JP2008141158A - ウエハ移送装置、ウエハ移送方法及びコンピュータ可読記録媒体 - Google Patents

Abstract

【課題】 ウエハ移送装置において、複数枚のウエハを必要な数量だけ同時に移送させることによってウエハ移送時間を短縮し、作業効率を増大させる。
【解決手段】 １枚以上のウエハを支持して移送できる複数のウエハ支持部材と、前記ウエハ支持部材と連結され、移送されるべき前記ウエハの枚数に対応する個数のウエハ支持部材を移動させ、該ウエハ支持部材が１枚以上のウエハを同時に移送できるようにする移動装置と、を備える構成とした。
【選択図】 図１

Description

本発明は、ウエハ移送装置に係り、さらに詳細には、複数枚のウエハを必要な枚数だけ同時に移送させることによってウエハ移送時間を短縮し、作業効率を増大させることができるウエハ移送装置に関する。

一般に、半導体素子は、ウエハ上にフォトリソグラフィ、エッチング、アッシング（ａｓｈｉｎｇ）、拡散、化学気相蒸着、イオン注入及び金属蒸着などの工程を選択的に且つ反復的に行って少なくとも一つ以上の導電層、半導体層、不導体層などを形成することによって製造される。

このような半導体素子の製造において、ウエハは各工程の要求される位置に移送される。
このようなウエハの移送工程において、通常、同じ工程が行われる複数枚のウエハはカセットに収容されて各工程設備に移送され、これらの各工程設備には、収容されたウエハをカセットから引き出して各工程位置に移送させるウエハ移送装置が備えられている。

また、上記のような工程によって製作される半導体の電気的な特性を検査するＥＤＳ（ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ ｄｉｅ ｓｏｒｔｉｎｇ）工程でもこのようなウエハ移送装置が使用される。

ＥＤＳラインには複数個の検査装備があり、これらの検査装備がウエハを検査する時間は各検査装備ごとに異なる。すなわち、Ａという検査装備がＢという検査装備に比べてウエハ検査時間が長いとする。したがって、Ｂ装備に入っているウエハは、Ａ装備に入っているウエハの検査時間が終了するまで装備内で待たねばならない。

したがって、ライン効率性増大及び生産性向上のために、検査時間が短くかかる検査装備には相対的に多量のウエハを一度に移送して検査し、検査時間が長くかかる検査装備には一枚または相対的に少量のウエハを移送することによって、両検査装置において同時に検査を終了できる方式が要求されている。

しかしながら、従来のウエハ移送装置（例えば、特許文献１）は、一度に１枚のウエハしか移送できず、上記の要求を充足させるのには限界があった。
韓国公開特許第１０−２００５−１１９７１１号公報

本発明は上記の問題点を解決するためのもので、その目的は、状況に応じて１枚または複数枚のウエハを移送させることができるウエハ移送装置を備えることによって、ウエハの移送効率性を向上させ、例えば、各検査装置間のウエハ検査終了時間を一致させることによって組立ラインの効率性を増大させることができるウエハ移送装置を提供することにある。

上記の目的を達成する本発明に係るウエハ移送装置は、１枚以上のウエハを支持して移送できる複数のウエハ支持部材と、前記複数のウエハ支持部材と連結され、移送されるウエハの枚数に該当する個数のウエハ支持部材を移動させて前記複数のウエハ支持部材が１枚以上のウエハを同時に移送できるようにする移動装置と、を備えることを特徴とする。

前記ウエハ移送装置は、第１及び第２支持台を含む複数の支持台をさらに備え、前記複数のウエハ支持部材のうち少なくとも一つは前記第１支持台に連結されて第１集団をなし、前記複数のウエハ支持部材のうち残りは、第２支持台に連結されて第２集団をなし、前記第１及び第２支持台は前記移動装置に連結され、前記移動装置の作動にしたがって、前記第１支持台、第２支持台、前記第１支持台に連結された前記複数のウエハ支持部材のうち少なくとも一つ、及び前記第２支持台に連結された前記複数のウエハ支持部材のうち残りは、各集団別に動くことを特徴とする。

前記移動装置は、前記第１支持台に連結され、２節リンク構造で備えられる第１及び第２移送アームと、前記第２支持台に連結され、２節リンク構造で備えられる第３及び第４移送アームと、前記第１、２、３、４移送アームの下部に設けられ、前記第１、２、３、４移送アームを支持する支持板と、を備えることを特徴とする。

前記ウエハ移送装置は、前記支持板の下部に設けられて、前記複数のウエハ支持部材を所定の方向に回転させ、前記複数のウエハ支持部材の高さを調節する位置調節装置をさらに備えることを特徴とする。

前記複数のウエハ支持部材は、前記第１支持台に固定される第１固定ウエハ支持部材と、前記第２支持台に固定される第２固定ウエハ支持部材と、前記第２支持台に回転可能に結合された回転ウエハ支持部材と、を含むことを特徴とする。

