JPH0439203Y2

JPH0439203Y2 -

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Publication number: JPH0439203Y2
Application number: JP1987197418U
Authority: JP
Priority date: 1987-12-28
Filing date: 1987-12-28
Publication date: 1992-09-14
Also published as: JPH01103607U

Description

【考案の詳細な説明】産業上の利用分野本考案は、塵埃の発生を避けなければならな
い、例えば、半導体の製造室内で使用するのに好
適な、収納物を固定棚に対して出し入れさせるた
めの移載装置に関する。

従来技術及びその問題点従来、発塵を少なくしたこの種の移載装置とし
て第５図，第６図に示すものがある。

この移載装置１０は、固定棚１１の前面（第５
図の左側）に沿つて移動し且つ昇降する基台１２
上に設けたモータユニツト１３と、このモータユ
ニツト１３上で固定棚１１に対して接近離間方向
に移動するリニアガイドレール１４と、このリニ
アガイドレール１４上でリニアガイドレール１４
と同方向に移動するワーク支持台１５を有してい
る。

固定棚１１と無人台車１６の間での収納物Ｗの
受け渡しは、収納物Ｗをワーク支持台１５に積載
し、モータユニツト１３と、リニアガイドレール
１４と、ワーク支持台１５を基台１２上で継ぎ足
すようにして移動させ（第６図）、この３者の合
計の移動量により行つている。

ところが、このような移載装置１０によると、
モータユニツト１３と、リニアガイドレール１４
と、ワーク支持台１５を基台１２の上で継ぎ足す
ようにして移動させる際、この３者から塵埃が発
生する問題点があつた。

問題点を解決するための手段及び作用本考案は、中間軸で屈曲自在に連結された駆動
アームと従動アームを具え、収納物保持手段を有
する従動軸が前記従動アームの端部に、駆動軸が
前記駆動アームの端部にそれぞれ設けられた腕機
構と、前記駆動軸の回転を前記従動軸の水平移動
に変換する作動機構を有し、前記各アームは前記
作動機構を収納する箱状であるとともに、内部同
士が連通され、内部の空気が吸引されるようにな
つている移載装置により前記の問題点を解決した
ものである。

駆動軸を駆動すると、駆動軸に取り付けた駆動
アームが回転するが、その回転により従動アーム
が中間軸を中心として回動し、作動機構により、
従動軸に設けられた収納物保持手段の水平状態を
保持しながら、腕機構が屈曲（関節）運動をし、
これにより収納物の搬入搬出を行う。

その際、作動機構は箱状のアームに収納されて
いるので、作動機構から生じる塵埃は外部に出な
い。

実施例以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明す
る。

本考案の移載装置２０は、例えば半導体製造室
であるクリーンルーム内で使用され、第１図に示
すように、固定棚２１の前面に沿つて垂直状態を
保つて水平移動する支柱２２上を支柱２２内に設
けた昇降駆動機構（図示省略）により昇降し、ま
た１つのモータで水平方向にのみ伸縮するもので
あり、第２図、第３図に示すように、腕機構２３
と、この腕機構２３を作動させる作動機構２４等
によつて構成されている。

先ず、腕機構２３を説明する。

腕機構２３は、屈曲（関節）運動をして、収納
物Ｗを固定棚２１に対し搬入搬出するものであ
る。

後述する減速機構３０の出力軸３１に駆動アー
ム３２の端部（腕機構２３の基端）が一体に取り
付けてある。駆動アーム３２の右端（第３図の右
側）にはベアリング３３，３３によつて中間軸３
４が回転自在に設けられている。中間軸３４の手
前側端部（第３図において手前側）には、従動ア
ーム３５が一体に取り付けてある。従動アーム３
５の端部（腕機構２３の先端）にはベアリング３
６，３６によつて従動軸３７が回転自在に設けら
れている。従動軸３７の手前側には収納物Ｗを引
掛保持するフツク３８が取り付けてある。

前記駆動，従動アーム３２，３５の全体は箱状
をなし、側面に取り付けたカバー３９，４０によ
り、内部が密閉され、前記２個のベアリング３
３，３３の一方を支持する軸受け部材４１に形成
した連通孔４２によつて連通している。

従つて、腕機構２３全体は出力軸３１によつて
駆動され、従動アーム３５は中間軸３４を中心に
して駆動アーム３２に対して回転する。

次に、作動機構２４を説明する。

フレーム５０は、駆動モータ５１と、駆動モー
タ５１に連動した減速機構３０を保持し、且つ、
減速機構３０の出力軸３１を回転自在に支持して
いる。フレーム５０の手前側端部には、出力軸３
１と同軸的にスプロケツト５２が固定してある。
前記中間軸３４上にスプロケツト５３が取付けて
ある。スプロケツト５２と５３の直径比は２：１
である。これらのスプロケツト５２，５３にはチ
エーン５４が掛け渡してある。

そして、これらのスプロケツト５２，５３、チ
エーン５４は駆動アーム３２内に収納されてい
る。

駆動アーム３２と一体の軸受け部材４１の手前
側端部には別のスプロケツト５５が固定してあ
る。従動軸３７にはさらに別のスプロケツト５６
が固定してある。スプロケツト５５と５６の直径
比は１：２である。これらのスプロケツト５５，
５６にもチエーン５７が掛け渡してある。

