JPH0517007A

JPH0517007A - ロボツトハンド

Info

Publication number: JPH0517007A
Application number: JP10482291A
Authority: JP
Inventors: Masazumi Fukushima; 正純福島
Original assignee: Murata Machinery Ltd
Current assignee: Murata Machinery Ltd
Priority date: 1991-04-09
Filing date: 1991-04-09
Publication date: 1993-01-26

Abstract

(57)【要約】【目的】クリーン倉庫等において、好適に使用し得る
塵埃の発生の少ないロボットハンドを提供することにあ
る。【構成】第１揺動アーム６１及び第２揺動アーム６４
を伸ばしたり・折り曲げたりして、物品保持具６７によ
って物品を移載する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明はロボットハンドに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来この種ロボットハンドとして以下の
如きものは知られている。即ち、昇降台と、この昇降台
に摺動機構を介して水平摺動自在に設けられたスライド
フォークとを有するものは知られている。

【０００３】

【従来技術の欠点】前記従来ロボットハンドには以下の
如き欠点があった。即ち、スライドフォークが昇降台に
水平摺動自在に設けられているため、即ち、スライドフ
ォークが摺動機構を介して昇降台に設けられていたた
め、摺動機構の摺接部分からの塵埃の発生が多く、半導
体ウエハ等の塵埃を嫌う物品を収納・保管するクリーン
倉庫等においての使用には適さないという欠点があっ
た。

【０００４】

【前記欠点を解消するための手段】この発明は前記欠点
を解消するために以下の如き手段を採用した。この発明
は、昇降台と、この昇降台に設けられた左右一対の柱
と、これら柱の上端対向部側に、軸心を左右方向に向け
た枢軸を介して揺動自在に設けられた第１揺動アーム
と、これら第１揺動アームの自由端対向部側に軸心を左
右方向に向けた枢軸を介して揺動自在に設けられた第２
揺動アームと、これら第２揺動アームの自由端対向部側
に軸心を左右方向に向けた枢軸を介して揺動自在に設け
られた物品保持具と、前記第１揺動アームの揺動に連動
して第２揺動アーム及び物品保持具を所定の向きにする
ための揺動制御装置とを有しているものである。

【０００５】

【発明の作用】この発明は以下の如き作用をなすもので
ある。第１揺動アーム及び第２揺動アームを伸ばしたり
・折り曲げたりして、物品保持具によって物品を移載す
ることが出来る。

【０００６】

【実施例】以下にこの発明を図面に示す実施例に基づい
て説明する。なお、この明細書において、前とは図１紙
面表側を、後とは同裏側をいい、左とは図１左側を、右
とは同右側をいう。

【０００７】図１及び図２に示すごとく、クリーン倉庫
１（詳細は後述する。）の前方上方にガイドレール１３
１が長手方向を左右方向に向けるようにして設けられ、
このガイドレール１３１に沿って走行台車１３２がリニ
アーモーター（図示略）等の走行駆動装置によって走行
自在となされている。前記走行台車１３２の荷台１３３
には搬送ボックス１４１が載置されるようになされてい
る。

【０００８】図４及び図５に示すごとく、前記搬送ボッ
クス１４１は以下のごとき構成のものである。即ち、搬
送ボックス１４１は、底板１４２と、この底板１４２に
かぶさる、下面開放のカバー１４３とを有している。前
記底板１４２とカバー１４３とはロック装置１４５によ
って連結・分離自在となされている。前記ロック装置１
４５は、底板１４２の下面に回転自在に設けられた一対
の角孔１４７付き回転板１４６を有しており、これら回
転板１４６各々に一対の連結ロッド１４８の一端が枢着
され、これら連結ロッド１４８の他端に、底板１４２に
水平摺動自在に設けられたかんぬき１４９が枢着され、
これらかんぬき１４９が、カバー１４３に形成された嵌
合孔１５０に嵌入・脱出自在に設けられている。このよ
うな構成によって、かんぬき１４９を嵌合孔１５０に嵌
入することによって底板１４２とカバー１４３とを連結
することが出来、他方、かんぬき１４９を嵌合孔１５０
から抜き出すことによって底板１４２とカバー１４３と
を分離することが出来る。かんぬき１４９の進退動は、
回転板１４６の回転によって行なうことが出来る。

