JPH0460882B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体の製造設備として用いられる
のに好適な、固定棚と、固定棚に収納物を搬出搬
入する移載装置とを備えた収納物移載保管装置に
関する。

従来技術及びその問題点 従来、この種収納物移載保管装置として、第１
７図に示すものがあつた。

この収納物移載保管装置Ａは、収納物Ｗを収納
する複数の棚２１を有し紙面と垂直の方向に配置
された固定棚２２の前面（図の左側）に沿つて垂
直（図の上下方向）、水平（紙面と垂直方向）移
動する移載装置２３が、無人台車２４と固定棚２
２の間で図の左右方向に移動して収納物Ｗを移載
するようになつている。

２５は移載装置２３の垂直移動案内をするレー
ルである。

ところが、このような収納物移載保管装置であ
ると、移載装置２３の走行装置２６が、移載装置
２３の下部で、固定棚２２と無人台車２４の間に
位置を占めているため、固定棚２２と無人台車２
４の間隔（Ｈ）が広がり、収納物移載保管装置Ａ
全体の占める床面積が広くなる問題点を有してい
た。特に、半導体の製造設備に関連するクリーン
ルーム等は、単位面積当たりの単価が高価であ
り、少しでも専有面積を小さくする必要がある。

問題点を解決するための手段 本発明は、複数の収納物を収納する固定棚と、
該固定棚の前面に移動自在に設けられた移載装置
を有してなり、前記移載装置の走行駆動部を前記
固定棚の下部に設けるとともに、前記移載装置の
走行案内部を前記走行駆動部の上部と下部に設
け、前記移載装置の下方に空きスペースを形成し
た収納物移載保管装置により前記問題点を解決し
たものである。

作 用 移載装置は、必要に応じて固定棚の前面を移動
して固定棚に対する収納物の移載を行うが、移載
装置の走行駆動部が固定棚の下部に設けられ、さ
らに、走行駆動部の上部と下部に移載装置の走行
案内部が設けられ、移載装置の下方に空きスペー
スを形成したため、走行駆動部をも含めた固定棚
の前後方向寸法が固定棚の前後方向寸法より僅か
に大きいだけですむので、移載保管装置の専有面
積が大幅に削減される。

実施例 以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。

収納物移載保管装置Ｂは、収納物Ｗを複数収納
する固定棚３０と、固定棚前面に設けられ固定棚
の前面に沿つて垂直水平方向に移動する移載装置
３１と、固定棚３０の前面に沿つて平行に移動し
収納物Ｗを搬送する無人台車３２から構成されて
いる。

固定棚３０は第２図乃至第５図に示すように収
納物Ｗを収納する棚３３を複数段具えている。

移載装置３１は第４図に示すように、固定棚３
０の下部に設けられ床に沿つて移動する走行駆動
部４０と、走行駆動部４０の前面（第４図におい
て左側）に設けられた支柱４１と、支柱４１の前
面を昇降する昇降ユニツト４２と、昇降ユニツト
４２を昇降させる昇降駆動部４３で構成されてい
る。昇降ユニツト４２には収納物Ｗを固定棚３０
と無人台車３２の間で収納物Ｗを移し替えるハン
ドユニツト４４が設けられている。

