JP3267932B2 - 搬送装置 - Google Patents
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 7
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 12
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 11
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 6
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66F—HOISTING, LIFTING, HAULING OR PUSHING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, e.g. DEVICES WHICH APPLY A LIFTING OR PUSHING FORCE DIRECTLY TO THE SURFACE OF A LOAD
- B66F9/00—Devices for lifting or lowering bulky or heavy goods for loading or unloading purposes
- B66F9/06—Devices for lifting or lowering bulky or heavy goods for loading or unloading purposes movable, with their loads, on wheels or the like, e.g. fork-lift trucks
- B66F9/07—Floor-to-roof stacking devices, e.g. "stacker cranes", "retrievers"
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【発明の利用分野】この発明はクリーンルーム等で使用
する搬送装置に関し、特に搬送装置のスリットからの発
塵の防止に関する。
する搬送装置に関し、特に搬送装置のスリットからの発
塵の防止に関する。
【０００２】
【従来技術】クリーンルーム等で使用する搬送装置で
は、昇降台等の移動装置をスリットから突き出させた状
態で移動させる。当然の事ながらクリーンルームでは発
塵の防止が重要で、搬送装置の内部で生じるダストがス
リットから漏れないようにシールする必要がある。この
点に関して、移動装置の両側に一対の蛇腹を設け、移動
装置の移動により一対の蛇腹を伸縮させて、スリットを
シールするものが知られている。しかしながらこれに伴
い、蛇腹の収納スペースの分だけ搬送装置が大型化し、
また蛇腹同士の擦れ合いによる発塵が問題になる。さら
に伸縮を繰り返すため蛇腹の耐久性が問題となり、搬送
装置のメンテナンス回数が増加する。
は、昇降台等の移動装置をスリットから突き出させた状
態で移動させる。当然の事ながらクリーンルームでは発
塵の防止が重要で、搬送装置の内部で生じるダストがス
リットから漏れないようにシールする必要がある。この
点に関して、移動装置の両側に一対の蛇腹を設け、移動
装置の移動により一対の蛇腹を伸縮させて、スリットを
シールするものが知られている。しかしながらこれに伴
い、蛇腹の収納スペースの分だけ搬送装置が大型化し、
また蛇腹同士の擦れ合いによる発塵が問題になる。さら
に伸縮を繰り返すため蛇腹の耐久性が問題となり、搬送
装置のメンテナンス回数が増加する。
【０００３】
【発明の課題】請求項１の発明の課題は、移動装置の駆
動ベルトをスリットのシール部材に兼用し、専用のシー
ル部材を不要にして搬送装置を小型化し、さらに駆動ベ
ルトからの発塵を防止することにある。請求項２の発明
の追加の課題は、移動装置に駆動プーリーを設けてもな
おかつ、歯付ベルトの平坦面がスリット側に向くように
することにある。請求項３の発明の課題は、移動装置の
位置検出用ベルトをスリットのシール部材に兼用し、専
用のシール部材を不要にして、搬送装置を小型化するこ
