JP3267932B2 - 搬送装置 - Google Patents
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- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
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- B66F9/06—Devices for lifting or lowering bulky or heavy goods for loading or unloading purposes movable, with their loads, on wheels or the like, e.g. fork-lift trucks
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Description
する搬送装置に関し、特に搬送装置のスリットからの発
塵の防止に関する。
は、昇降台等の移動装置をスリットから突き出させた状
態で移動させる。当然の事ながらクリーンルームでは発
塵の防止が重要で、搬送装置の内部で生じるダストがス
リットから漏れないようにシールする必要がある。この
点に関して、移動装置の両側に一対の蛇腹を設け、移動
装置の移動により一対の蛇腹を伸縮させて、スリットを
シールするものが知られている。しかしながらこれに伴
い、蛇腹の収納スペースの分だけ搬送装置が大型化し、
また蛇腹同士の擦れ合いによる発塵が問題になる。さら
に伸縮を繰り返すため蛇腹の耐久性が問題となり、搬送
装置のメンテナンス回数が増加する。
動ベルトをスリットのシール部材に兼用し、専用のシー
ル部材を不要にして搬送装置を小型化し、さらに駆動ベ
ルトからの発塵を防止することにある。請求項2の発明
の追加の課題は、移動装置に駆動プーリーを設けてもな
おかつ、歯付ベルトの平坦面がスリット側に向くように
することにある。請求項3の発明の課題は、移動装置の
位置検出用ベルトをスリットのシール部材に兼用し、専
用のシール部材を不要にして、搬送装置を小型化するこ
とにある。請求項4の発明の追加の課題は、移動装置の
駆動をさらに簡単にすることにある。
から突き出した移動装置を、ベルト駆動で移動させるよ
うにした搬送装置において、該ベルトを上下に配設した
歯付ベルトとし、かつその平坦面が前記スリット側を向
くようにして、歯付ベルトをスリットのシール部材に兼
用したことを特徴とする。好ましくは、前記移動装置
に、駆動プーリーと、駆動プーリーの上下に各2個の合
計4個のアイドルプーリーとを設けて、該駆動プーリー
を歯付ベルトに噛み合わせ、かつアイドルプーリーで歯
付ベルトをガイドしてスリット側に歯付ベルトの平坦面
が向くようにする(請求項2)。
ら突き出した移動装置の位置を検出するためのベルトを
設けた搬送装置において、該ベルトを前記スリットのシ
ール部材に兼用したことを特徴とする。ベルトを用いた
位置検出には、ロータリーエンコーダ等を用いればよ
い。好ましくは、前記ベルトを移動装置の駆動用のベル
トに兼用する(請求項4)。
運動台等とし、昇降台の場合、スリットのシールが特に
問題となるので、移動装置を昇降台とする場合が特に重
要である。また搬送装置は、スリットからの発塵を防止
するとの観点から、クリーンルーム用の搬送装置が特に
重要であるが、これに限るものではない。
駆動用のベルトをスリットのシール部材に兼用する。そ
してこのベルトを上下に配設した歯付ベルトとして、歯
付ベルトの平坦面がスリット側を向くようにして、移動
装置を昇降させる。歯付ベルトであるので昇降台の位置
を正確に制御でき、歯付ベルトはエンドレスベルトでも
搬送装置の上下で両端を固定した固定ベルトでも良い。
このため専用のシール部材が不要で、搬送装置を小型化
でき、かつ蛇腹等からの発塵やその疲労等の問題がな
い。また歯付ベルトの歯付面が摩耗しても、発塵が少な
い。請求項2の発明では、駆動プーリーを移動装置に設
けて、歯付ベルトに噛み合わせ、かつ駆動プーリーの上
下に各2個、合計4個のアイドルプーリーを設けて、駆
動プーリーが歯付ベルトの歯付面と噛み合った際に、ス
リットには歯付面の反対側の平坦面が表れるようにす
る。
から突き出した移動装置の位置を検出するためのベルト
を、スリットのシール部材に兼用する。移動装置の位置
を検出するには、移動装置がベルトに固定の場合、他に
ロータリーエンコーダ等を設けて、ベルトの送り量等を
検出すればよい。また移動装置がベルトに固着されてい
ない場合、移動装置にロータリーエンコーダ等を設け
て、ベルトとの相対回転を検出すればよい。請求項3の
発明では、移動装置の位置検出用のベルトをスリットの
シール部材に兼用できるので、搬送装置を小型化でき、
蛇腹等からの発塵やその疲労等の問題がない。請求項4
の発明では、位置検出用のベルトを駆動ベルトに兼用す
るので、移動装置の駆動がさらに簡単になる。
6に3つの変形例を示す。図1〜図3において、2は走
行レールで、例えばクリーンルームの床面に設置し、4
は搬送装置の水平走行部で、レール2上を水平走行す
る。5はターンテーブルで、6は昇降台、7は昇降台6
の突出部を突き出させるためのスリットで、8は昇降台
6を昇降させるための歯付ベルトであり、9はその歯付
面で、10は平坦面である。そして図2に示すようにス
リット7側に平坦面10が表れている。11はターンテ
