JPH0327049U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

図面はこの考案の一実施例を示すもので、第１
図は側断面図、第２図は平面図、第３図はエレベ
ータ手段の側断面図、第４図は旋回機構の断面図
、第５図はプラズマ処理機全体の概略側断面図で
ある。 Ｗ……ウエハー、１……リアクター、２……ウ
エハー支持具、３……ウエハーカセツト、４……
カセツト台、５……フレーム、６……チヤンバ下
部バルクヘツド、７……可動バルクヘツド、８…
…搬送フレームベース、１０……供給機構、１１
……カセツトステージ、１２……カセツトガイド
、１３……カセツトセンサ、１５……エレベータ
手段、１６……エレベータベース、１７……エレ
ベータポスト、１８……エレベータモータ、１９
……エレベータネジシヤフト、２１……エレベー
タリニア、２２……リニアナツト、２３……レバ
ー、２５……位置検出手段、２６……センサプレ
ート、３０……旋回機構、３１……旋回モータ、
３２……エレベータ軸受、３３……エレベータ軸
、３４……伝達手段、３５……中継歯車、３６…
…旋回センサ、３７……ストツパー、３８……復
帰スプリング、４０……搬送機構、４１……固定
台、４２……搬送モータ、４３……駆動ドラム、
４４……第１アーム、４５……第１関節、４６…
…第２アーム、４７……第２関節、４８……フイ
ンガー、５１……吸引手段、５２……フインガー
ブロツク、５３……吸引口。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 縦型プラズマ処理機のカセツト台左右に載置
   セツトされたウエハーカセツトをリアクター側へ
   の供給時では間欠的に下降させ、プラズマ処理後
   のウエハーの収納時では間欠的に上昇させる左右
   の供給機構と、この供給機構における昇降するウ
   エハーカセツトとリアクターに挿脱されるウエハ
   ー支持具との間で相互にウエハーを搬送させる前
   後の搬送方向で反転揺動し、ウエハーカセツト及
   びウエハー支持具の昇降に伴ないこれらの内部に
   進入し、先端に形成された吸引手段によつてウエ
   ハーを吸引取り出し、また、吸引を解除してウエ
   ハーを離反させる伸縮自在なフインガーを設けた
   搬送機構とを備えたことを特徴とする縦型プラズ
   マ処理機のウエハー搬送装置。 ２ 供給機構は、ウエハーが段状に整列収納され
   ているウエハーカセツトを載置セツトさせるカセ
   ツトステージを、エレベータモータの駆動による
   ネジ送り作用で間欠的に昇降させるエレベータ手
   段を備えて成る請求項１記載の縦型プラズマ処理
   機のウエハー搬送装置。 ３ 搬送機構は、固定台上に搬送モータ、駆動ド
   ラムを配置し、駆動ドラム中心上には、この駆動
   ドラム上で回転する第１アームをその基部に設け
   た第１関節によつて回転可能に支承させ、第１ア
   ーム先端には、この第１アーム上で回転する第２
   アームをその基部に設けた第２間接によつて回転
   可能に支承させ、第２アーム先端には、吸引手段
   が先端に形成されているフインガーを第２アーム
   上で回転可能にして支承し、前記搬送モータの駆
   動によつて、第１アーム、第２アームが駆動ドラ
   ム上で、前後方向夫々への搬送時では伸張し、前
   後方向に対する反転搬送時では縮小するよう伸縮
   自在にして成る請求項１または２記載の縦型プラ
   ズマ処理機のウエハー搬送装置。 ４ フインガーは、ウエハーの保持間隔に対応し
   た間隔で上下に複数段に配列構成してある請求項
   １乃至３のいずれか記載の縦型プラズマ処理機の
   ウエハー搬送装置。 ５ 左右に配した供給機構夫々は、その全体が水
   平面で揺動自在に支承されていて、搬送機構の搬
   送中心位置に対して、ウエハーカセツトのウエハ
   ー出入口を対向位置決めさせる旋回機構によつて
   水平面で所定角度分だけ旋回させられるようにな
   つている請求項１乃至４のいずれか記載の縦型プ
   ラズマ処理機のウエハー搬送装置。 ６ 旋回機構は、左右に配した供給機構に対する
   ほぼ中心位置で配置された旋回モータの駆動力に
   よつて左右の供給機構夫々の全体を揺動回転させ
   るようにしてある請求項５記載の縦型プラズマ処
   理機のウエハー搬送装置。