走行駆動部４０は第６図と第７図に示す構造に
なつている。

走行駆動部４０の全体の機構は棚の底部５０に
設けた下部レール５１と第１段の棚３３の下部に
設けた上部レール５２とによつて案内されて移動
するようになつている。また、走行駆動部４０は
全体が筐体５３により包まれるようにして密閉さ
れている。しかも筐体５３の上部は第６図におい
て右下がりの傾斜になつている。この密閉は走行
駆動部の塵埃が飛散するのを防止するためであ
り、又、斜面は固定棚５０の上方から吹き下ろさ
れるクリーンエアーの流れを規制するために形成
してある。筐体５３の下部には下部レール５１に
跨がある形状をした直線運動用ベアリング５５が
設けてある。また筐体５３の上部には上部レール
５２に係合案内される一対のローラー５６，５６
が設けてある。筐体５３の第６図の左側にはブレ
ーキを備えたACサーボモータ５７が水平に具え
られている。ACサーボモータ５７にはウオーム
減速機５８が連結されている。ウオーム減速機５
８の出力軸にはピニオン５９が取付けてある。ピ
ニオン５９は下部レール５１と平行に配設してあ
るラツク６０に噛合している。ACサーボモータ
５７の上方にはケーブル保護機構６１の一端を支
持する水平の梁６２が設けてある。ケーブル保護
機構６１は鎖状をしており、他端が固定棚３０の
底部５０に設けられ、走行駆動部４０と後に説明
する昇降ユニツト４２、昇降駆動部４３等の電源
となるケーブルを保護するためのものである。

次に走行駆動部４０の動作を説明する。

ACサーボモータ５７を駆動すると、ウオーム
減速機５８によつてモータの回転が減速され、ピ
ニオン５９が低速回転し、ラツク６０との噛合に
より移載装置３１の全体を第３図において左右の
方向に移動させる。この際ケーブル保護機構６１
は走行駆動部４０の移動にともない屈曲し、ケー
ブル（図示省略）を保護し供給電圧の異常をきた
さないようにしている。

次に昇降駆動部４３を説明する。

支柱４１は断面が矩形状をしており下部が走行
駆動部４０の筐体５３の前面（第６図の左側）に
ボルト６５によつて取付けられている。

支柱４１の内部には後述する昇降ユニツト４２
を昇降させる昇降駆動部４３が具えられている。

支柱４１の内部の下部には昇降モータ６６とモ
ータ６６の出力を減速する減速機６７が具えてあ
る。支柱４１内には更に減速機６７の近くと、支
柱の上端に、夫々プーリ６８，６９が回転自在に
設けられている。この一対の上下のプーリ６８，
６９には２本のベルト７０が掛渡してある。さら
に下部のプーリ６８と前記減速機６７の間には駆
動ベルト７１が掛渡してある。

昇降ユニツト４２は第８図乃至第１０図に示す
構造になつている。

昇降ユニツト４２には支柱４１の内部に支柱の
長手方向と平行に設けたレール７５に案内されて
上下に垂直移動（第９図において図の上下方向）
するものである。レール７５を跨ぐように一対の
直線運動用ベアリング７６が設けてある。一対の
直線運動用ベアリング７６には支持体７７が設け
てある。支持体の右側面（第８図の右側）には先
端部分が支柱４１の長手方向と平行に形成したス
リツト４１ａから突出している連結部材７８が設
けてある。支持体７７は前記ベルト７０に取付け
られている。支柱４１から突出している連結部材
７８には昇降ユニツトフレーム７９が設けられて
いる。昇降ユニツトフレーム７９にはハンドユニ
ツトモータ８０が水平に付けられている。

次に昇降ユニツト４２と昇降駆動部４３の動作
を説明する。

昇降モータ６６を駆動すると減速機６７により
回転が減速され駆動ベルト７１を介して２本のベ
ルト７０が回転する。これによりベルト７０に設
けられた支持体７７が直線運動用ベアリング７６
とレール７５に案内されて垂直上下移動する。こ
の垂直上下移動により支持体７７に設けてある連
結部材７８も上下し、昇降ユニツトフレーム７９
が一体となつて上下動を行う。

