JPH06144429A - ボックスの蓋開閉装置 - Google Patents
ボックスの蓋開閉装置Info
- Publication number
- JPH06144429A JPH06144429A JP32615892A JP32615892A JPH06144429A JP H06144429 A JPH06144429 A JP H06144429A JP 32615892 A JP32615892 A JP 32615892A JP 32615892 A JP32615892 A JP 32615892A JP H06144429 A JPH06144429 A JP H06144429A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cam
- box
- lid
- holding
- cover
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Control And Other Processes For Unpacking Of Materials (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ボックス本体２の上部で揺動開閉自在に設け
られた蓋４を、人手を介さず、自動的に開閉できるよう
にする。 【構成】 ボックス本体２を挟持アーム１１により挟持
可能な保持手段１０と、蓋４を吸盤４６により吸着して
揺動させることができる揺動アーム４５と、蓋４からボ
ックス本体２へ向けて突出して蓋４の閉止状態を保持す
る弾性フック片５を、水平なゴムローラ２７によって押
し上げることができるフック解除部材２５とを有する構
成とした。
られた蓋４を、人手を介さず、自動的に開閉できるよう
にする。 【構成】 ボックス本体２を挟持アーム１１により挟持
可能な保持手段１０と、蓋４を吸盤４６により吸着して
揺動させることができる揺動アーム４５と、蓋４からボ
ックス本体２へ向けて突出して蓋４の閉止状態を保持す
る弾性フック片５を、水平なゴムローラ２７によって押
し上げることができるフック解除部材２５とを有する構
成とした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ボックスの蓋開閉装
置に関する。
置に関する。
【０００２】
【発明の目的】この発明は、ボックス本体と、このボッ
クス本体の上部に揺動開閉自在に設けられた蓋とを有す
るボックスに物品（例えば、清浄を保つ必要があるウエ
ハを多数枚詰めたカセット等）を入れたり出したりする
場合に、人手を介することなく、蓋を自動的に開閉する
ことができるようにした装置を提供することを目的とす
る。
クス本体の上部に揺動開閉自在に設けられた蓋とを有す
るボックスに物品（例えば、清浄を保つ必要があるウエ
ハを多数枚詰めたカセット等）を入れたり出したりする
場合に、人手を介することなく、蓋を自動的に開閉する
ことができるようにした装置を提供することを目的とす
る。
【０００３】
【前記目的を達成するための手段】この発明は前記目的
を達成するために以下の如き手段を採用した。即ち、ボ
ックス本体を保持する保持手段と、上記ボックス本体上
部で揺動開閉自在な蓋を保持する持上ヘッドが先端側に
設けられた上下方向に揺動可能な揺動アームと、上記蓋
からボックス本体側へ突出した弾性フック片を押し上げ
る昇降可能なフック解除部材とを有しているものであ
る。
を達成するために以下の如き手段を採用した。即ち、ボ
ックス本体を保持する保持手段と、上記ボックス本体上
部で揺動開閉自在な蓋を保持する持上ヘッドが先端側に
設けられた上下方向に揺動可能な揺動アームと、上記蓋
からボックス本体側へ突出した弾性フック片を押し上げ
る昇降可能なフック解除部材とを有しているものであ
る。
【０００４】
【発明の作用】この発明は以下の如き作用をなすもので
ある。保持手段がボックス本体を保持した後、揺動アー
ムが揺動して、その先端側に設けられた持上ヘッドを蓋
に接近させると共にこの持上ヘッドにより蓋を持上可能
な状態（例えば、吸盤による吸着保持状態）に保持させ
る。そして、蓋の閉止状態を固定するために蓋からボッ
クス本体へ向けて突出した弾性フック片を、フック解除
