JPH0626482Y2 - 移載装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、塵埃の発生を避けなければならない、例え
ば、半導体の製造室内で使用するのに好適な、収納物を
固定棚に対して出し入れさせるための移載装置に関す
る。

従来の技術とその課題 従来、発塵を少なくしたこの種の移載装置の１例として
実開昭６２−１２４９０６の考案がある。

この移載装置は、昇降する基台に設けたモータユニット
上を固定棚に対して接近離間方向にリニアガイドレール
が移動し、さらに、このリニアガイドレール上を同方向
にワーク支持台が移動して、このワーク支持台で前記固
定棚に対し収納物を搬入搬出するようになっている。

ところが、このような構造であると、モータユニット上
をリニアガイドレールと、ワーク支持台が継ぎ足すよう
にして移動するため、内部機構が露出し、この３者内の
塵埃が洩れて外部に飛散する問題点がある。

そこで、このような問題点に対処するものとして、第７
図、第８図に示すような移載装置Ａがある。

この移載装置Ａは、固定棚の棚１０に沿って水平移動
（第７図の紙面に対し垂直方向）する支柱１１に昇降
（第７図の上下端方向）するように具えられた昇降機１
２と、一端が前記昇降機１２内の駆動モータ（図示省
略）に具えられた駆動アーム１３と、この駆動アーム１
３に中間軸１４により屈曲自在に連結された従動アーム
１５と、この従動アーム１５の先端に枢着され、収納物
Ｗを吊下げ保持するフック１６とを有している。

そして、収納物Ｗの搬出は、第７図に示すように、駆
動，従動アーム１３，１５が右の方に延びている実線の
位置で昇降機１２を僅かに上昇させて、フック１６で収
納物Ｗを棚１０から吊り上げた後、各アーム１３，１５
を想像線のように垂直回動させ、左の方に延ばして行っ
ている。搬入はこの逆の動作によって行われる。

この構造は、アーム１３，１５を箱状にして塵埃が外部
に漏れないように封じ込めることができるが、フック１
６と収納物Ｗとの間に収納物Ｗを吊るすための空間
Ｈ_１，Ｈ_２（第８図）が必要であり、大きなフック１６
と、厚みＬの従動アーム１５が棚１０を出入りするた
め、棚１０の上下、左右の間隔を広げなければならず、
固定棚全体が大きくなる問題点がある。

課題を解決するための手段 本考案は、連結軸で水平屈曲自在に連結された駆動アー
ムと従動アームを具え、駆動軸が前記駆動アームの端部
に、収納物積載手段が前記従動アームの端部にそれぞれ
設けられた腕機構と、前記駆動アームの回動を前記連結
軸に伝達して前記従動アームを回動させる作動機構とを
有し、前記駆動アームは前記作動機構を収納する箱状で
あり、前記収納物積載手段は薄板状である移載装置によ
り前記課題を解決したものである。

作用 棚から収納物を搬出するには、先ず、駆動軸で駆動アー
ムを水平回動して、作動機構により従動アームを棚の方
に水平に延ばし、積載手段のみを棚に進入させる。そし
て、この積載手段が収納物の下側まで進入したとき、駆
動アームの水平回動を停止する。継ぎに移載装置全体を
僅かに上昇させ、積載手段上に収納物を下側から掬うよ
うにして載せる。その後、駆動アームを逆転水平回動さ
せ、作動機構により従動アームを棚から離す方向に回動
し、収納物を搬出する。その際、収納物は棚から略々直
線的に搬出される。

収納物を棚に収納するには、先ず、駆動アームを水平回
動して、作動機構により従動アームを棚の方に延ばし、
収納物を積載した積載手段のみを棚のやや上側に進入さ
せる。この積載手段が棚の上側まで移動したとき、駆動
アームの水平回動を停止する。そして、移載装置全体を
僅かに下降させ、棚上に収納物を載せる。その後、駆動
アームを逆転させ、従動アームを棚から離す方向に回動
し、棚から積載手段を抜き出す。

実施例 以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。

移載装置Ｂは、主に、フレーム２０と、駆動機構２１
と、腕機構２２と、腕機構２２を作動する作動機構２３
と、収納物Ｗを積載する収納物積載手段２４とで構成さ
れ、固定棚Ｃ_１，Ｃ_２に沿い、床に対して垂直の状態で
水平移動（第１図の紙面に対し垂直の方向）する支柱Ｄ
に昇降（第１図の上下端方向）自在に設けられている。

先ず、フレーム２０は移載装置Ｂ全体を支えるもので、
支柱Ｄに昇降自在に設けられている。

次に、駆動機構２１を説明する。

駆動機構２１は、支柱Ｄに対して平行な出力軸３０を有
しフレーム２０に取り付けられた駆動モータ３１と、一
対のベアリング３２，３３によりフレーム２０に回転自
在に支持された駆動軸３４と、出力軸３０と駆動軸３４
の間に設けられ出力軸３０の回転を減速して駆動軸３４
に伝達する減速機３５と、後述する腕機構２２内の塵埃
を集塵機（図示省略）で外部に吸い出すための吸引孔３
６とで構成されている。