ハンドユニツト４４は第１１図および第１２図
に示す構造になつている。

ハンドユニツト４４の全体は昇降ユニツト４２
に設けられ複数のリンクとチエーン等によつて構
成されている。

昇降ユニツトフレーム７９には、ハンドユニツ
トモータ８０と、減速機構８５と減速機構８５の
出力軸８６と、第１の駆動スプロケツト８７がそ
れぞれ設けられている。出力軸８６の先端（第１
１図の手前側）には駆動アーム８８が一体に取付
けられている。駆動アーム８８の右端部（第１１
図の右側）には従動アーム８９を固着した中間軸
９１がベアリング９０によつて回転自在に一体に
取付けられている。中間軸９１には第１の駆動ス
プロケツト８７と対向する第１の従動スプロケツ
ト９２が一に取付けられている。第１の駆動スプ
ロケツト８７と第１の従動スプロケツト９２の間
には駆動チエーン９３が掛渡してある。また、駆
動アーム８８の右端部手前側には従動アーム８９
内に位置するように第２の駆動スプロケツト９４
が取付けられている。従動アーム８９の右端部に
はベアリング９５によつて従動軸９６が回転自在
に設けられている。この従動軸９６には前記第２
の駆動スプロケツト９４と対向する第２の従動ス
プロケツト９７が従動アーム８９内に位置するよ
うに一体に設けられている。第２の駆動スプロケ
ツト９４と第２の従動スプロケツト９７の間には
従動チエーン９８が掛渡してある。駆動アーム８
８と従動アーム８９の側面は、スプロケツトやチ
エーン等から生じる塵埃が飛散するのを密閉封止
するためにカバー９９，１００がそれぞれ取付け
られている。従動軸９４の手前側端部には収納物
Ｗが係合するフツク１０１が取付けられている。

次にハンドユニツト４４の動作を説明する。

まず、昇降ユニツト４２をわずかに上昇させ、
フツク１０１を収納物Ｗに係合する。すると、収
納物Ｗは棚３３からわずかに持上げられた状態に
なる。収納物Ｗをわずかに持上げた状態でハンド
ユニツトモータ８０を駆動し減速機構８５により
減速回転をさせ出力軸８６で駆動アーム８８を第
１２図において右回転させると第１の駆動スプロ
ケツト８７は固定されている駆動チエーン９３を
介して第１の従動スプロケツト９２が左回転させ
られる。これに伴い中間軸９１も左回転し中間軸
９１と一体の従動アーム８９が同様に左方向に回
転する。これにより従動アーム８９の右端部が水
平に第１２図において左方に移動し、収納物Ｗを
棚３３から徐々に引き出す。ハンドユニツトモー
タ８８がなお回転を続けるのに従つて駆動アーム
８８は右回転を継続する。これに伴い従動アーム
８９は中間軸９１を中心として左回転する。しか
し従動アーム８９の右端部は水平移動しながら出
力軸８６の方に近づいていく。これにより収納物
Ｗは棚３３から水平状態で搬出を継続する。駆動
アームがさらに回転し、第１２図において左側の
想像線の位置までくると、従動アーム８９の端部
は左側の方に水平移動し、無人台車３２の真上に
位置することになる。その後昇降ユニツト４２を
降下させ、収納物Ｗを無人台車３２の上に載せ
る。昇降ユニツト４２をさらにわずかに下降させ
ると、フツク１０１が収納物Ｗからはずれる。こ
れにより収納物Ｗの搬出が終了する。

次に収納物移載保管装置Ｂの全体の動作を説明
する。

固定棚３０に収納されている収納物Ｗを搬出す
るには、搬出を希望する収納物Ｗが収納されてい
る位置に支柱４１を走行駆動部４０により水平移
動させる。次に走行駆動部４３を駆動させ昇降ユ
ニツト４２を支柱４１に沿つて搬出希望をする収
納物Ｗの位置に昇降させる。次に、ハンドユニツ
トのモータ８０を駆動し、ハンドユニツトのフツ
クを収納物Ｗの両脇に差し込むようにして棚３３
の間に差し込む。この状態で昇降ユニツト４２を
わずかに上昇させフツク１０１を収納物に係合さ
せた後、ハンドユニツトモータ８０を逆転駆動
し、ハンドユニツト４４により収納物Ｗを棚３３
から取出す。この取り出した状態で再度昇降駆動
部４３を駆動させ昇降ユニツト４２を無人台車３
２の高さ位置まで下降もしくは上昇させる。次に
走行駆動部４０を駆動して昇降ユニツトが無人台
車３２の脇に位置するところまで支柱４１を移動
させる。このようにして、無人台車３２の脇に運
ばれた収納物Ｗは、ハンドユニツト４４の係止を
解除することにより無人台車３２に積載すること
ができる。

