JPH0542205U - 収納物の前面挟持手段を具えた移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 底面を掬い上げることができない収納物（例
えば半導体ウエハーカセット）を前面で挟んで移載する
装置を提供する。 【構成】 駆動アーム４１と従動アーム４５を具え、駆
動軸３４が駆動アームの端部に、収納物を挟持する収納
物挟持手段２４が従動アームの端部にそれぞれ設けられ
た腕機構２２と、駆動アームの回転を連結軸に伝達して
従動アームを回動させる作動機構２３とを有し、収納物
挟持手段には、収納物の手前側両側面を挟持する一対の
挟持腕６７が具えられている。棚から収納物を取出すに
は、駆動アームを水平回動させ、従動アームを棚の方に
水平に延ばし、駆動アームと従動アームを略々直線状態
にする。挟持腕は、収納物の手前側両側面に対向する。
一対の挟持腕を閉じ、挟持腕で収納物の手前側両側面を
挟持し、移載装置全体を僅かに上昇させ、収納物を棚か
ら浮かせ、従動アームを水平逆回転させる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、底面を掬い上げることができない収納物（例えば、半導体のウエハ ーを収納したカセット）を移載するための移載装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、塵埃の発生を避けなければならない室内（例えば、半導体の製造室内） で使用するのに好適な、移載装置の一例として、実開平１−１５６１０７号（実 願昭６３−０５２１２２号）公報に記載の装置がある。 この移載装置は、作動機構によって回動する駆動アームの先端に薄板状の収納 物積載手段を有しており、収納物積載手段で収納物の底面を掬い上げて、棚に対 する収納物の収納や取出し、或いは、棚から棚への収納物の移載ができるように なっている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、このような移載装置は、底面形状が複雑な収納物や、半導体のウエ ハーを収納したカセットのように底面を掬い上げることができない収納物を移載 することができないという問題点を有している。 又、収納物移載手段が収納物の底面に当たるとき塵埃を発生させ、この塵埃が 下段の棚に収納された収納物上に落下し、下段の収納物を汚染するという問題点 も有している。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

本考案は、連結軸で水平屈曲自在に連結された駆動アームと従動アームを具え 、駆動軸が前記駆動アームの端部に、収納物を挟持する収納物挟持手段が前記従 動アームの端部にそれぞれ設けられた腕機構と、前記駆動アームの回転を前記連 結軸に伝達して前記従動アームを回動させる作動機構とを有し、前記収納物挟持 手段には収納物の手前側両側面を挟持する一対の挟持腕が具えられている移載装 置により、前記の課題を解決したものである。

【０００５】

【作用】

最初に、棚から収納物を搬出する場合について説明する。 先ず、一対の挟持腕を広げた状態で、駆動軸で駆動アームを水平回動させ、作 動機構により従動アームを棚の方に水平に延ばし、駆動アームと従動アームを略 々直線状態にする。この間に、一対の挟持腕は、収納物に対して回り込むように 接近し、収納物の手前側（挟持腕に近い側）両側面に対向する。その後、一対の 挟持腕を閉じ、挟持腕で収納物の手前側両側面を挟持した時点で、移載装置全体 を僅かに上昇させ、収納物を棚から浮かせ、従動アームを水平逆回転させる。 これによって、収納物は棚から搬出されたことになる。 次に、棚に収納物を収納する場合について説明する。 先ず、一対の挟持腕で収納物の手前側両側面を挟持した状態で、移載装置全体 を棚より僅かに上昇させる。次に、作動機構によって、腕機機構を作動させ、駆 動アームと従動アームを略々直線状態にして、収納物を棚内に入れる。その後、 移載装置全体を僅かに下降させ、収納物を棚に置くとともに、一対の挟持腕を広 げて収納物を放す。広げられた一対の挟持腕は、従動アームの水平逆回転によっ て、収納物に対し回動しながら離れる。 これによって、棚への収納物の収納が完了する。

【０００６】

【実施例】

以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。 移載装置Ｂは、主に、フレーム２０と、駆動機構２１と、腕機構２２と、腕機 構２２を作動させる作動機構２３と、収納物Ｗを挟持する収納物挟持手段２４と で構成され、固定棚Ｓ１，Ｓ２に沿い、床（図示省略）に対して垂直な状態で水 平移動（図１の紙面に対して表裏方向への移動）する支柱Ｄに昇降（図１の上下 端方向への移動）自在に設けられている。 この移載装置Ｂは、塵埃の発生を避けなければならない室内、例えば、半導体 の製造室内で使用されることが多い。 フレーム２０は移載装置Ｂ全体を支えるもので、支柱Ｄに昇降自在に設けられ ている。 固定棚Ｓ１，Ｓ２は複数段の棚Ｃ１で構成されている。

