JPH0310779A - 移載自在な搬送設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、たとえば半導体のような板状物を、ケース内
に多数枚並列して収納することで形成した荷をｎ扱う移
載自在な搬送設備に関するものである。

従来の技術 従来、この種の設備としては、たとえば特開昭６３−１
８０６１０号公報に見られる荷保管装置が提供されてい
る。この従来形式では、搬入出装置の走行動と昇降台の
昇降動とによって、棚の目的とする区画、収納空間に荷
保持装置を対向させ、そして荷保持装置の振出し勤と昇
降台の昇降動との組合せ動作によって、・荷保持具を介
して荷の出し入れを行っている。その際に荷保持装置は
、昇降台側に取付けな第１ケース枠と、この第１ゲース
枠の遊端に連結した第２ケース枠とを有し、この第２ケ
ース枠の遊端に取付けた前記荷保持具は、その曇出し量
にかかわらず常に水平状となるように構成しである。

ところで、このような従来形式によると、搬入吊装置で
支持されている荷も水平状であることから、たとえば半
導体のような板状物を多数枚並列して収納したとき、こ
れら板状物はガタ付きやすい収納状態にある。したがっ
て搬入吊装置の作動（走行や昇降）時に振動や衝突で損
傷したり、あるいは飛び出す恐れがある。

そこで荷を傾斜させて搬送するものとして、たとえば実
開昭６１−９２６１５号公報に見られる形式が提供され
ている。この従来形式によると、荷搬送用台車、搬入吊
装置、回転棚のすべてにおいてゲース（荷）を傾斜させ
て取扱うように構成しである。

発明が解決しようとする課題 上記の従来形式によると、客先装置である回転棚側の受
け部も傾斜構造にしなければならず、構造が複雑にかつ
高価となる。かと言って受け部をフラットにしたときに
は、その受け渡しく移載）を円滑に行えない。

本発明の目的とするところは、搬送時には荷を傾斜して
保持し得、またフラットな荷受部との間での荷の移載を
円滑に行える郡載自在な搬送設備を提供する点にある。

課題を解決するための手段 上記目的を達成するために本第１発明における移載自在
な搬送設備は、荷保持装置を有する可動体と、この可動
体が対向自在な荷受部とを設け、前記荷保持装置は、昇
降自在な振出し装置を介して荷保持具を荷受部の上方へ
移動自在とし、前記荷保持具は、振出し装置側に取付け
たベース部材と、このベース部材上に上下揺動自在に取
付けられかつ受け面を形成する受け具とを有し、この受
け具と振出し装置との間に、受け具を振出したときに受
け具を揺動させて受け面を水平状とする揺動付与装置を
設けている。

さらに本第２発明では、荷保持装置を有する可動体と、
この可動体が対向自在な荷受部とを設け、前記荷保持装
置は、横移動自在なキャリッジに荷保持具を有し、この
荷保持具は、昇降杆と、この昇降杆に上下揺動自在に取
付けられかつ受け面を形成する受け具とからなり、この
受け具と前記キャリッジとの間に、受け具の上昇動によ
り受け具を上方へ揺動させて受け面を傾斜させる揺動付
与装置を設けている。

作用 上記した本第１発明によると、振出し装置を振出さすに
受け具を可動体内に位置させているときには、揺動付与
装置が作動しないことから受け具は揺動せず、その受け
面を傾斜させて荷を傾斜姿勢で保持し得る。また振出し
装置を振出して受け具を荷受部の上方へ移動させたとき
には、揺動付与装置が自動的に作動し、受け面が水平状
になるように受け具を揺動させる。

さらに本第２発明によると、荷を保持している荷保持具
を可動体内に位置させているとき、その昇降杆を介して
受け具を上昇させることで、揺動付与装置が自動的に作
動し、受け面を傾斜させて荷を傾斜姿勢で保持し得る。

またキャリッジを横移動させて荷保持具を荷受部の上方
に位置させるとき、昇降杆を介して受け具を下降させる
ことで、揺動付与装置が作動しないことから受け面を水
平状にし得る。

