. 또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 상하 방향으로부터 보았을 때에 전후 방향에 평행한 직선이며 본체부(9)에 대한 공통 아암(8)의 회동 중심 C1을 통과하는 직선을 가상선 L1이라 하면, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 제1 아암 연결부(21)와 제2 아암 연결부(22)는, 가상선 L1에 대하여 선대칭으로 형성되어 있다.
도 4에 도시한 바와 같이, 제1 아암 연결부(21)에는, 대략 원통형의 통부(21a)가 형성되고, 제2 아암 연결부(22)에는, 대략 원통형의 통부(22a)가 형성되어 있다. 통부(21a)의 일부는, 베이스부(20)보다도 하측으로 돌출되어 있다. 통부(22a)는 베이스부(20)보다도 상측으로 돌출되어 있다. 또한, 통부(21a, 22a)의 일부는, 베이스부(20)의 후단부면보다도 후방측으로 돌출되어 있고, 제1 아암 연결부(21) 및 제2 아암 연결부(22)는 상술한 바와 같이, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 대략 L 형상으로 되는 블록형으로 형성되어 있다. 또한, 통부(21a)의 일부가 하측으로 돌출되고, 통부(22a)가 상측으로 돌출되어 있기 때문에, 제1 아암 연결부(21) 및 제2 아암 연결부(22)의 전후 방향으로부터 보았을 때의 형상도 대략 L 형상으로 되어 있다.
또한, 제1 아암 연결부(21) 및 제2 아암 연결부(22)에는, 베이스부(20)의 고정부(20a)에 적재되어서 고정되는 피고정부(21b, 22b)가 형성되어 있다. 피고정부(21b, 22b)는, 고정부(20a)에 적재된 상태에서, 복수의 나사(24)에 의해 고정부(20a)에 착탈 가능하게 고정되어 있다. 또한, 피고정부(21b, 22b)와 고정부(20a)는, 위치 결정 핀(25)에 의해 위치 결정되어 있다(도 4 참조).
피고정부(21b)가 고정부(20a)에 고정된 상태에서는(즉, 제1 아암 연결부(21)가 베이스부(20)에 고정된 상태에서는), 상하 방향에 있어서, 제1 아암 연결부(21)의 상면과 베이스부(20)의 상면이 대략 일치하고 있다. 또한, 피고정부(21b)가 고정부(20a)에 고정된 상태에서는, 전후 방향에 있어서, 제1 아암 연결부(21)의 전방 단부면과 베이스부(20)의 전방 단부면이 대략 일치하고, 피고정부(21b)의 후단부면과 베이스부(20)의 후단부면이 대략 일치하고 있다.
마찬가지로, 피고정부(22b)가 고정부(20a)에 고정된 상태에서는(즉, 제2 아암 연결부(22)가 베이스부(20)에 고정된 상태에서는), 상하 방향에 있어서, 제2 아암 연결부(22)의 하면과 베이스부(20)의 하면이 대략 일치하고 있다. 또한, 피고정부(22b)가 고정부(20a)에 고정된 상태에서는, 전후 방향에 있어서, 제2 아암 연결부(22)의 전방 단부면과 베이스부(20)의 전방 단부면이 대략 일치하고, 피고정부(22b)의 후단부면과 베이스부(20)의 후단부면이 대략 일치하고 있다.
구동 기구(16)는 아암(6)에 대하여 핸드(4)를 회동시킴과 함께 공통 아암(8)에 대하여 아암(6)을 회동시키는 모터(27)와, 모터(27)에 연결되는 감속기(28)를 구비하고 있다. 구동 기구(17)는 아암(7)에 대하여 핸드(5)를 회동시킴과 함께 공통 아암(8)에 대하여 아암(7)을 회동시키는 모터(29)와, 모터(29)에 연결되는 감속기(30)를 구비하고 있다. 모터(29)는 모터(27)와 동일 형상 또한 동일 사양의 모터이다. 감속기(30)는 감속기(28)와 동일 형상 또한 동일 사양의 감속기이다. 본 형태의 모터(27)는 제1 모터이며, 모터(29)는 제2 모터이다. 또한, 감속기(28)는 제1 감속기이며, 감속기(30)는 제2 감속기이다.