部材により押し上げて解除させると同時に、上記揺動ア
ームが、蓋の保持状態にある持上ヘッドごと上方向へ揺
動して、蓋を開く。
ある。保持手段がボックス本体を保持した後、揺動アー
ムが揺動して、その先端側に設けられた持上ヘッドを蓋
に接近させると共にこの持上ヘッドにより蓋を持上可能
な状態（例えば、吸盤による吸着保持状態）に保持させ
る。そして、蓋の閉止状態を固定するために蓋からボッ
クス本体へ向けて突出した弾性フック片を、フック解除
部材により押し上げて解除させると同時に、上記揺動ア
ームが、蓋の保持状態にある持上ヘッドごと上方向へ揺
動して、蓋を開く。
【０００５】
【実施例】以下にこの発明を図面に示す実施例に基づい
て説明する。図１及び図２の如く、ボックス１に対し
て、ボックス本体２を保持するための保持手段１０と、
持上ヘッド４６を有して蓋４を開閉させるための揺動ア
ーム４５と、蓋４の閉止保持状態を解除させるためのフ
ック解除部材２５とを有している。なお、上記蓋４は、
ボックス本体２の上部の一辺部に設けられたヒンジ部３
を介して揺動開閉自在となっており、この蓋４における
ヒンジ部３とは反対側の辺部には、ボックス本体２側へ
向けて突出する弾性フック片５が設けられている。図８
の如く、この弾性フック片５は、ボックス本体２の上周
部に係合して蓋４の閉止状態を保持できるようになって
いる。
て説明する。図１及び図２の如く、ボックス１に対し
て、ボックス本体２を保持するための保持手段１０と、
持上ヘッド４６を有して蓋４を開閉させるための揺動ア
ーム４５と、蓋４の閉止保持状態を解除させるためのフ
ック解除部材２５とを有している。なお、上記蓋４は、
ボックス本体２の上部の一辺部に設けられたヒンジ部３
を介して揺動開閉自在となっており、この蓋４における
ヒンジ部３とは反対側の辺部には、ボックス本体２側へ
向けて突出する弾性フック片５が設けられている。図８
の如く、この弾性フック片５は、ボックス本体２の上周
部に係合して蓋４の閉止状態を保持できるようになって
いる。
【０００６】図３の如く、上記フック解除部材２５は、
昇降片２６と、この昇降片２６の両側（図２参照）へ向
けて各々水平突出する回転自在なゴムローラ２７とを有
しており、昇降片２６の下部に接続された２本の支持棒
２９（図２参照）がカム機構３０によって昇降動される
ようになっている。このカム機構３０は、モータ４０に
より回転する駆動軸４１に取り付けられたカム３１と、
上記支持棒２９の下端部相互を連結する連結片３２（図
４参照）に下向きに保持され上記カム３１の外周に乗っ
て転動するカムフォロワー３３とを有している。上記支
持棒２９には、カムフォロワー３３をカム３１の外周へ
常時押しつけておくためのばね３４が挿通されている。
図４の如く、カム３１は、頂上部をやや長めにとったカ
ム山３５を円周上で対向する２箇所に有している。
昇降片２６と、この昇降片２６の両側（図２参照）へ向
けて各々水平突出する回転自在なゴムローラ２７とを有
しており、昇降片２６の下部に接続された２本の支持棒
２９（図２参照）がカム機構３０によって昇降動される
ようになっている。このカム機構３０は、モータ４０に
より回転する駆動軸４１に取り付けられたカム３１と、
上記支持棒２９の下端部相互を連結する連結片３２（図
４参照）に下向きに保持され上記カム３１の外周に乗っ
て転動するカムフォロワー３３とを有している。上記支
持棒２９には、カムフォロワー３３をカム３１の外周へ
常時押しつけておくためのばね３４が挿通されている。
図４の如く、カム３１は、頂上部をやや長めにとったカ
ム山３５を円周上で対向する２箇所に有している。
【０００７】図５の如く、上記保持手段１０は、相互近
接及び離反が可能な２本の挟持アーム１１と、これら挟
持アーム１１の各内側へ対向するように接続された各２
本の摺動ガイド棒１３を進退摺動させるためのカム機構
１４とを有している。このカム機構１４は、上記したカ
ム機構３０（図３参照）のカム３１と一緒に駆動軸４１
に取り付けられたカム１５と、上記摺動ガイド棒１３の
内側端相互を連結する連結片１６に内向きに保持され、
ばね１７の引張付勢力により上記カム１５の外周に押し
付けられて転動するカムフォロワー１９とを有してい
る。図６の如く、カム１５は、半円状をしたカム山２０
