JPH069037A

JPH069037A - 運搬台車

Info

Publication number: JPH069037A
Application number: JP4169077A
Authority: JP
Inventors: Yasutake Oshima; 泰毅大島; Futoshi Onodera; 太小野寺; Masato Matsuda; 正人松田
Original assignee: Toshiba Ceramics Co Ltd
Current assignee: Coorstek KK
Priority date: 1992-06-26
Filing date: 1992-06-26
Publication date: 1994-01-18

Abstract

(57)【要約】【目的】この発明は被搬送物体としての円柱状のシリ
コン単結晶の移載を容易に行えるようにした運搬台車を
提供することにある。【構成】走行自在な車体１２と、この車体の上面側に
リフト機構１６によって水平な状態で上下動自在に設け
られた可動体２４と、上記リフト機構を駆動して上記可
動体を上下駆動するシリンダ２９と、上記可動体の上面
側にシリコン単結晶１を周方向に回転自在かつ軸方向に
移動自在に支持した支持球体４７とを具備したことを特
徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明はシリコン単結晶のよう
な円柱状の被搬送物体を搬送するための運搬台車に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】円柱状の被搬送物体としての上記シリコ
ン単結晶は、チョクラルスキー法やフローテイングゾー
ン法などで育成される。このような手法によって育成さ
れたシリコン単結晶から半導体ウエハを切り出すまでに
は、たとえばシーム状態の外観検査やマーク付けなどの
工程を経てから切断工程に搬送される。

【０００３】図５（ａ）〜（ｃ）はシリコン単結晶を切
断工程に搬送するまでの作業の説明図である。まず、育
成されたシリコン単結晶１は、図５（ａ）に示すように
ローラ２ａが設けられたストック棚２に保管されてい
る。このストック棚２に保管されたシリコン単結晶１
は、走行自在な台車３の載置面３ａ上に移載されて図５
（ｂ）に示すように検査台４上に載置される。検査台４
に載置されたシリコン単結晶１は、この検査台４上で転
動させてシーム切れの検査やサンプル取りのための切断
位置のマーク付けなどの外観検査作業が行われる。

【０００４】外観検査作業が終了したシリコン単結晶１
は、上記台車３に再度、移載されたのち、図５（ｃ）に
示すように切断装置５まで搬送され、この装置５のテー
ブル６上にセットされる。その状態で上記シリコン単結
晶１を矢印方向に送りながら切断装置５を作動させるこ
とで、上記シリコン単結晶１から半導体ウエハが切り出
される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来、上記台車３は、
その載置面３ａに載置されたシリコン単結晶１を持ち上
げ易くするため、低く形成されていた。これに対して上
記検査台４は、作業者が検査作業をし易いようにするた
め、上記台車３の載置面３ａよりも高く形成され、また
切断装置５のテーブル６も同様の理由で高く形成されて
いた。

【０００６】そのため、上記台車３の載置面３ａから上
記検査台４やテーブル６にシリコン単結晶１を移載する
場合には、それを持ち上げなければならないから、作業
者に大きな負担を与えるということがあった。とくに、
最近ではシリコン単結晶１が３５ｋｇ〜９０ｋｇと高重
量化しているので、一人の作業者では持ち上げられず、
二人で持ち上げなければならないなど、作業性の低下を
招いたり、作業者に与える負担が非常に大きいなどのこ
とがあった。

【０００７】さらに、シリコン単結晶１の外観検査を行
うのに、検査台４を用いているから、シリコン単結晶１
を上記検査台４に載せて検査したのち、この検査台４か
ら降ろさなければならない。そのため、検査工程によっ
てシリコン単結晶１の移載回数の増大を招くということ
もあった。

【０００８】この発明は上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするところは、被搬送物体を持ち上げる
ことなく、容易に移載できるとともに、上記被搬送物体
の外観検査を、移載作業をともなうことなく行えるよう
にした運搬台車を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明は、円柱状の被搬送物体を搬送するための搬
送装置において、走行自在な車体と、この車体の上面側
にリフト機構によって水平な状態で上下動自在に設けら
れた可動体と、上記リフト機構を駆動して上記可動体を
上下駆動する駆動手段と、上記可動体の上面側に載置さ
れる上記被搬送物体を周方向に回転自在かつ軸方向に移
動自在に支持する支持手段とを具備したことを特徴とす
る。

【００１０】

【作用】上記構成によれば、可動体の高さを変えること
ができるとともに、被搬送物体がその軸方向にスライド
自在に支持されているから、上記被搬送物体の移載を容
易に行うことができ、また被搬送物体が周方向に回転自
在に支持されているから、検査台に移載せず、可動体上
で外観検査を行うことができる。

【００１１】

【実施例】以下、この発明の一実施例を第１図乃至第４
図を参照して説明する。

【００１２】図１と図２に示すこの発明の運搬台車１１
は車体１２を備えている。この車体１２は断面Ｌ字状の
一対の側部材１３を所定の間隔で離間対向させ、これら
を２本の横部材１４によって連結して形成されている。
上記側部材１３の両端、つまり車体１２の四隅部下面に
はそれぞれキャスタ１５が設けられている。それによっ
て、車体１２は自由に走行させることができるようにな
っている。