【０００７】 次に、駆動機構２１を説明する。 駆動機構２１（図１参照）は、支柱Ｄに対して平行な出力軸３０を有しフレー ム２０に取付けられた駆動モータ３１と、一対のベアリング３２，３３によりフ レーム２０に回転自在に支持された駆動軸３４と、出力軸３０と駆動軸３４の間 に設けられ出力軸３０の回転を減速して駆動軸３４に伝達する減速機３５と、後 述する腕機構２２内の塵埃を集塵機（図示省略）で外部に吸い出すための吸引孔 ３６とで構成されている。

【０００８】 次に、腕機構２２を説明する。 腕機構２２（図１参照）は、駆動軸３４にねじ４０により取付けられた箱状の 水平回転（図１の紙面に対して表裏方向への回転）可能な駆動アーム４１と、駆 動アーム４１の開口部を蓋するように設けられたカバー４２，４２と、駆動アー ム４１の先端にベアリング４３により回転自在に設けられた連結軸４４と、連結 軸４４の外端に取付けられ水平回転可能な従動アーム４５とで構成されている。 駆動アーム４１の内部は吸引孔３６と連通している。

【０００９】 次に、作動機構２３を説明する。 作動機構２３（図１参照）は、駆動軸３４と同軸的にフレーム２０にねじ４６ により設けられた駆動スプロケット４７と、駆動スプロケット４７と対をなし連 結軸４３に一体に設けられた従動スプロケット４８と、駆動、従動スプロケット ４７，４８に掛け渡したチェーン４９とで構成されている。

【００１０】 次に、収納物挟持手段２４について説明する。 収納物挟持手段２４（図１、図３、図４参照）は、従動アーム４５に取付けら れており、収納物Ｗの手前側（移載装置Ｂに近い側）両側面を挟持する機構であ る。 収納物挟持手段２４は、従動アーム４５上のケーシング６０内に設けられたモ ータ６１によって回転するウォーム６２とウォームホイール６３と、ウォーム６ ２に設けられたピニオン６４とピニオン６４の両側で噛合している一対のラック ６５，６６と、各ラック６５，６６と一体の一対の挟持腕６７，６８とを有して いる。一対の挟持腕６７，６８は、ケーシング６０に設けられた４つの支持部材 ６９に支持されている。

【００１１】 次に動作を説明する。 図２において、右側の第１の固定棚Ｓ１から左側の第２の固定棚Ｓ２に収納物 Ｗを移すものとする。 先ず、移載装置Ｂは、収納物挟持手段２４が収納物Ｗの被挟持部Ｗ１、Ｗ１と 対向する位置まで昇降する。 このとき、腕機構２２は図２の下端側に向いた想像線で示すように、駆動アー ム４１と従動アーム４５は重なった状態になっている。

【００１２】 次に、駆動モータ３１を駆動させ、減速機３５で駆動軸３４を減速回転させて 、駆動アーム４１を図２において水平左回転（紙面に平行で反時計方向の回転） させる。駆動アーム４１の左回転に伴い、連結軸４４が、駆動、従動スプロケッ ト４７，４８とチェーン４９からなる作動機構２３の作用により右回転（時計方 向）させられ、従動アーム４５は駆動アーム４１との重なりから、水平右回転す る。この結果、駆動、従動アーム４１，４５からなる腕機構２２は水平回転しな がら延び、収納物挟持手段２４が固定棚Ｓ１の棚Ｃ１に接近する。

【００１３】 この間に、収納物挟持手段２４は、モータ６１の回転によって、一対の挟持腕 ６７，６８が広げられている。一対の挟持腕６７，６８の開閉は、ウォーム６２ 、ウォームホイール６３を介してモータ６１によって回転させられるピニオン６ ４の回転に伴って相対移動する一対のラック６５，６６によって行なわれる。 駆動アーム４１の反時計方向への回転と、従動アーム４５の時計方向への回転 とにより、一方の挟持腕６７は先に収納物Ｗに接近し、他方の挟持腕６８は後か ら収納物Ｗに対して回り込むようにして接近する。 腕機構２２が図２の実線のように、一直線に延びた時点で、駆動モータ３１を 停止させる。 そして、収納物挟持手段２４のモータ６１を逆回転させ、一対の挟持腕６７， ６８で収納物Ｗの被挟持部ＷＡ，ＷＢを挟み込み、収納物Ｗを保持する。