を円周上で対向する２箇所に有している。挟持アーム１
１の突端部には、ゴム等で形成された押圧片１２が取り
付けられている。図７の如く、これら押圧片１２の対向
面は、ボックス本体２の側面形状に対応して傾斜されて
いる。
接及び離反が可能な２本の挟持アーム１１と、これら挟
持アーム１１の各内側へ対向するように接続された各２
本の摺動ガイド棒１３を進退摺動させるためのカム機構
１４とを有している。このカム機構１４は、上記したカ
ム機構３０（図３参照）のカム３１と一緒に駆動軸４１
に取り付けられたカム１５と、上記摺動ガイド棒１３の
内側端相互を連結する連結片１６に内向きに保持され、
ばね１７の引張付勢力により上記カム１５の外周に押し
付けられて転動するカムフォロワー１９とを有してい
る。図６の如く、カム１５は、半円状をしたカム山２０
を円周上で対向する２箇所に有している。挟持アーム１
１の突端部には、ゴム等で形成された押圧片１２が取り
付けられている。図７の如く、これら押圧片１２の対向
面は、ボックス本体２の側面形状に対応して傾斜されて
いる。
【０００８】ところで、図６の如く、保持手段１０のカ
ム１５は、カム山２０相互が水平に位置付けられこれら
カム山２０にカムフォロワー１９が乗る状態を待機状態
とし、このときカムフォロワー１９等を介して設けられ
た挟持アーム１１相互（図５参照）は、ボックス本体２
の両側面より更に外側で待機するようになっている。そ
してカム１５が矢符方向に回転してカム山２０からカム
フォロワー１９が降りるアの位置で、挟持アーム１１相
互が相互近接してボックス本体２の両側面を挟持し、イ
の位置を通過しウの位置に達するまでこの挟持状態を維
持するようになっている。その後、カムフォロワー１９
が再びカム山２０に乗り上がるようになって次の待機状
態に戻る。一方、図４の如く、フック解除部材２５を昇
降動させるカム３１は、カム山３５相互が水平状態から
回転方向（矢符方向）の後流側へやや傾いてカムフォロ
ワー３３がカム谷に当接する状態を待機状態とし、この
ときカムフォロワー３３等を介して設けられたフック解
除部材２５（図３参照）は、蓋４の弾性フック片５より
下方で待機するようになっている。そしてカム３１が矢
符方向に回転してカムフォロワー３３がアの位置（上記
カム１５がアの位置へ回転した場合と同じ角度位置）、
即ち、上記挟持アーム１１相互がボックス本体２の両側
面を挟持した時点を通過した後にカム山３５に乗り上げ
て、フック解除部材２５が上昇し、蓋４の弾性フック片
５を押し上げるようになっている。そして、イの位置
（カム１５のイの位置と同角度位置）を通過しこの押し
上げ状態を暫時維持した後、カムフォロワー３３がカム
山３５から降りたウの位置（カム１５のウの位置と同角
度位置）で再び待機状態に復帰し、次の待機位置エへと
移動する。フック解除部材２５による押し上げ状態を暫
時維持させるのは、弾性フック片５の解放動作に確実性
を得るためである。
ム１５は、カム山２０相互が水平に位置付けられこれら
カム山２０にカムフォロワー１９が乗る状態を待機状態
とし、このときカムフォロワー１９等を介して設けられ
た挟持アーム１１相互（図５参照）は、ボックス本体２
の両側面より更に外側で待機するようになっている。そ
してカム１５が矢符方向に回転してカム山２０からカム
フォロワー１９が降りるアの位置で、挟持アーム１１相
互が相互近接してボックス本体２の両側面を挟持し、イ
の位置を通過しウの位置に達するまでこの挟持状態を維
持するようになっている。その後、カムフォロワー１９
が再びカム山２０に乗り上がるようになって次の待機状
態に戻る。一方、図４の如く、フック解除部材２５を昇
降動させるカム３１は、カム山３５相互が水平状態から
回転方向（矢符方向）の後流側へやや傾いてカムフォロ
ワー３３がカム谷に当接する状態を待機状態とし、この
ときカムフォロワー３３等を介して設けられたフック解
除部材２５（図３参照）は、蓋４の弾性フック片５より
下方で待機するようになっている。そしてカム３１が矢
符方向に回転してカムフォロワー３３がアの位置（上記
カム１５がアの位置へ回転した場合と同じ角度位置）、
即ち、上記挟持アーム１１相互がボックス本体２の両側
面を挟持した時点を通過した後にカム山３５に乗り上げ
て、フック解除部材２５が上昇し、蓋４の弾性フック片