【０００９】カバー１４３の上端部の長手縁部には一対
の張り出し片１５２が設けられている。また、カバー１
４３の下周縁にはフランジ１５３が設けられている。

【００１０】図２の左側に示すごとく、前記底板１４２
の上面には、傾斜荷台面１５６及びストッパー１５７を
有する２つの荷載置台１５８が設けられている。搬送ボ
ックス１４１は、傾斜荷台面１５６が走行台車１３２の
走行方向を向くようにして、荷台１３３に載置されるも
のであり、このように搬送ボックス１４１が荷台１３３
に載置された状態で、張り出し片１５２は走行台車１３
２の走行方向を基準として両側に位置するものである。

【００１１】図２の左側及び図４に示すごとく、前記荷
載置台１５８には、多数の半導体ウエハ１６１が上下方
向に収納されたキャリア１６０が出し入れ口側がやや上
を向くようにして、載置されている。前記キャリア１６
０の上端には一対の張り出し片１６２が設けられてい
る。なお、搬送ボックス１４１が荷台１３３に載置され
た状態で、張り出し片１６２は走行台車１３２の走行方
向を基準として両側に位置するものである。

【００１２】図２及び図３に示すごとく、クリーン倉庫
１の頂壁２に、走行台車１３２が停止ステーション１７
０に停止すると、その荷台１３３上の搬送ボックス１４
１を、クリーン倉庫１の、頂壁２に形成された搬入口３
に移載するトランスファーロボット１７１が設置されて
いる。

【００１３】前記トランスファーロボット１７１は、搬
入口３の前後方向（図２の左右方向）中心と荷台１３３
の幅方向中心とを結ぶ中間において、クリーン倉庫１の
頂壁２に立設された固定ガイド筒１７２を有しており、
この固定ガイド筒１７２に、それとは相対回転しないよ
うにして、昇降筒体１７３が昇降自在に設けられ、この
昇降筒体１７３は流体圧シリンダ１７４によって昇降す
るようになされている。前記昇降筒体１７３に正逆回転
自在なモーター１７８によって回転させられる回転軸１
７７が回転自在に嵌められ、この回転軸１７７に水平旋
回アーム１７９が、その長さの中間において、取り付け
られている。このような構成によって、水平旋回アーム
１７９は、昇降筒体１７３の昇降によって昇降すると共
に、回転軸１７７の回転によって水平旋回（なお、ここ
で水平旋回とは水平揺動をも含むものである。）、具体
的には１８０度の往復揺動をするようになされている。
前記水平旋回アーム１７９の両端に回転軸１８２が軸心
を上下方向に向けるようにして、回転自在に設けられ、
これら回転軸１８２の下端に物品保持具１８３が取り付
けられている。前記物品保持具１８３は、前記カバー１
４３の張り出し片１５２を支承する一対の支承片１８４
を有している。前記支承片１８４の上方空間は張り出し
片１５２挿入空間となされている。

【００１４】前記一方の物品保持具１８３は動力伝達機
構１８６によって水平旋回アーム１７９が図３において
１８０度反時計方向に回転すると、水平旋回アーム１７
９に対して時計方向に２７０度回転するようになされる
と共に、水平旋回アーム１７９が１８０度時計方向に回
転すると、水平旋回アーム１７９に対して反時計方向に
２７０度回転するようになされ、他方の物品保持具１８
３は動力伝達機構１８６によって水平旋回アーム１７９
が図３において１８０度反時計方向に回転すると、水平
旋回アーム１７９に対して時計方向に９０度回転するよ
うになされると共に、水平旋回アーム１７９が１８０度
時計方向に回転すると、水平旋回アーム１７９に対して
反時計方向に９０度回転するようになされている。