ーブル5上のマストで、昇降台6等を収容する。
のアイドルプーリー13〜16が設けてあり、駆動プー
リー12とアイドルプーリー15,16が歯付ベルト8
の歯付面と噛み合い、アイドルプーリー13,14は平
坦面10と接触する。このためスリット7からは歯付ベ
ルト8の平坦面10が見え、美観に優れると共に発塵し
やすい歯付面9を外部からシールしている。18は昇降
台6に設けた昇降モータで、図1の20,22はプーリ
ー12〜16の軸受である。そして駆動プーリー12の
シャフトには傘歯歯車24を接続し、図2の昇降モータ
18から下側に突き出させたシャフトの傘歯歯車と噛み
合わせて、駆動プーリー12を回転させる。
図1での左右方向の位置決めはローラー26a,26b
で行い、前後方向の位置決めはローラー28a,28b
で行う。これに対応してガイド部材30a,30bを設
け、これに設けたガイドレール32a〜34bで、ロー
ラー26a〜28bをガイドする。36は背面カバー、
37a,37bは側面カバーで、38a,38bは空洞
部であり、昇降台6の昇降等で汚染した空気を吸引し、
図示しないクリーンファンユニット等へと導くためのも
のである。
ーム42,44を介してハンド46を前後進させる。4
8,50,52はこれらに対する回動軸で、アーム42
とアーム44は逆方向に回動し、ハンド46はアーム4
4と逆方向に回動する。回動角は、アーム42を1とし
て、アーム44が−2,ハンド46が1である。このた
めハンド46は同じ向きで移載台40から前後進し、図
示しないラック等に戴置されている物品を、最小の干渉
範囲で移載できる。
駆動プーリー12が歯付ベルト8の歯付面9と噛み合い
ながら回転することで、昇降台6はスリット7に沿って
上下に昇降する。この時4つのアイドルプーリー13〜
16のため、スリット7側には歯付ベルト8の平坦面1
0が表れ、美観に優れると共に、歯付面9が摩耗するこ
とによって生じた塵芥が放出されるのを防止する。そし
て昇降台6は前後左右の位置をガイドローラー26a〜
28bで規制され、カバー36内に生じた汚染空気は空
洞38a,38b等を介してクリーンファンユニットへ
と導かれて処理される。
に兼用できるので、蛇腹等の専用のシール部材が不要と
なり、蛇腹等の収容スペースの分だけ搬送装置が小型化
する。また蛇腹の擦れ合いによる発塵はなく、蛇腹の伸
縮の繰り返しによる疲労等も生じない。
位置検出用のベルトをスリット7のシールに兼用するこ
とで、ベルトは上下を固定した固定ベルトでもエンドレ
スベルトでも良い。図4に歯付のエンドレスベルト10
8を用いた変形例を示すと、110はカウンターウエイ
トで,112a〜112dはプーリーで、その1つを駆
動プーリーとし、昇降台106をエンドレスベルト10
8に固定して昇降させる。この変形例では、カウンター
ウエイト110を用いることができるので、昇降台10
6の昇降が容易になる。なお実施例,変形例とも歯付ベ
ルト8,108を用いるので、ベルトとプーリー12と
の間の滑りが無視でき、プーリー12,112dの回転
数等から昇降台6,106の位置を検出できる。
4を設けた変形例を示す。昇降台206はベルト214
に固定され、3つのプーリー112a〜112cと、ロ
ータリーエンコーダ216とを用いてベルト214を送
り、ロータリーエンコーダ216で昇降台206の位置
を検出する。また208は前記の歯付ベルト8と同様の
歯付ベルトで、駆動プーリー12と2つのアイドルプー
リー13,14を用い、図1〜図3の実施例と同様の機
構で駆動プーリー12を回転させて、昇降台206を昇
降させる。なおスリット7にはベルト214が表れるの
で、アイドルプーリー15,16は不要である。またカ
ウンターウエイト110を用いるので、昇降台206の
昇降が容易になる。
18とを用いた変形例を示す。この変形例では昇降モー
タ318でボールネジ320を回転させ、雌ネジ部32
2を用いて昇降台324を昇降させる。昇降台324に
はロータリーエンコーダ312と2つのアイドルプーリ
ー13,14を配置し、ベルト326を用いてロータリ
ーエンコーダ312で昇降台324の高さ位置を検出す
る。これ以外の点は図1〜図3の実施例と同様である。
す断面図
に示す断面図
に示す断面図
に示す断面図
Claims (4)
- 【請求項1】 搬送装置のスリットから突き出した移動
装置を、ベルト駆動で移動させるようにした搬送装置に
おいて、 該ベルトを上下に配設した歯付ベルトとして前記移動装
置を昇降させ、かつその平坦面が前記スリット側を向く
ようにして、歯付ベルトをスリットのシール部材に兼用
したことを特徴とする、搬送装置。 - 【請求項2】 前記移動装置に、駆動プーリーと、駆動
プーリーの上下に各2個の合計4個のアイドルプーリー
とを設けて、該駆動プーリーを歯付ベルトに噛み合わ
せ、かつアイドルプーリーで歯付ベルトをガイドしてス
リット側に歯付ベルトの平坦面が向くようにした、こと
を特徴とする、請求項1の搬送装置。 - 【請求項3】 搬送装置のスリットから突き出した移動
装置の位置を検出するためのベルトを設けた搬送装置に
おいて、 該ベルトを前記スリットのシール部材に兼用したことを
特徴とする搬送装置。 - 【請求項4】 前記ベルトを歯付ベルトとして、移動装
置の駆動用のベルトに兼用したことを特徴とする、請求
項3の搬送装置。
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