JPH078683B2 - 荷保管装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、たとえば半導体のよう
な板状物を、ケース内に多数枚並列して収納することで
形成した荷を取扱う荷保管装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の荷保管装置は、たとえば特開昭61
年124405号公報に見られるように、上下方向ならびに横
方向に複数の区画収納空間を有する棚と、この棚に沿っ
た一定経路上を走行自在な搬入出装置とから構成され、
この搬入出装置は昇降台上に、左右方向出退自在でかつ
互いに接近離間自在な一対の荷保持具を有する。そし
て、この従来の荷保管装置は、走行動と昇降動と左右方
向出退動、ならびに互いに接近離間動との組合せ動作に
よって、目的とする区画収納空間との間で荷の受け渡し
を行う。

【０００３】また、荷保持装置として、特開昭58年1439
73号公報の工業用ロボットに見られるように、ロボット
のアームを横方向に平行移動させる横動機構と、この横
動機構の一側に横動機構と直角方向の平面に旋回可能に
取付けられた第１アーム旋回機構と、この第１アーム旋
回機構の他端に第１アーム旋回機構と同方向の平面に旋
回可能に取付けられた第２アーム旋回機構と、この第２
アーム旋回機構の先端に前記第１アーム旋回機構と同方
向の平面に旋回可能に取付けられた手首機構とからなる
構成が提供されている。そしてアームには、前記第１ア
ーム旋回機構および第２アーム旋回機構の旋回角度と同
角度だけ旋回連動して、手首機構が常に一定方向に指向
するよう連結機構が設けられている。

【０００４】さらに、別な荷保持装置としては、特公昭
61年44761 号公報のバケット取扱装置に見られるよう
に、棚に沿って走行自在なスタッカークレーンの昇降体
に前後一対の基部平行リンクと、これら基部平行リンク
に共通リンクを介して連結した先部平行リンクと、一方
の基部平行リンクに連動したモーターと、前後の先部平
行リンク間に設けた支持台と、この支持台に配設した一
対の爪からなる装置が提供されている。この荷保持装置
は、両平行リンクを振り出し作動させて支持台をバケッ
トの上方へ位置させ、そして爪をバケットの上縁に引っ
掛けた状態で両平行リンクを引き込み作動させること
で、バケットを昇降台のローラー上に引き出せ得る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記の従来技術のうち
特開昭61年124405号公報に見られる荷保管装置は、荷保
持具として、その基端を可動台などで支持したフォーク
形式を採用していることから、その出退動時に長い距離
でかつ露出した摺接部が生じ、この摺接によって粉塵な
どが発生することから、荷をクリーンな雰囲気中で保管
する場所などに安易に採用できない。

【０００６】また特開昭58年143973号の荷保持装置で
は、第１のアーム上端に第２アーム旋回機構の駆動モー
タを取り付けているが、駆動モータは外部に露出してお
り、また横動機構や第１アーム旋回機構の駆動モータな
どはカバーされておらず、外部に露出していることか
ら、これら部分で発生した粉塵が周囲に飛散することに
なり、荷をクリーンな雰囲気中で保管する場所などに安
易に採用できない。

【０００７】そして特公昭61年44761 号の荷保持装置で
は、リンク回転駆動装置および前後の平行リンクを連動
連結する支持台に取り付けた爪の駆動装置はバケットの
上方に配置することになり、これら駆動装置で発生した
粉塵が荷に上に落下することになってクリーンではな
い。さらに爪はバケットの上縁に係合するのでバケット
の出し入れ作業はクリーンに行えず、またバケットを引
きずり出す形式であるのでクリーンではない。

【０００８】このように、各従来構成においては、装置
外に露出した多数の駆動部（モータなど）や摺接部で粉
塵が発生し易く、しかも粉塵が荷に付着し易いもので、
荷をクリーンな雰囲気中で保管する場所などに安易に採
用できない。

【０００９】本発明の目的とするところは、駆動部や摺
接部が装置外に露出することをなくして、粉塵の発生や
粉塵が荷に付着することを減少し得る荷保管装置を提供
する点にある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく本
発明の荷保管装置は、上下方向ならびに横方向に複数の
区画収納空間を有する棚と、この棚に沿った一定経路上
を走行自在な搬入出装置とを設け、この搬入出装置は、
ポスト内の昇降駆動装置に連動しかつカバー枠により設
置空間を形成した昇降台と、この昇降台の前記設置空間
内に駆動部と摺接部が収納された揺動用装置と接近離間
用装置とからなる作動装置と、この作動装置に連動する
荷保持装置とを有し、この荷保持装置を、前記作動装置
に連動して左右方向に揺動自在でかつ互に接近離間動自
在な前後一対の第１ケース枠と、これら第１ケース枠に
相対揺動自在に連結した前後一対の第２ケース枠と、こ
れら第２ケース枠に相対揺動自在に連結した一対の相対
向する荷保持具と、前記第１ケース枠の揺動量に応じて
第２ケース枠の揺動量ならびに荷保持具の向きを制御す
べく両ケース枠内に配設した揺動制御装置とから構成し
ている。

