JPS61124405A - 荷保管装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、例えば牛導体（ウェハー）のような板状物を
、ケース内：ζ多数枚並列して収納して形成した荷を取
扱う荷保管方法および装置に関するものである。

従来の技術 一般的に荷保管設備は、上下方向ならびに横方向に複数
の区画収納空間を有する棚と、この棚に沿った一定経路
上を走行自在で且つ昇降ならびに横方向出退自在な荷保
持具を有する搬入出装置とから構成され、走行動と昇降
動と横方向出退動との組合せ動作によって、目的とする
区画収納空間との間で荷の受け渡しを行なう。

発明が解決しようとする問題点 上記従来構成において、例えば荷が、ウェハーのような
板状物を横方向に多数枚並列収納したケースであったと
きには、搬入出装置の走行時における振動など（こよっ
て隣接する板状物どうしが衝突し、騒音を発生したり損
傷を招いたりする。

問題を解決するための手段 上記問題点を解決するため１ζ本第１発明の荷保管方法
は、上下方向ならびｌζ演方向に複数の区画収納空間を
有する棚と鳥この棚に沿った一定経路上を走行自在な搬
入出装置とを設け、この搬人出装置の昇降台の昇降動と
、この昇降台に設けた荷保持具の横方向出退動とにより
、区画収納空間に対して荷の受け渡しを行なうに際して
、前記荷保持具は１昇降台内に退入したとき上下方向に
傾斜し、荷を傾斜保持して走行搬送し、そして突出した
ときに水平となって荷の受け渡しを行なうようにしてい
る。

そして本第２発明の前像管装置は、上下方向ならびに横
方向に複数の区画収納空間を有する棚と、この棚に沿っ
た一定経絡上を走行自在な搬入出装置とを設け、この搬
入出装置は、ポスト内の正逆駆動装置に昇降体を介して
連動する昇降台と、この昇降台内に設けた作動装置に連
動して横方向出退自在な荷保持具とを有し、前記昇降台
上に横方向移動自在な可動台を設けると共に、この可動
台に前記作動装置を連動し、前記可動台に、前記荷保持
具をその基端をして上下揺動自在に取付け１これら可動
台と荷保持具との間に該荷保持具を水平揺動させる付勢
装置を設け、さらに荷保持具が昇降台内に退入したとき
に該荷保持具を付勢装置に抗して傾斜揺動させろ揺動付
与装置を設けている。

作用 かかる構成によると、昇降台内に退入させた荷保持具は
傾斜し、この荷保持具に保持された荷も傾斜しているこ
とから、該荷が前述したようなケースであったときには
、収納されている板状物群がケース底板と傾斜下位側の
側板とに受止められることになり、したがって走行時に
振動によるガタ付き（衝突）は生じない。また棚に対す
る受け渡しは、荷保持具と共に荷を水平にして行なえる
。

実施例 以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。（
１）はクリーンルームで、天井（２）側からフィルター
（３）を通してクリーンエアー（４）を下吹きし、下降
するエアーをメツシュ形式の床（５）を通して床下に吸
引するように構成しである６（６）は棚で亀前面が開放
する箱状の本体（７）と、この本体（７）において横方
向に多数並設した縦枠（８）と、これら縦枠（８）に上
下方向に多数取付けた前後枠（９）と、相対向する前後
枠（９）間に取付けた荷受板αＱと、下部において本体
（７）を切欠いて形成した入出庫口（ロ）と、この入出
庫口（ロ）を通って裏側に突出する入庫口荷受台（２）
′ｆｒちｒドに出席ロ益６与＾１シ壱）乙外ｈ　石仇は
胃□１などによって上下方向ならびに横方向に夫々複数
の区画収納空間（ロ）を形成する。に）は搬入出装置で
、前記５（６）の前面側に沿った１定経路α時上を走行
自在である。すなわち搬入出装置（ト）は本体を四角筒
状のポストａηから形成し１七の下端の棚（６）側の面
にはブラケット（至）を介してスライド体（下部被スラ
イド体の一例であって、ローラなどに代え得る。）α呻
が取付けである。このスライド体０９は棚（６）の本体
（７）側ｉこ取付けられ且つ前記一定経絡α呻に沿った
下部レー、／Ｌ１００に支持案内される。前記ポストα
力の下面から取付は部材（２）が垂設され、この取付は
部材（財）は本体（７）側に設けた無端回動体に）の一
箇所に連結し、さらに無端回動体に）は輪体などを介し
て正逆駆動装置（至）に連動している。前記下部レール
（１）や正逆駆動装置（２）などは本体（７）と一体の
防塵カバー（ハ）内に配設され、その際に防塵カバー（
ハ）には、ブラケット（至）や取付は部材（２）の移動
を許すスリット＠１翰が形成しである。