【００１５】前記動力伝達機構１８６は、昇降筒体１７
３に固定された固定ホイール１８７と、回転軸１８２に
嵌め止められた回転ホイール１８８と、固定ホイール１
８７と回転ホイール１８８とに平行に掛け渡されたエン
ドレス帯１８９とを有している。そして、固定ホイール
１８７の直径と回転ホイール１８８の直径との比が以下
のごとき関係にある。２７０度回転する物品保持具１８３の方は、固定ホイール１８７の直径：回転ホイール１８８の直径
＝３：２９０度回転する物品保持具１８３の方は、固定ホイール１８７の直径：回転ホイール１８８の直径
＝１：２である。

【００１６】そして、水平旋回アーム１７９が前後方向
（図２の左右方向）を向いた状態で、２７０度回転する
物品保持具１８３が前方に位置すると共に、その支承片
１８４が前後方向に並び、他方、９０度回転する物品保
持具１８３が後方に位置すると共に、その支承片１８４
が左右方向に並ぶように位置設定されている。

【００１７】上記のごとき構成によって以下のごとき作
用がなされる。２７０度回転する物品保持具１８３がガ
イドレール１３１の上方であって、その支承片１８４が
走行台車１３２上の搬送ボックス１４１の張り出し片１
５２より下方に位置するような状態で待機していると、
搬送ボックス１４１が載った走行台車１３２が走行して
来て、停止ステーション１７０に停止する。その状態と
なると、張り出し片１５２は支承片１８４の上方に位置
する。

【００１８】然る後、水平旋回アーム１７９が上昇する
ことによって、支承片１８４が張り出し片１５２を持ち
上げて、究極的に搬送ボックス１４１を持ち上げる。他
方、９０度回転する物品保持具１８３はクリーン倉庫１
の搬入口３側の空の搬送ボックス１４１（この搬送ボッ
クス１４１が空となることは後の説明において理解出来
るものである。）を持ち上げる。その後、水平旋回アー
ム１７９が図３において１８０度反時計方向に水平揺動
することによって、走行台車１３２に載っていた搬送ボ
ックス１４１がクリーン倉庫１の搬入口３に移動させら
れ、空の搬送ボックス１４１が走行台車１３２側に移動
させられる。

【００１９】それと同時に、走行台車１３２に載ってい
た搬送ボックス１４１が２７０度時計方向に回転させら
れ、他方、空の搬送ボックス１４１が９０度時計方向に
回転させられる。即ち、走行台車１３２上において、進
行方向を向いていた搬送ボックス１４１の面が搬入口３
側において固定ガイド筒１７２側に向くようになされ、
搬入口３側において固定ガイド筒１７２側に向いていた
搬送ボックス１４１の面が走行台車１３２側において走
行台車１３２の進行方向に向けられる。要するに、搬送
ボックス１４１内のキャリア１６０の向きを、走行台車
１３２上にあるときと、クリーン倉庫１の搬入口３にあ
るときとにおいて、変更し得るようになされている。

【００２０】その後、水平旋回アーム１７９が下降する
ことによって、搬送ボックス１４１は走行台車１３２及
びクリーン倉庫１の搬入口３に降ろされる。クリーン倉
庫１の搬入口３に降ろされた搬送ボックス１４１は、カ
バー１４３のフランジ１５３が搬入口３の周縁部に当た
ることによってクリーン倉庫１の頂壁２に載るようにな
されている。なお、クリーン倉庫１の搬入口３は、底板
１４２より大きくなされていて、底板１４２が搬入口３
を通過し得るようになされている。その後、走行台車１
３２が走行を開始する。