実施例 以下に本発明の第１実施例を第１図〜第６図に基づいて
説明する。

１は上部に荷保持装置４７を有する可動体で、そのベー
スとなる台板２は、機台３上に敷設されたレール４に摺
動部材５を介して支持案内され、−定経路６上を往復移
動自在となる。前記可動体１の連動する桂復動装置７は
、機台３の一端に取付けなモータ８と、その出力軸に取
付けた駆動輪体９と、機台３の他端に調整具１０を介し
て取付けた従動輪体１１と、両輪体９．１１間に＋３ｉ
設した無端回動体（チェノなと）１２とからなり、この
無端回動体１１の一箇所がブラケット１３を介して可動
体１に連結される。なお一定経Ｎ６の両端には可動体１
が当接自在なストッパ１４が設けられる。前記台板２に
は筒、ロヅド形式のガイド機構１５を介し、て昇降台１
６が取付けられ、その昇降はシリンダ１７を介して行わ
れる。前記昇降台１５からは連結部材１８が立設され、
その上端にキャレッジ１９が取付けられる。このキャレ
ッジ１つには、前記荷保持装置４７に連動する作動装置
２０を収納してなる設置空間２１がカバー枠２２により
形成される。この設置空間２１内に収納される作動装！
２０は、大別して揺動用装置２４と接近離間用装置２５
とからなる。すなわち揺動用装′Ｉ！２４は、モータ２
６にカップリング２７を介して連動するウオーム減速機
２８を有し、このつオーム減速８１２８の前後から、一
定経路６に沿った方向の出力軸２９が貫通突出している
。この出力軸２９の両端部にはスプライン嵌合（キー嵌
合）３０を介して筒体３１が取付けられ、これら筒体３
１に軸受３２を介して外嵌した可動台３３がキャレッジ
１９上に敷設した一定経路６方向のレール体３４に摺動
体３５を介して支持案内される。前記接近離間用装置２
５は、別のモータ３６に連動するウオーム伝動装置３７
を有し、このウオーム伝動装置３７から突出しかつ互に
逆回転する前後一対の出力軸３８には螺子部３９が形成
されている。これら螺子部３９に外嵌したナツト体４０
を有する可動部材４１のうち、一方の可動部材４１は連
結板４２を介して可動台３３に連結される。また他方の
可動部材４１は、連結ロッド４３と連結板４２とを介し
て可動台３３に連結される。４４はストッパ装置を示し
、これら３６〜４４により接近離間用装置２５を構成す
る。

前記荷保持装置４７は、振出し装置４８と、この振出し
装置４８に揺動付与装置！４９を介して取付けた受け具
５０などから構成される。すなわち振出し装置４８は、
その下端を前記筒体３１に固定した左右一対の第１ケー
ス枠５１を有し、これら第１ケース枠５１は出力軸軸心
４５の周りで左右方向に揺動自在となる。前記第１ケー
ス枠５１の上端には軸受５２を介して前後方向軸５３が
回転自在に取付けられ、これら前後方向軸５３の相対向
側の突出端には第２ケース枠５４の上端が固定される。

そして第２ケース枠５４の下端には前後方向の支持ビン
５５が軸受５６を介して回転自在に設けられ、これら支
持ビン５５の相対向する内端には荷保持具５７が取付け
られる０両ゲース枠５１．５４の内部を利用して、前記
第１ゲース枠５１の揺動量に応じて第２ゲース枠５４の
揺動量ならびに荷保持具５７の向きを制御する揺動制御
装置５８が配設される。この揺動制御装置５８は、第１
ケース枠５１内で可動台３３に固定した第１鎖輪５９と
、第１ケース枠５１内で前後方向軸５３に固定した第２
錯輪６０と、これら銀輪５９．６０の対向間に巻回した
第１チエン６１と、第２ゲース枠５４内で前後方向軸５
３に外嵌するとともに第１ケース枠５１の上端に固定さ
れた第３頷輸６２と、第２ゲース枠５４内で支持ビン５
５に固定された第４ｇ輪６３と、これら楚輪６２゜６３
の対向間に巻回した第２チエン６４とにより構成される
。ここで第４ｇ輪６３と第４錯輪６３は同径かつ大径に
、また第２釧輪６０と第３鎖輪６２は同径かつ小径に設
定される。前記荷保持具５７は、前記支持ビン５５の外
端に固定したベース部材６５と、このベース部材６５の
上方に位置し、かつ支持ビン５５に沿った前後ビン６６
を介して上下揺動自在に取付けた可動部材６７と、この
可動部材６７がベース部材６５と平行するように可動部
材６７の下面を受止めるストッパ６８と、その上面によ
って形成される受け面６９を前記可動部材６７に対して
所定角度θ１傾斜させて、この可動部材６７上に取付け
た前記受け具５０とから構成される。そして振出し装置
４８により受け具５０を振出したときに受け具５０を揺
動させて受け面６９を水平状とする前記揺動付与装置４
９は、前記可動部材６７の下面に取付けたカム板７０と
、このカム板７０の傾斜したカム面７０ａに対して当接
離間すべく前記第２ケース枠５４に取付けたカムフォロ
ア７１とから構成される。前記荷保持具５７は、第２ケ
ース枠５４を垂下した姿勢においてカムフォロア７１が
カム面７０ａから離間し、可動部材６７をストッパ６８
に当接させて受け面６９を傾斜させるように楕成しであ
る。