とにある。請求項４の発明の追加の課題は、移動装置の
駆動をさらに簡単にすることにある。
動ベルトをスリットのシール部材に兼用し、専用のシー
ル部材を不要にして搬送装置を小型化し、さらに駆動ベ
ルトからの発塵を防止することにある。請求項２の発明
の追加の課題は、移動装置に駆動プーリーを設けてもな
おかつ、歯付ベルトの平坦面がスリット側に向くように
することにある。請求項３の発明の課題は、移動装置の
位置検出用ベルトをスリットのシール部材に兼用し、専
用のシール部材を不要にして、搬送装置を小型化するこ
とにある。請求項４の発明の追加の課題は、移動装置の
駆動をさらに簡単にすることにある。
【０００４】
【発明の構成】請求項１の発明は、搬送装置のスリット
から突き出した移動装置を、ベルト駆動で移動させるよ
うにした搬送装置において、該ベルトを上下に配設した
歯付ベルトとし、かつその平坦面が前記スリット側を向
くようにして、歯付ベルトをスリットのシール部材に兼
用したことを特徴とする。好ましくは、前記移動装置
に、駆動プーリーと、駆動プーリーの上下に各２個の合
計４個のアイドルプーリーとを設けて、該駆動プーリー
を歯付ベルトに噛み合わせ、かつアイドルプーリーで歯
付ベルトをガイドしてスリット側に歯付ベルトの平坦面
が向くようにする（請求項２）。
から突き出した移動装置を、ベルト駆動で移動させるよ
うにした搬送装置において、該ベルトを上下に配設した
歯付ベルトとし、かつその平坦面が前記スリット側を向
くようにして、歯付ベルトをスリットのシール部材に兼
用したことを特徴とする。好ましくは、前記移動装置
に、駆動プーリーと、駆動プーリーの上下に各２個の合
計４個のアイドルプーリーとを設けて、該駆動プーリー
を歯付ベルトに噛み合わせ、かつアイドルプーリーで歯
付ベルトをガイドしてスリット側に歯付ベルトの平坦面
が向くようにする（請求項２）。
【０００５】請求項３の発明は、搬送装置のスリットか
ら突き出した移動装置の位置を検出するためのベルトを
設けた搬送装置において、該ベルトを前記スリットのシ
ール部材に兼用したことを特徴とする。ベルトを用いた
位置検出には、ロータリーエンコーダ等を用いればよ
い。好ましくは、前記ベルトを移動装置の駆動用のベル
トに兼用する（請求項４）。
ら突き出した移動装置の位置を検出するためのベルトを
設けた搬送装置において、該ベルトを前記スリットのシ
ール部材に兼用したことを特徴とする。ベルトを用いた
位置検出には、ロータリーエンコーダ等を用いればよ
い。好ましくは、前記ベルトを移動装置の駆動用のベル
トに兼用する（請求項４）。
【０００６】なお、移動装置は搬送装置の昇降台や水平
運動台等とし、昇降台の場合、スリットのシールが特に
問題となるので、移動装置を昇降台とする場合が特に重
要である。また搬送装置は、スリットからの発塵を防止
するとの観点から、クリーンルーム用の搬送装置が特に
重要であるが、これに限るものではない。
運動台等とし、昇降台の場合、スリットのシールが特に
問題となるので、移動装置を昇降台とする場合が特に重
要である。また搬送装置は、スリットからの発塵を防止
するとの観点から、クリーンルーム用の搬送装置が特に
重要であるが、これに限るものではない。
【０００７】
【発明の作用と効果】請求項１の発明では、移動装置の
駆動用のベルトをスリットのシール部材に兼用する。そ
してこのベルトを上下に配設した歯付ベルトとして、歯
付ベルトの平坦面がスリット側を向くようにして、移動
装置を昇降させる。歯付ベルトであるので昇降台の位置
を正確に制御でき、歯付ベルトはエンドレスベルトでも
搬送装置の上下で両端を固定した固定ベルトでも良い。
このため専用のシール部材が不要で、搬送装置を小型化
でき、かつ蛇腹等からの発塵やその疲労等の問題がな
い。また歯付ベルトの歯付面が摩耗しても、発塵が少な
い。請求項２の発明では、駆動プーリーを移動装置に設
けて、歯付ベルトに噛み合わせ、かつ駆動プーリーの上
下に各２個、合計４個のアイドルプーリーを設けて、駆
動プーリーが歯付ベルトの歯付面と噛み合った際に、ス
リットには歯付面の反対側の平坦面が表れるようにす
る。