【００２１】なお、物品保持具１８３の支承片１８４を
可動部材として、相互に近接・離隔する挟持ハンド機構
としても良い。

【００２２】図２に示すごとく、クリーン倉庫１の搬入
口３下方に位置するようにして、クリーン倉庫１内に搬
入用の昇降台４６が公知の昇降装置４７によって昇降自
在に設けられている。

【００２３】図４に示すごとく、前記昇降台４６には搬
送ボックス１４１のロック装置１４５を作動する作動装
置４９が設けられている。この作動装置４９は、回転板
１４６の角孔１４７に嵌まる一対の垂直回転角軸５０を
有しており、これら垂直回転角軸５０は上端が昇降台４
６の上面より突出しており、昇降台４６に搬送ボックス
１４１の底板１４２が載った際、回転板１４６の角孔１
４７に嵌まるようになされている。また、前記垂直回転
角軸５０は正逆回転自在なモーター５１によって回転さ
せられるようになされている。

【００２４】上記のごとき構成によって以下のごとき作
用がなされる。キャリア１６０が載せられた搬送ボック
ス１４１がクリーン倉庫１の搬入口３に降ろされると、
即ち、具体的には、搬入口３の周縁部にカバー１４３の
フランジ１５３が載せられると、昇降台４６が上昇して
底板１４２を支承する。そしてその状態となると、垂直
回転角軸５０が回転板１４６の角孔１４７に嵌合する。
その後、垂直回転角軸５０が回転させられて、かんぬき
１４９が嵌合孔１５０より抜け出す。その結果、カバー
１４３から底板１４２が外される。その後、昇降台４６
が下降することによって、カバー１４３を残した状態で
キャリア１６０が載った底板１４２がクリーン倉庫１内
に搬入される。その後、後述するロボットハンド５６に
よってキャリア１６０が底板１４２から取り出され、底
板１４２が空となると、昇降台４６が上昇して垂直回転
角軸５０が前記と逆転することによって、かんぬき１４
９が嵌合孔１５０に嵌まり、空の底板１４２がカバー１
４３に連結される。この説明から明らかなごとく、クリ
ーン倉庫１の搬入口３をカバー１４３によって閉塞した
状態で、キャリア１６０の、クリーン倉庫１内への搬入
が行なわれるので、クリーン倉庫１内のクリーン度を損
なわない。

【００２５】図６及び図７に示すごとく、クリーン倉庫
１は、頂壁２に形成された搬入口３、右壁４に形成され
た２つの搬出口５及び前後壁下部に設けられた外気取入
口１４等の所定の開口を除いて密閉室となされている。
前記クリーン倉庫１の床６の上方に間隙７をあけるよう
にして水平壁８が設けられ、この水平壁８の前後方向中
央に左右方向に長い開口９が形成されている。また、前
側の水平壁８の前端部及び後側の水平壁８の後端部には
開口１０が形成されている。前記水平壁８の直ぐ下に空
気通路１１を画するようにして囲い壁体１２が設けられ
ている。前記水平壁８の、開口９の縁部とクリーン倉庫
１の床６との間に、垂直な仕切フィルター１３が渡され
ている。

【００２６】前記水平壁８の上方に、前後方向に所定間
隔をあけて前後一対のラック装置１５が設けられてい
る。なお、ラック装置１５は、前記昇降台４６の移動軌
跡内には突出せず、また、後述の搬出装置１０１の作動
を邪魔しないようになされると共に、搬出装置１０１上
のキャリア１６０とも衝突・干渉しないようになされて
いる。

【００２７】前記ラック装置１５は上下・左右に多数の
物品収納棚１６を有しており、これら前後の物品収納棚
１６の物品出し入れ口１７は相互に対向している。な
お、水平壁８は物品収納棚としても使用される。前記物
品収納棚１６各々及び水平壁８の物品収納棚部分には、
前側に向かって下り傾斜した傾斜荷台面及びその前端の
ストッパーを有する２つの荷載置台１８が前後に並ぶよ
うにして設けられている。