そして、これらのスプロケツト５５，５６、チ
エーン５７は従動アーム３５内に収納されてい
る。

尚、第３図中の符号６０は支柱２２内を昇降す
る駆動機構の一部分で前記フレーム５０を具えて
いる。

次に収納物Ｗを搬出する動作について説明す
る。

先ず、駆動アーム３２と、従動アーム３５がほ
とんど延び、固定棚２１の棚２１ａ間に差し込ま
れた状態で、移載装置２０全体を前述の駆動機構
により僅かに上昇させる。すると、フツク３８は
収納物Ｗに係合し、収納物Ｗを棚２１ａからわず
かに持上げる。この状態で駆動モータ５１を駆動
し減速機構３０により減速回転された出力軸３１
で駆動アーム３２を第４図において右回転（時計
方向に回転）させる。駆動アーム３２の右回転
は、結果的に中間軸３４回りの従動アーム３５の
左回転をもたらすことになるのであるが、前述の
スプロケツト５２，５３，５５，５６、チエーン
５４，５７からなる作動機構により従動軸３７の
動きは拘束され、第４図に示すように、フツク３
８を水平に保持しながら、従動アーム３５の先端
部が水平に移動し、収納物Ｗを棚２１ａから徐々
に水平に引き出す。駆動モータ５１がなおも回転
を続けるにしたがつて駆動アーム３２は右回転を
継続する。これに伴い従動アーム３５は中間軸３
４を中心として左回転を継続する。そして、従動
アーム３５の先端部は水平直線移動をしながら駆
動軸３１の方に近づいていく。従つて収納物Ｗは
棚２１ａから水平状態で搬出される。

駆動アーム３２がさらに回転し、第４図におい
て左側の想像線の位置までくると、従動アーム３
５の先端部は左の方まで水平移動し、収納物Ｗを
搬送する無人台車６６の真上まで移動する。その
後、移載装置２０全体を降下させると、収納物Ｗ
は無人台車６６上に載る。移載装置２０をさらに
僅かに下降させると、フツク３８が収納物Ｗから
外れる。その後、駆動アーム３２を右回転させ、
従動アーム３５を無人台車６６から遠ざける。こ
れにより収納物Ｗの搬出が終了する。

無人台車６６から固定棚２１への収納物Ｗの搬
入は以上の動作を逆に行うことによりできる。

収納物Ｗの搬出搬入が行われている間は、図示
しない空気吸引機構により駆動アーム３２の根元
である駆動軸３１付近から駆動、従動アーム３
２，３５内の空気を吸引し、両アーム３２，３５
内を負圧にし、チエーン，スプロケツト，ベアリ
ング等から発生する塵埃の飛散を防止する。

以上の実施例の移載装置によると、次の利点を
有するので、例えばクリーンルーム内での使用に
好適である。

(1) ２つのアームで構成したので、構造が簡単且
つ小形になり、発塵原因が少なくなる。

(2) 発塵部がアームの接続部のみに限定され、発
塵防止対策が容易になる。

(3) 簡単な箱形カバーで容易に密閉でき、且つ内
部を確実に負圧にできる。

尚、以上の実施例では、作動機構にチエーン，
スプロケツトを使用しているが、ベルト，プーリ
であつてもよい。

又、シールとして磁性流体を使用してもよい。
この場合は、密閉がより一層確実になる。

考案の効果以上のように、本考案の移載装置によると、作
動機構が腕機構内に収納されるので、簡単な構造
にして、塵埃の飛散を完全に防止できる。

また、従動軸は水平移動するので、移載装置の
動きが簡単であり、システムの動きの全体的制御
が簡略化できる。

さらに、駆動、従動アームの内部同士が連通さ
れ、この内部の空気が吸引されるようになつてい
るため、作動機構から発生する塵埃の飛散を確実
に防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第４図は本考案の実施例で、第１図
は移載装置、固定棚、無人台車の関係を示した斜
視図、第２図は移載装置のアーム、スプロケツ
ト、チエーン等の組合せの概略斜視図、第３図は
移載装置の断面図、第４図は移載装置の動作説明
図、第５図、第６図は従来例の移載装置の図で、
第５図は移載装置、固定棚、無人台車の関係を示
した図、第６図は移載装置の動作図である。２０……移載装置、２３……腕機構、２４……
作動機構、３１……駆動軸、３２……駆動アー
ム、３４……中間軸、３５……従動アーム、３７
……従動軸、３８……フツク（収納物保持手段）、
３９……カバー、４０……カバー、５１……モー
タ、５２……スプロケツト、５３……スプロケツ
ト、５４……チエーン、５５……スプロケツト、
５６……スプロケツト、５７……チエーン。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】中間軸で屈曲自在に連結された駆動アームと従
動アームを具え、収納物保持手段を有する従動軸
が前記従動アームの端部に、駆動軸が前記駆動ア
ームの端部にそれぞれ設けられた腕機構と、前記駆動軸の回転を前記従動軸の水平移動に変
換する作動機構を有し、前記各アームは前記作動機構を収納する箱状で
あるとともに、内部同士が連通され、内部の空気
が吸引されるようになつていることを特徴とす
る、移載装置。