【００１３】一対の側部材１３の一端側にはブラケット
１８ａが設けられ、各ブラケット１８ａには、それぞれ
リフト機構１６を形成する一対の第１のリンク１７の一
端部が第１の支軸１８によって回動自在に連結されてい
る。この第１のリンク１７の中途部には第２のリンク１
９の中途部が第２の支軸２１によって回動自在に連結さ
れている。上記第１のリンク１７の他端には第１のロー
ラ２２が第１のローラ軸２２ａによって回転自在に設け
られ、上記第２のリンク１９の一端には第２のローラ２
３が第２のローラ軸２３ａによって回転自在に設けられ
ている。

【００１４】上記車体１２の上面側には可動体２４が配
置されている。この可動体２４の下面の一端側の両側部
にはそれぞれ第１のガイドレール２５が設けられてい
る。この第１のガイドレール２５には、上記第１のリン
ク１７に設けられた第１のローラ２２が転動自在に係合
している。上記第２のリンク１９の一端に設けられた第
２のローラ２３は上記車体１２の側部材１３の上面両側
の他端側に設けられた第２のガイドレール２６に転動自
在に係合している。上記第２のリンク１９の他端は、上
記可動体２４の他端側下面に設けられたブラケット２７
ａに図２に示す第３の支軸２７によって回動自在に連結
されている。

【００１５】上記台車１の一方の横部材１４の下面に
は、ほぼＬ字状をなした取付部材２８が垂設されてい
る。この取付部材２８の下端には駆動手段を形成するシ
リンダ２９の一端が第４の支軸３１によって回動自在に
連結されている。このシリンダ２９のピストンロッド３
２の先端には連結部材３２ａが設けられ、この連結部材
３２ａは上記第１のリンク１７の一端部である、第１の
支軸１８と第２の支軸２１との間の部分に第５の支軸３
３によって枢着されている。

【００１６】上記台車１の他方の横部材１３の下面には
駆動手段を形成する圧縮空気の貯蔵タンク３４が設けら
れている。この貯蔵タンク３４にはエアポンプから可撓
性のホース（ともに図示せず）を介して圧縮空気が供給
されるようになっている。上記貯蔵タンク３４は上記シ
リンダ２９と供給ホース３５によって接続されている。
この供給ホース３５の中途部には切換え制御弁３６が設
けられている。この切換え制御弁３６は上記可動体２４
の上面側に設けられた操作部３７（図１に示す）によっ
て切換え操作できるようになっている。つまり、上記切
換え操作弁３６を操作することで、上記シリンダ２９に
対して圧縮空気の供給と排出を行うことができる。

【００１７】上記シリンダ２９へ圧縮空気を供給すれ
ば、ピストンロッド３２が突出方向に付勢されるから、
上記ピストンロッド３２の先端が連結された第１のリン
ク１７が一端側の支軸１８を支点として図２に矢印ａで
示す起立方向に回動する。それによって、第１のリンク
１７の他端に設けられた第１のローラ２２が可動体２４
の下面に設けられた第１のガイドレール２５を矢印ｂ方
向に転動する。第１のリンク２７が起立方向に回動すれ
ば、第２のリンク１９の端部に設けられた第２のローラ
２３が第２のガイドレール２６を矢印ｃ方向に転動しな
がらこの第２のリンク１９が矢印ｄで示す起立方向に回
動する。したがって、上記可動体２４は第１のリンク１
７と第２のリンク１９によって水平な状態が維持されつ
つ上昇する。

【００１８】上記可動体２４の上面には、その長手方向
に所定間隔で複数の取付部材４１が設けられている。各
取付部材４１は図１に示すように側面形状がほぼムの字
状に形成され、その両端のほぼ４５度で傾斜した面には
それぞれ断面ほぼコ字状の支持部材４２が取付けられて
いる。各支持部材４２の開放した面には図３に示すよう
にプレート４３が接合されている。

【００１９】上記プレート４３には円形状の開孔４４が
長手方向に所定間隔で形成されている。各開孔４４の下
面側には半球形状の軸受カップ４５が設けられている。
この軸受カップ４５には小径な軸受球体４６によって支
持手段としての支持球体４７が回転自在に収容されてい
る。この支持球体４７はその一部を上記開孔４４から突
出させている。上記開孔４４の周縁部には上記支持球体
４７がプレート４３から脱落するのを防止する鍔４８が
形成されている。そして、上記可動体２４の上面には、
円柱状の被搬送物体としてのシリコン単結晶１が外周面
を上記各支持球体４７に接触させて載置される。つま
り、シリコン単結晶１は上記支持球体４７によって周方
向に回転自在かつ軸方向に移動自在に支持されている。

【００２０】なお、図１において４９は運搬台車１１を
走行させる時に作業者が把持するための把持部材であ
る。この把持部材４９はパイプ材によってほぼコ字状に
形成され、上記車体１２に着脱自在に設けられている。