【００２８】前記クリーン倉庫１の前後壁に沿って、中
央側に向かって開口した空気噴出口２０を有する空気ダ
クト１９が形成されている。前記空気噴出口２０にはフ
ィルター２１が設けられている。上記の構成を更に具体
的に説明すれば、フィルター２１をクリーン倉庫１の前
後壁との間に空気通路を形成するようにして、水平壁８
に立設したものである。

【００２９】前記クリーン倉庫１の下部に、ファン２２
が、吸い込み口２３を間隙７に位置させるようにして、
且つ、空気噴出口２４を囲い壁体１２に形成された開口
に接続させるようにして、設けられている。

【００３０】前記空気通路１１には空気噴出口２４と開
口１０とを画するようにして、フィルター２５が収納さ
れている。また、前記外気取入口１４にもフィルター２
６が取り付けられている。このような構成によって、吸
い込み口２３から吸引された空気は、空気噴出口２４、
空気通路１１、開口１０、空気ダクト１９、フィルター
２１を経て物品収納棚１６の物品収納空間等に向かって
噴出され、その空気はラック装置１５間の間隙（クリー
ン倉庫１の前後方向中央）を上から下に向かって流れ仕
切フィルター１３を経て再びファン２２の吸い込み口２
３に吸引される。また、外気取入口１４からも所要量の
外気が吸い込み口２３に吸引される。なお、ファン２２
を２つ以上設けるようにしてもよい。空気通路１１を構
成するクリーン倉庫１の側壁にフィルター２５の交換の
ための開口２７が形成され、この開口２７は通常は閉塞
され、フィルター２５交換のときにのみ開かれるように
なされている。

【００３１】前記水平壁８間の中央の開口９の下方に位
置するようにして左右方向に長い前後一対のケーシング
３１が配され、これらケーシング３１は上部に左右方向
に長いスリット３２を有している。前記ケーシング３１
内には左右方向に長いガイドレール３３が設けられ、こ
れらガイドレール３３にスタッカークレーン３７の走行
台車３８が左右動自在に案内され、この走行台車３８は
図示略の駆動装置によって左右に摺動するようになされ
ている。

【００３２】前記走行台車３８に筒状のマスト４０が立
設され、このマスト４０に中空状の昇降台４１が、マス
ト４０内に収納されたタイミングベルト等を含む昇降装
置４２によって、昇降自在となされている。

【００３３】図８、図９、図１０及び図１１に示すごと
く、前記中空状の昇降台４１に物品移載装置である、以
下に詳述するロボットハンド５６が設けられている。前
記ロボットハンド５６は前記中空状の昇降台４１の内部
に、作動装置５７によって相互に近接・離隔自在に設け
られた左右一対の左右動ブロック５８を有しており、こ
れら左右動ブロック５８に中空状の柱５９が立設され、
これら柱５９は昇降台４１に形成されたスリットを通じ
て上方に突出している。前記柱５９の上端に軸心を左右
方向に向けた枢軸６０が回転自在に設けられ、これら枢
軸６０に、柱５９の内側（対向部側）に位置するように
して中空状の第１揺動アーム６１の基部が固定され、こ
れら第１揺動アーム６１の自由端に、軸心を左右方向に
向けた枢軸６３が回転自在に設けられ、これら枢軸６３
に、第１揺動アーム６１の内側に位置するようにして中
空状の第２揺動アーム６４の基部が固定され、これら第
２揺動アーム６４の自由端に、軸心を左右方向に向けた
枢軸６６が回転自在に設けられ、これら枢軸６６に、第
２揺動アーム６４の内側に位置するようにして、物品保
持具６７が固定され、これら物品保持具６７は相互に対
向する物品支承片６８を有しており、これら物品支承片
６８に、前記キャリア１６０の張り出し片１６２を支承
する傾斜荷台面及び前後一対のガイド突起を有する２つ
の物品支承台６９が設けられている。