前記第２支持台には、前記回転ウエハ支持部材を回転させる回転モーターが備えられることを特徴とする。

前記回転ウエハ支持部材が少なくとも１枚のウエハを移送する場合、前記回転ウエハ支持部材は、前記第２固定ウエハ支持部材と同じ方向に整列され、前記移動装置の作動にしたがって、前記少なくとも１枚のウエハを支持して移送することを特徴とする。

前記回転ウエハ支持部材がウエハを移送せず、前記第２固定ウエハ移送部材が少なくとも１枚のウエハを移送する場合、前記回転ウエハ支持部材は、前記第２支持台に固定されたウエハ支持部材と異なる方向に整列されることによって、前記少なくとも１枚のウエハが保管されているカセットとの干渉を防止することを特徴とする。

前記少なくとも１枚のウエハを真空吸着して支持するように、前記ウエハ支持部材の前端部に真空吸着部がさらに備えられることができる。

上記目的を達成するためのウエハ移送装置は、真空吸着を用いて１枚以上のウエハを支持しつつ移送する複数個のウエハ支持部材と、前記複数個のウエハ支持部材が複数の集団に分けられるようにし、複数のウエハ支持部材が集団別に移動できるように複数の各集団に属するウエハ部材を支持する複数個の支持台と、前記複数の支持台と連結され、移送されるべき所定枚数のウエハに対応するウエハ支持部材を移動させ、前記複数のウエハ支持部材が所定枚数のウエハを同時に移送するようにする移動装置と、を備えることを特徴とする。

前記複数の支持台は、第１支持台と第２支持台を含み、前記第１支持台には、前記第１支持台と固定結合される第１固定ウエハ支持部材が備えられ、前記第２支持台には、第２支持台と固定結合される第２固定ウエハ支持部材と、前記第２支持台と回転可能に結合される回転ウエハ支持部材が備えられることを特徴とする。

前記移動装置は、第１移動装置と第２移動装置とを含み、前記第１移動装置は、前記ウエハ支持部材の水平直線運動を誘発するために前記第１支持台と連結される第１アームと、前記第１アームと連結されてリンク構造を形成する第２アームと、前記第２支持台と連結される第３アームと、前記第３アームと連結されてリンク構造を形成する第４アームと、前記第２アーム及び第４アームの下部に設けられ、前記第２及び第４アームが回動可能に安置される支持板と、を含み、第２移動装置は、前記支持板の下部に備えられる支持軸と、前記支持軸と連結されて前記支持板の垂直運動及び回転運動を制御し、前記ウエハ支持部材の垂直運動及び回転運動を誘発する位置調節装置と、を含むことを特徴とする。

前記第２支持台には、前記回転ウエハ支持部材を回転させるために回転モーターが設置されることを特徴とする。

前記第２固定ウエハ支持部材によってのみ少なくとも１枚のウエハが移送される場合、前記回転ウエハ支持部材は、少なくとも１枚のウエハが収容されたカセット及び少なくとも１枚のウエハとの干渉を防止するために、前記第２固定ウエハ支持部材と異なる方向に整列されることを特徴とする。

前記第１支持台に連結された前記第１固定ウエハ支持部材と、前記第２支持台に連結された前記第２固定ウエハ支持部材及び前記回転ウエハ支持部材は、移送されるべき数量のウエハを前記移動装置の動作によって同時にまたは独立的に移送することを特徴とする。

前記第１支持台と前記第２支持台は、互いに隔たって並列的に配置されることを特徴とする。

上記目的を達成するための本発明は、複数のウエハに使用可能なウエハ移送装置であって、前記複数のウエハのうち少なくとも一つをそれぞれ移送できる複数のウエハ移送部材と、前記複数のウエハ支持部材に連結されてそれらを移動させることができる移動部材と、を備え、前記移動装置は、第１位置から第２位置に移送されるべき前記複数のウエハの第１枚数に該当する前記複数のウエハ支持部材の第１個数を同時に移動させることができることを特徴とする。

上記目的を達成するための本発明は、第１検査装置及び第２検査装置に使用可能なウエハ移送装置であって、第１セットのウエハを移送できる第１セットのウエハ支持部材と、第２セットのウエハを移送できる第２セットのウエハ支持部材と、前記第１セットのウエハ支持部材と前記第２セットのウエハ支持部材に連結される移動部材と、を備え、前記移動部材は、前記第１セットのウエハ支持部材の少なくとも一つを移動させて前記第１セットのウエハの第１枚数を前記第１検査装置に移送し（ここで、前記第１枚数は、前記第１検査装置でウエハ検査終了する第１時間周期に対応する数量である。）、前記移動部材は、前記第２セットのウエハ支持部材の少なくとも一つを移動させて前記第２セットのウエハの第２枚数を前記第２検査装置に移送し（ここで、前記第２枚数は、前記第２検査装置でウエハ検査終了する第２時間周期に対応する数量である。）、ここで、前記第１検査装置による前記第１セットのウエハの第１枚数の検査と前記第２検査装置による前記第２セットのウエハの第２枚数の検査は、同時に完了する、
ことを特徴とする。