감속기(28)는 그 직경 방향의 중심으로 관통 구멍이 형성된 중공 감속기이다. 이 감속기(28)는 그 축심과 제1 아암 연결부(21)의 통부(21a)의 축심이 일치하도록 배치되어 있다. 감속기(28)의 축심은, 공통 아암(8)에 대한 아암(6)의 회동 중심 C2와 일치하고 있고, 감속기(28)는 관절부(14)를 구성하고 있다. 모터(27)는 제1 아암 연결부(21)에 고정되어 있다. 또한, 모터(27)는 감속기(28)보다도 전방측에 배치되어 있다. 즉, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 모터(27)의 축심과 감속기(28)의 축심이 어긋나 있다. 또한, 모터(27)의 대부분은, 제1 아암 연결부(21)의 하단부보다도 하측으로 돌출되어 있다. 즉, 모터(27)의 대부분은, 공통 아암(8)의 하면으로부터 하측으로 돌출되어 있다. 또한, 모터(27)는 상하 방향으로부터 보았을 때에, 본체부(9)보다도 본체부(9)의 외주측에 배치되어 있고, 도 3에 도시한 바와 같이, 모터(27)의 대부분은, 수평 방향에 있어서, 본체부(9)와 중첩되어 있다.
모터(27)의 출력축은, 상측으로 돌출되어 있고, 이 출력축에는 풀리(도시 생략)가 고정되어 있다. 도 4에 도시한 바와 같이, 감속기(28)의 입력축 하단부측에는 풀리(33)가 고정되어 있다. 풀리(33)는 제1 아암 연결부(21)의 통부(21a)의 내부에 배치되어 있다. 모터(27)의 출력축에 고정되는 풀리와 풀리(33)에는 벨트(도시 생략)가 걸쳐져 있다. 감속기(28)의 출력축에는, 아암(6)의 기단부측이 고정되고, 감속기(28)의 케이스는, 통부(21a)의 내주측에 고정되어 있다. 감속기(28)의 입력축 상단부측에는 풀리(34)가 고정되어 있다. 풀리(34)는 아암(6)의 기단부측의 내부에 배치되어 있다. 핸드(4)에는, 아암(6)의 선단측의 내부에 배치되는 풀리(도시 생략)가 고정되어 있다. 이 풀리와 풀리(34)에는 벨트(35)가 걸쳐져 있다. 또한, 핸드(4)에 고정되는 풀리는, 아암(6)의 선단측에 고정되는 고정축에 회동 가능하게 보유 지지되어 있다.
감속기(30)는 그 직경 방향의 중심으로 관통 구멍이 형성된 중공 감속기이다. 이 감속기(30)는 그 축심과 제2 아암 연결부(22)의 통부(22a)의 축심이 일치하도록 배치되어 있다. 감속기(30)의 축심은, 공통 아암(8)에 대한 아암(7)의 회동 중심 C3과 일치하고 있고, 감속기(30)는 관절부(15)를 구성하고 있다. 모터(29)는 제2 아암 연결부(22)에 고정되어 있다. 또한, 모터(29)는 감속기(30)보다도 전방측에 배치되어 있다. 즉, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 모터(29)의 축심과 감속기(30)의 축심이 어긋나 있다. 또한, 모터(29)의 하단부측의 일부는, 제2 아암 연결부(22)의 하단부보다도 하측으로 돌출되어 있다. 즉, 모터(29)의 하단부측의 일부는, 공통 아암(8)의 하면으로부터 하측으로 돌출되어 있다. 또한, 모터(29)는 상하 방향으로부터 보았을 때에, 본체부(9)보다도 본체부(9)의 외주측에 배치되어 있고, 도 3에 도시한 바와 같이, 모터(29)의 하단부측의 일부는, 수평 방향에 있어서, 본체부(9)와 중첩되어 있다.