５を押し上げるようになっている。そして、イの位置
（カム１５のイの位置と同角度位置）を通過しこの押し
上げ状態を暫時維持した後、カムフォロワー３３がカム
山３５から降りたウの位置（カム１５のウの位置と同角
度位置）で再び待機状態に復帰し、次の待機位置エへと
移動する。フック解除部材２５による押し上げ状態を暫
時維持させるのは、弾性フック片５の解放動作に確実性
を得るためである。
【０００９】図１及び図２の如く、上記揺動アーム４５
は、ボックス１の側方に設置された揺動駆動装置５０か
らボックス１に臨んで揺動可能に設けられており、その
揺動端側には水平杆４７が直角に接続され、この水平杆
４７の突端部に持上ヘッド４６が設けられている。持上
ヘッド４６としては吸盤を用いてあり、この吸盤が揺動
駆動装置５０のケーシング内等に収納された吸引装置
（図示略）と水平杆４７及び揺動アーム４５内を通じる
等して接続されている。揺動アーム４５は、持上ヘッド
４６が蓋４へ向けて真下を向く状態から垂直に向く状態
になるまでの約９０°程度の揺動を行うようになってい
る。
は、ボックス１の側方に設置された揺動駆動装置５０か
らボックス１に臨んで揺動可能に設けられており、その
揺動端側には水平杆４７が直角に接続され、この水平杆
４７の突端部に持上ヘッド４６が設けられている。持上
ヘッド４６としては吸盤を用いてあり、この吸盤が揺動
駆動装置５０のケーシング内等に収納された吸引装置
（図示略）と水平杆４７及び揺動アーム４５内を通じる
等して接続されている。揺動アーム４５は、持上ヘッド
４６が蓋４へ向けて真下を向く状態から垂直に向く状態
になるまでの約９０°程度の揺動を行うようになってい
る。
【００１０】
【実施例装置の作用】次に実施例装置の作用を説明す
る。モータ４０（図３参照）が駆動を開始すると、最初
に保持手段１０のカム１５（図６参照）に当接されたカ
ムフォロワー１９と共に挟持アーム１１（図５参照）が
相互近接を行い、ボックス１のボックス本体２を挟持保
持する。これと略同時に、揺動アーム４５（図１，２参
照）が持上ヘッド４６をボックス１の蓋４へ当接させる
ように揺動し、持上ヘッド４６による蓋４の保持（吸
着）が行われる。その後、カム３１（図４参照）に当接
されたカムフォロワー３３に伴ってフック解除部材２５
が蓋４の弾性フック片５を押し上げるように上昇し、且
つ揺動アーム４５が上記とは逆方向へ揺動し始めること
で弾性フック片５によるボックス本体２の上周部との係
合が解放され、引き続き蓋４が開かれるようになる。そ
の後、フック解除部材２５が下降した時点（カム１５，
３１のウの位置）をもって上記モータ４０が駆動を一旦
停止し、ボックス本体２に対する物品（図示略）の取り
出し又は収納等、所定の作業を行う。作業終了後は、揺
動アーム４５を蓋４の閉止方向へと揺動させ、持上ヘッ
ド４６による蓋４の保持を解除して揺動アーム４５を待
機状態へと復帰揺動させる。そして、再びモータ４０が
駆動して、保持手段１０の挟持アーム１１によるボック
ス本体２の挟持を解くと共にカム１５及びカム３１を次
の待機状態に戻した後、モータ４０が停止する。
る。モータ４０（図３参照）が駆動を開始すると、最初
に保持手段１０のカム１５（図６参照）に当接されたカ
ムフォロワー１９と共に挟持アーム１１（図５参照）が
相互近接を行い、ボックス１のボックス本体２を挟持保
持する。これと略同時に、揺動アーム４５（図１，２参
照）が持上ヘッド４６をボックス１の蓋４へ当接させる
ように揺動し、持上ヘッド４６による蓋４の保持（吸
着）が行われる。その後、カム３１（図４参照）に当接
されたカムフォロワー３３に伴ってフック解除部材２５
が蓋４の弾性フック片５を押し上げるように上昇し、且
つ揺動アーム４５が上記とは逆方向へ揺動し始めること
で弾性フック片５によるボックス本体２の上周部との係
合が解放され、引き続き蓋４が開かれるようになる。そ
の後、フック解除部材２５が下降した時点（カム１５，
３１のウの位置）をもって上記モータ４０が駆動を一旦
停止し、ボックス本体２に対する物品（図示略）の取り
出し又は収納等、所定の作業を行う。作業終了後は、揺
動アーム４５を蓋４の閉止方向へと揺動させ、持上ヘッ
ド４６による蓋４の保持を解除して揺動アーム４５を待
機状態へと復帰揺動させる。そして、再びモータ４０が