荷７５は半導体などの板状物を多数枚並列して収納した
ケースによって形成され、このケースの側部には両受け
具５０が左右から係合自在な被係止部７５ａが設けられ
る。

上記構成の可動体１などはクリーンルーム内に設置され
、そして一定経路６の一側方には、単数または複数の荷
受部７６が設けられる。また一定経路６の他側方には、
ダクトレール７７や自走車７８からなる搬送装置が設け
られ、自走車７８の上部に設けた荷受け台７９は、前記
荷保持装置４７とは傾斜力向を逆にして、荷７５を支持
するように構成しである。

以下に上記第１実施例の作用を説明する。荷７５を受取
りに行く前に両振出し装置は離間動しており、また振出
し装置４８では第１ケース枠５１が起立し第２ケース枠
５４が垂下している。まず往復動装置７を作動させ、可
動体１を一定経路６上で移動させて荷保持装置４７を目
的とする荷受部７６に対向させる。この荷受部７Ｇはフ
ラットであって、受取られようとする荷７５が載置され
ている。次いで揺動用装置！！２４のモータ２６を始動
させ、ウオーム減速ｆｉ２８などを介して出力軸２９を
同方向に回転させる。

これにより出力軸２９に筒体３１を介して一体化されて
いる第１ケース枠５１が、出力軸軸心４５の周りに荷受
部７６　ｊｌＦＪに揺動される。このとき第１９輸５９
は位置固定であることから、第１ケース枠５１の揺動量
に応じて第２頭輪６０を介して前後方向軸５３が回転さ
れ、この前後方向軸５３に一体化させた第２ケース枠５
４が荷受部７６側に揺動される。その際に第１鎖輪５９
と第２頭輪６０との径変化による第１チエン６１を介し
ての増速伝動によって、第３図仮想線に示すように第１
ケース枠５１の揺動角度θ２に対して第２ケース枠５４
は２倍の揺動角度２θ２となる。また第１ケース枠５１
の揺動による前後方向軸５３の下降量の一部は、第２ケ
ース枠５４の揺動による支持ビン５５の上昇で吸収する
ことから、荷保持具５７はほぼ同じレベルで移動するこ
とになる。さらに第１ケース枠５１に第３鎖輪６２が固
定であることから、第２ケース枠５４の揺動量に応じて
、第２チエン６４と第４鎖輪６３とを介して支持ビン５
５が回転され、両画保持具５７の上向きの正姿勢は維持
される。このような振出し装置４８の振出し作動が終り
に近づいてきたとき、前述した上向きの正姿勢を維持す
るなめに回転される支持ビン５５と第２ゲース枠５４の
揺動との相対変位により、カムフォロア７１がカム板７
０のカム面７０ａに当接してカム板７０を押し上げるこ
とになる。これにより可動部材６７が前後ビン６６の周
りに上方へ揺動し、以って受け而６９を水平状とする。