모터(29)의 출력축은, 상측으로 돌출되어 있고, 이 출력축에는, 풀리(도시 생략)가 고정되어 있다. 도 4에 도시한 바와 같이, 감속기(30)의 입력축 하단부측에는 풀리(36)가 고정되어 있다. 풀리(36)는 제2 아암 연결부(22)의 통부(22a)의 내부에 배치되어 있다. 모터(29)의 출력축에 고정되는 풀리와 풀리(36)에는 벨트(도시 생략)가 걸쳐져 있다. 감속기(30)의 출력축에는, 아암(7)의 기단부측이 고정되고, 감속기(30)의 케이스는, 통부(22a)의 내주측에 고정되어 있다. 감속기(30)의 입력축 상단부측에는 풀리(37)가 고정되어 있다. 풀리(37)는 아암(7)의 기단부측의 내부에 배치되어 있다. 핸드(5)에는, 아암(7)의 선단측의 내부에 배치되는 풀리(도시 생략)가 고정되어 있다. 이 풀리와 풀리(37)에는 벨트(38)가 걸쳐져 있다. 또한, 핸드(5)에 고정되는 풀리는, 아암(7)의 선단측에 고정되는 고정축에 회동 가능하게 보유 지지되어 있다.
본 형태에서는, 도 5에 도시한 바와 같이, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 회동 중심 C1과 회동 중심 C2와 회동 중심 C3이 1개의 직선 상에 배치되어 있지 않다. 즉, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 회동 중심 C2와 회동 중심 C1과 회동 중심 C3을 순차 연결하는 선은 V자를 이루고 있다. 즉, 본 형태의 로봇(1)은 소위 부메랑형의 로봇이다. 또한, 본 형태에서는, 아암(6, 7)의 선단측이 가장 뒤쪽에 배치된 상태(도 1, 도 2에 도시하는 상태)에서는, 핸드(4)와 핸드(5)가 상하 방향으로 완전히 중첩되어 있다.
또한, 상술한 바와 같이, 모터(29)는 모터(27)와 동일 형상 또한 동일 사양의 모터이며, 감속기(30)는 감속기(28)와 동일 형상 또한 동일 사양의 감속기이다. 또한, 구동 기구(16)를 구성하는 풀리(33) 등의 각 부품과, 구동 기구(17)를 구성하는 풀리(36) 등의 각 부품과는, 동일 형상 또한 동일 사양의 것이다. 즉, 본 형태에서는, 구동 기구(16)와 구동 기구(17)는 공통의 부품에 의해 구성되어 있다. 또한, 본 형태에서는, 공통의 부품에 의해 구성되는 구동 기구(16)와 구동 기구(17)가 상하 방향으로 어긋난 상태에서 배치되어 있다. 즉, 본 형태에서는, 구동 기구(16)와 구동 기구(17)는, 서로 그 배치 높이를 바꿈으로써 공통화되어 있다.
(본 형태의 주된 효과)
이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는, 공통 아암(8)을 구성하는 베이스부(20)와 제1 아암 연결부(21)와 제2 아암 연결부(22)가 별체로 형성되어 있고, 제1 아암 연결부(21) 및 제2 아암 연결부(22)가 베이스부(20)에 착탈 가능하게 고정되어 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 로봇(1)의 조립 후에, 베이스부(20)에 대한 제1 아암 연결부(21)의 고정 위치나 기울기를 조정함으로써, 수평 방향에 대한 아암(6)의 기울기를 조정해도, 수평 방향에 대한 아암(7)의 기울기는 변동되지 않는다. 또한, 로봇(1)의 조립 후에, 베이스부(20)에 대한 제2 아암 연결부(22)의 고정 위치나 기울기를 조정함으로써, 수평 방향에 대한 아암(7)의 기울기를 조정해도, 수평 방향에 대한 아암(6)의 기울기는 변동되지 않는다. 따라서, 본 형태에서는, 로봇(1)의 조립 후에도, 용이하게, 수평 방향에 대한 아암(6)의 기울기와 수평 방향에 대한 아암(7)의 기울기를 개별로 조정하는 것이 가능해진다.
또한, 본 형태에서는, 베이스부(20)와 제1 아암 연결부(21)와 제2 아암 연결부(22)가 별체로 형성되어 있기 때문에, 통부(21a, 22a)의 일부가 베이스부(20)의 후단부면보다도 뒤쪽으로 돌출되도록 공통 아암(8)이 형성되어 있어도, 좌우 방향으로 가늘고 긴 베이스부(20)를 직육면체 형상으로 형성하면 된다. 따라서, 본 형태에서는, 절삭 가공에 의해 제조되는 공통 아암(8)이 일체로 형성되어 있는 경우와 비교하여, 공통 아암(8)을 제조하기 위하여 필요한 재료의 크기를 작게 하는 것이 가능해지고, 그 결과, 공통 아암(8)의 제조 비용을 저감하는 것이 가능해진다.