駆動して、保持手段１０の挟持アーム１１によるボック
ス本体２の挟持を解くと共にカム１５及びカム３１を次
の待機状態に戻した後、モータ４０が停止する。
【００１１】この発明は、例えば、図９の如く、クリー
ン倉庫５５の内部と外部とを通じてボックス１の搬送が
できるようにした搬送装置５６に対して、クリーン倉庫
５５の外部側となる端部へ設置することができる。すな
わち、この搬送装置５６のクリーン倉庫５５内の端部に
は、クリーン倉庫５５が備えるスタッカークレーン（図
示略）等によりボックス１の受渡しが行われ、搬送装置
５６のクリーン倉庫５５外の端部では、この発明の蓋開
閉装置Ｆによりボックス１の蓋４が開かれた後、ロボッ
トハンド５７を具備する多関節ロボット５８が搭載され
た無人搬送車５９等により、ボックス１内に収納された
物品Ｗ（多数枚のウエハを詰めたカセット等）を自動的
に取り出して搬出するというシステムの構築が可能とな
る。なお、揺動アーム４５の揺動駆動装置５０の内部構
造をはじめ、保持手段１０が有するカム機構１４やフッ
ク解除部材２５を昇降動させるカム機構３０等は、他の
構造に置換可能である。また揺動アーム４５の持上ヘッ
ド４６は、例えば保持手段１０に用いた如き挟持方式を
採用してもよい。
ン倉庫５５の内部と外部とを通じてボックス１の搬送が
できるようにした搬送装置５６に対して、クリーン倉庫
５５の外部側となる端部へ設置することができる。すな
わち、この搬送装置５６のクリーン倉庫５５内の端部に
は、クリーン倉庫５５が備えるスタッカークレーン（図
示略）等によりボックス１の受渡しが行われ、搬送装置
５６のクリーン倉庫５５外の端部では、この発明の蓋開
閉装置Ｆによりボックス１の蓋４が開かれた後、ロボッ
トハンド５７を具備する多関節ロボット５８が搭載され
た無人搬送車５９等により、ボックス１内に収納された
物品Ｗ（多数枚のウエハを詰めたカセット等）を自動的
に取り出して搬出するというシステムの構築が可能とな
る。なお、揺動アーム４５の揺動駆動装置５０の内部構
造をはじめ、保持手段１０が有するカム機構１４やフッ
ク解除部材２５を昇降動させるカム機構３０等は、他の
構造に置換可能である。また揺動アーム４５の持上ヘッ
ド４６は、例えば保持手段１０に用いた如き挟持方式を
採用してもよい。
【００１２】
【発明の効果】この発明は前記した如き構成によって以
下の如き効果を奏するものである。ボックスの蓋を自動
的に開閉することができるものであるから、人手に頼っ
ていた作業の能率化及び清浄環境の保持等が可能とな
る。
下の如き効果を奏するものである。ボックスの蓋を自動
的に開閉することができるものであるから、人手に頼っ
ていた作業の能率化及び清浄環境の保持等が可能とな
る。
【図１】この発明の実施例を示す側面図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線拡大断面図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線拡大断面図である。
【図５】図１のＶ−Ｖ線拡大断面図である。
【図６】図５のＶＩ−ＶＩ線拡大断面図である。
【図７】図５のＶＩＩ−ＶＩＩ線断面図である。
【図８】ボックスの蓋に設けられた弾性フック片を拡大
して示す側断面図である。
して示す側断面図である。
【図９】この発明をクリーン倉庫に実施した状況を示す
側面図である。
側面図である。
１ ボックス ２ ボックス本体 ４ 蓋 ５ 弾性フック片 １０ 保持手段 ２５ フック解除部材 ４５ 揺動アーム ４６ 持上ヘッド
Claims (1)
- 【請求項１】 ボックス本体を保持する保持手段と、上
記ボックス本体上部で揺動開閉自在な蓋を保持する持上
ヘッドが先端側に設けられた上下方向に揺動可能な揺動
アームと、上記蓋からボックス本体側へ突出した弾性フ
ック片を押し上げる昇降可能なフック解除部材とを有し