駆動用のベルトをスリットのシール部材に兼用する。そ
してこのベルトを上下に配設した歯付ベルトとして、歯
付ベルトの平坦面がスリット側を向くようにして、移動
装置を昇降させる。歯付ベルトであるので昇降台の位置
を正確に制御でき、歯付ベルトはエンドレスベルトでも
搬送装置の上下で両端を固定した固定ベルトでも良い。
このため専用のシール部材が不要で、搬送装置を小型化
でき、かつ蛇腹等からの発塵やその疲労等の問題がな
い。また歯付ベルトの歯付面が摩耗しても、発塵が少な
い。請求項２の発明では、駆動プーリーを移動装置に設
けて、歯付ベルトに噛み合わせ、かつ駆動プーリーの上
下に各２個、合計４個のアイドルプーリーを設けて、駆
動プーリーが歯付ベルトの歯付面と噛み合った際に、ス
リットには歯付面の反対側の平坦面が表れるようにす
る。
【０００８】請求項３の発明では、搬送装置のスリット
から突き出した移動装置の位置を検出するためのベルト
を、スリットのシール部材に兼用する。移動装置の位置
を検出するには、移動装置がベルトに固定の場合、他に
ロータリーエンコーダ等を設けて、ベルトの送り量等を
検出すればよい。また移動装置がベルトに固着されてい
ない場合、移動装置にロータリーエンコーダ等を設け
て、ベルトとの相対回転を検出すればよい。請求項３の
発明では、移動装置の位置検出用のベルトをスリットの
シール部材に兼用できるので、搬送装置を小型化でき、
蛇腹等からの発塵やその疲労等の問題がない。請求項４
の発明では、位置検出用のベルトを駆動ベルトに兼用す
るので、移動装置の駆動がさらに簡単になる。
から突き出した移動装置の位置を検出するためのベルト
を、スリットのシール部材に兼用する。移動装置の位置
を検出するには、移動装置がベルトに固定の場合、他に
ロータリーエンコーダ等を設けて、ベルトの送り量等を
検出すればよい。また移動装置がベルトに固着されてい
ない場合、移動装置にロータリーエンコーダ等を設け
て、ベルトとの相対回転を検出すればよい。請求項３の
発明では、移動装置の位置検出用のベルトをスリットの
シール部材に兼用できるので、搬送装置を小型化でき、
蛇腹等からの発塵やその疲労等の問題がない。請求項４
の発明では、位置検出用のベルトを駆動ベルトに兼用す
るので、移動装置の駆動がさらに簡単になる。
【０００９】
【実施例】図１〜図３に実施例を示し、図４，図５，図
６に３つの変形例を示す。図１〜図３において、２は走
行レールで、例えばクリーンルームの床面に設置し、４
は搬送装置の水平走行部で、レール２上を水平走行す
る。５はターンテーブルで、６は昇降台、７は昇降台６
の突出部を突き出させるためのスリットで、８は昇降台
６を昇降させるための歯付ベルトであり、９はその歯付
面で、１０は平坦面である。そして図２に示すようにス
リット７側に平坦面１０が表れている。１１はターンテ
ーブル５上のマストで、昇降台６等を収容する。
６に３つの変形例を示す。図１〜図３において、２は走
行レールで、例えばクリーンルームの床面に設置し、４
は搬送装置の水平走行部で、レール２上を水平走行す
る。５はターンテーブルで、６は昇降台、７は昇降台６
の突出部を突き出させるためのスリットで、８は昇降台
６を昇降させるための歯付ベルトであり、９はその歯付
面で、１０は平坦面である。そして図２に示すようにス
リット７側に平坦面１０が表れている。１１はターンテ
ーブル５上のマストで、昇降台６等を収容する。
【００１０】昇降台６には駆動プーリー１２の他に４つ
のアイドルプーリー１３〜１６が設けてあり、駆動プー
リー１２とアイドルプーリー１５，１６が歯付ベルト８
の歯付面と噛み合い、アイドルプーリー１３，１４は平
坦面１０と接触する。このためスリット７からは歯付ベ
ルト８の平坦面１０が見え、美観に優れると共に発塵し
やすい歯付面９を外部からシールしている。１８は昇降
台６に設けた昇降モータで、図１の２０，２２はプーリ
ー１２〜１６の軸受である。そして駆動プーリー１２の
シャフトには傘歯歯車２４を接続し、図２の昇降モータ
１８から下側に突き出させたシャフトの傘歯歯車と噛み
合わせて、駆動プーリー１２を回転させる。
のアイドルプーリー１３〜１６が設けてあり、駆動プー