前記ポストα力の上端（こは一対の遊転ローラ（上部被
ガイド体の一例であって、スライド体などに代え得る。

）＠が配役され、これら遊転ロークシ９間（こ位置し且
つ一定経路ＱＱに沿った上部レール翰が、取付は部材−
を介して本体（７）側に取付けである。

前記搬入吊装置αＱは、両し−／Ｉ／（ホ）四（こ支持
案内されて一定経路（２）上を走行自在であり、そのポ
ストＧの走行方向側のいずれか一面には上下方向にスリ
ット図を形成している。前記ポスト（ロ）内（こは上位
輪体（至）、下位輪体−、駆動輪体−などが配設され、
これら輪体（至）鏝（ロ）間に無端回動体（至）を巻回
すると共に、駆動輪体□□□を正逆駆動装置−に連動し
ている。前記無端回動体（至）の一箇所に連結した昇降
体ｔ４ｃｍはポスト（ロ）内に配設した上下レー／Ｉ／
［４１＋に案内され、また昇降体−の一部である連結部
材−は前記スリット−を通って突出している。この連結
部材ｆ４２の突出端には昇降台ｉ４ａが取付けられ、ま
た昇降台（至）上に横方向退・出自在な荷保持具−を設
けて、両荷受台（２）□□□と区画収納空間Ｑ４との間
で荷置の受け渡しを可能にしている。すなわち昇降台囮
は、荷保持具−を出退動させる作動装置−を収納してな
る設置空間１４７１を下部から一側部に亘って肩し、ま
た上部側（ζ荷収納部−を有する・前記設置空間帳ηの
側部側には横軸−を介して前後揺動自在なアーム団が取
付けられ、前記横軸−は、設置空間（′７１の下部側に
配設した電磁ブレーキ付きのモータ響りに減速機Ｉ乃を
介して連動している。前記荷収納部（ハ）には、前後に
振分けて夫々上下一対のガイドロッド關が、前記横軸−
に直交させて配設されると共に、ブラケット−を介して
昇降台（４３側に支持されている０前後に振分けたガイ
ドロッド−間に、これらガイドロッド關にスライド体間
を介して支持案内される可動台−が配設される。そして
一方のスライド体−に上下方向の溝レール闘が取付けら
れ、前記アーム−の遊端に取付けたローラーを溝レール
闘に係合させている。＠配回動台−には、前記横軸−に
沿った固定ピン−が前後振分けて配設してあり、これら
固定ピン−に取付は板−が夫々回動自在に取付けられる
。そして取付は板−間に揺動板１が取付けられ、以って
揺動板ｌはビン軸心（５９Ａ）に周りに上下揺動自在と
なる。

この揺動板＠０には、前記ガイドロッド−と直交する横
方向のレー／Ｌ’ｌが取付けられ、このレーｉＩ／鞄に
夫々スライド体間を介して案内される一対のブラケット
Ｈには、夫々前記荷保持具（ロ）が取付けられる０両ブ
ラケット−の相対向面側にストッパーを配置すると共に
、これらブラケット−間にシリンダ装置図を取付けてい
る。前記荷保持具−の相対向面側番こは係上部材（資）
が取付けられ、これら係正部材鋪は左右一対を１組とし
て前後に２組配設される。背部は半導体などの板状物−
を多数枚並列収納したケーηｌこよって形成され、この
ケー７−田の上部には両係上部材罰が左右から保合挟持
自在な被係止部ｇ１が設けられる。前記可動台−と荷保
持具（９）との間に該荷保持具部を水平揺動させる付勢
装置（７Ｂが設けられる。すなわち可動台−と揺動板幅
υとの間に、荷保持具−の先端をビン軸心（ｓ９Ａ）の
周りに上昇回動すべく付勢する引張りばね四が配設され
、セして揺動板＠Ｂの下面を受止めて荷保持具（ロ）の
水平姿勢を規制するストッパ（ハ）が可動台開側に設け
られる。さらに荷保持具〔→が昇降台ｋｌ内に退入した
ときに該荷保持具ｆ４４１を前記付勢装置ｇｌｌｌこ抗
して傾斜揺動させろ揺動付与装置（７４１が設けられる
。すなわち揺動板部６の後端下面には、後端側はど上位
となるカム面ζ鴫が形成され、そして昇降台ｉ４３の後
端には、このカム面ｇ（へ）が乗り上がり自在なカムロ
ーラ（ハ）がブラケット−を介して取付けられる。

以下に上記実施例の作用を説明する。クリーンルーム（
１）内では、フィルター（３）を通って下吹きされるク
リーンエアー（４）が下降し、そして下降するエアーを
床（５）下に吸引することから、そのクリーン度は確保
されている。このようなりリーンルーム（１）内で搬入
吊装置（ト）を使用しての１棚（６）の目的とする区画
収納空間（ロ）と両荷受台（２）亜との間での荷（４四
の受け渡しは１この搬入吊装置（ト）の一定経路Ｑｌ＄
上での走行動作と、昇降台ｉ４３の昇降動作と、荷保持
具−の出退動作との組合わせにより行なえる。

