JP2015036186A - 水平多関節ロボット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この水平多関節ロボットは、互いに相対回動可能に連結される支持アーム部17および被支持アーム部18と、支持アーム部17に対して被支持アーム部18を回動させる回動機構26とを備えている。回動機構26は、支持アーム部17の内部に出力軸の軸方向が水平方向となるように配置されるモータ33と、支持アーム部17と被支持アーム部18との連結部分となる関節部を構成するとともにモータ33の動力を減速して被支持アーム部18に伝達するハーモニックドライブ(登録商標)34と、モータ33の出力軸に連結されるかさ歯車43と、ハーモニックドライブ(登録商標)34のウェーブジェネレータ45に連結されかさ歯車43と噛み合うかさ歯車50とを備えている。
【選択図】図5
Description
図1は、本発明の実施の形態にかかる水平多関節ロボット1の斜視図である。図2は、図1に示す水平多関節ロボット1の、アーム6が上昇するとともに伸びている状態の斜視図である。図3は、図1に示す水平多関節ロボット1が使用される半導体製造システム9の概略平面図である。図4は、図1に示す水平多関節ロボット1の側面図である。
図5は、図4に示す第3アーム部回動機構26の構成を説明するための断面図である。
以上説明したように、本形態では、ハーモニックドライブ(登録商標)である減速機34によって、モータ33の動力が減速されて第3アーム部18に伝達されている。そのため、本形態では、モータ33から第3アーム部18への動力の伝達経路において、減速比を大きくすることが可能になる。したがって、本形態では、出力の小さなモータ33を使用しても、第2アーム部17に対して第3アーム部18を回動させることが可能になり、その結果、モータ33を小型化することが可能になる。また、本形態では、ハーモニックドライブ(登録商標)である減速機34によって、モータ33の動力が減速されて第3アーム部18に伝達されているため、モータ33から第3アーム部18への動力の伝達経路において、バックラッシュを低減することが可能になる。
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
2 ウエハ(半導体ウエハ、搬送対象物)
4 ハンド(第2ハンド)
5 ハンド(第1ハンド)
6 アーム
7 本体部
16 第1アーム部(アーム部)
17 第2アーム部(支持アーム部、アーム部)
18 第3アーム部(被支持アーム部、アーム部)
18a 突出部
19 連結部
20 搭載部
26 第3アーム部回動機構(回動機構)
27 第1ハンド回動機構
28 第2ハンド回動機構
33 モータ
34 減速機(ハーモニックドライブ(登録商標))
35 モータ(第1ハンド用モータ)
37 モータ(第2ハンド用モータ)
43 かさ歯車(第1のかさ歯車)
45 ウェーブジェネレータ
50 かさ歯車(第2のかさ歯車)
51 磁性流体シール
Claims (4)
- 水平方向にアームが動作する水平多関節ロボットにおいて、
搬送対象物が搭載されるハンドと、互いに相対回動可能に連結される支持アーム部および被支持アーム部の少なくとも2個のアーム部を有し前記ハンドが先端側に回動可能に連結される前記アームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部と、前記支持アーム部に対して前記被支持アーム部を回動させる回動機構とを備え、
前記回動機構は、前記支持アーム部または前記被支持アーム部の内部に出力軸の軸方向が水平方向となるように配置されるモータと、前記支持アーム部と前記被支持アーム部との連結部分となる関節部を構成するとともに前記モータの動力を減速して前記支持アーム部または前記被支持アーム部に伝達するハーモニックドライブ(登録商標)と、前記モータの前記出力軸に連結される第1のかさ歯車と、前記ハーモニックドライブ(登録商標)のウェーブジェネレータに連結され前記第1のかさ歯車と噛み合う第2のかさ歯車とを備えることを特徴とする水平多関節ロボット。 - 前記アームは、前記アーム部として、その基端側が前記本体部に回動可能に連結される第1アーム部と、前記第1アーム部の先端側にその基端側が回動可能に連結される前記支持アーム部としての第2アーム部と、前記第2アーム部の先端側にその基端側が回動可能に連結される前記被支持アーム部としての第3アーム部とを備え、
前記第3アーム部の先端側に前記ハンドが回動可能に連結されていることを特徴とする請求項1記載の水平多関節ロボット。 - 前記ハンドとして、上下方向で重なるように配置される第1ハンドおよび第2ハンドを備えるとともに、前記第3アーム部に対して前記第1ハンドを回動させる第1ハンド回動機構と、前記第3アーム部に対して前記第2ハンドを回動させる第2ハンド回動機構とを備え、
前記第1ハンド回動機構は、前記第3アーム部の内部に配置される第1ハンド用モータを備え、
前記第2ハンド回動機構は、前記第3アーム部の内部に配置される第2ハンド用モータを備え、
前記第1ハンドは、前記第3アーム部に連結される連結部と、前記搬送対象物が搭載される平板状の搭載部とを備えるとともに、前記第2ハンドよりも下側に配置され、
前記搭載部は、前記連結部の上端側から水平方向へ伸びるように形成され、
前記第3アーム部には、上側へ突出する突出部が形成され、
前記突出部は、前記第3アーム部と前記第1ハンドとが上下方向で重なっている状態で、前記第3アーム部の長手方向において前記連結部とずれた位置に形成されるとともに、前記搭載部に接触しない高さまで上側へ突出しており、
前記第1ハンド用モータおよび前記第2ハンド用モータは、その出力軸が下側を向くように、かつ、その一部が前記突出部の中に配置されるように、前記第3アーム部の内部に配置されていることを特徴とする請求項2記載の水平多関節ロボット。 - 前記回動機構は、前記ハーモニックドライブ(登録商標)の外周側に配置される磁性流体シールを備えることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の水平多関節ロボット。
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