リー１２とアイドルプーリー１５，１６が歯付ベルト８
の歯付面と噛み合い、アイドルプーリー１３，１４は平
坦面１０と接触する。このためスリット７からは歯付ベ
ルト８の平坦面１０が見え、美観に優れると共に発塵し
やすい歯付面９を外部からシールしている。１８は昇降
台６に設けた昇降モータで、図１の２０，２２はプーリ
ー１２〜１６の軸受である。そして駆動プーリー１２の
シャフトには傘歯歯車２４を接続し、図２の昇降モータ
１８から下側に突き出させたシャフトの傘歯歯車と噛み
合わせて、駆動プーリー１２を回転させる。
【００１１】昇降台６は歯付ベルト８を用いて昇降し、
図１での左右方向の位置決めはローラー２６ａ，２６ｂ
で行い、前後方向の位置決めはローラー２８ａ，２８ｂ
で行う。これに対応してガイド部材３０ａ，３０ｂを設
け、これに設けたガイドレール３２ａ〜３４ｂで、ロー
ラー２６ａ〜２８ｂをガイドする。３６は背面カバー、
３７ａ，３７ｂは側面カバーで、３８ａ，３８ｂは空洞
部であり、昇降台６の昇降等で汚染した空気を吸引し、
図示しないクリーンファンユニット等へと導くためのも
のである。
図１での左右方向の位置決めはローラー２６ａ，２６ｂ
で行い、前後方向の位置決めはローラー２８ａ，２８ｂ
で行う。これに対応してガイド部材３０ａ，３０ｂを設
け、これに設けたガイドレール３２ａ〜３４ｂで、ロー
ラー２６ａ〜２８ｂをガイドする。３６は背面カバー、
３７ａ，３７ｂは側面カバーで、３８ａ，３８ｂは空洞
部であり、昇降台６の昇降等で汚染した空気を吸引し、
図示しないクリーンファンユニット等へと導くためのも
のである。
【００１２】昇降台６には移載台４０を設け、一対のア
ーム４２，４４を介してハンド４６を前後進させる。４
８，５０，５２はこれらに対する回動軸で、アーム４２
とアーム４４は逆方向に回動し、ハンド４６はアーム４
４と逆方向に回動する。回動角は、アーム４２を１とし
て、アーム４４が−２，ハンド４６が１である。このた
めハンド４６は同じ向きで移載台４０から前後進し、図
示しないラック等に戴置されている物品を、最小の干渉
範囲で移載できる。
ーム４２，４４を介してハンド４６を前後進させる。４
８，５０，５２はこれらに対する回動軸で、アーム４２
とアーム４４は逆方向に回動し、ハンド４６はアーム４
４と逆方向に回動する。回動角は、アーム４２を１とし
て、アーム４４が−２，ハンド４６が１である。このた
めハンド４６は同じ向きで移載台４０から前後進し、図
示しないラック等に戴置されている物品を、最小の干渉
範囲で移載できる。
【００１３】実施例の作用を示すと、図２に示すように
駆動プーリー１２が歯付ベルト８の歯付面９と噛み合い
ながら回転することで、昇降台６はスリット７に沿って
上下に昇降する。この時４つのアイドルプーリー１３〜
１６のため、スリット７側には歯付ベルト８の平坦面１
０が表れ、美観に優れると共に、歯付面９が摩耗するこ
とによって生じた塵芥が放出されるのを防止する。そし
て昇降台６は前後左右の位置をガイドローラー２６ａ〜
２８ｂで規制され、カバー３６内に生じた汚染空気は空
洞３８ａ，３８ｂ等を介してクリーンファンユニットへ
と導かれて処理される。
駆動プーリー１２が歯付ベルト８の歯付面９と噛み合い
ながら回転することで、昇降台６はスリット７に沿って
上下に昇降する。この時４つのアイドルプーリー１３〜
１６のため、スリット７側には歯付ベルト８の平坦面１
０が表れ、美観に優れると共に、歯付面９が摩耗するこ
とによって生じた塵芥が放出されるのを防止する。そし
て昇降台６は前後左右の位置をガイドローラー２６ａ〜
２８ｂで規制され、カバー３６内に生じた汚染空気は空
洞３８ａ，３８ｂ等を介してクリーンファンユニットへ
と導かれて処理される。
【００１４】ここで歯付ベルト８をスリット７のシール
に兼用できるので、蛇腹等の専用のシール部材が不要と
なり、蛇腹等の収容スペースの分だけ搬送装置が小型化
する。また蛇腹の擦れ合いによる発塵はなく、蛇腹の伸
縮の繰り返しによる疲労等も生じない。
に兼用できるので、蛇腹等の専用のシール部材が不要と
なり、蛇腹等の収容スペースの分だけ搬送装置が小型化
する。また蛇腹の擦れ合いによる発塵はなく、蛇腹の伸