【００１４】 そして、移載装置Ｂを支柱Ｄに沿ってやや上昇させ（昇降機構は図示省略）、 収納物挟持手段２４で収納物Ｗを固定棚Ｓ１の棚Ｃ１から持ち上げる（図１の状 態）。 その後、再度、駆動モータ３１を作動させ、駆動軸３４を前記とは逆の右回転 （時計方向）させると、駆動アーム４１も水平右回転し、従動アーム４５は作動 機構２３により水平左回転させられる。

【００１５】 すると、駆動、従動アーム４１，４５は図２のように右に延びた状態から互い に屈曲し、第１の固定棚Ｓ１から離れ、一旦、重なり状態を経た後、左に延び、 第２の固定棚Ｓ２に接近していく。即ち、腕機構２２は収納物Ｗを収納物挟持手 段２４で挟持して第１の固定棚Ｓ１から第２の固定棚Ｓ２に移すように動くこと になる。この間、収納物Ｗは向きを１８０度変換させられながら移動する。

【００１６】 腕機構２２が左方向の直線状態になり、収納物挟持手段２４が第２の固定棚Ｓ ２の棚Ｃ１よりやや上方に移動した時点で、腕機構２２の作動を停止する。そし て、移載装置Ｂを下降させると収納物Ｗは第２の固定棚Ｓ２の棚Ｃ１に載せられ る。 第２の固定棚Ｓ２の棚Ｃ１に収納物Ｗを載せた後、一対の挟持腕６７，６８の 間隔を広げ、収納物Ｗの保持を解除する。

【００１７】 その後、腕機構２２を待機状態に戻すべく駆動モータ３１を回転させると、駆 動アーム４１は水平左回転し、従動アーム４５は水平右回転する。 両アーム４１，４５の回転に伴って、一方の挟持腕６８は収納物Ｗから遅く離 れ、他方の挟持腕６７は収納物Ｗから速く離れる。従って、一対の挟持腕６７， ６８は、収納物Ｗを挟持するときとは逆の動きをしながら収納物Ｗから離れる。 最後、駆動、従動アーム４１，４５は第２図の重なった想像線の位置に戻り、 次の動作に備える。

【００１８】 なお、半導体の製造室内には、通常、天井から床へ向けて、清浄な空気が流れ ており、一対の挟持腕６７，６８で収納物Ｗの手前側を挟持したとき、仮に、塵 埃が発生しても、この塵埃は、固定棚Ｓ１，Ｓ２の前面に沿って流れ、固定棚Ｓ １，Ｓ２内に流れ込むようなことが殆どない。

【００１９】

【考案の効果】

本考案の移載装置は次の効果を奏する。 (1) 一対の挟持腕で収納物の手前側両側面を挟持するようになっているため、 底面形状が複雑な収納物や、半導体のウエハーを収納したカセットのように底面 を掬い上げることができない収納物を移載することができる。 (2) 収納物挟持手段が収納物の底面に接触しないため、収納物の下面に不着し た塵埃が下段の棚に落下するようなことが殆どなくなり、下段の収納物の汚染を 防止することができる。 (3) 収納物挟持手段が収納物の下面に進入するようなことがないため、棚の形 状を収納物挟持手段を受け入れる特殊な形状にする必要がなくなり、棚の構造を 簡素化することができる。 (4) 収納物挟持手段が収納物の下面に進入するようなことがないため、上下方 向の棚間隔を狭めることができる。 (5) 収納物挟持手段が収納物の下面に進入するようなことがないため、棚の構 造を下段の収納物の上面を覆う構造にすることができ、下段の収納物の汚染を防 止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の移載装置の、駆動軸に沿った断面正面
図である。

【図２】移載装置の動作説明図である。

【図３】図１中３−３矢視断面図である。

【図４】図１中４−４矢視断面図である。

【符号の説明】

Ｗ 収納物 Ｂ 移載装置 ２２ 腕機構 ２３ 作動機構 ２４ 収納物挟持手段 ３４ 駆動軸 ４１ 駆動アーム ４４ 連結軸 ４５ 従動アーム ６７，６８ 挟持腕

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 連結軸で水平屈曲自在に連結された駆動
   アームと従動アームを具え、駆動軸が前記駆動アームの
   端部に、収納物を挟持する収納物挟持手段が前記従動ア
   ームの端部にそれぞれ設けられた腕機構と、前記駆動ア
   ームの回転を前記連結軸に伝達して前記従動アームを回
   動させる作動機構とを有し、前記収納物挟持手段には収
   納物の手前側両側面を挟持する一対の挟持腕が具えられ
   ていることを特徴とする、移載装置。