【００２１】このように構成された運搬台車１１によれ
ば、図４（ａ）に示すように、リフト機構１６の一対の
リンク１７、１９を倒伏させ、可動体２４の高さをスト
ック棚２の下段の位置に合わせれば、その段のシリコン
単結晶１を水平方向にスライドさせるだけで、上記可動
体２４の支持球体４７上に上記シリコン単結晶１を移載
することができる。

【００２２】上記ストック棚２の中段のシリコン単結晶
１を移載する場合には、上記リフト機構１６を上昇させ
れば、上記可動体２４の高さをほぼ上記中段の高さと同
じにすることができるから、中段に貯蔵されたシリコン
単結晶１の移載を容易に行うことができる。なお、この
実施例においては、尾可動体２４をストック棚２の上段
と同じ高さまで上昇させることはできないが、上段の高
さに近付けることができるから、上段のシリコン単結晶
１の移載も比較的容易に行うことができる。

【００２３】図４（ａ）に示すようにストック棚２の下
段のシリコン単結晶１を運搬台車１１の可動体２４上に
移載したのち、上記シリコン単結晶１の外観検査を行う
場合には、図４（ｂ）に示すようにリフト機構１６を作
動させて可動体２４を上昇させ、外観検査がし易い高さ
にする。その状態で、上記シリコン単結晶１を周方向に
回転させれば、シーム切れなどの外観検査を行うことが
できる。つまり、シリコン単結晶１を運搬台車１１から
従来のように検査台へ移載することなく、その外観検査
を行える。

【００２４】外観検査が終了したならば、上記運搬台車
１１を切断装置５のところまで走行させる。リフト機構
１６によって上昇させられた状態にある可動体２４の高
さは、上記切断装置５のテーブル６の高さとほぼ同じと
なっている。そのため、上記可動体２４上のシリコン単
結晶１は、図４（ｃ）に矢印で示すようにその軸方向に
スライドさせるだけで、上記テーブル６上に移載するこ
とができる。すなわち、上記シリコン単結晶１を運搬台
車１１から持ち上げることなく上記テーブル６に移載す
ることができるから、その移載作業を一人の作業者によ
って容易に行うことができる。

【００２５】なお、上記一実施例では、リフト機構の上
下駆動を、運搬台車に貯蔵タンクおよびシリンダを設け
を設け行うようにしたが、貯蔵タンクを設けず、圧縮空
気の供給源と上記シリンダとをホースによって接続して
このシリンダを作動させるようにしてもよい。また、駆
動手段はシリンダに代わり、モータであってもよく、そ
の場合、そのモータによって回転駆動されるねじ軸にナ
ットを螺合し、このナットと一体的に設けられた筒状体
をその軸方向に進退駆動し、その筒状体をリフト機構の
一方のリンクに回動自在に連結すればよい。モータによ
りリフト機構を駆動すれば、リフト機構を途中の位置で
停止することができるから、ストック棚、検査台あるい
は切断装置のテーブルの高さが異なっても、これらに可
動体の高さがほぼ一致するよう位置決めできる。

【００２６】さらに、リフト機構としては、リンクに代
わり、滑車およびワイヤを用いた機構などであってもよ
く、要は可動体をほぼ水平な状態で上下駆動できる機構
であればよい。

【００２７】

【発明の効果】以上述べたようにこの発明は、車体に可
動体をリフト機構によって上下動自在に設け、この可動
体の上面側に支持手段によって被搬送物体を周方向に回
転自在かつ軸方向に移動自在に支持するようにした。

【００２８】したがって、上記リフト機構によって所定
の高さで支持された上記被搬送物体を周方向に回転させ
ることで、従来のように検査台に移載することなく外観
検査を容易かつ迅速に行える。

【００２９】また、可動体が上下動自在であるとともに
この可動体に支持された被搬送物体がその軸方向にスラ
イド自在であるから、上記被搬送物体を持ち上げること
なく、他の工程の装置に容易に移載することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例の運搬台車を示す正面図。

【図２】同じく図１のＡ−Ａ線に沿う断面図。

【図３】同じく支持球体の支持構造の断面図。

【図４】（ａ）〜（ｃ）は同じくシリコン単結晶をスト
ック棚から取出して切断装置に供給する作業を順次示し
た説明図。

【図５】（ａ）〜（ｃ）は従来の運搬台車によってシリ
コン単結晶をストック棚から取出して切断装置に供給す
る作業を順次示した説明図。

【符号の説明】

１…シリコン単結晶（被搬送物体）、１２…車体、１６
…リフト機構、２４…可動体、２９…シリンダ（駆動機
構）、４７…支持球体（支持手段）。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所 // Ｂ６１Ｄ 3/16 ＡＢ６５Ｇ 67/00 2124−3Ｆ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】円柱状の被搬送物体を搬送するための搬
送台車において、走行自在な車体と、この車体の上面側
にリフト機構によって水平な状態で上下動自在に設けら
れた可動体と、上記リフト機構を駆動して上記可動体を
上下駆動する駆動手段と、上記可動体の上面側に載置さ
れる上記被搬送物体を周方向に回転自在かつ軸方向に移
動自在に支持する支持手段とを具備したことを特徴とす
る運搬台車。