【００３４】前記枢軸６０と枢軸６３との距離と、枢軸
６３と枢軸６６との距離は等しくなされている。

【００３５】前記ロボットハンド５６は第１揺動アーム
６１の揺動に連動して第２揺動アーム６４及び物品保持
具６７の物品支承片６８を所定の向きにするための揺動
制御装置７２を有している。前記揺動制御装置７２は、
柱５９の下部を串刺し状にして、柱５９の左右動を許容
するようにして、中空状の昇降台４１の内部に回転自在
に設けられたスプラインを有する回転軸７３を有してお
り、この回転軸７３は正逆回転自在なモーター７４によ
って回転させられるようになされている。前記回転軸７
３には、各柱５９に回転自在に設けられたホイール７６
がスプライン連結され、このホイール７６と対となるよ
うにして枢軸６０にホイール７７が嵌め止められ、この
ホイール７７とホイール７６とにチェーン等からなるエ
ンドレス帯７８が掛け渡されている。

【００３６】前記柱５９の上端に、枢軸６０と同軸とな
るようにして、且つ第１揺動アーム６１内部に位置する
ようにして、固定ホイール８０が固定されている。この
固定ホイール８０と対となるようにして、枢軸６３にホ
イール８１が嵌め止められ、このホイール８１と固定ホ
イール８０とにチェーン等からなるエンドレス帯８２が
掛け渡されている。

【００３７】前記第１揺動アーム６１の自由端に、枢軸
６３と同軸となるようにして、且つ第２揺動アーム６４
内部に位置するようにして、固定ホイール８４が固定さ
れている。この固定ホイール８４と対となるようにし
て、枢軸６６にホイール８５が嵌め止められ、このホイ
ール８５と固定ホイール８４とにチェーン等からなるエ
ンドレス帯８６が掛け渡されている。前記固定ホイール
８０とホイール８５とは同じ大きさとなされ、ホイール
８１及び固定ホイール８４は、固定ホイール８０の２分
の１の大きさとなされている。

【００３８】なお、柱５９に第１揺動アーム６１及び第
２揺動アーム６４が重なった状態において、物品支承片
６８自体が水平となるようになされている。上記のごと
き構成によって、第１揺動アーム６１が所定角度θ揺動
すると、この第１揺動アーム６１に対して第２揺動アー
ム６４が逆方向に２θ揺動し、更に、第２揺動アーム６
４に対してそれとは逆方向にθだけ物品保持具６７が揺
動する。その結果、物品保持具６７の物品支承片６８は
常時水平状態を保持する。

【００３９】上記のごとき構成によって以下のごとき作
用がなされる。第１揺動アーム６１及び第２揺動アーム
６４を伸ばして、物品支承片６８の物品支承台６９をキ
ャリア１６０の張り出し片１６２の下方に位置させた
後、今まで相互に離隔していた柱５９を相互に近寄らせ
て物品支承台６９をキャリア１６０の張り出し片１６２
の真下に位置させる。その後、昇降台４１を上昇させて
物品支承台６９によって張り出し片１６２を支承した
後、第１揺動アーム６１及び第２揺動アーム６４を逆へ
の字状に（枢軸６３を下側に移動させるように）折りた
たんで垂直状態とすることによって、キャリア１６０を
昇降台４１に持ち込むことが出来、また前記と逆の作動
によって、キャリア１６０を昇降台４１から降ろすこと
が出来る。要するに、このロボットハンド５６によっ
て、昇降台４６からキャリア１６０を取りだしたり、物
品収納棚１６にキャリア１６０を収納したり、そこから
搬出したりすることが出来る。

