JP2015196241A - 8ロボットアームを備えた搬送ロボット - Google Patents
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- H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
Abstract
Description
110 走行ベース
120 走行スライダー
130 回転ベース
130a 回転軸
140 アップダウンポスト
150、150a、150d、150e、150h ワークパネル
200 アームユニット
211、212、213、214、215、216、217、218 ロボットアーム
210、220、230、240 ロボットアーム組
251、252、253、254、255、256、257、258 スライダー
261、262、263、264、265、266、267、268 ブリッジ
271、272、273、274、275、276、277、278 ロボットハンド
310 下側部ロボットアーム
320 上側部ロボットアーム
Claims (8)
- アームユニットが、上下直線運動が可能なように結合するポストを含み、
前記アームユニットは、前記ポスト両側面の上下に結合する第1〜第4ロボットアーム組からなり、
前記第1〜第4ロボットアーム組は、2つのロボットアームが水平に結合して一組からなり、第1〜第8ロボットアームからなる、8ロボットアームを備えた搬送ロボット。 - 前記第1〜第8ロボットアームのうち、外側に配列されたロボットアームの外側面には、スライディング可能なようにスライダーが装着され、内側に配列されたロボットアームの内側面には、スライディング可能なようにスライダーが装着される、請求項1に記載の8ロボットアームを備えた搬送ロボット。
- 前記スライダーと直角方向にブリッジが連結される、請求項2に記載の8ロボットアームを備えた搬送ロボット。
- 前記ブリッジと直角方向にロボットハンドが装着される、請求項2に記載の8ロボットアームを備えた搬送ロボット。
- 前記第1及び第2ロボットアーム組は下側に、前記第3及び第4ロボットアーム組は上側に配列され、
下側に配列された前記第1及び第2ロボットアーム組は、内側に第1及び第2ロボットアームが、外側に第3及び第4ロボットアームが配列され、
上側に配列された前記第3及び第4ロボットアーム組は、内側に第7及び第8ロボットアームが、外側に第5及び第6ロボットアームが配列される、請求項1に記載の8ロボットアームを備えた搬送ロボット。 - 前記ポストの下端部は、360度回転が可能な回転ベースの一側端に連結され、
前記第1〜第8ロボットアームには、それぞれ第1〜第8ロボットハンドが装着され、
前記第1〜第8ロボットハンドの中心、前記回転ベースの回転軸及び前記ポストの中心は、一つの基準ラインに一直線上に配置される、請求項1に記載の8ロボットアームを備えた搬送ロボット。 - 前記第1〜第8ロボットアームは、同時駆動、個別駆動又は2以上の選択駆動が可能な、請求項1に記載の8ロボットアームを備えた搬送ロボット。
- 前記第1〜第8ロボットアームには、前後方作動が可能なようになったスライダーを介して第1〜第8ロボットハンドが装着され、
前記第1〜第8ロボットハンドは、上下に配列されて上下間隔が同一であり、運動軌道が互いに同一な、請求項1に記載の8ロボットアームを備えた搬送ロボット。
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