본 형태에서는, 모터(27)는 제1 아암 연결부(21)에 고정되고, 모터(29)는 제2 아암 연결부(22)에 고정되어 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 모터(27, 29)가 본체부(9)의 내부에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 구동 기구(16, 17)의 구성을 간소화하는 것이 가능해진다. 즉, 모터(27, 29)가 본체부(9)의 내부에 배치되어 있는 경우에는, 모터(27, 29)의 동력을 본체부(9)로부터 좌우 방향의 외측으로 전달한 후에, 다시 뒤쪽으로 전달하기 위한 구성을 공통 아암(8)의 내부에 설치할 필요가 있지만, 본 형태에서는, 모터(27, 29)의 동력을 전달하는 풀리(33, 36) 등을 설치하면 된다. 따라서, 본 형태에서는, 모터(27, 29)가 본체부(9)의 내부에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 구동 기구(16, 17)의 구성을 간소화하는 것이 가능해진다.
또한, 본 형태에서는, 모터(27)가 제1 아암 연결부(21)에 고정되고, 모터(29)가 제2 아암 연결부(22)에 고정되어 있기 때문에, 모터(27, 29)가 본체부(9)의 내부에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 본체부(9)의 높이를 낮게 하는 것이 가능해진다. 또한, 본 형태에서는, 모터(27)의 대부분 및 모터(29)의 하단부측의 일부가 공통 아암(8)의 하면으로부터 하측으로 돌출되어 있기 때문에, 모터(27, 29)의 전체가 공통 아암(8)의 내부에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 공통 아암(8)의 높이를 낮게 하는 것이 가능해진다. 또한, 본 형태에서는, 모터(27, 29)가, 상하 방향으로부터 보았을 때에 본체부(9)보다도 본체부(9)의 외주측에 배치되어 있고, 모터(27)의 대부분 및 모터(29)의 하단부측의 일부가, 수평 방향에 있어서 본체부(9)와 중첩되어 있기 때문에, 모터(27, 29)가 상하 방향으로 본체부(9)와 중첩되어 있는 경우와 비교하여, 상하 방향에 있어서의 본체부(9)와 공통 아암(8)의 거리를 가깝게 하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 핸드(4, 5)가 액세스 가능한 최저 높이(패스 라인)를 낮게 하는 것이 가능해진다.
본 형태에서는, 관절부(14)를 구성하는 감속기(28)의 축심과 모터(27)의 축심이 어긋나 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 모터(27)와 감속기(28)가 동축 상에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 모터(27)의 배치 자유도를 높이는 것이 가능해진다. 마찬가지로, 본 형태에서는, 관절부(15)를 구성하는 감속기(30)의 축심과 모터(29)의 축심이 어긋나 있기 때문에, 모터(29)와 감속기(30)가 동축 상에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 모터(29)의 배치 자유도를 높이는 것이 가능해진다. 또한, 본 형태에서는, 감속기(28)의 축심과 모터(27)의 축심이 어긋나 있기 때문에, 중공 감속기인 감속기(28)의 관통 구멍에 에어 튜브나 배선 케이블을 통과시키는 것이 가능해진다. 마찬가지로, 본 형태에서는, 감속기(30)의 축심과 모터(29)의 축심이 어긋나 있기 때문에, 중공 감속기인 감속기(30)의 관통 구멍에 냉각용의 에어 튜브나 배선 케이블을 통과시키는 것이 가능해진다.
본 형태에서는, 핸드(4)는 아암(6)의 상측에 배치되고, 핸드(5)는 아암(7)의 하측에 배치되어 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 아암(6)과 아암(7)의 간섭을 방지하면서, 상하 방향에 있어서의 핸드(4)와 핸드(5)의 간격을 좁게 하는 것이 가능해진다. 또한, 본 형태에서는, 상하 방향에 있어서의 핸드(4)와 핸드(5)의 간격을 좁게 하는 것이 가능하게 되기 때문에, 핸드(4)의 상측에 배치되는 핸드(5)가 액세스 가능한 최저 높이(패스 라인)를 낮게 하는 것이 가능해진다.