【００４０】前記第２揺動アーム６４の基部端に相互に
対向するアーム９１が設けられ、これらアーム９１の一
方に断面が円形でない突起９２が設けられ、同他方に突
起９２が整合・嵌合する凹所９３が形成されている。そ
して、柱５９（第２揺動アーム６４）が相互に接近して
キャリア１６０を持ち上げる設定位置に移動した状態に
おいて、前記突起９２が凹所９３に完全に嵌入するよう
になされ、この状態になったことを検知する、左右動ブ
ロック５８によって作動されるリミットスイッチ等の検
知器９４が昇降台４１等に設けられている（図１０参
照）。そして、柱５９（第２揺動アーム６４）を相互に
接近させる方向に作動装置５７が駆動した後、前記検知
器９４がＯＮ状態となると作動装置５７が停止するよう
になされ、他方、所定時間後までに検知器９４がＯＮ状
態とならないと、即ち、突起９２がアーム９１端に突き
当たって柱５９（第２揺動アーム６４）が相互に接近し
ないと、ロボットハンド５６等が停止すると共に警報が
発せられるようになされている。前記突起９２は、柱５
９（第２揺動アーム６４）が相互に離隔した際におい
て、凹所９３から完全に抜け出すようになされている。

【００４１】図１２、図１３、図１４及び図１５に示す
ごとく、前記クリーン倉庫１の各搬出口５に対応するよ
うにして搬出装置１０１がクリーン倉庫１内に設けられ
ている。

【００４２】前記搬出装置１０１の、クリーン倉庫１の
左右方向（搬出装置１０１の物品搬送方向）に長い平面
形状矩形の基枠１０２は中空状となされており、この基
枠１０２内に位置するようにして、基枠１０２の底壁
に、長手方向を搬送方向に向けたガイドレール１０３が
設けられ、このガイドレール１０３に中空部を有するス
ライダ１０４が摺動自在に設けられ、このスライダ１０
４に垂直回転軸１０６が回転自在に設けられ、この垂直
回転軸１０６の上端は、スライダ１０４から上方に突出
すると共に、基枠１０２の頂壁に形成された搬送方向に
長いスリット１０７を通じて、基枠１０２の上部に露出
している。

【００４３】前記垂直回転軸１０６の上端に水平回転台
１０８が固定されている。また、垂直回転軸１０６には
ピニオン１０９が嵌め止められ、このピニオン１０９に
噛み合うラック１１０が、その長手方向を搬送方向と直
交させるようにして、スライダ１０４に水平摺動自在に
設けられている。なお、前記ラック１１０は、スライダ
１０４を左右方向に貫通している。

【００４４】前記ラック１１０の図１２の下側端が垂直
ピン１１１を介してチェーン等からなるエンドレス帯１
１２に枢着され、このエンドレス帯１１２が基枠１０２
に軸心を上下方向に向けるようにして回転自在に設けら
れた４個のホイール１１３に掛け渡されている。なお、
ホイール１１３のいずれかが正逆回転自在なモーター
（図示略）によって、回転させられるようになされてい
る。なお、ラック１１０とエンドレス帯１１２及びホイ
ール１１３とは衝突・干渉しないように上下にずれてお
り、また、スライダ１０４は搬入端及び搬出端において
エンドレス帯１１２と衝突・干渉しないような形状とな
されている。前記水平回転台１０８の上面には、傾斜荷
台面及びストッパーを有する２つの荷載置台１１５が設
けられている（図１４参照）。

【００４５】上記のごとき構成によって以下のごとき作
用をなす。水平回転台１０８が搬入端（図１２の左側）
に至ると水平回転台１０８に、前記ロボットハンド５６
によって２個のキャリア１６０が移載される。なお、水
平回転台１０８が搬入端に至った状態において、垂直ピ
ン１１の設けられたエンドレス帯１１２の部分は図１２
の下側にある。水平回転台１０８に２個のキャリア１６
０が載せられるとエンドレス帯１１２が図１２の矢印１
１６の方向に駆動させられ、その結果、ラック１１０ひ
いてはそれと搬送方向に遊びのないスライダ１０４（水
平回転台１０８）が搬出端側に摺動させられる。