上記目的を達成するための本発明は、複数のウエハを第１位置から第２位置に移送する方法であって、第１セットの複数のウエハ支持部材を選択して、第１位置から第２位置へ移送されるべき複数のウエハの枚数に該当する第１グループを形成し、第２セットの複数のウエハ支持部材を選択して、前記複数のウエハの枚数に該当する第２グループを形成し、前記第１グループ及び第２グループの少なくとも一つを、前記複数のウエハの枚数に対応して独立的にまたは同時に移動させることを特徴とする。

上記目的を達成するための本発明は、第１位置から第２位置に複数のウエハを移送する方法を行うコンピュータ可読コードを含むコンピュータ可読記録媒体であって、前記方法が、第１セットの複数のウエハ支持部材を選択して、第１位置から第２位置へ移送されるべき複数のウエハの枚数に該当する第１グループを形成し、第２セットの複数のウエハ支持部材を選択して、前記複数のウエハの枚数に該当する第２グループを形成し、前記第１グループ及び第２グループの少なくとも一つを、前記複数のウエハの枚数に対応して独立的にまたは同時に移動させることを特徴とする。

上記目的を達成するための本発明に係るウエハ移送装置は、それぞれ少なくとも１枚のウエハを支持する複数のグループのウエハ支持部材と、前記ウエハ支持部材の複数のグループのそれぞれに対応し、前記ウエハ支持部材の複数のグループの幾らでも同時にまたは個別に移動可能なように、前記ウエハ支持部材の各グループを互いに独立的にまたは同時に移動させる移動部材とを備えることを特徴とする。

本発明によれば、複数枚のウエハを状況に応じて選択的に移送できるため、１枚ずつ移送する場合に比べて格段に移送時間を節減でき、移送効率性を向上させることが可能になる。

また、様々なウエハ検査装置に好適にウエハ移送メカニズムを具現することによって、これらの様々な検査装置において同時に検査が終了するようにし、検査ラインの運用効率性を高めることができる。

以下、添付の図面を参照しつつ、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。図面中、同一の構成要素には可能な限り同一の参照符号を付し、その説明は適宜省略するものとする。

図１は、本発明の一実施の形態によるウエハ移送装置の前方斜視図である。図１に示すように、本発明の一実施の形態によるウエハ移送装置１の近傍には、複数枚のウエハＷが収容されるカセット２００と、ウエハ検査のための検査装置３００が備えられている。

ウエハ移送装置１は、図１に示すように、カセット２００からウエハＷを引き出したのち検査装置３００に向かって回転して該検査装置３００内にウエハＷを入れ、この検査装置３００の内部ではウエハＷが検査される。

ここで、ウエハ移送装置１の一側にはカセット２００が配置され、他側には検査装置３００が配置されているが、このような配置は適宜可変しても良い。

本発明の一実施の形態において、ウエハ移送装置１は、図１に示すように、例えば“Ｙ”または“Ｕ”字状の複数のウエハ支持部材３と、各ウエハ支持部材３の後段部に連結されてウエハ支持部材３を支持する第１及び第２支持台１０，１３と、第１及び第２支持台１０，１３と連結されてウエハ支持部材３を直線方向に移動させる移動装置３０と、を備えている。

第１及び第２支持台１０，１３は、例えば互いに並列的に配置されることができる。

本発明の一実施の形態において、移動装置３０は、第１移動装置４０と第２移動装置６０とで構成される。図１に示すように、第１移動装置４０は、第１支持台１０の例えば下部に連結される第１移送アーム４２と、第１移送アーム４２の一端部に結合されて該第１移送アーム４２と共にリンク構造を形成する第２移送アーム４４と、第２支持台１３の例えば下部に連結される第３移送アーム４６と、第３移送アーム４６と連結されて第３移送アーム４６と共にリンク構造を形成する第４移送アーム４８と、第２及び第４移送アーム４４，４８を回転可能に支持する支持板５５と、を備える。

第２移動装置６０は、例えば、支持板５５の下部に備えられる支持軸６１と、該支持軸６１と連結されて支持板６１の回転及び垂直移動を調節することによってウエハ支持部材３の回転及び垂直運動を調節する位置調節装置６３とを備える。この位置調節装置６３は、周知の従来位置調節装置とすれば良い。

本発明の一実施の形態において、ウエハ支持部材３は７個が備えられ、該７個のウエハ支持部材３は、例えば、第１支持台１０に固定されている４個の第１固定ウエハ支持部材４と、第２支持台１３に固定されている１個の第２固定ウエハ支持部材５と、第２支持台１３に回転可能に備えられている２個の回転ウエハ支持部材６と、を備えている。