次に、腕機構２２を説明する。

腕機構２２は、駆動軸３４にねじ４０により取り付けら
れた箱状の水平回動可能（第１図の紙面に対し垂直方
向）の駆動アーム４１と、駆動アーム４１の開口部を蓋
するように設けられたカバー４２と、駆動アーム４１の
先端にベアリング４３により回転自在に設けられた連結
軸４４と、連結軸４４の外端に取り付けられ水平回動可
能の従動アーム４５とで構成されている。駆動アーム４
１の内部は吸引孔３６と連通している。

次に、作動機構２３を説明する。

作動機構２３は、駆動軸３４と同軸的にフレーム２０に
ねじ４６により設けられた駆動スプロケット４７と、駆
動スプロケット４７と対をなし連結軸４３に一体に設け
られた従動スプロケット４８と、駆動、従動スプロケッ
ト４７，４８に掛け渡したチェーン４９とで構成されて
いる。

収納物積載手段２４は、従動アーム４５の先端に一体に
形成されフォーク状をしており、内部には機械的要素が
組み込まれていないので、全体が薄板状になっている。

次に固定棚Ｃ_１，Ｃ_２について説明する。

固定棚Ｃ_１，Ｃ_２は夫々複数の棚６０_１，６０_２を有し
ている。棚６０_１，６０_２は側面から見ると（第１図）
先細形状になっており、平面的に見ると（第２図）収納
物積載手段２４が入るだけの間隔を有する櫛歯状になっ
ている。

次に動作を説明する。

第１図において、右側の第１の固定棚Ｃ_１の棚６０_１か
ら、左側の第２の固定棚Ｃ_２の棚６０_２に収納物Ｗを移
すものとする。

先ず、移載装置Ｂは、積載手段２４の上面が棚６０_１よ
りやや低くなる位置で昇降停止（昇降機構は図示省
略。）する。これは、後述するが収納物Ｗを掬い上げる
ようにして、積載手段２４に収納物Ｗを載せるためであ
る。

この時、腕機構２２は第２図の想像線で示すように、駆
動アーム４１と従動アーム４５は重なった状態になって
いる。

次に、駆動モータ３１を駆動させ、減速機３５で駆動軸
３４を減速回転して、駆動アーム４１を第２図において
水平左回転（紙面に平行で反時計方向の回転）させる。
駆動アーム４１の左回転に伴い連結軸４４が、駆動、従
動スプロケット４７，４８とチェーン４９からなる作動
機構２３の作用により右回転（時計方向）させられ、従
動アーム４５は駆動アーム４１の重なりから、水平右回
転する。この結果、駆動，従動アーム４１，４５からな
る腕機構２２は水平回動しながら延び、収納物積載手段
２４が固定棚Ｃ_１に接近し、収納物Ｗの下側に進入して
いく。

腕機構２２が第２図の実線のように、一直線に延びた時
点で、駆動モータ３１を停止させる。

そして、移載装置Ｂを支柱Ｄに沿ってやや上昇させ、収
納物積載手段２４で収納物Ｗを棚６０_１から掬い上げる
ようにして持ち上げる。

その後、再度、駆動モータ３１を作動させ、駆動軸３４
を前記とは逆の右回転（時計方向）させると、駆動アー
ム４１も水平右回転し、従動アーム４５は作動機構２３
により水平左回動させられる。

すると、駆動，従動アーム４１，４５は第３図のように
右に延びた状態から互いに屈曲し、第１の固定棚Ｃ_１か
ら離れ、一旦重なり状態を経た後、左に延び、第２の固
定棚Ｃ_２に接近していく。即ち、腕機構２２は収納物Ｗ
を収納物積載手段２４に積載して第１の固定棚Ｃ_１から
第２の固定棚Ｃ_２に搬送していくことになる。この間、
搬送物Ｗは向きを１８０度変換させられながら直線移動
する。

腕機構２２が左方向の直線状態になり、収納物積載手段
２４が第２の固定棚Ｃ_２の棚１０_２のやや上方に移動し
た時点で、腕機構２２の作動を停止する。そして、移載
装置Ｂを下降させると収納物Ｗは棚６０_２に載せられ
る。収納物Ｗの最終的な積載位置は棚６０_１，６０_２上
に突接した突起９９によって決められる。

第２の固定棚Ｃ_２に収納物Ｗを載せた後は、駆動アーム
４１を水平左回転させ、駆動，従動アーム４１，４５を
第２図の重ねた想像線の位置にもどし、次の動作に備え
る。

第４図，第５図は、前記の収納物積載手段２４と異なる
形態の収納物積載手段５４を示すもので、収納物Ｗを上
下で確実に挟んで、収納物Ｗが搬送中に収納物積載手段
５４上で位置がずれたり、落下したりするのを防止する
ものである。