【００４６】そして、図１５に示すごとく、垂直ピン１
１１の設けられたエンドレス帯１１２の部分が搬出端
の、図１５の下側のホイール１１３から離れ、搬送方向
と直交する方向にのみ移動するようになると、水平回転
台１０８の移動は停止する。他方、垂直ピン１１１が設
けられたエンドレス帯１１２の部分が搬出端の、図１５
の下側のホイール１１３に掛かる位置まで移動すると、
それ以降は、エンドレス帯１１２の駆動に伴って垂直ピ
ン１１１が徐々に図１５の上側に移動することとなるの
で、ラック１１０がスライダ１０４に対して図１５の上
側に移動し、その結果、ピニオン１０９（水平回転台１
０８）が水平回転させられることになる。そして、水平
回転台１０８が、９０度水平回転した位置まで来るとエ
ンドレス帯１１２の駆動を停止させる。なお、エンドレ
ス帯１１２の駆動の停止時期は、水平回転台１０８の回
転角度を基準にして、ホイール１１３の大きさやピニオ
ン１０９の大きさを考慮して、定められる。

【００４７】被搬送物によっては、スタッカークレーン
３７の昇降台４１に柱５９を立設固定するよにしてもよ
い。

【００４８】

【発明の効果】この発明は、前記した如き構成によっ
て、以下の如き効果を奏するものである。第１揺動ア
ーム及び第２揺動アームを伸ばしたり・折り曲げたりし
て、物品保持具によって物品を移載することが出来るの
で、即ち、従来と相違して水平摺動部分を有しないの
で、塵埃の発生が少なくクリーン倉庫等において好適に
使用し得るものである。柱の対向部側に第１揺動アー
ムが設けられ、第１揺動アームの対向部側に第２揺動ア
ームが設けられ、更に、第２揺動アームの対向部側に物
品保持具が設けられていて、前後いずれの方向にも物品
保持具を突出させることが出来るので、物品の移載の自
由度が高い。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例を示す正面図である。

【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線拡大断面図である。

【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。

【図４】搬入用の昇降台及び搬送ボックスの分離斜視図
である。

【図５】搬送ボックスの連結状態の底面図である。

【図６】図１のＶＩ−ＶＩ線拡大断面図である。

【図７】図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿う中間省略の断面
図である。

【図８】スタッカークレーンの昇降台の部分の拡大斜視
図である。

【図９】揺動制御装置の機構を示す展開立面図である。

【図１０】図８のＸ−Ｘ線断面図である。

【図１１】図８のＸＩ−ＸＩ線断面図である。

【図１２】図６のＸＩＩ−ＸＩＩ線拡大断面図である。

【図１３】図１２のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ線断面図であ
る。

【図１４】図１２のＸＩＩＩＩ−ＸＩＩＩＩ線断面図で
ある。

【図１５】スライダが搬出端に至ったときの状態を示す
要部水平断面図である。

【符号の説明】

４１昇降台５６ロボットハンド５９柱６０枢軸６１第１揺動アーム６３枢軸６４第２揺動アーム６６枢軸６７物品保持具７２揺動制御装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】昇降台と、この昇降台に設けられた左右
一対の柱と、これら柱の上端対向部側に、軸心を左右方
向に向けた枢軸を介して揺動自在に設けられた第１揺動
アームと、これら第１揺動アームの自由端対向部側に軸
心を左右方向に向けた枢軸を介して揺動自在に設けられ
た第２揺動アームと、これら第２揺動アームの自由端対
向部側に軸心を左右方向に向けた枢軸を介して揺動自在
に設けられた物品保持具と、前記第１揺動アームの揺動
に連動して第２揺動アーム及び物品保持具を所定の向き
にするための揺動制御装置とを有しているロボットハン
ド。
【請求項２】前記柱が昇降台に相互に近接・離隔自在
に設けられている請求項１記載のロボットハンド。