したがって、第１支持台１０と第１固定ウエハ支持部材４が同時に動ける一集団をなし、第２支持台１３と第２固定ウエハ部材５及び回転ウエハ部材６も同時に動ける他の一集団をなし、各集団は、移送されるウエハＷの枚数によって独立的にまたは同時に動くようになる。

ただし、ここではウエハ支持部材３が７個配置される構成としたが、本発明の原理及び思想を逸脱しない限度内で工程条件に応じてその個数が適宜変更可能であることは、当業者にとっては明らかである。

第２支持台１３の上部には、回転ウエハ支持部材６と連結されて該回転ウエハ支持部材６を回転させる回転モーター１４が備えられている。

回転モーター１４は、回転ウエハ支持部材６の移送動作によって該回転ウエハ支持部材６の回転方向を変える役割を担う。

例えば、ウエハ１枚を移送する場合、第２固定ウエハ支持部材５がカセット２００内に挿入されて１枚のウエハＷを移送する。したがって、回転モーター１４は、回転ウエハ支持部材６を第２固定ウエハ支持部材５と異なる方向に回転させるように駆動し、回転ウエハ支持部材６がカセット２００に収容されたウエハＷと衝突または干渉するのを防ぐ。

このため、図２及び図３に示すように、第１、２、３、４移送アーム４２、４４、４６、４８はそれぞれ、第１、２、３、４駆動モーター４９ａ、４９ｂ、４９ｃ、４９ｄを備える。移送アーム４２、４４、４６、４８はそれぞれ、例えば第１、２、３、４駆動モーター４９ａ、４９ｂ、４９ｃ、４９ｄの動作によって回転し、これらの移送アーム４２、４４、４６、４８はリンク構造を形成しているから、移送アーム４２、４４、４６、４８の回転運動は直線運動に変換される。

本発明の一実施の形態において、各ウエハ支持部材３の例えば上面前方側には、図１及び図２に示すように、ウエハ支持部材３に載せられたウエハＷが真空吸着されて固定されるように真空吸着部７が備えられる。

図２は、本発明の一実施の形態によるウエハ移送装置の後方斜視図である。図２に示すように、第１支持台１０は、略垂直の一直線の形状、例えば、“１”字の形状を有することができ、第１支持台１０の外周面には、第１固定ウエハ支持部材４の後段が固定されているのに対し、第２支持台１３は略曲がった形状、例えば

(外１)

の形状を有し、第２支持台１３の上部に回転モーター１４が備えられる。

上述したように、第１及び第２アーム４２，４４の連結部分と、第３及び第４アーム４６，４８の連結部分には第１及び第３駆動モーター４９ａ，４９ｃがそれぞれ設けられ、第１アーム４２と第１支持台１０との間及び第３アーム４６と第２支持台１３との間には、第１及び第３アーム４２，４６が回転する場合に、第１及び第２支持台１０，１３に結合したウエハ支持部材３の位置が変わらないように維持させる位置調整部材１９が設けられる。

図３は、本発明の一実施の形態によるウエハ移送装置の正面図である。図３に示すように、第２及び第４アーム４４，４８を駆動させる第２及び第４駆動モーター４９ｂ，４９ｄは、支持板５５に形成された突出部５６の内部に備えられ、第２及び第４駆動モーター４９ｂ，４９ｄのモーター軸は、第２及び第４アーム４４，４８の一端部に結合される。

図３に示すように、第１及び第３アーム４２，４６を駆動させる第１及び第３駆動モーター４９ａ，４９ｃは、第２及び第４アーム４４，４８の他端部に収容され、第２及び第４駆動モーター４９ｂ，４９ｄのモーター軸は、第１及び第３アーム４２，４６の一端部に結合され、第１及び第３アーム４２，４６の他端部には、第１及び第２支持台１０，１３の位置を調整する位置調整部材１９が設けられてそれぞれ第１及び第２支持台１０，１３に結合される。

本発明の一実施の形態において、例えば

(外２)

の形状を有する第２支持台１３は、第３移送アーム４６の上部に設けられて位置調整部材１９と結合する下側支持台１３ａと、回転モーター１４が設置される上側支持台１３ｂと、下側支持台１３ａと上側支持台１３ｂとを連結させる連結部１３ｃとを含み、上側支持台１３ｃの下部には、第２固定ウエハ支持部材５と固定結合される支持ロッド１５が備えられる。

なお、支持ロッド１５の内部には、前記回転モーター１４の回転軸１４ａが備えられる。この回転モーター１４の回転軸１４ａは、回転ウエハ支持部材６と結合して回転ウエハ支持部材６を回転させる。