본 형태에서는, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 공통 아암(8)에 대한 아암(6)의 회동 중심 C2와, 본체부(9)에 대한 공통 아암(8)의 회동 중심 C1과, 공통 아암(8)에 대한 아암(7)의 회동 중심 C3을 순차 연결하는 선은 V자를 이루고 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 상술한 바와 같이, 아암(6, 7)의 선단측이 가장 후방측에 배치된 상태에 있어서, 핸드(4)와 핸드(5)가 상하 방향으로 완전히 중첩된다. 따라서, 본 형태에서는, 핸드(4)에 의한 반도체 웨이퍼의 반입 반출 동작의 방향과, 핸드(5)에 의한 반도체 웨이퍼의 반입 반출 동작의 방향이 동일한 방향일 경우에, 예를 들어, 핸드(4)에 의한 반도체 웨이퍼의 반출 동작 종료 후에, 본체부(9)에 대하여 공통 아암(8)을 회동시키지 않아도, 핸드(5)에 의한 반도체 웨이퍼의 반입 동작을 개시하는 것이 가능해진다. 그 결과, 본 형태에서는, 로봇(1)의 택트 타임을 단축하는 것이 가능해진다.
(다른 실시 형태)
상술한 형태는, 본 발명의 적합한 형태의 일례이지만, 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에서 여러가지 변형 실시가 가능하다.
상술한 형태에서는, 제1 아암 연결부(21) 및 제2 아암 연결부(22)는 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 대략 L 형상으로 되는 블록형으로 형성되어 있다. 이 밖에도 예를 들어, 제1 아암 연결부(21) 및 제2 아암 연결부(22)는 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 대략 직사각 형상 등이 되는 블록형으로 형성되어도 된다. 이 경우에는, 공통 아암(8)은 예를 들어, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 대략 직사각 형상이 되는 블록형으로 형성된다. 또한, 이 경우에는, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 회동 중심 C1과 회동 중심 C2와 회동 중심 C3이 1개의 직선 상에 배치되어도 된다. 또한, 공통 아암(8)은 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 대략 V 형상이 되도록 형성되어도 된다.
상술한 형태에서는, 모터(27)는 제1 아암 연결부(21)에 고정되고, 모터(29)는 제2 아암 연결부(22)에 고정되어 있다. 이 밖에도 예를 들어, 모터(27, 29)는 본체부(9)의 내부에 배치되어도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 모터(27, 29)의 일부는 공통 아암(8)의 하면으로부터 하측으로 돌출되어 있지만, 모터(27, 29)의 전체가 공통 아암(8)의 내부에 배치되어도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 모터(27, 29)는, 상하 방향으로부터 보았을 때에 본체부(9)보다도 본체부(9)의 외주측에 배치되어 있지만, 모터(27, 29)는, 상하 방향으로 본체부(9)와 중첩되도록 배치되어도 된다.
상술한 형태에 있어서, 아암(6, 7)은, 서로 회동 가능한 2개의 아암부에 의해 구성되어도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 제1 아암 연결부(21)와 제2 아암 연결부(22)는, 가상선 L1에 대하여 선대칭으로 형성되어 있지만, 제1 아암 연결부(21)와 제2 아암 연결부(22)는, 가상선 L1에 대하여 선대칭으로 형성되어 있지 않아도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 모터(27)의 축심과 감속기(28)의 축심이 어긋나 있지만, 모터(27)와 감속기(28)가 동축 상에 배치되어도 된다. 마찬가지로, 상술한 형태에서는, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 모터(29)의 축심과 감속기(30)의 축심이 어긋나 있지만, 모터(29)와 감속기(30)가 동축 상에 배치되어도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물은 반도체 웨이퍼이지만, 로봇(1)은 액정 디스플레이용의 유리 기판 등의 다른 반송 대상물을 반송해도 된다.
