JPH05282B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、たとえば半導体のような板状物を、
ケース内に多数枚並列して収納することで形成し
た荷を取扱う荷保管装置に関するものである。

従来の技術 従来の荷保管装置は、たとえば特開昭61年
124405号公報に見られるように、上下方向ならび
に横方向に複数の区画収納空間を有する棚と、こ
の棚に沿つた一定経路上を走行自在な搬入出装置
とから構成され、この搬入出装置は、昇降台上
に、左右方向出退自在でかつ互いに接近離間自在
な一対の荷保持具を有する。そしてこの従来の荷
保管装置は、走行動と昇降動と左右方向出退動、
ならびに互いに接近離間動との組合せ動作によつ
て、目的とする区画収納空間との間で荷の受け渡
しを行う。

また、荷保持装置として、特開昭58年143973号
公報の工業用ロボツトに見られるように、ロボツ
トのアームを横方向に平行移動させる横動機構
と、この横動機構の一側に横動機構と直角方向の
平面に旋回可能に取付けられた第１アーム旋回機
構と、この第１アーム旋回機構の他端に第１アー
ム旋回機構と同方向の平面に旋回可能に取付けら
れた第２アーム旋回機構と、この第２アーム旋回
機構の先端に前記第１アーム旋回機構と同方向の
平面図に旋回可能に取付けられた手首機構とから
なる装置が存在する。この荷保持装置のアームに
は、前記第１アーム旋回機構及び第２アーム旋回
機構の旋回角度と同角度だけ旋回連動して手首機
構が常に一定方向に指向するよう連結機構が設け
られている。

さらに、別な荷保持装置としては、特公昭61年
44761号公報のバケツト取扱装置に見られるよう
に、棚に沿つて走行自在なスタツカークレーンの
昇降体に前後一対の基部平行リンクと、これら基
部平行リンクに共通リンクを介して連結した先部
平行リンクと、一方の基部平行リンクに連動した
モーターと、前後の先部平行リンク間に設けた支
持台と、この支持台に配設した一対の爪からなる
装置が存在する。この荷保持装置は両平行リンク
を振り出し作動させて支持台をバケツトの上方へ
位置させ、そして爪をバケツトの上縁に引つ掛け
た状態で両平行リンクを引き込み作動させること
で、バケツトを昇降台のローラーに引き出せ得
る。

発明が解決しようとする問題点 上記の従来技術のうち特開昭61年124405号公報
に見られる荷保管装置は、荷保持具として、その
基端を可動台などで支持したフオーク形式を採用
していることから、その出退動時に長い距離でか
つ露出した摺動部が生じ、この摺接によつて粉塵
などが発生することから、荷をクリーンな雰囲気
中で保管する場所に安易に採用できない。

また特開昭58年143973号の荷保持装置では、第
１のアーム上端に第２アーム旋回機構の駆動モー
タを取付けているが、駆動モータは外部に露出し
ていることから、この部分で発生した粉塵が周囲
に飛散することになり、荷をクリーンな雰囲気中
で保管する場所に安易に採用できない。

そして特公昭61年44761号の荷保持装置では、
リンク回転駆動装置および前後の平行リンクを連
動連結する支持台に取付けた爪の駆動装置はバケ
ツトの上方に配置することになり、これら駆動装
置で発生した粉塵が荷に上に落下することになつ
てクリーンではない。さらに爪はバケツトの上縁
に係合するのでバケツトの出し入れ作業はクリー
ンに行えず、またバケツトを引きずり出す形式で
あるのでクリーンではない。

このように、各従来構成においては、粉塵が装
置外で発生し易く、しかも粉塵が荷に付着し易い
もので、荷をクリーンな雰囲気中で保管する場所
などに安易な採用できない。

本発明の目的とするところは、装置外での粉塵
の発生を少なくして粉塵が荷に付着することを減
少し得る荷保管装置を提供する点にある。

問題点を解決するための手段 上記問題点を解決すべく本発明の荷保管装置
は、上下方向ならびに横方向に複数の区画収納空
間を有する棚と、この棚に沿つた一定経路上を走
行自在な搬入出装置とを設け、この搬入出装置
は、ポスト内の昇降駆動装置に連動する昇降台
と、この昇降台内に設けた作動装置に連動する荷
保持装置とを有し、この荷保持装置を、前記作動
装置に下端が連動して左右方向に揺動自在でかつ
互に接近離間動自在な前後一対の第１ケース枠
と、これら第１ケース枠の上端に相対揺動自在に
連結した前後一対の第２ケース枠と、これら第２
ケース枠の下端に相対揺動自在に連結した一対の
相対向する荷保持具と、前記第１ケース枠の揺動
量に応じて第２ケース枠の揺動量ならびに荷保持
具の向きを制御すべく両ケース枠内に配置した揺
動制御装置とから構成している。