図４は、本発明の一実施の形態において１枚のウエハを移送する様子を示す斜視図である。図４に示すように、ウエハ移送装置１がカセット２００から１枚のウエハＷを移送する場合には、第２固定ウエハ支持部材５のみが使用される。この場合、回転ウエハ支持部材６は、第２固定ウエハ支持部材５に対して９０°回転させてカセット２００との干渉が生じないようにする。

このようにして第２固定ウエハ支持部材５がカセット２００のウエハＷと向かい合うと、第３及び第４移送アーム４６，４８に連結された第３及び第４駆動モーター４９ｃ，４９ｄが作動して第３及び第４移送アーム４６，４８を前方に伸ばし、これによって第２固定ウエハ支持部材５はカセット１００の内部に入り、移送されるべきウエハＷの下部に位置した後、真空吸着部７の真空吸着によって当該ウエハＷを第２固定ウエハ支持部材５の上面に固定させる。

第３及び第４移送アーム４６，４８が第２固定ウエハ支持部材５上に付着されたウエハＷと一緒に再び折り畳まれると、該第２固定ウエハ支持部材５に付着されているウエハＷは、第２固定ウエハ支持部材５が後退するにつれてカセット２００から降ろされる。

なお、位置調節装置６３によって支持板５５が回転すると、同時に第２固定ウエハ支持部材５も回転する。このようにして第２固定ウエハ支持部材５が所定の検査装置３００の前方に至ると、第３及び第４移送アーム４６，４８の伸び動作によって検査装置３００の内部に挿入される。

この検査装置３００内にウエハＷが安着すると、真空吸着部７の真空状態が解除されてウエハＷは第２固定ウエハ支持部材５から分離され、第３及び第４移送アーム４６，４８が後方に折り畳まれることによって第２固定ウエハ支持部材５はウエハＷを検査装置３００内に残したまま後退する。上記の動作は継続して反復されることができる。

したがって、第１及び第２移送アーム４２，４４は折り畳まれた状態を維持し、よって、第１固定ウエハ支持部材４も最初の後退状態を維持する。

図５は、本発明の一実施の形態においてウエハ２枚を一度に移送する様子を示す図である。同図に示すように、第２固定ウエハ支持部材５と同方向に、回転ウエハ支持部材６のうちのいずれか一つのみが整列され、残りの一つは第２固定ウエハ支持部材５に対して９０°回転して固定されている。

したがって、第２固定ウエハ支持部材５といずれか一つの回転ウエハ支持部材６がカセット２００の内部に入って２枚のウエハＷを検査装置３００に移送する。本発明の一実施の形態において、２枚のウエハに対する移送メカニズムは、例えば１枚のウエハに対するそれと同一であることができる。

図６は、本発明の一実施の形態においてウエハ３枚を一度に移送する様子を示す図である。同図に示すように、第２固定ウエハ支持部材５と全ての回転ウエハ支持部材６が同方向に整列され、以降、第３及び第４移送アーム４６，４８の伸び縮みによって３枚のウエハが一度にカセット２００から検査装置３００に移送される。

図７は、本発明の一実施の形態においてウエハ４枚を一度に移送する様子を示す図である。同図に示すように、第３及び第４移送アーム４６，４８は後退して折り畳まれており、よって、第２固定ウエハ支持部材５と回転ウエハ支持部材６は後退状態を維持する。

したがって、第１及び第２アーム４２，４４がカセット２００に向かって伸びると、４個の第１固定ウエハ支持部材４がカセット２００の内部に入ってウエハＷを真空吸着した後、位置調節装置６３によって検査装置３００の位置まで回転し、一度に４枚を検査装置３００内に移送する。

図８は、本発明の一実施の形態において７枚のウエハを同時に移送する様子を示す図である。同図に示すように、第１及び第２固定ウエハ支持部材４，５及び回転ウエハ支持部材６によってウエハ７枚が同時に移送される。

したがって、第１及び第２移送アーム４２，４４と、第３及び第４移送アーム４６，４８が同時にカセット２００に向かって伸びると、第１固定ウエハ支持部材４の上側に第２固定ウエハ支持部材５及び回転ウエハ支持部材６が位置した状態でカセット２００に入って７枚のウエハＷを所定の検査装置３００に移送する。

図示せぬが、５枚のウエハを同時に移送する場合には、図４に示す１枚のウエハ移送メカニズムと図７に示す４枚のウエハ移送メカニズムとを組み合わせれば良く、６枚のウエハを同時に移送する場合には、図５に示す２枚のウエハ移送メカニズムと図７に示す４枚のウエハ移送メカニズムとを組み合わせれば良い。この場合にも、第１及び第２移送アーム４２，４４と、第３及び第４移送アーム４６，４８が同時に伸び縮み動作を行う。

したがって、第１及び第２固定ウエハ移送部材４，５と回転ウエハ移送部材６の適切な配置組み合わせによって１〜７枚のウエハを選択的に検査装置３００に移送できるわけである。