このとき荷保持具部の出退動は１モータ６０の正逆駆動
により横軸−とともにアーム−を前後に揺動させ、溝レ
ーＡ７６ηを介して可動台−を前進または後端させるこ
とにより可能となる。そして荷に）の保持は１離間状態
にある一対のフォーク状の荷保持Ａ−を、シリンダ装置
−により互いに接近させて係上部材−を被保合部ｑ１に
係合させること番こより行なわれ、また逆作用１こよっ
て保持の解除が行なわれる。荷保持具−を区画収納空間
Ｑ４や両荷受台ｃＪ２ａ上に突出動させたとき、第５図
に示すようにカム面ヴ６がカムローラσＱによる拘束か
ら外れることから、引張りばね（７２の弾性力によって
揺動板１はストッパーに接当するまで下動し、以って荷
保持具−は水平状態になる。これにより区画収納空間（
ロ）や両荷受台ＵＱ３との間での受け渡しは、荷−を水
平姿勢として行なわれる。また荷保持具−を荷収納部−
門番こ完全に退入動させたとき、第４図に示すようにカ
ムローラ閥に対してカム面（ハ）が乗り上がることから
、引張りばねｆｆ２の弾性力に抗して揺動板部りは上動
し、以って荷保持具（財）は傾斜状態になる。これによ
り搬入出装置に）の走行による搬送は、荷−を傾斜させ
て、すなわち板状物一群をケース−の底板と傾斜下位の
側板とに受け止めさせて行なえることになる。

上記実施例に示すように作動装置顛として７−ムーの動
きを利用することによって、可動台−の動きを低速→高
速→低運に自動制御でき、出退動における開始時と停止
時を低速にできることになって衝撃の少ない受け渡しを
行なえる。

上記実施例ではクリーンルーム（１）内に設置した実施
例を示したが、これは普通の室であってもよく、また棚
（６）や搬入出装置（２）を設置した箇所のみクリーン
ルーム化した形式であってもよい。

発明の効果 上記構成の本発明によると、昇降台内に退入させた荷保
持具は傾斜し、この荷保持具に保持された荷も傾斜して
いることから、該荷が板状物を多数枚収納したケースで
あったときには、収納されている板状体群がケース底板
と傾斜下位側の側板とに受け止められることになり、し
たがって走行時における撮動によって隣接する板状物ど
うしが衝突（ガタ付く）することはなくなり、騒音発生
を防止できると共に、板状体群の損傷を皆無にできる。

また棚に対する受け渡しは、荷保持具と共裔こ荷を水平
にして、常に安定して確実に行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示し、第１図は全体の一部切
欠き側面図、第２図は同裏側から見た一部切欠き図、第
３図は同一部切欠き平面図、第４図、第５図は昇降台部
分の作用を示す縦断側面図、第６図は同一部切欠き正面
図、第７図は同一部切欠き背面図、第８図、第９図は同
一部切欠き平面図である。 （１）・・・クリーンルーム、（６）・・・棚、αＯ・
・・荷受板、四・・・入庫口荷受台、０３・・・出庫口
荷受台、　０４・・・区画収納空間、（２）・・・搬入
出装置、α呻・・・一定経路、αη・・・ポスト、（１
）・・・下部レール、翰・・・上部レール、制・・・ス
リット、　［−°°正逆駆動装置、ｉ４〔・・・昇降体
、（６）・・・連結部材、（４５−・・昇降台、　ｆ４
４１・・・荷保持具、（４Ｇ・・・荷、顛・・・作動装
置、　ｆ４７１・・・設置空間、−・・・アーム、ｔ５
１１・・・可動台ｔｆ５７１・・・溝レール、！８１・
・・ローラ、＠・・・固定ビン。 （５９Ａ）・・・ピン軸心、＠ト・・揺動板、（萌・・
・係止部材。 關・・・板状物、ｆＦＪ・・・ケース、Ｈ・・・付勢装
置、σ２・・・引張りばね、（７４・・・揺動付与装置
、（７ト・・カム面、σｅ・・・カムローラ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、上下方向ならびに横方向に複数の区画収納空間を有
   する棚と、この棚に沿つた一定経路上を走行自在な搬入
   出装置とを設け、この搬入出装置の昇降台の昇降動と、
   この昇降台に設けた荷保持具の横方向出退動とにより、
   区画収納空間に対して荷の受け渡しを行なうに際して、
   前記荷保持具は、昇降台内に退入したとき上下方向に傾
   斜し、荷を傾斜保持して走行搬送し、そして突出したと
   きに水平となつて荷の受け渡しを行なうことを特徴とす
   る荷保管方法。 ２、上下方向ならびに横方向に複数の区画収納空間を有
   する棚と、この棚に沿つた一定経路上を走行自在な搬入
   出装置とを設け、この搬入出装置は、ポスト内の正逆駆
   動装置に昇降体を介して連動する昇降台と、この昇降台
   内に設けた作動装置に連動して横方向出退自在な荷保持
   具とを有し、前記昇降台上に横方向移動自在な可動台を
   設けると共に、この可動台に前記作動装置を連動し、前
   記可動台に、前記荷保持具をその基端をして上下揺動自
   在に取付け、これら可動台と荷保持具との間に該荷保持
   具を水平揺動させる付勢装置を設け、さらに荷保持具が
   昇降台内に退入したときに該荷保持具を付勢装置に抗し
   て傾斜揺動させる揺動付与装置を設けたことを特徴とす
   る荷保管装置。