作 用 かかる本発明の構成によると、昇降台内の作動
装置によつて第１ケース枠を左右方向の一方に或
る角度揺動させたとき、揺動制御装置で設定した
制御値に基づいて第２ケース枠が、前述した或る
角度に、ある倍数で比例する角度で第１ケース枠
に対して一方側に揺動されることになり、したが
つて作動装置の駆動量が少なく、かつ昇降台外に
露出した摺動部がほとんど生じないものでありな
がら、荷保持具を大きく振出せ得る。

さらに作動装置により両第１ケース枠を接近離
間動させるとともに、昇降台とともに荷支持具を
昇降させることで、荷に対する保持動、保持解除
動を確実に行える。

実施例 以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明
する。１はクリーンルームで、天井２側からフイ
ルター３を通してクリーンエアー４を下吹きし、
下降するエアーをメツシユ形式の床５を通して床
下に吸引するように構成してある。６は棚で、前
面が開放する箱状の本体７と、この本体７におい
て横方向に体数並設した縦枠８と、これら縦枠８
に上下方向に多数取付けた前後枠９と、相対向す
る前後枠９間に取付けた荷受板１０と、下部にお
いて本体７を切欠いて形成した入出庫口１１と、
この入出庫口１１を通つて裏側に突出する入庫口
荷受台１２ならびに出庫口荷受台１３とからな
り、両枠８，９などによつて上下方向ならびに横
方向にそれぞれ複数の区画収納空間１４を形成す
る。

１５は搬入出装置で、前記棚６の前両側に沿つ
た一定経路１６上を走行自在である。すなわち搬
入出装置１５は本体を四角筒状のポスト１７から
形成し、その下端の棚６側の面にはブラケツト１
８を介してスライド体（下部被スライド体の一例
であつて、ローラなどに代え得る。）１９が取付
けてある。このスライド体１９は棚６の本体７側
に取付けられ、かつ前記一定経路１６に沿つた下
部レール２０に支持案内される。前記ポスト１７
の下面から取付け部材２１が垂設され、この取付
け部材２１は本体７側に設けた無端回動体２２の
一箇所に連結し、さらに無端回動体２２は輪体な
どを介して正逆駆動装置２３に連動している。前
記下部レール２０や正逆駆動装置２３などは本体
７と一体の防塵カバー２４内に配設され、その際
に防塵カバー２４には、ブラケツト１８や取付け
部材２１の移動を許すスリツト２５，２６が形成
してある。

前記ポスト１７の上端には一対の遊転ローラ
（上部被ガイド体の一例であつて、スライド体な
どに代え得る。）２８が配設され、これら遊転ロ
ーラ２８間に位置しかつ一定経路１６に沿つた上
部レール２９が、取付け部材３０を介して本体７
側に取付けてある。

前記搬入出装置１５は、両レール２０，２９に
支持案内されて一定経路１６上を走行自在であ
り、そのポスト１７の走行方向側のいずれか一面
には上下方向にスリツト３４を形成している。前
記ポスト１７内には上位輪体３５、下位輪体３
６、駆動輪体３７などが配設され、これら輪体３
５，３６，３７間に無端回動体３８を巻回すると
ともに、駆動輪体３７を正逆駆動装置３９を連動
して昇降駆動装置３３を構成している。

前記無端回動体３８の一箇所に連結した昇降体
４０はポスト１７内に配設した上下レール４１に
案内され、また昇降体４０の一部である連結部材
４２は前記スリツト３４を通つて突出している。
この連結部材４２の突出端には昇降台４３が取付
けられ、また昇降台４３上に荷保持装置４４を設
けて、両荷受台１２，１３と区画収納空間１４と
の間で荷４５の受け渡しを可能にしている。すな
わち昇降台４３は、荷保持装置４４に連動する作
動装置４６を収納してなる設置空間４７がカバー
枠４８により形成される。この設置空間４７内に
収納される作動装置４６は、大別して揺動用装置
４９と接近離間用装置６０とからなる。