したがって、ウエハ１枚当たりの検査時間が長くかかる検査装置には、図４または図５に示す１枚または２枚のウエハ移送メカニズムを用いてウエハを移送すれば良く、ウエハ１枚当たりの検査時間が相対的に短くかかる検査装置には、図７に示す７枚のウエハ移送メカニズムを用いて検査装置に７枚を一度に移送すれば良い。このような方法によって、様々な検査装置においてウエハ検査を同時に終了することが可能になる。

図９は、本発明の一実施の形態によって複数枚のウエハを移送する方法を示すフローチャートである。図９に示すように、ステップ９１０において、第１セットのウエハ支持部材が選択され、第１位置から第２位置へ移送されるべきウエハＷの枚数に該当する選択されたウエハ支持部材の第１グループを形成する。

ステップ９２０において、第２セットのウエハ支持部材が選択され、例えばステップ９１０と同様に移送されるべきウエハの枚数に該当する選択されたウエハ支持部材の第２グループを形成する。

ステップ９３０において、選択されたウエハ支持部材の第１グループと選択されたウエハ支持部材の第２グループの少なくとも一つが、例えば第１位置から第２位置へ移送されるべきウエハの枚数に対応して独立的にまたは同時に動く。

図９の実施例を、図８を参照して説明すると、次の通りである。ステップ９１０において、例えば、図８に示すように移動されるべきウエハＷは７枚である。したがって、本実施例を説明するための図８において、選択されたウエハ支持部材の第１グループは、４個の第１固定ウエハ支持部材４とすることができる。また、第１位置は、例えば、ウエハの収納されるカセット２００の位置とし、第２位置は、検査装置３００の位置とすることができる。本実施例のための図８を参照すると、ステップ９２０において、選択されたウエハ支持部材の第２グループは、２個の回転ウエハ支持部材６と第２固定ウエハ支持部材５とすることができる。したがって、ステップ９２０で形成された第２グループは、例えば、７枚のウエハのうち３枚を移送でき、ステップ９１０で形成された第１グループは、７枚のウエハのうち４枚を移送できる。ステップ９３０において、第１及び第２グループとも同時に移動して７枚のウエハをカセット２００から例えば検査装置３００に移送する。

以上では本発明のウエハ移送装置が検査ラインで使用される例に挙げて説明してきたが、これに限定されず、ウエハ移送が要求されるいずれの工程にも適用可能である。

本発明はまた、コンピュータ可読記録媒体上のコンピュータ可読コードとしても具現可能である。コンピュータ可読記録媒体は、データの記録が可能で、かつ、以降コンピュータシステムによって記録されたデータを読み出し可能な全てのデータ保存装置を含む。コンピュータ可読記録媒体の例には、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＣＤ−ＲＯＭｓ、磁気テープ、フロッピディスク、光データ保存装置及び搬送波（例えば、インターネットを通じたデータ転送）がある。また、コンピュータ可読記録媒体は、コンピュータ可読コードが分散された形態に保存及び実行されることができるように、ネットワークで結合されたコンピュータシステムに分散されても良い。また、本発明によって成し遂げられる関数プログラム、コード、コードセグメントは、本発明の属する分野に熟練したプログラマによって容易に解析されることができる。

本発明の一実施の形態によるウエハ移送装置の前方斜視図である。 本発明の一実施の形態によるウエハ移送装置の後方斜視図である。 本発明の一実施の形態によるウエハ移送装置の正面図である。 本発明の一実施の形態において１枚のウエハを移送する様子を示す斜視図である。 本発明の一実施の形態において２枚のウエハを移送する様子を示す斜視図である。 本発明の一実施の形態において３枚のウエハを移送する様子を示す斜視図である。 本発明の一実施の形態において４枚のウエハを移送する様子を示す斜視図である。 本発明の一実施の形態において７枚のウエハを移送する様子を示す斜視図である。 本発明の一実施の形態によって複数枚のウエハを移送する方法を示すフローチャートである。

符号の説明

３ ウエハ支持部材
４ 第１固定ウエハ支持部材
５ 第２固定ウエハ支持部材
６ 回転ウエハ支持部材
７ 真空吸着部
１０ 第１支持台
１３ 第２支持台
１４ 回転モーター
４２ 第１移送アーム
４４ 第２移送アーム
４６ 第３移送アーム
４８ 第４移送アーム
５５ 支持板
６３ 位置調節装置

Claims (24)