以上の実施例では、固定棚３０は１列しか配列
していないが、第１３図に示す如く、無人台車３
２の移動方向の延長上に別の固定棚３０ｂを設け
てもよい。さらに、第１４図に示す如く、無人台
車３２の走行する上部に新たな固定棚３０ｃを天
井の梁１１０につりさげるようにして設けてもよ
い。また無人台車３２は床の上を走行するように
なつているが、無人台車３２の替わりに有軌道台
車１１３を第１５図、第１６図に示す如く固定棚
３０，３０ｄの上方に位置する天上に固定された
梁１１１上のレール１１２を走行させるようにし
てもよい。

以上の実施例によると、移載装置３１の走行駆
動部４０を固定棚３０の下部に設け且つ走行可能
にしてあるので、固定棚専有面積に比べ移載装置
の専有面積が小さくなると共に、無人台車と固定
棚３０との間の距離Ｈ（第１図）を従来より大巾
に狭くすることができる。

さらに、収納物Ｗの搬出搬入を行うのに複数の
リンク機構からなるハンドユニツトを使用したの
で機構で伸縮自在となり、狭い空間に適合するこ
とができ、より一層前記の間隔Ｈをせばめること
ができる。

さらに、移載装置３１全体が固定棚３０に取付
けられた構成になつているので、固定棚３０を設
置する際、従来行つていた移載装置との相互間の
位置決め調整が不要となる。

また、クリーンルーム内で使用するときは、走
行駆動部４０と昇降駆動部４３は固定棚３０の下
部にあることにより駆動部４０，４３の駆動時に
おける塵埃が室内に飛散することが少なくなる。

さらに、各機構とも密封状態にしてあるので、
各機構部から発生する塵埃が室内に飛散すること
がない。

発明の効果 以上のように、本発明によると、走行駆動部を
固定棚の下部に具えているので、移載装置の床専
有面積が少なくなり収納物移載保管装置全体の専
有面積を狭めることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第１６図は本発明の実施例で、第１
図は収納物移載保管装置の全体側面図、第２図
は、固定棚部分の斜視図、第３図は固定棚で昇降
駆動部の一部を省略した正面図、第４図は第３図
の右側面図、第５図は第３図中５−５断面矢視図
で走行駆動部の筐体の傾斜を除いた図、第６図は
第５図下部の部分拡大図、第７図は第６図中７−
７矢視断面図、第８図は第３図において支柱４１
が右端に移動し昇降ユニツトが下降したとき固定
棚を水平に断面した図、第９は第８図の正面図、
第１０図は昇降ユニツトが上昇したときの第８図
の右側面図、第１１図はハンドユニツトの拡大断
面図、第１２図は第１１図の正面図、第１３図乃
至第１６図はいずれも他の実施例の収納物移載保
管装置の側面図、第１７図は従来のものの側面図
である。 Ｂ……収納物移載保管装置、Ｗ……収納物、３
０……固定棚、３１……移載装置、４０……走行
駆動部、５１……下部レール（走行案内部）、５
２……上部レール（走行案内部）、５５……直線
運動用ベアリング（走行案内部）、５６……ロー
ラ（走行案内部）。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 複数の収納物を収納する固定棚と、該固定棚
   の前面に移動自在に設けられた移載装置を有して
   なり、 前記移載装置の走行駆動部を前記固定棚の下部
   に設けるとともに、前記移載装置の走行案内部を
   前記走行駆動部の上部と下部に設け、前記移載装
   置の下方に空きスペースを形成したことを特徴と
   する、 収納物移載保管装置。