すなわち揺動用装置４９は、モータ５０にカツ
プリング５１を介して連動するウオーム減速機５
２を有し、このウオーム減速機５２の前後から、
一定経路１６に沿つた方向の出力軸５３が貫通突
出している。この出力軸５３の前端部にはスプラ
イン嵌合（キー嵌合）５４Ａ，５４Ｂを介して筒
体５５Ａ，５５Ｂが取付けられ、これら筒体５５
Ａ，５５Ｂに軸受５６Ａ，５６Ｂを介して外嵌し
た可動台５７Ａ，５７Ｂが昇降台４３上に敷設し
た一定経路１６方向のレール体５８Ａ，５８Ｂに
摺動体５９Ａ，５９Ｂを介して支持案内される。

前記接近離間用装置６０は、別のモータ６１に
連動するウオーム伝動装置６２を有し、このウオ
ーム伝動装置６２から突出しかつ互に逆回転する
前後一対の出力軸６３Ａ，６３Ｂには螺子部６４
Ａ，６４Ｂが形成されている。これら螺子部６４
Ａ，６４Ｂに外嵌したナツト体６５Ａ，６５Ｂを
有する可動部材６６Ａ，６６Ｂのうち、一方の可
動部材６６Ａは連結板６７Ａを介して可動台５７
Ａに連結される。また他方の可動部材６６Ｂは、
連結ロツド６８と連結板６７Ｂとを介して可動台
５７Ｂに連結される。６９はストツパ装置を示
し、これら６１〜６９により接近離間用装置６０
を構成する。

前記荷保持装置４４は、その下端を前記筒体５
５Ａ，５５Ｂに固定した左右一対の第１ケース枠
７０Ａ，７０Ｂを有し、これら第１ケース枠７０
Ａ，７０Ｂは出力軸軸心５３ａの周りで左右方向
に揺動自在となる。前記第１ケース枠７０Ａ，７
０Ｂの上端（一端）には軸受７１Ａ，７１Ｂを介
して前後方向軸７２Ａ，７２Ｂが回転自在に取付
けられ、これら前後方向軸７２Ａ，７２Ｂの相対
向側の突出端には第２ケース枠のほぼ半分の長さ
の第２ケース枠７３Ａ，７３Ｂがその上端（一
端）を固定して取付けられている。そして第２ケ
ース枠７３Ａ，７３Ｂの下端（他端）には前後方
向の支持ピン７４Ａ，７４Ｂが軸受７５Ａ，７５
Ｂを介して回転自在に設けられ、これら支持ピン
７４Ａ，７４Ｂの相対向する内端にはアングル状
の荷保持具７６Ａ，７６Ｂが取付けられる。

両ケース枠７０Ａ，７０Ｂ，７３Ａ，７３Ｂの
内部を利用して、前記第１ケース枠７０Ａ，７０
Ｂの揺動量に応じて第２ケース枠７３Ａ，７３Ｂ
の揺動量ならびに荷保持具７６Ａ，７６Ｂの向き
を制御する揺動制御装置７７Ａ，７７Ｂが配設さ
れる。この揺動制御装置７７Ａ，７７Ｂは、第１
ケース枠７０Ａ，７０Ｂ内で可動台５７Ａ，５７
Ｂに固定した第１鎖輪７８Ａ，７８Ｂと、第１ケ
ース枠７０Ａ，７０Ｂ内で前後方向軸７２Ａ，７
２Ｂに固定した第２鎖輪７９Ａ，７９Ｂと、これ
ら鎖輪７８Ａ，７８Ｂ，７９Ａ，７９Ｂの対向側
に巻回した第１チエン８０Ａ，８０Ｂと、第２ケ
ース枠７３Ａ，７３Ｂ内で前後方向軸７２Ａ，７
２Ｂに外嵌するとともに第１ケース枠７０Ａ，７
０Ｂの上端に固定された第３鎖輪８１Ａ，８１Ｂ
と、第２ケース枠７３Ａ，７３Ｂ内で支持ピン７
４Ａ，７４Ｂに固定された第４鎖輪８２Ａ，８２
Ｂと、これら鎖輪８１Ａ，８１Ｂ，８２Ａ，８２
Ｂの対向間に巻回した第２チエン８３Ａ，８３Ｂ
とにより構成される。ここで第１鎖輪７８Ａ，７
８Ｂと第４鎖輪８２Ａ，８２Ｂは同径かつ大径
に、また第２鎖輪７９Ａ，７９Ｂと第３鎖輪８１
Ａ，８１Ｂは同径かつ小径に設定される。

前記荷４５は半導体などの板状物を多数枚並設
して収納したケースによつて形成され、このケー
スの側部には両荷保持具７６Ａ，７６Ｂが左右か
ら係合自在な被係止部４５ａが設けられる。