1. １枚以上のウエハを支持して移送できる複数のウエハ支持部材と、
   前記複数のウエハ支持部材と連結され、移送されるウエハの枚数に該当する個数のウエハ支持部材を移動させて前記複数のウエハ支持部材が１枚以上のウエハを同時に移送できるようにする移動装置と、
   を備えることを特徴とする、ウエハ移送装置。
2. 第１及び第２支持台を含む複数の支持台をさらに備え、
   前記複数のウエハ支持部材のうち少なくとも一つは前記第１支持台に連結されて第１集団をなし、
   前記複数のウエハ支持部材のうち残りは、第２支持台に連結されて第２集団をなし、
   前記第１及び第２支持台は前記移動装置に連結され、
   前記移動装置の作動にしたがって、前記第１支持台、第２支持台、前記第１支持台に連結された前記複数のウエハ支持部材のうち少なくとも一つ、及び前記第２支持台に連結された前記複数のウエハ支持部材のうち残りは、各集団別に動くことを特徴とする、請求項１に記載のウエハ移送装置。
3. 前記移動装置は、
   前記第１支持台に連結され、２節リンク構造で備えられる第１及び第２移送アームと、
   前記第２支持台に連結され、２節リンク構造で備えられる第３及び第４移送アームと、
   前記第１、２、３、４移送アームの下部に設けられ、前記第１、２、３、４移送アームを支持する支持板と、
   を備えることを特徴とする、請求項２に記載のウエハ移送装置。
4. 前記支持板の下部に設けられて、前記複数のウエハ支持部材を所定の方向に回転させ、前記複数のウエハ支持部材の高さを調節する位置調節装置をさらに備えることを特徴とする、請求項３に記載のウエハ移送装置。
5. 前記複数のウエハ支持部材は、
   前記第１支持台に固定される第１固定ウエハ支持部材と、
   前記第２支持台に固定される第２固定ウエハ支持部材と、
   前記第２支持台に回転可能に結合された回転ウエハ支持部材と、
   を含むことを特徴とする、請求項２に記載のウエハ移送装置。
6. 前記第２支持台には、前記回転ウエハ支持部材を回転させる回転モーターが備えられることを特徴とする、請求項５に記載のウエハ移送装置。
7. 前記回転ウエハ支持部材が少なくとも１枚のウエハを移送する場合、前記回転ウエハ支持部材は、前記第２固定ウエハ支持部材と同じ方向に整列され、前記移動装置の作動にしたがって、前記少なくとも１枚のウエハを支持して移送することを特徴とする、請求項５に記載のウエハ移送装置。
8. 前記回転ウエハ支持部材がウエハを移送せず、前記第２固定ウエハ移送部材が少なくとも１枚のウエハを移送する場合、前記回転ウエハ支持部材は、前記第２支持台に固定されたウエハ支持部材と異なる方向に整列されることによって、前記少なくとも１枚のウエハが保管されているカセットとの干渉を防止することを特徴とする、請求項５に記載のウエハ移送装置。
9. 前記少なくとも１枚のウエハを真空吸着して支持するように前記ウエハ支持部材の前端部に形成される真空吸着部をさらに備えることを特徴とする、請求項１に記載のウエハ移送装置。
10. ウエハ移送装置において、
    真空吸着を用いて１枚以上のウエハを支持しつつ移送する複数個のウエハ支持部材と、
    前記複数個のウエハ支持部材が複数の集団に分けられるようにし、複数のウエハ支持部材が集団別に移動できるように複数の各集団に属するウエハ部材を支持する複数個の支持台と、
    前記複数の支持台と連結され、移送されるべき所定枚数のウエハに対応するウエハ支持部材を移動させ、前記複数のウエハ支持部材が所定枚数のウエハを同時に移送するようにする移動装置と、
    を備えることを特徴とする、ウエハ移送装置。
11. 前記複数の支持台は、第１支持台と第２支持台を含み、
    前記第１支持台には、前記第１支持台と固定結合される第１固定ウエハ支持部材が備えられ、
    前記第２支持台には、第２支持台と固定結合される第２固定ウエハ支持部材と、前記第２支持台と回転可能に結合される回転ウエハ支持部材が備えられることを特徴とする、請求項１０に記載のウエハ移送装置。
12. 前記移動装置は、第１移動装置と第２移動装置とを含み、
    前記第１移動装置は、前記ウエハ支持部材の水平直線運動を誘発するために前記第１支持台と連結される第１アームと、前記第１アームと連結されてリンク構造を形成する第２アームと、前記第２支持台と連結される第３アームと、前記第３アームと連結されてリンク構造を形成する第４アームと、前記第２アーム及び第４アームの下部に設けられ、前記第２及び第４アームが回動可能に安置される支持板と、を含み、
    第２移動装置は、前記支持板の下部に備えられる支持軸と、前記支持軸と連結されて前記支持板の垂直運動及び回転運動を制御し、前記ウエハ支持部材の垂直運動及び回転運動を誘発する位置調節装置と、を含むことを特徴とする、請求項１１に記載のウエハ移送装置。