【００１１】

【作用】かかる本発明の構成によると、揺動用装置によ
って第１ケース枠を左右方向の一方に或る角度揺動させ
たとき、揺動制御装置で設定した制御値に基づいて第２
ケース枠が、前述した或る角度に、ある倍数で比例する
角度で第１ケース枠に対して一方側に揺動されることに
なり、したがって揺動用装置の駆動量が少なく、かつ昇
降台外に摺接部が露出しないものでありながら、荷保持
具を大きく振出せ得る。その際に、作動装置を構成する
揺動用装置や荷保持装置の駆動部や摺接部を昇降台に形
成した設置空間内に収納することで、粉塵の発生を減少
し得る。

【００１２】さらに接近離間用装置により両第１ケース
枠を互に接近離間動させるとともに、昇降台とともに荷
支持具を昇降させることで、荷に対する荷支持具の保持
動、保持解除動を確実に行える。

【００１３】

【実施例】以下に本発明の一実施例を図に基づいて説明
する。１はクリーンルームで、天井２側からフイルター
３を通してクリーンエアー４を下吹きし、下降するエア
ーをメッシュ形式の床５を通して床下に吸引するように
構成してある。６は棚で、前面が開放する箱状の本体７
と、この本体７において横方向に多数並設した縦枠８
と、これら縦枠８に上下方向に多数取付けた前後枠９
と、相対向する前後枠９間に取付けた荷受板10と、下部
において本体７を切欠いて形成した入出庫口11と、この
入出庫口11を通って裏側に突出する入庫口荷受台12なら
びに出庫口荷受台13とからなり、両枠８，９などによっ
て上下方向ならびに横方向にそれぞれ複数の区画収納空
間14を形成する。

【００１４】15は搬入出装置で、前記棚６の前面側に沿
った一定経路16上を走行自在である。すなわち搬入出装
置15は本体を四角筒状のポスト17から形成し、その下端
の棚６側の面にはブラケット18を介してスライド体（下
部被スライド体の一例であって、ローラなどに代え得
る。）19が取付けてある。このスライド体19は棚６の本
体７側に取付けられ、かつ前記一定経路16に沿った下部
レール20に支持案内される。

【００１５】前記ポスト17の下面から取付け部材21が垂
設され、この取付け部材21は本体７側に設けた無端回動
体22の一箇所に連結し、さらに無端回動体22は輪体など
を介して正逆駆動装置23に連動している。前記下部レー
ル20や正逆駆動装置23などは本体７と一体の防塵カバー
24内に配設され、その際に防塵カバー24には、ブラケッ
ト18や取付け部材21の移動を許すスリット25，26が形成
してある。前記ポスト17の上端には一対の遊転ローラ
（上部被ガイド体の一例であって、スライド体などに代
え得る。）28が配設され、これら遊転ローラ28間に位置
しかつ一定経路16に沿った上部レール29が、取付け部材
30を介して本体７側に取付けてある。

【００１６】前記搬入出装置15は、両レール20，29に支
持案内されて一定経路16上を走行自在であり、そのポス
ト17の走行方向側のいずれか一面には上下方向にスリッ
ト34を形成している。前記ポスト17内には上位輪体35、
下位輪体36、駆動輪体37などが配設され、これら輪体3
5，36，37間に無端回動体38を巻回するとともに、駆動
輪体37を正逆駆動装置39に連動して昇降駆動装置33を構
成している。

【００１７】前記無端回動体38の一箇所に連結した昇降
体40はポスト17内に配設した上下レール41に案内され、
また昇降体40の一部である連結部材42は前記スリット34
を通って突出している。この連結部材42の突出端には昇
降台43が取付けられ、また昇降台43上に荷保持装置44を
設けて、両荷受台12，13と区画収納空間14との間で荷45
の受け渡しを可能にしている。すなわち昇降台43は、荷
保持装置44に連動する作動装置46の駆動部と摺接部とを
収納してなる設置空間47がカバー枠48により形成され
る。この設置空間47内に駆動部と摺接部とが収納される
作動装置46は、大別して揺動用装置49と接近離間用装置
60とからなる。