この場合、移載装置Ｅのフレーム５０、駆動機構５１、
作動機構５３、駆動アーム６１は、前記移載装置Ｂのフ
レーム２０、駆動機構２１、作動機構２３、駆動アーム
４１と同一の構成である。

収納物積載手段５４は、連結軸４４の外端に固定したカ
ップ状の支持体７１と、支持体７１の側面に水平に取り
付けた下側舌片７２と、支持体７１の上部に固定された
薄型のシリンダ７３と、シリンダ７３によって昇降する
上側舌片７４と、上側舌片７４が回動するのを規制する
筒状のガイド７５及び軸７６と、上側舌片７４の昇降状
態を検知する近接スイッチ７７とで構成されている。
上，下側舌片７４，７２は薄板状である。この内、支持
体７１と、下側舌片７２の根元部分は従動アーム５５で
もあり、前記駆動アーム６１とで腕機構５２を構成して
いる。

なお、実用新案登録請求の範囲において「薄板状」と
は、上記のような構成のものを含む趣旨である。

次に、収納物積載手段５４が搬送物Ｗを挟んで搬送する
動作を説明する。

先ず、シリンダ７３により上側舌片７４を上昇させ、
上，下側舌片７４，７２を互いに離間させた状態で作動
機構５３と駆動アーム６１の作動により棚１０_１を接近
させる。上，下側舌片７４，７２が収納物Ｗの上下面と
対向した位置で腕機構５２を停止する。その停止位置で
シリンダ７３により上側舌片７４を下降させ、収納物Ｗ
を挟み、移載装置全体Ｅを僅かに上昇させて、棚６０_１
から収納物Ｗを持ち上げる。

そして、収納物Ｗを挟んだまま第２の固定棚Ｃ_２に搬送
し、棚１０_２を載せた後は、上側舌片７４を上昇させ、
挟持を解除する。

次に、第６図の移載装置Ｆは、搬送中において、収納物
Ｗの向きを９０度変換したい場合の実施例の概略平面図
で、腕機構６２が駆動，中間、従動アーム８１，８６，
８５で構成されている。

この場合の作動機構９３は、固定の駆動スプロケット９
７と、駆動アーム８１に回転自在に設けた中間軸８７
と、中間軸８７と一体の第１の中間スプロケット８２
と、この中間スプロケット８２と前記駆動スプロケット
９７の間に掛け渡した駆動チェーン８９と、中間アーム
８６内に位置するように駆動アーム８１に固定した第２
の中間スプロケット９０と、中間アーム８６に回転自在
に設けた連結軸８４と一体の従動スプロケット８８と、
第２の中間スプロケット９０と従動スプロケット８８に
掛け渡した従動チェーン９２とで構成されている。

駆動，中間アーム８１，８６は箱状になっており、作動
機構９３の各部品が収納されている。

従動アーム８５は薄板状で、この先端は収納物積載手段
９４になっている。

動作は、第６図に示すように、各アーム８１，８６，８
５は、駆動アーム８１の回転と作動機構９３の作用によ
り、（ａ）の状態から、（ｂ）、（ｃ）の状態を経て、
（ｄ）の状態になり、収納物Ｗの向きを９０度変換して
搬送する。

このようにアームの数は増やすことが可能であり、この
場合、収納物の変換角度はスプロケットの歯数の設定に
より９０度以外自由に設定できる。また、チェーン、ス
プロケットによらず、ベルト、プーリでもよいことは当
然である。

考案の効果 以上のように、本考案の移載装置によると、収納物を積
載する収納物積載手段が薄板状であり、且つ水平回動で
きるようにしたので、棚に収納物積載手段を進入させる
際の空間が少なくてすみ、棚を小形にできる。

又、作動機構が箱状をなす駆動アームに収納されている
ので、塵埃の飛散を完全に防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の第１実施例の移載装置の正面断面図、 第２図は第１図の平面図、 第３図は動作説明平面図、 第４図は収納物積載手段が第１図と異なる第２実施例の
第１図に相当する図、 第５図は第４図の平面図、 第６図（ａ）乃至（ｄ）は他の実施例の移載装置の概略
平面図兼動作図、 第７図は従来例の正面図、 第８図は第７図の従来例のフックの右側面図である。 Ｗ……収納物 Ｂ，Ｅ，Ｆ……移載装置 ２２，５２，６２……腕機構 ２３，５３，９３……作動機構 ２４，５４，９４……収納物積載手段 ３４……駆動軸 ４１，６１，８１……駆動アーム ４４，８４……連結軸 ４５，５５，８５……従動アーム

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】連結軸で水平屈曲自在に連結された駆動ア
   ームと従動アームを具え、駆動軸が前記駆動アームの端
   部に、収納物積載手段が前記従動アームの端部にそれぞ
   れ設けられた腕機構と、 前記駆動アームの回動を前記連結軸に伝達して前記従動
   アームを回動させる作動機構を有し、 前記駆動アームは前記作動機構を収納する箱状であり、
   前記収納物積載手段は薄板状であることを特徴とする、 移載装置。