13. 前記第２支持台には、前記回転ウエハ支持部材を回転させるために回転モーターが設置されることを特徴とする、請求項１１に記載のウエハ移送装置。
14. 前記第２固定ウエハ支持部材によってのみ少なくとも１枚のウエハが移送される場合、前記回転ウエハ支持部材は、少なくとも１枚のウエハが収容されたカセット及び少なくとも１枚のウエハとの干渉を防止するために、前記第２固定ウエハ支持部材と異なる方向に整列されることを特徴とする、請求項１１に記載のウエハ移送装置。
15. 前記第１支持台に連結された前記第１固定ウエハ支持部材と、前記第２支持台に連結された前記第２固定ウエハ支持部材及び前記回転ウエハ支持部材は、移送されるべき数量のウエハを前記移動装置の動作によって同時にまたは独立的に移送することを特徴とする、請求項１１に記載のウエハ移送装置。
16. 前記第１支持台と前記第２支持台は、互いに隔たって並列的に配置されることを特徴とする、請求項１１に記載のウエハ移送装置。
17. 複数のウエハに使用可能なウエハ移送装置において、
    前記複数のウエハのうち少なくとも一つをそれぞれ移送できる複数のウエハ移送部材と、
    前記複数のウエハ支持部材に連結されてそれらを移動させることができる移動部材と、を備え、
    前記移動装置は、第１位置から第２位置に移送されるべき前記複数のウエハの第１枚数に該当する前記複数のウエハ支持部材の第１個数を同時に移動させることができることを特徴とする、ウエハ移送装置。
18. 前記複数のウエハ支持部材の第１個数及び前記複数のウエハの第１枚数は、同一であることを特徴とする、請求項１７に記載のウエハ移送装置。
19. 第１検査装置及び第２検査装置に使用可能なウエハ移送装置において、
    第１セットのウエハを移送できる第１セットのウエハ支持部材と、
    第２セットのウエハを移送できる第２セットのウエハ支持部材と、
    前記第１セットのウエハ支持部材と前記第２セットのウエハ支持部材に連結される移動部材と、を備え、
    前記移動部材は、前記第１セットのウエハ支持部材の少なくとも一つを移動させて前記第１セットのウエハの第１枚数を前記第１検査装置に移送し（ここで、前記第１枚数は、前記第１検査装置でウエハ検査終了する第１時間周期に対応する数量である。）、
    前記移動部材は、前記第２セットのウエハ支持部材の少なくとも一つを移動させて前記第２セットのウエハの第２枚数を前記第２検査装置に移送し（ここで、前記第２枚数は、前記第２検査装置でウエハ検査終了する第２時間周期に対応する数量である。）、
    ここで、前記第１検査装置による前記第１セットのウエハの第１枚数の検査と前記第２検査装置による前記第２セットのウエハの第２枚数の検査は、同時に完了する、
    ことを特徴とする、ウエハ移送装置。
20. 複数のウエハを第１位置から第２位置に移送する方法において、
    第１セットの複数のウエハ支持部材を選択して、第１位置から第２位置へ移送されるべき複数のウエハの枚数に該当する第１グループを形成し、
    第２セットの複数のウエハ支持部材を選択して、前記複数のウエハの枚数に該当する第２グループを形成し、
    前記第１グループ及び第２グループの少なくとも一つを、前記複数のウエハの枚数に対応して独立的にまたは同時に移動させる、
    ことを特徴とする、ウエハ移送方法。
21. 第１位置から第２位置に複数のウエハを移送する方法を行うコンピュータ可読コードを含むコンピュータ可読記録媒体において、前記方法は、
    第１セットの複数のウエハ支持部材を選択して、第１位置から第２位置へ移送されるべき複数のウエハの枚数に該当する第１グループを形成し、
    第２セットの複数のウエハ支持部材を選択して、前記複数のウエハの枚数に該当する第２グループを形成し、
    前記第１グループ及び第２グループの少なくとも一つを、前記複数のウエハの枚数に対応して独立的にまたは同時に移動させる、
    ことを特徴とする、コンピュータ可読記録媒体。
22. それぞれ少なくとも１枚のウエハを支持する複数のグループのウエハ支持部材と、
    前記ウエハ支持部材の複数のグループのそれぞれに対応し、前記ウエハ支持部材の複数のグループの幾らでも同時にまたは個別に移動可能なように、前記ウエハ支持部材の各グループを互いに独立的にまたは同時に移動させる移動部材と、
    を備えるウエハ移送装置。
23. 前記ウエハ支持部材の複数のグループのぞれぞれは、他のウエハ支持部材の複数のグループに対して異なる枚数のウエハを支持することを特徴とする、請求項２２に記載のウエハ移送装置。
24. 前記各移動装置は、
    互いに伸縮して前記ウエハ支持部材の複数グループのそれぞれを展開及び後退させて少なくとも１枚のウエハをそれぞれ移送する移送アームメカニズムの集団を備えることを特徴とする請求項２２に記載のウエハ移送装置。

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