1: 로봇(산업용 로봇)
4: 핸드(제1 핸드)
5: 핸드(제2 핸드)
6: 아암(제1 아암)
7: 아암(제2 아암)
8: 공통 아암
9: 본체부
14: 관절부(제1 관절부)
15: 관절부(제2 관절부)
20: 베이스부
21: 제1 아암 연결부
22: 제2 아암 연결부
27: 모터(제1 모터)
28: 감속기(제1 감속기)
29: 모터(제2 모터)
30: 감속기(제2 감속기)
C1: 공통 아암의 회동 중심
C2: 제1 아암의 회동 중심
C3: 제2 아암의 회동 중심
L1: 가상선
X: 베이스부의 길이 방향

Claims (7)

  1. 반송 대상물이 탑재되는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 상기 제1 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제1 아암과, 상기 제2 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제2 아암과, 상기 제1 아암의 기단부측 및 상기 제2 아암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 공통 아암과, 상기 공통 아암이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고, 상기반송 대상물을 반송하는 수평 다관절형 산업용 로봇에 있어서,
    상기 공통 아암은, 상기 본체부에 연결되는 베이스부와, 상기 제1 아암의 기단부측이 연결되는 제1 아암 연결부와, 상기 제2 아암의 기단부측이 연결되는 제2 아암 연결부를 구비하고,
    상기 베이스부와 상기 제1 아암 연결부와 상기 제2 아암 연결부는 별체로 형성되고,
    상기 제1 아암 연결부 및 상기 제2 아암 연결부는, 상기 베이스부에 착탈 가능하게 고정되어 있는 것을 특징으로 하는, 산업용 로봇.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 베이스부는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 직사각 형상이 되는 직육면체 형상으로 형성되고,
    상기 제1 아암 연결부 및 상기 제2 아암 연결부는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 L 형상으로 되는 블록형으로 형성되고,
    상하 방향으로부터 보았을 때에, 상기 제1 아암 연결부는, 상기 베이스부의 길이 방향의 일단부에 고정되고, 상기 제2 아암 연결부는, 상기 베이스부의 길이 방향의 타단부에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는, 산업용 로봇.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 아암에 대하여 상기 제1 핸드를 회동시킴과 함께 상기 공통 아암에 대하여 상기 제1 아암을 회동시키는 제1 모터와, 상기 제2 아암에 대하여 상기 제2 핸드를 회동시킴과 함께 상기 공통 아암에 대하여 상기 제2 아암을 회동시키는 제2 모터를 구비하고,
    상기 제1 모터는 상기 제1 아암 연결부에 고정되고, 상기 제2 모터는 상기 제2 아암 연결부에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는, 산업용 로봇.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1 아암과 상기 공통 아암의 연결 부분인 제1 관절부를 구성함과 함께 상기 제1 모터에 연결되는 제1 감속기와, 상기 제2 아암과 상기 공통 아암의 연결 부분인 제2 관절부를 구성함과 함께 상기 제2 모터에 연결되는 제2 감속기를 구비하고,
    상하 방향으로부터 보았을 때에, 상기 제1 모터의 축심과 상기 제1 감속기의 축심이 어긋나 있고, 상기 제2 모터의 축심과 상기 제2 감속기의 축심이 어긋나 있는 것을 특징으로 하는, 산업용 로봇.
  5. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상하 방향으로부터 보았을 때에 가늘고 긴 직사각 형상을 이루는 상기 베이스부의 짧은 변에 평행한 직선이며 상기 본체부에 대한 상기 공통 아암의 회동 중심을 통과하는 직선을 가상선이라 하면,
    상하 방향으로부터 보았을 때에, 상기 제1 아암 연결부와 상기 제2 아암 연결부는, 상기 가상선에 대하여 선대칭으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 산업용 로봇.
  6. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 아암에 대하여 상기 제1 핸드를 회동시킴과 함께 상기 공통 아암에 대하여 상기 제1 아암을 회동시키는 제1 모터와, 상기 제2 아암에 대하여 상기 제2 핸드를 회동시킴과 함께 상기 공통 아암에 대하여 상기 제2 아암을 회동시키는 제2 모터를 구비하고,
    상기 제1 모터는 상기 제1 아암 연결부에 고정되고, 상기 제2 모터는 상기 제2 아암 연결부에 고정되고,
    상기 제1 모터의 적어도 일부 및 상기 제2 모터의 적어도 일부는, 상기 공통 아암의 하면으로부터 하측으로 돌출됨과 함께, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 상기 제1 모터 및 상기 제2 모터는 상기 본체부보다도 상기 본체부의 외주측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 산업용 로봇.
  7. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상하 방향으로부터 보았을 때에, 상기 공통 아암에 대한 상기 제1 아암의 회동 중심과, 상기 본체부에 대한 상기 공통 아암의 회동 중심과, 상기 공통 아암에 대한 상기 제2 아암의 회동 중심을 순차 연결하는 선은 V자를 이루고 있는 것을 특징으로 하는, 산업용 로봇.
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