この動作により、受け面６９が水平状の荷保持具５７を
、目的とする荷７５の両側外方でかつ被係止部７５ａよ
りも下方レベルに位置させた状態で接近離間用装ｒ！１
２５を作動させる。すなわち、モータ３６の始動により
出力軸３８を互に逆回転させ、両ナツト体４０を接近動
させる。これによりレール体３４に案内されて可動台３
３が互に接近動し、両振出し装置４８を互に接近動させ
て被係止部７５ａの真下に受け具５０を位置させる３次
いでシリンダ１７を作動させ、昇降台１６などを介して
キャレッジ１つを上昇させることで、受け具５０の水平
状の受け面６９を被係止部７５ａに下方から当接させ、
以って第１図の仮想線（イ）、ならびに第３図の仮想線
で示すように荷受部７６から荷７５を持上げる。

そして揺動用装置２４を介して振出し装置４８を前述と
は逆作動させて、第１ケース枠５１を起立姿勢にかつ第
２ケース枠５４を垂下姿勢に揺動させることで、保持し
てなる荷７５をキャレッジ１つの上方に位置させる。こ
のような反振り出し方向への揺動開始時に、前述とは逆
にカムフォロア７１がカム面７０ａから離間状に移動し
、以って可動部材６７は前後ビン６６の周りに下方へと
揺動しストッパ６８に受け止められる。したがってキャ
レッジ１９の上方に位置された荷７５は、第１図、第３
図の実線に示すように傾斜した受け而６９に支持された
傾斜姿勢となり、この状態で可動体１の移動に伴って搬
送される０次いで、搬送装置のステーションまで可動体
１を移動させ、そして両振出し装置４８を搬送装置側に
振出したのち昇降台１６を下降させることで、第１図の
仮想線（ロ）で示すようにステーションに停止させた自
走車７８の荷受け台７９に荷７５を渡せ得る。この場合
には第３図に示すように、カム板７０に対しては別のカ
ムフォロア７１Ａが作用することになり、以って荷乃は
前述とは逆方向に傾斜される。

なお上述とは逆動作を行うことで、自走車７８で運んで
きた荷７５を荷受部７６に移載し得る。

第７図〜第１１図は本発明の第２の実施例を示す。

すなわち８０は上部に荷保持装置９０を有する可動体で
、その本体８１の下部に複数の車輪８２を設けるととも
に、車輪８２に連動する走行駆動装置８３を設けた自走
車形式からなり、床間に敷設したレール８４に前記車輪
８２が支持案内されることで一定経路８５上において走
行自在となる。前記本体８１の上方には縦軸心８６の周
りに回転自在なテーブル８７が設けられ、このデープル
８７は本体８１内に設けた回転駆動装置８８によって正
逆回転を行う。前記テーブル８７上に設けられる前記荷
保持装置９０は、テーブル８７上で横移動自在なギヤレ
ッジ９１を一対有している。これらギヤレッジ９１は同
様な構成であって、−個でもよい、前記ギヤレッジ９１
を横移動させる往復動装置９２はテーブル８７内に配設
され、往復動方向の一端に取付けなモータ９３と、その
出力軸に取付けた駆動輪体９４と、他端に取付けた従動
輪体９５と、両輪体９５．９６間に張設した無端回動体
（チェノなと）９６とからなり、この無端回動体９６が
前記ギヤレッジ９１から垂設したブラケット９７に連結
される。なおブラケット９７などはテーブル８７内に設
けたガイドレール（図示せず）に支持案内される。前記
ギヤレッジ９１はボックス状であって、前記ブラケット
９５を垂設したベース板９８と、その上部に取付けたカ
バー枠９９とからなる。前記ベース板９８を貫通してガ
イド体１００が取付けられ、このガイド体１００に案内
される昇降ロッド１０１が設けられる。そしてベース板
９８上に設けた昇降駆動装［１０２に連動した昇降ロッ
ド１０３と前記昇降ロッド１０１の下端どうしが連結杆
１０４を介して一体化されている。前記昇降ロッド１０
１の上端にボックス体１０５が取付けられ、これらボッ
クス体１０５と一体化した前後一対のブラケット１０６
間に、前後方向のガイドロッド１０７が左右一対に設け
られる。