縮の繰り返しによる疲労等も生じない。
【００１５】
【変形例１】この発明で重要なことは、昇降台の昇降や
位置検出用のベルトをスリット７のシールに兼用するこ
とで、ベルトは上下を固定した固定ベルトでもエンドレ
スベルトでも良い。図４に歯付のエンドレスベルト１０
８を用いた変形例を示すと、１１０はカウンターウエイ
トで，１１２ａ〜１１２ｄはプーリーで、その１つを駆
動プーリーとし、昇降台１０６をエンドレスベルト１０
８に固定して昇降させる。この変形例では、カウンター
ウエイト１１０を用いることができるので、昇降台１０
６の昇降が容易になる。なお実施例，変形例とも歯付ベ
ルト８，１０８を用いるので、ベルトとプーリー１２と
の間の滑りが無視でき、プーリー１２，１１２ｄの回転
数等から昇降台６，１０６の位置を検出できる。
位置検出用のベルトをスリット７のシールに兼用するこ
とで、ベルトは上下を固定した固定ベルトでもエンドレ
スベルトでも良い。図４に歯付のエンドレスベルト１０
８を用いた変形例を示すと、１１０はカウンターウエイ
トで，１１２ａ〜１１２ｄはプーリーで、その１つを駆
動プーリーとし、昇降台１０６をエンドレスベルト１０
８に固定して昇降させる。この変形例では、カウンター
ウエイト１１０を用いることができるので、昇降台１０
６の昇降が容易になる。なお実施例，変形例とも歯付ベ
ルト８，１０８を用いるので、ベルトとプーリー１２と
の間の滑りが無視でき、プーリー１２，１１２ｄの回転
数等から昇降台６，１０６の位置を検出できる。
【００１６】
【変形例２】図５に、昇降台の位置検出用のベルト２１
４を設けた変形例を示す。昇降台２０６はベルト２１４
に固定され、３つのプーリー１１２ａ〜１１２ｃと、ロ
ータリーエンコーダ２１６とを用いてベルト２１４を送
り、ロータリーエンコーダ２１６で昇降台２０６の位置
を検出する。また２０８は前記の歯付ベルト８と同様の
歯付ベルトで、駆動プーリー１２と２つのアイドルプー
リー１３，１４を用い、図１〜図３の実施例と同様の機
構で駆動プーリー１２を回転させて、昇降台２０６を昇
降させる。なおスリット７にはベルト２１４が表れるの
で、アイドルプーリー１５，１６は不要である。またカ
ウンターウエイト１１０を用いるので、昇降台２０６の
昇降が容易になる。
４を設けた変形例を示す。昇降台２０６はベルト２１４
に固定され、３つのプーリー１１２ａ〜１１２ｃと、ロ
ータリーエンコーダ２１６とを用いてベルト２１４を送
り、ロータリーエンコーダ２１６で昇降台２０６の位置
を検出する。また２０８は前記の歯付ベルト８と同様の
歯付ベルトで、駆動プーリー１２と２つのアイドルプー
リー１３，１４を用い、図１〜図３の実施例と同様の機
構で駆動プーリー１２を回転させて、昇降台２０６を昇
降させる。なおスリット７にはベルト２１４が表れるの
で、アイドルプーリー１５，１６は不要である。またカ
ウンターウエイト１１０を用いるので、昇降台２０６の
昇降が容易になる。
【００１７】
【変形例３】図６に、ボールネジ３２０と昇降モータ３
１８とを用いた変形例を示す。この変形例では昇降モー
タ３１８でボールネジ３２０を回転させ、雌ネジ部３２
２を用いて昇降台３２４を昇降させる。昇降台３２４に
はロータリーエンコーダ３１２と２つのアイドルプーリ
ー１３，１４を配置し、ベルト３２６を用いてロータリ
ーエンコーダ３１２で昇降台３２４の高さ位置を検出す
る。これ以外の点は図１〜図３の実施例と同様である。
１８とを用いた変形例を示す。この変形例では昇降モー
タ３１８でボールネジ３２０を回転させ、雌ネジ部３２
２を用いて昇降台３２４を昇降させる。昇降台３２４に
はロータリーエンコーダ３１２と２つのアイドルプーリ
ー１３，１４を配置し、ベルト３２６を用いてロータリ
ーエンコーダ３１２で昇降台３２４の高さ位置を検出す
る。これ以外の点は図１〜図３の実施例と同様である。
【図１】 実施例の搬送装置の水平方向断面図
【図２】 実施例の搬送装置の要部断面図
【図３】 実施例の搬送装置の全体構造を模式的に示
す断面図
す断面図
【図４】 第１変形例の搬送装置の全体構造を模式的
に示す断面図
に示す断面図