以下に上記実施例の作用を説明する。クリーン
ルーム１内では、フイルター３を通つて下吹きさ
れるクリーンエアー４が下降し、そして下降する
エアーを床５下に吸引することから、そのクリー
ン度は確保されている。このようなクリーンルー
ム１内で搬入出装置１５を使用しての、棚６の目
的とする区画収納空間１４と両荷受台１２，１３
との間での荷４５の受け渡しは、この搬入出装置
１５の一定経路１６上での走行動作と、昇降台４
３の昇降動作と、荷保持装置４４の動作との組合
わせにより行える。

そして荷保持装置４４による保持動作は次のよ
うにして行われる。荷４５を受取りに行く前に両
第１ケース枠７０Ａ，７０Ｂなどは互いに離間し
ている。まず昇降台４３を目的とする区画収納空
間１４に対応して停止させた状態で、揺動用装置
４９のモータ５０を始動させ、ウオーム減速機５
２などを介して出力軸５３を同方向に回転させ
る。これにより出力軸５３に筒体５５Ａ，５５Ｂ
を介して一体化されている第１ケース枠７０Ａ，
７０Ｂが、出力軸軸心５３ａの周りに区画収納空
間１４側に揺動される。このとき第１鎖輪７８
Ａ，７８Ｂは位置固定であることから、第１ケー
ス枠７０Ａ，７０Ｂの揺動量に応じて第２鎖輪７
９Ａ，７９Ｂを介して前後方向軸７２Ａ，７２Ｂ
が回転され、この前後方向軸７２Ａ，７２Ｂに一
体化させた第２ケース枠７３Ａ，７３Ｂが区画収
納空間１４側に揺動される。

その際に第１鎖輪７８Ａ，７８Ｂと第２鎖輪７
９Ａ，７９Ｂとの径変化による第１チエン８０
Ａ，８０Ｂを介しての増速伝動によつて、第６図
仮想線に示すように第１ケース枠７０Ａ，７０Ｂ
の揺動角度θに対して第２ケース枠７３Ａ，７３
Ｂは２倍の揺動角度2θとなる。また第１ケース枠
７０Ａ，７０Ｂの揺動による前後方向軸７２Ａ，
７２Ｂの下降量の一部は、第２ケース枠７３Ａ，
７３Ｂの揺動による支持ピン７４Ａ，７４Ｂの上
昇で吸収することから、荷保持具７６Ａ，７６Ｂ
はほぼ同じレベルで移動することになる。さらに
第１ケース枠７０Ａ，７０Ｂに第３鎖輪８１Ａ，
８１Ｂが固定であることから、第２ケース枠７３
Ａ，７３Ｂの揺動量に応じて、第２チエン８３
Ａ，８３Ｂと第４鎖輪８２Ａ，８２Ｂとを介して
支持ピン７４Ａ，７４Ｂが回転され、両荷保持具
７６Ａ，７６Ｂの上向きの正姿勢は維持される。

このような動作により荷保持具７６Ａ，７６Ｂ
を、目的とする荷４５の両側外方でかつ被係止部
４５ａよりも下方レベルに位置させた状態で棚６
側に振出すことができる。その場合、第２ケース
枠７３Ａ，７３Ｂが第１ケース枠７０Ａ，７０Ｂ
のほぼ半分の寸法に形成されているため、第２ケ
ース枠７３Ａ，７３Ｂの傾斜の位置が低位置とな
つて水平に旋回移動でき、第１ケース枠７３Ａ，
７３Ｂと第２ケース枠７３Ａ，７３Ｂの屈曲状態
が嵩高とならない。そのため、この荷保持装置４
４は、荷受板１０によつて区切られた区画収納空
間１４が狭くても対応できる。

そして接近離間用装置６０を作動させる。すな
わち、モータ６１の始動により出力軸６３Ａ，６
３Ｂを互に逆回転させ、両ナツト６５Ａ，６５Ｂ
を接近動させる。これによりレール体５８Ａ，５
８Ｂに案内されて可動台５７Ａ，５７Ｂが互に接
近動し、第１ケース枠７０Ａ，７０Ｂなどを接近
動させて被係止部４５ａの真下に荷保持具７６
Ａ，７６Ｂを位置させる。次いで昇降台４３を少
し上昇させることで、荷保持具７６Ａ，７６Ｂを
被係止部４５ａに対して下方から係合させ、以つ
て荷４５を持上げる。そして揺動用装置４９を前
述とは逆作動させて、第１ケース枠７０Ａ，７０
Ｂを起立状に揺動させることで、保持してなる荷
４５を昇降台４３上に位置させる。