【００１８】すなわち揺動用装置49は、モータ（駆動部
の一例）50にカップリング51を介して連動するウォーム
減速機52を有し、このウォーム減速機52の前後から、一
定経路16に沿った方向の出力軸53が貫通突出している。
この出力軸53の前端部にはスプライン嵌合（キー嵌合）
54Ａ，54Ｂを介して筒体55Ａ，55Ｂが取付けられ、これ
ら筒体55Ａ，55Ｂに軸受56Ａ，56Ｂを介して外嵌した可
動台57Ａ，57Ｂが昇降台43上に敷設した一定経路16方向
のレール体58Ａ，58Ｂに摺動体（摺接部の一例）59Ａ，
59Ｂを介して支持案内される。

【００１９】前記接近離間用装置60は、別のモータ（駆
動部の別例）61に連動するウォーム伝動装置62を有し、
このウォーム伝動装置62から突出しかつ互に逆回転する
前後一対の出力軸63Ａ，63Ｂには螺子部64Ａ，64Ｂが形
成されている。これら螺子部64Ａ，64Ｂに外嵌したナッ
ト体65Ａ，65Ｂを有する可動部材66Ａ，66Ｂのうち、一
方の可動部材66Ａは連結板67Ａを介して可動台57Ａに連
結される。また他方の可動部材66Ｂは、連結ロッド68と
連結板67Ｂとを介して可動台57Ｂに連結される。69はス
トッパ装置を示し、これら61〜69により接近離間用装置
60を構成する。

【００２０】前記荷保持装置44は、その下端を前記筒体
55Ａ，55Ｂに固定した左右一対の第１ケース枠70Ａ，70
Ｂを有し、これら第１ケース枠70Ａ，70Ｂは出力軸軸心
53ａの周りで左右方向に揺動自在となる。前記第１ケー
ス枠70Ａ，70Ｂの上端（一端）には軸受71Ａ，71Ｂを介
して前後方向軸72Ａ，72Ｂが回転自在に取付けられ、こ
れら前後方向軸72Ａ，72Ｂの相対向側の突出端には第２
ケース枠のほぼ半分の長さの第２ケース枠73Ａ，73Ｂが
その上端（一端）を固定して取付けられている。そして
第２ケース枠73Ａ，73Ｂの下端（他端）には前後方向の
支持ピン74Ａ，74Ｂが軸受75Ａ，75Ｂを介して回転自在
に設けられ、これら支持ピン74Ａ，74Ｂの相対向する内
端にはアングル状の荷保持具76Ａ，76Ｂが取付けられ
る。

【００２１】両ケース枠70Ａ，70Ｂ、73Ａ，73Ｂの内部
を利用して、前記第１ケース枠70Ａ，70Ｂの揺動量に応
じて第２ケース枠73Ａ，73Ｂの揺動量ならびに荷保持具
76Ａ，76Ｂの向きを制御する揺動制御装置77Ａ，77Ｂが
配設される。この揺動制御装置77Ａ，77Ｂは、第１ケー
ス枠70Ａ，70Ｂ内で可動台57Ａ，57Ｂに固定した第１鎖
輪78Ａ，78Ｂと、第１ケース枠70Ａ，70Ｂ内で前後方向
軸72Ａ，72Ｂに固定した第２鎖輪79Ａ，79Ｂと、これら
鎖輪78Ａ，78Ｂ、79Ａ，79Ｂの対向側に巻回した第１チ
エン80Ａ，80Ｂと、第２ケース枠73Ａ，73Ｂ内で前後方
向軸72Ａ，72Ｂに外嵌するとともに第１ケース枠70Ａ，
70Ｂの上端に固定された第３鎖輪81Ａ，81Ｂと、第２ケ
ース枠73Ａ，73Ｂ内で支持ピン74Ａ，74Ｂに固定された
第４鎖輪82Ａ，82Ｂと、これら鎖輪81Ａ，81Ｂ、82Ａ，
82Ｂの対向間に巻回した第２チエン83Ａ，83Ｂとにより
構成される。ここで第１鎖輪78Ａ，78Ｂと第４鎖輪82
Ａ，82Ｂは同径かつ大径に、また第２鎖輪79Ａ，79Ｂと
第３鎖輪81Ａ，81Ｂは同径かつ小径に設定される。