そして両ガイドロッド１０７に支持案内される前後一対
の摺動部材１０８と、前記ボックス体１０５内に配設し
た接近Ｎ開動装置１０９とがアーム１１０などを介して
連動連結されている。前記摺動部材１０８に取付けられ
る前後一対の荷保持具１１１は、前記摺動部材１０８に
連結されて横方向に突出する昇降杆１１２と、この昇降
杆１１２に上下揺動自在に取付けた揺動杆１１３と、こ
の揺動杆１１３の先端に取付けた受け具１１４とからな
る。前記揺動杆１１３は前後方向の支軸１１５を介して
上下揺動自在に取付けられ、そして昇降杆１１２の先端
に取付けたストッパ１１６に下面を当接させることで、
受け具１１４の上面により形成される受け面１１７が水
平状になるように構成されている。前記揺動杆１１３と
ギヤレッジ９１との間に、揺動杆１１３の上昇動により
受け具１１４を上方へ揺動させて受け面１１７を傾斜さ
せる揺動付与装置１２０が設けられる。この揺動付与装
置１２０は、前記揺動杆１１３の基端上面に取付けた被
当接部材１２１と、前記昇降杆１１２が上昇限近くに達
したとき被当接部材１２１が下方から当接する当接部材
１２２とからなり、この当接部材１２２はギヤレッジ９
１の外面に固定されている。前記一定経路８５の一側方
には荷受部１２５が設けられ、この荷受部１２５はフラ
ットな上面によって荷１２６を支持する。　１２６　ａ
は被係止部である。１２７はダクトレール、１２８は自
走車に設けた荷受け台を示す。

以下に上記第２実施例の作用を説明する。荷受部１２５
の荷１２６を受取りに行く前には、第１１図の実線で示
すように両画保持具１１１は互に離間動じており、そし
てギヤレッジ９１は、荷保持具１１１がテーブル８７上
に納まるように退入動している。さらに両画保持具１１
１は下降限にあり、当接部材１２２から被当接部材１２
１が１１間することで揺動杆１１３がストッパ１１６に
当接するまで揺動し、受け面１１７を水平状としている
。まず可動１１１ｃ８０を一定経路８５上で自動走行さ
せて、荷保持装置９０を目的とする荷受部１２５に対向
させる。その際に、受取られようとする荷１２６がｉｌ
置されている荷受部１２５　Ｉｌｌに荷保持具１１１が
向いていればそのままでよいが、反対側に向いていると
きには、回転駆動装置８８を作動させ、テーブル８７を
縦軸心８６の周りに回動させて向きの変更を行う９次い
で往復動装置９２を作動させ、ギヤレッジ９１を前進動
させる。

これにより第１０図仮想線、ならびに第１１図仮想線（
イ）で示すように、受け面１１７が水平状の荷保持具１
１１を、目的とする荷１２６の両側外方でかつ被係止部
１２６ａよりも下方レベルに位置させる。

そして接近離間用装置１０９を作動させ、両店動部材１
０８を互に接近動させて、第１１図の仮想線（ロ）で示
すように被係止部１２６ａの真下に受け具１１４を位置
させる１次いで昇降駆動装置１０２を作動させ、昇降ロ
ッド１０３を中間ま・で上昇させる。これにより受け具
１１４の水平状の受け面１１７を被係止部１２６ａに下
方から当接させ、以って荷受部１２５から荷７５を持上
げる。そして往復動装置９２を前述とは逆方向に作動さ
せてキャリッジ９１などを退入動させたのち、再び昇降
駆動装置１０２を作動させて昇降ロッド１０３などを上
昇限にまで移動させる。

すると上昇限の近くにおいて当接部材１２２に対して被
当接部材１２１が下方から当接し、これにより揺動杆１
１３が支軸１１５の周りに揺動させる。これにより上動
した受け具１１４の受け而１１７が傾斜することになり
、この受け面１１１に支持された荷１２６も傾斜姿勢と
なる。この状慝で荷１２６は、可動体１の移動に伴って
搬送され、そしてステーションにおいて自走車の荷受け
台１２８に渡される。