なお上述とは逆動作を行うことで保持していた
荷４５を出庫用荷受台１３に卸し得る。また入庫
用荷受台１３から区画収納空間１４への荷４５の
移動も同様にして行える。

上記実施例では片側の棚６に対する構造、作用
を述べたが、これは第１図仮想線に示すように反
対側にも棚６がある場合でも、両側の棚６に対し
て同様の制御でもつて荷４５の出し入れを行える
ものである。その場合、第２ケース枠７３Ａ，７
３Ｂの先端と、作動装置４６との間が第１ケース
枠７０Ａ，７０Ｂの寸法の半分だけ間隔が開いて
いるため上下方向に長尺な底の深い荷４５であつ
てもそのまま作動装置４６上を通過でき、反対側
の棚に荷４５を載置できる。

発明の効果 上記構成の本発明によると、昇降台内の作動装
置によつて第１ケース枠を左右方向の一方に或る
角度揺動させたとき、揺動制御装置で設定した制
御値に基づいて第２ケース枠を、前述した或る角
度に、ある倍数で比例した角度で第１ケース枠に
対して一方側に揺動させることができ、したがつ
て作動装置の駆動量を少なく、かつ昇降台外に露
出した摺接部がほとんど生じることなく荷保持具
を大きく振出すことができる。

また、作動装置により第１ケース枠を接近離間
動させるとともに、昇降台とともに荷保持具を昇
降させることで、荷に対する荷保持具の保持動、
保持解除動を確実に行うことができる。

このように本発明によると、搬入出装置の露出
した摺接部は、ストロークの長短や作用方向に関
係なく殆ど無くすることができるとともに、装置
外での粉塵の発生を少なくできて粉塵が荷に付着
することを減少でき、特に荷をクリーンな雰囲気
中で保管する場所などに有効に採用できる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示し、第１図は全体
の一部切欠き側面図、第２図は同裏側から見た一
部切欠き図、第３図は同一部切欠き平面図、第４
図は作動装置部の横断平面図、第５図は荷保持装
置部の縦断側面図、第６図は同正面図である。 １…クリーンルーム、６…棚、１０…荷受板、
１２…入庫口荷受台、１３…出庫口荷受台、１４
…区画収納空間、１５…搬入出装置、１６…一定
経路、１７…ポスト、２０…下部レール、２９…
上部レール、３３…昇降駆動装置、４０…昇降
体、４２…連結部材、４３…昇降台、４４…荷保
持装置、４５…荷、４５ａ…被係止部、４６…作
動装置、４７…設置空間、４９…揺動用装置、５
７Ａ，５７Ｂ…可動台、６０…接近離間用装置、
６６Ａ，６６Ｂ…可動部材、７０Ａ，７０Ｂ…第
１ケース枠、７２Ａ，７２Ｂ…前後方向軸、７３
Ａ，７３Ｂ…第２ケース枠、７４Ａ，７４Ｂ…支
持ピン、７６Ａ，７６Ｂ…荷保持具、７７Ａ，７
７Ｂ…揺動制御装置、７８Ａ，７８Ｂ…第１鎖
輪、７９Ａ，７９Ｂ…第２鎖輪、８０Ａ，８０Ｂ
…第１チエン、８１Ａ，８１Ｂ…第３鎖輪、８２
Ａ，８２Ｂ…第４鎖輪、８３Ａ，８３Ｂ…第２チ
エン。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 上下方向ならびに横方向に複数の区画収納空
   間を有する棚と、この棚に沿つた一定経路上を走
   行自在な搬入出装置とを設け、この搬入出装置
   は、ポスト内の昇降駆動装置に連動する昇降台
   と、この昇降台内に設けた作動装置に連動する荷
   保持装置とを有し、この荷保持装置を、前記作動
   装置に下端が連動して左右方向に揺動自在でかつ
   互に接近離間自在な前後一対の第１ケース枠と、
   これら第１ケース枠の上端に相対揺動自在に連結
   した前後一対の第２ケース枠と、これら第２ケー
   ス枠の下端に相対揺動自在に連結した一対の相対
   向する荷保持具と、前記第１ケース枠の揺動量に
   応じて第２ケース枠の揺動量ならびに荷保持具の
   向きを制御すべく両ケース枠内に配設した揺動制
   御装置とから構成したことを特徴とする荷保管装
   置。