【００２２】前記荷45は半導体などの板状物を多数枚並
設して収納したケースによって形成され、このケースの
側部には両荷保持具76Ａ，76Ｂが下方から係合自在な被
係止部45ａが設けられる。

【００２３】以下に上記実施例の作用を説明する。クリ
ーンルーム１内では、フイルター３を通って下吹きされ
るクリーンエアー４が下降し、そして下降するエアーを
床５下に吸引することから、そのクリーン度は確保され
ている。このようなクリーンルーム１内で搬入出装置15
を使用しての、棚６の目的とする区画収納空間14と両荷
受台12，13との間での荷45の受け渡しは、この搬入出装
置15の一定経路16上での走行動作と、昇降台43の昇降動
作と、荷保持装置44の動作との組合わせにより行える。

【００２４】そして荷保持装置44による保持動作は次の
ようにして行われる。すなわち荷45を受取りに行く前に
両第１ケース枠70Ａ，70Ｂなどは互いに離間している。
まず昇降台43を目的とする区画収納空間14に対応して停
止させた状態で、揺動用装置49のモータ50を始動させ、
ウォーム減速機52などを介して出力軸53を同方向に回転
させる。これにより出力軸53に筒体55Ａ，55Ｂを介して
一体化されている第１ケース枠70Ａ，70Ｂが、出力軸軸
心53ａの周りに区画収納空間14側に揺動される。このと
き第１鎖輪78Ａ，78Ｂは位置固定であることから、第１
ケース枠70Ａ，70Ｂの揺動量に応じて第２鎖輪79Ａ，79
Ｂを介して前後方向軸72Ａ，72Ｂが回転され、この前後
方向軸72Ａ，72Ｂに一体化させた第２ケース枠73Ａ，73
Ｂが区画収納空間14側に揺動される。

【００２５】その際に第１鎖輪78Ａ，78Ｂと第２鎖輪79
Ａ，79Ｂとの径変化による第１チエン80Ａ，80Ｂを介し
ての増速伝動によって、図６の仮想線に示すように第１
ケース枠70Ａ，70Ｂの揺動角度θに対して第２ケース枠
73Ａ，73Ｂは２倍の揺動角度２θとなる。また第１ケー
ス枠70Ａ，70Ｂの揺動による前後方向軸72Ａ，72Ｂの下
降量の一部は、第２ケース枠73Ａ，73Ｂの揺動による支
持ピン74Ａ，74Ｂの上昇で吸収することから、荷保持具
76Ａ，76Ｂはほぼ同じレベルで移動することになる。さ
らに第１ケース枠70Ａ，70Ｂに第３鎖輪81Ａ，81Ｂが固
定であることから、第２ケース枠73Ａ，73Ｂの揺動量に
応じて、第２チエン83Ａ，83Ｂと第４鎖輪82Ａ，82Ｂと
を介して支持ピン74Ａ，74Ｂが回転され、両荷保持具76
Ａ，76Ｂの上向きの正姿勢は維持される。

【００２６】このような動作により荷保持具76Ａ，76Ｂ
を、目的とする荷45の両側外方でかつ被係止部45ａより
も下方レベルに位置させた状態で棚６側に振出すことが
できる。その場合、第２ケース枠73Ａ，73Ｂが第１ケー
ス枠70Ａ，70Ｂのほぼ半分の寸法に形成されているた
め、第２ケース枠73Ａ，73Ｂの傾斜の位置が低位置とな
って水平に旋回移動でき、第１ケース枠73Ａ，73Ｂと第
２ケース枠73Ａ，73Ｂの屈曲状態が嵩高とならない。そ
のため、この荷保持装置44は、荷受板10によって区切ら
れた区画収納空間14が狭くても対応できる。

【００２７】そして接近離間用装置60を作動させる。す
なわち、モータ61の始動により出力軸63Ａ，63Ｂを互に
逆回転させ、両ナット体65Ａ，65Ｂを接近動させる。こ
れによりレール体58Ａ，58Ｂに案内されて可動台57Ａ，
57Ｂが互に接近動し、第１ケース枠70Ａ，70Ｂなどを接
近動させて被係止部45ａの真下に荷保持具76Ａ，76Ｂを
位置させる。次いで昇降台43を少し上昇させることで、
荷保持具76Ａ，76Ｂを被係止部45ａに対して下方から係
合させ、以って荷45を持上げる。そして揺動用装置49を
前述とは逆作動させて、第１ケース枠70Ａ，70Ｂを起立
状に揺動させることで、保持してなる荷45を昇降台43上
に位置させる。