【図５】 第２変形例の搬送装置の全体構造を模式的
に示す断面図
に示す断面図
【図６】 第３変形例の搬送装置の全体構造を模式的
に示す断面図
に示す断面図
２ 走行レール ４ 水平走行部 ５ ターンテーブル ６ 昇降台 ７ スリット ８ 歯付ベルト ９ 歯付面 １０ 平坦面 １１ マスト １２ 駆動プーリー １３〜１６ アイドルプーリー １８ 昇降モータ ２０，２２ 軸受 ２４ 傘歯歯車 ２６ａ〜２８ｂ ローラ− ３０ａ，３０ｂ ガイド部材 ３２ａ〜３４ｂ ガイドレール ３６ 背面カバー ３７ａ，３７ｂ 側面カバー ３８ａ，３８ｂ 空洞部 ４０ 移載台 ４２，４４ アーム ４６ ハンド ４８，５０，５２ 回動軸 １０６ 昇降台 １０８，２０８ 歯付ベルト １１０ カウンターウェイト １１２ａ〜１１２ｄ プーリー ２１４ ベルト ２１６，３１２ ロータリーエンコーダ ３１８ 昇降モータ ３２０ ボールネジ ３２２ 雌ネジ部 ３２４ 昇降台 ３２６ ベルト
Claims (4)
- 【請求項１】 搬送装置のスリットから突き出した移動
装置を、ベルト駆動で移動させるようにした搬送装置に
おいて、 該ベルトを上下に配設した歯付ベルトとして前記移動装
置を昇降させ、かつその平坦面が前記スリット側を向く
ようにして、歯付ベルトをスリットのシール部材に兼用
したことを特徴とする、搬送装置。 - 【請求項２】 前記移動装置に、駆動プーリーと、駆動
プーリーの上下に各２個の合計４個のアイドルプーリー
とを設けて、該駆動プーリーを歯付ベルトに噛み合わ
せ、かつアイドルプーリーで歯付ベルトをガイドしてス
リット側に歯付ベルトの平坦面が向くようにした、こと
を特徴とする、請求項１の搬送装置。 - 【請求項３】 搬送装置のスリットから突き出した移動
装置の位置を検出するためのベルトを設けた搬送装置に
おいて、 該ベルトを前記スリットのシール部材に兼用したことを
特徴とする搬送装置。 - 【請求項４】 前記ベルトを歯付ベルトとして、移動装
置の駆動用のベルトに兼用したことを特徴とする、請求
項３の搬送装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15679798A JP3267932B2 (ja) | 1998-05-20 | 1998-05-20 | 搬送装置 |
| US09/261,741 US6105727A (en) | 1998-05-20 | 1999-03-03 | Carrying apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15679798A JP3267932B2 (ja) | 1998-05-20 | 1998-05-20 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11334869A JPH11334869A (ja) | 1999-12-07 |
| JP3267932B2 true JP3267932B2 (ja) | 2002-03-25 |
Family
ID=15635537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15679798A Expired - Fee Related JP3267932B2 (ja) | 1998-05-20 | 1998-05-20 | 搬送装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
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| DE102004003173A1 (de) * | 2004-01-22 | 2005-08-11 | Saurer Gmbh & Co. Kg | Fadenchangiereinrichtung für eine Spulvorrichtung einer Kreuzspulen herstellenden Textilmaschine |
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