JP7149792B2 - 搬送装置、半導体製造装置及び搬送方法 - Google Patents
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Description
まず、図1を参照しながら、従来の搬送装置7を含む半導体製造装置1の構成の一例について説明する。図1(a)は従来の搬送装置7を含む半導体製造装置1の上面(平面)を示す。図1(b)は半導体製造装置1の側面を示す。図1(c)は搬送装置7の先端部とその近傍の縦断面を示す。
次に、従来の搬送方法の一例について、図2を参照しながら説明する。ウェハWの受け渡し位置、すなわち、先端アーム63の目標位置が指定されると、制御部100は、目標位置に先端アーム63の先端部が位置するように、関節65、66、67に対応するそれぞれの入力軸Iの目標回転角度を算出する。制御部100は、関節65、66、67に対応するそれぞれの入力軸Iの現在の回転角度を検出し、現在の回転角度が関節65、66、67に対応するそれぞれの目標回転角度になるように、各駆動モータを制御する。
まず、図3を参照しながら、一実施形態に係る搬送装置6を含む半導体製造装置1の構成の一例について説明する。図3(a)は一実施形態に係る搬送装置6を含む半導体製造装置1の上面(平面)を示す。図3(b)は半導体製造装置1の側面を示す。図3(c)は搬送装置6の先端部とその近傍の縦断面を示す。
[搬送装置による搬送方法]
次に、第1実施形態に係る搬送装置6による搬送方法の一例について、図4及び図5を参照して説明する。図4は、第1実施形態に係る搬送方法の一例を示す図であり、図5は、一実施形態に係る制御部100のハードウエア及び動作を説明するための図である。
[搬送装置による搬送方法]
次に、第2実施形態に係る搬送方法の一例について、図6を参照して説明する。
[伝達部の交換方法]
次に、第3実施形態に係る搬送方法の一例について、図9及び図10を参照しながら説明する。図9は、第3実施形態に係る搬送方法の一例を示す。図10は、第3実施形態に係る搬送方法にて使用する伝達部70の経時変化の一例を示す。
6 搬送装置
60 基部
61 基底アーム
62 中間アーム
63 先端アーム
65、66、67 関節
68 駆動モータ
69 入力軸側エンコーダ
70 伝達部
79 出力軸側エンコーダ
100 制御部
101 入出力装置
102 CPU
103 メモリ
104 制御プログラム
105 切替閾値
106 判定閾値
110 モータドライバ
150 切替スイッチ
151 切替制御回路
160 相関判定部
Claims (12)
- 複数のアームと、前記複数のアームを制御する制御部とを有する搬送装置であって、
前記複数のアームは、
駆動モータが配置された第1のアームと、
前記第1のアームに従動する第2のアームと、
前記駆動モータの回転を、関節を介して前記第2のアームの回転に変換する伝達部と、
前記伝達部の入力軸の回転角度に応じた第1のセンサ値を検出する第1の検出部と、
前記第2のアームの回転角度に応じた第2のセンサ値を検出する第2の検出部と、を有し、
前記制御部は、
前記第1のセンサ値を用いて前記伝達部の入力軸の偏差の微分値を算出し、
前記第2のセンサ値を用いて前記第2のアームの回転角度の偏差及び該偏差の積分値を算出し、
前記入力軸の偏差の微分値、前記第2のアームの回転角度の偏差及び該第2のアームの回転角度の偏差の積分値の合算値に基づき、前記第2のアームを目標回転角度へ制御する、
搬送装置。 - 複数のアームと、前記複数のアームを制御する制御部とを有する搬送装置であって、
前記複数のアームは、
駆動モータが配置された第1のアームと、
前記第1のアームに従動する第2のアームと、
前記駆動モータの回転を、関節を介して前記第2のアームの回転に変換する伝達部と、
前記伝達部の入力軸の回転角度に応じた第1のセンサ値を検出する第1の検出部と、
前記第2のアームの回転角度に応じた第2のセンサ値を検出する第2の検出部と、を有し、
前記制御部は、
前記第1のセンサ値を用いて前記伝達部の入力軸の偏差と、該偏差の微分値と、該偏差の積分値とを算出し、算出した前記偏差と前記偏差の微分値と前記偏差の積分値との合算値に基づき、前記第2のアームを目標回転角度へ制御し、
所定の切替閾値に従い前記第1のセンサ値から前記第2のセンサ値へ切り替え、
前記切り替え後、前記第2のセンサ値を用いて前記第2のアームの回転角度の偏差と、該偏差の微分値と、該偏差の積分値とを算出し、算出した前記偏差と前記偏差の微分値と前記偏差の積分値との合算値に基づき、前記第2のアームを前記目標回転角度へ制御する、
搬送装置。 - 前記切替閾値は、予め設定された前記入力軸の回転速度であり、
前記制御部は、
前記第1のセンサ値を用いて算出した前記偏差の微分値がピークを越えた後に前記切替閾値以下となった場合、前記第1のセンサ値から前記第2のセンサ値への切り替えを行う、
請求項2に記載の搬送装置。 - 前記切替閾値は、予め設定された時間であり、
前記制御部は、
前記切替閾値に設定された時間が経過した場合、前記第1のセンサ値から前記第2のセンサ値への切り替えを行う、
請求項2に記載の搬送装置。 - 前記切替閾値は、予め設定された前記入力軸の回転角度であり、
前記制御部は、