ているボックスの蓋開閉装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32615892A JPH06144429A (ja) | 1992-11-10 | 1992-11-10 | ボックスの蓋開閉装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32615892A JPH06144429A (ja) | 1992-11-10 | 1992-11-10 | ボックスの蓋開閉装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06144429A true JPH06144429A (ja) | 1994-05-24 |
Family
ID=18184702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32615892A Pending JPH06144429A (ja) | 1992-11-10 | 1992-11-10 | ボックスの蓋開閉装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06144429A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5671165A (en) * | 1995-09-18 | 1997-09-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method of determining position offset of a pattern |
| EP2392971A1 (en) | 2006-11-16 | 2011-12-07 | Nikon Corporation | Surface treatment method and surface treatment apparatus, exposure method and exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US8735180B2 (en) | 2004-01-07 | 2014-05-27 | Nikon Corporation | Multiple-points measurement |
| CN103964033A (zh) * | 2014-04-08 | 2014-08-06 | 中国核电工程有限公司 | 木质包装箱盖开启装置 |
| JP2015040076A (ja) * | 2013-08-23 | 2015-03-02 | 株式会社ダイフク | 固定状態判別装置 |
-
1992
- 1992-11-10 JP JP32615892A patent/JPH06144429A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5671165A (en) * | 1995-09-18 | 1997-09-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method of determining position offset of a pattern |
| US8735180B2 (en) | 2004-01-07 | 2014-05-27 | Nikon Corporation | Multiple-points measurement |
| US9105675B2 (en) | 2004-01-07 | 2015-08-11 | Nikon Corporation | WH (wafer-holder) process |
| EP2392971A1 (en) | 2006-11-16 | 2011-12-07 | Nikon Corporation | Surface treatment method and surface treatment apparatus, exposure method and exposure apparatus, and device manufacturing method |
| JP2015040076A (ja) * | 2013-08-23 | 2015-03-02 | 株式会社ダイフク | 固定状態判別装置 |
| CN103964033A (zh) * | 2014-04-08 | 2014-08-06 | 中国核电工程有限公司 | 木质包装箱盖开启装置 |
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