【００２８】なお上述とは逆動作を行うことで、保持し
ていた荷45を出庫用荷受台13に卸し得る。また入庫用荷
受台13から区画収納空間14への荷45の移動も同様にして
行える。

【００２９】上記実施例では片側の棚６に対する構造、
作用を述べたが、これは図１の仮想線に示すように反対
側にも棚６がある場合でも、両側の棚６に対して同様の
制御でもつて荷45の出し入れを行えるものである。その
場合、第２ケース枠73Ａ，73Ｂの先端と、作動装置46と
の間が第１ケース枠70Ａ，70Ｂの寸法の半分だけ間隔が
開いているため上下方向に長尺な底の深い荷45であって
もそのまま作動装置46上を通過でき、反対側の棚に荷45
を載置できる。

【００３０】

【発明の効果】上記構成の本発明によると、揺動用装置
により第１ケース枠を左右方向の一方に或る角度揺動さ
せたとき、揺動制御装置で設定した制御値に基づいて第
２ケース枠を、前述した或る角度に、ある倍数で比例し
た角度で第１ケース枠に対して一方側に揺動させること
ができ、したがって作動装置の駆動量を少なく、かつ昇
降台外に摺接部が露出することなく荷保持具を大きく振
出すことができる。その際に、作動装置を構成する揺動
用装置や荷保持装置の駆動部や摺接部を昇降台に形成し
た設置空間内に収納することで、粉塵の発生を減少でき
る。

【００３１】また、接近離間用装置により第１ケース枠
を互に接近離間動させることで、荷に対する荷支持具の
保持動、保持解除動を確実に行うことができる。このよ
うに本発明によると、搬入出装置の露出した摺接部や駆
動部を無くすることができるとともに、荷に対する保持
動、保持解除動は粉塵を発生することなく行うことがで
き、装置外での粉塵の発生を少なくできて粉塵が荷に付
着することを減少でき、特に荷をクリーンな雰囲気中で
保管する場所などに有効に採用できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示し、荷保管装置の一部切
欠き側面図である。

【図２】同荷保管装置を裏側から見た一部切欠き図であ
る。

【図３】同荷保管装置の一部切欠き平面図である。

【図４】同作動装置部の横断平面図である。

【図５】同荷保持装置部の縦断側面図である。

【図６】同荷保持装置部の正面図である。

【符号の説明】

１ クリーンルーム ６ 棚 10 荷受板 12 入庫口荷受台 13 出庫口荷受台 14 区画収納空間 15 搬入出装置 16 一定経路 17 ポスト 33 昇降駆動装置 40 昇降体 42 連結部材 43 昇降台 44 荷保持装置 45 荷 45a 被係止部 46 作動装置 47 設置空間 48 カバー枠 49 揺動用装置 50 モータ（駆動部） 57Ａ 可動台 57Ｂ 可動台 59Ａ 摺動体（摺接部） 59Ｂ 摺動体（摺接部） 60 接近離間用装置 61 モータ（駆動部） 66Ａ 可動部材 66Ｂ 可動部材 70Ａ 第１ケース枠 70Ｂ 第１ケース枠 72Ａ 前後方向軸 72Ｂ 前後方向軸 73Ａ 第２ケース枠 73Ｂ 第２ケース枠 74Ａ 支持ピン 74Ｂ 支持ピン 76Ａ 荷保持具 76Ｂ 荷保持具 77Ａ 揺動制御装置 77Ｂ 揺動制御装置

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上下方向ならびに横方向に複数の区画収
   納空間を有する棚と、この棚に沿った一定経路上を走行
   自在な搬入出装置とを設け、この搬入出装置は、ポスト
   内の昇降駆動装置に連動しかつカバー枠により設置空間
   を形成した昇降台と、この昇降台の前記設置空間内に駆
   動部と摺接部が収納された揺動用装置と接近離間用装置
   とからなる作動装置と、この作動装置に連動する荷保持
   装置とを有し、この荷保持装置を、前記作動装置に連動
   して左右方向に揺動自在でかつ互に接近離間動自在な前
   後一対の第１ケース枠と、これら第１ケース枠に相対揺
   動自在に連結した前後一対の第２ケース枠と、これら第
   ２ケース枠に相対揺動自在に連結した一対の相対向する
   荷保持具と、前記第１ケース枠の揺動量に応じて第２ケ
   ース枠の揺動量ならびに荷保持具の向きを制御すべく両
   ケース枠内に配設した揺動制御装置とから構成したこと
   を特徴とする荷保管装置。