前記第1のセンサ値が前記切替閾値に近づいたと判定した場合、前記第1のセンサ値から前記第2のセンサ値への切り替えを行う、
請求項2に記載の搬送装置。 - 前記制御部は、
前記第1のセンサ値と前記第2のセンサ値との相関変化に基づき、前記伝達部の経時変化の状態を判定する、
請求項1~5のいずれか一項に記載の搬送装置。 - 前記制御部は、前記第1のセンサ値と前記第2のセンサ値との相関変化が所定の判定閾値以下である場合、前記伝達部の経時変化に関するアラームを表示する、
請求項6に記載の搬送装置。 - 前記複数のアームは、
前記第2のアームに従動する第3のアームを有し、
前記伝達部は、前記第2のアームに設けられた駆動モータの回転を、関節を介して前記第3のアームの回転に変換し、
前記第1の検出部は、前記第2のアームの伝達部の入力軸の回転角度に応じた第3のセンサ値を検出し、
前記第2の検出部は、前記第3のアームの回転角度に応じた第4のセンサ値を検出し、
前記制御部は、
前記第3のセンサ値と前記第4のセンサ値とに基づき、前記第3のアームを目標回転角度へ制御する、
請求項1~7のいずれかに記載の搬送装置。 - 複数のアームと、前記複数のアームを制御する制御部とを有する搬送装置を備える半導体製造装置であって、
前記複数のアームは、
駆動モータが配置された第1のアームと、
前記第1のアームに従動する第2のアームと、
前記駆動モータの回転を、関節を介して前記第2のアームの回転に変換する伝達部と、
前記伝達部の入力軸の回転角度に応じた第1のセンサ値を検出する第1の検出部と、
前記第2のアームの回転角度に応じた第2のセンサ値を検出する第2の検出部とを有し、
前記制御部は、
前記第1のセンサ値を用いて前記伝達部の入力軸の偏差の微分値を算出し、
前記第2のセンサ値を用いて前記第2のアームの回転角度の偏差及び該偏差の積分値を算出し、
前記入力軸の偏差の微分値、前記第2のアームの回転角度の偏差及び該第2のアームの回転角度の偏差の積分値の合算値に基づき、前記第2のアームを目標回転角度へ制御する、
半導体製造装置。 - 複数のアームと、前記複数のアームを制御する制御部とを有する搬送装置を備える半導体製造装置であって、
前記複数のアームは、
駆動モータが配置された第1のアームと、
前記第1のアームに従動する第2のアームと、
前記駆動モータの回転を、関節を介して前記第2のアームの回転に変換する伝達部と、
前記伝達部の入力軸の回転角度に応じた第1のセンサ値を検出する第1の検出部と、
前記第2のアームの回転角度に応じた第2のセンサ値を検出する第2の検出部と、を有し、
前記制御部は、
前記第1のセンサ値を用いて前記伝達部の入力軸の偏差と、該偏差の微分値と、該偏差の積分値とを算出し、算出した前記偏差と前記偏差の微分値と前記偏差の積分値との合算値に基づき、前記第2のアームを目標回転角度へ制御し、
所定の切替閾値に従い前記第1のセンサ値から前記第2のセンサ値へ切り替え、
前記切り替え後、前記第2のセンサ値を用いて前記第2のアームの回転角度の偏差と、該偏差の微分値と、該偏差の積分値とを算出し、算出した前記偏差と前記偏差の微分値と前記偏差の積分値との合算値に基づき、前記第2のアームを前記目標回転角度へ制御する、
半導体製造装置。 - 複数のアームを有する搬送装置による搬送方法であって、
前記複数のアームは、
駆動モータが配置された第1のアームと、
前記第1のアームに従動する第2のアームと、
前記駆動モータの回転を、関節を介して前記第2のアームの回転に変換する伝達部と、
前記伝達部の入力軸の回転角度に応じた第1のセンサ値を検出する第1の検出部と、
前記第2のアームの回転角度に応じた第2のセンサ値を検出する第2の検出部とを有し、
前記第1のセンサ値を用いて前記伝達部の入力軸の偏差の微分値を算出し、
前記第2のセンサ値を用いて前記第2のアームの回転角度の偏差及び該偏差の積分値を算出し、
前記入力軸の偏差の微分値、前記第2のアームの回転角度の偏差及び該第2のアームの回転角度の偏差の積分値の合算値に基づき、前記第2のアームを目標回転角度へ制御する、搬送方法。 - 複数のアームを有する搬送装置による搬送方法であって、
前記複数のアームは、
駆動モータが配置された第1のアームと、
前記第1のアームに従動する第2のアームと、
前記駆動モータの回転を、関節を介して前記第2のアームの回転に変換する伝達部と、
前記伝達部の入力軸の回転角度に応じた第1のセンサ値を検出する第1の検出部と、
前記第2のアームの回転角度に応じた第2のセンサ値を検出する第2の検出部と、を有し、
前記第1のセンサ値を用いて前記伝達部の入力軸の偏差と、該偏差の微分値と、該偏差の積分値とを算出し、算出した前記偏差と前記偏差の微分値と前記偏差の積分値との合算値に基づき、前記第2のアームを目標回転角度へ制御し、
所定の切替閾値に従い前記第1のセンサ値から前記第2のセンサ値へ切り替え、
前記切り替え後、前記第2のセンサ値を用いて前記第2のアームの回転角度の偏差と、該偏差の微分値と、該偏差の積分値とを算出し、算出した前記偏差と前記偏差の微分値と前記偏差の積分値との合算値に基づき、前記第2のアームを前記目標回転角度へ制御する、
搬送方法。
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