なお上述とは逆動作を行うことで、荷受け台１２８上の
荷１２６を荷受部１２５に卸し得る。

両実施例では、可動体１．８０は床間を前後方向に移動
しているが、これは上下方向に移動する形式であっても
よい。

発明の効果 上記構成の本第１発明によると、振出し装置を振出さす
に受け具を可動体内に位置させているときには、揺動付
与装置が作動しないことから受け具は揺動せず、その受
け面を傾斜させて荷を傾斜姿勢で保持することができる
。また振出し装置′を振出して受け具を荷受部の上方へ
移動させたときには、揺動付与装置が自動的に作動し、
受け面が水平状になるように受け具を揺動させることが
でき、したがって背受部上方での作用時には、受け面は
自動的にかつ確実に水平状にできる。

さらに本第２発明によると、荷を保持している荷保持具
を可動体内に位置させているとき、その昇降杆を介して
受け具を上昇させることで揺動付与装置が自動的に作動
し、受け面を傾斜させて荷を傾斜姿勢で保持することが
でき、したがって可動体を介しての搬送時に荷は、自動
的にかつ確実に傾斜させることができる。またキャリッ
ジを横移動させて荷保持具を荷受部の上方に位！させる
とき、昇降杆を介して受け具を下降させることで揺動付
与装置が作動しないことから、受け面を水平状にするこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第６図は本発明の第１実施例を示し、第１図は
正面図、第２図は一部切欠き側面図、第３図は荷保持装
置部の一部切欠き正面図、第４図は第３図においてＩＶ
力方向ら見たＭ＆断側面図、第５図は同Ｖ矢視図、第６
図は荷保持装置の駆動部の横断平面図、第７図〜第１１
図は本発明の第２実施例を示し、第７図は正面図、第８
図は側面図、第９図は平面図、第１０図は荷保持装置部
分の一部切欠き正面図、第１１図は同横断乎面図である
。 １・・・可動体、６・・・一定経路、７・・・往復動装
置、１６・・・昇降台、１９・・・キャリッジ、２０・
・・作動装置、２４・・・揺動用装置、２５・・・接近
離間用装置、４７・・・荷保持装置、４８・・・振出し
装置、４９・・・揺動付与装置、５０・・・受け具、５
１・・・第１ケース枠、５４・・・第２ケース枠、５７
・・・荷保持具、５８・・・揺動制御装置、６５・・・
ベース部材、６７・・・可動部材、６８・・・ストッパ
、６９・・・受け面、７０・・・カム板、７０ａ・・・
カム面、７１．７１Ａ・・・カムフォロア、７５・・・
荷、７５ａ・・・被係止部、７６・・・荷受部、８０・
・・可動体、８５・・・一定経路、８７・・・テーブル
、８８・・・回転駆動装置、９０・・・荷保持装置、９
１・・・キャリッジ、９２・・・往復動装置、１０２・
・・昇降駆動装置、１０８・・・摺動部材、１０９・・
・接近Ｍ開動装置、１１１・・・荷保持具、１１２・・
・昇降杆、１１３・・・揺動杆、１１４・・・受け具、
１１６・・・ストッパ、１１７・・・受け面、１２０・
・・揺動付与装置、１２１・・・被当接部材、１２２・
・・当接部材、１２５・・・荷受部、１２６・・・荷、
１２６ａ・・・被係止部。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、荷保持装置を有する可動体と、この可動体が対向自
   在な荷受部とを設け、前記荷保持装置は、昇降自在な振
   出し装置を介して荷保持具を荷受部の上方へ移動自在と
   し、前記荷保持具は、振出し装置側に取付けたベース部
   材と、このベース部材上に上下揺動自在に取付けられか
   つ受け面を形成する受け具とを有し、この受け具と振出
   し装置との間に、受け具を振出したときに受け具を揺動
   させて受け面を水平状とする揺動付与装置を設けたこと
   を特徴とする移載自在な搬送設備。 ２、荷保持装置を有する可動体と、この可動体が対向自
   在な荷受部とを設け、前記荷保持装置は、横移動自在な
   キャレッジに荷保持具を有し、この荷保持具は、昇降杆
   と、この昇降杆に上下揺動自在に取付けられかつ受け面
   を形成する受け具とからなり、この受け具と前記キャレ
   ッジとの間に、受け具の上昇動により受け具を上方へ揺
   動させて受け面を傾斜させる揺動付与装置を設けたこと
   を特徴とする移載自在な搬送設備。