KR20180100281A - 가변 핸드를 구비한 지능형 웨이퍼 이송 로봇 - Google Patents

가변 핸드를 구비한 지능형 웨이퍼 이송 로봇 Download PDF

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Abstract

본 발명은 4개의 로봇 암을 구비한 이송 로봇에 관한 것으로, 특히 4개의 로봇 암의 개별 구동이 가능하며, 일정한 피치 단위로 상하 적재되는 이송물(기판 또는 웨이퍼 등)의 동시 적재 및 취출이 가능한 4개의 로봇 암의 가변 핸드를 구비한 이송 로봇에 관한 것이다.
본 발명에 따른 4개의 로봇 암의 가변 핸드를 구비한 이송 로봇은, 위치 가변 블록이 내부에 형성되며, 상하 및 좌우로 배열되고, 전후 방향으로 직선운동이 가능하도록 형성되는 제1 내지 제4 로봇 암과, 상기 위치 가변 블록과 각각 결합되어 소정 범위내에서 좌우 폭이 가변되는 제1 내지 제4 로봇 핸드를 구비하며, 이송물을 동시 또는 개별적으로 소정 위치에서 다른 소정의 위치로 취출, 이송 또는 적재되도록 구현되어 동시에 다수개의 이송물을 이송할 수 있고 공정 장비 또는 카세트의 각 피치별 대응이 가능하여 공정 효율을 높일 수 있다.

Description

가변 핸드를 구비한 지능형 웨이퍼 이송 로봇{TRANSFER ROBOT HAVING VARIABLE HAND OF FOUR ROBOT ARMS}
본 발명은 가변 핸드를 구비한 지능형 웨이퍼 이송 로봇에 관한 것으로, 특히 4개의 로봇 암의 개별 구동이 가능하며, 일정한 피치 단위로 상하 적재되는 이송물(기판 또는 웨이퍼 등)의 동시 적재 및 취출이 가능한 가변 핸드를 구비한 지능형 웨이퍼 이송 로봇에 관한 것이다.
반도체 장치나 액정표시장치 등의 제조공정에서는, 반도체 웨이퍼나 액정표시장치용 유리 기판 등의 기판에 대하여 인입 및 취출과정이 행하여진다.
기판처리장치(이송 로봇)는 더블 암 로봇, 다수개의 암으로 구성된 이송 로봇 등이 개발되고 사용되고 있으며, 복수의 캐리어를 유지하는 캐리어 유지부와, 기판을 처리하는 기판처리부와, 캐리어 유지부와 기판처리부 사이에서 상하에 적층된 반전유닛과, 각 반전유닛과 캐리어 유지부 사이에서 기판을 이송하는 인덱서 로봇과, 각 반전유닛과 기판처리부 사이에서 기판을 이송하는 메인이송로봇을 구비하는 것이 일반적이다.
이러한 이송 로봇은 근본적으로 웨이퍼, 기판 또는 이송물의 이송을 더욱 효율적으로 수행하기 위한 것이며, 이로서 공정 택 타임(Tack Time)을 줄여 공정 효율을 높일 수 있는 데 방향으로 개발이 이루어지게 된다.
하나의 기판을 이송하기 위한 하나의 암을 갖는 이송 로봇에서 더블 암을 구비한 이송 로봇이 개발되었고, 더블 암의 구조를 개선하여 더욱 효율적인 공정을 목적으로 대한민국 공개특허공보 10-2008-0047205호(기판 이재 로봇) 및 대한민국 공개특허공보 10-2012-0007449호(기판처리장치 및 기판이송방법)가 개시되어 있다.
대한민국 공개특허공보 10-2008-0047205호는 독립적 회전 이동 및 동시적 상하이동이 가능한 다수의 암을 구비하여 효율적인 기판 이재를 달성할 수 있는 기판 이재 로봇이 개시되어 있다.
대한민국 공개특허공보 10-2008-0047205호는 동서남북의 4방향으로 설치되어 위치된 이송물을 각각의 방향에서 이송 가능한 구조라는 점에서 이득이 있으나, 동서남북 4방향으로 독립적으로 동작되므로 인라인 공정이나 한 방향으로 진행되는 공정에서는 사용하기에 부적합한 단점을 갖는다.
대한민국 공개특허공보 10-2012-0007449호는 기판처리장치의 스루풋(throughput, 단위시간 당의 기판의 처리 매수)을 증가시켜 인덱서 로봇 및 메인이송로봇의 대기시간을 단축하기 위한 이송로봇을 제공한다.
대한민국 공개특허공보 10-2012-0007449호는 공정 시간을 단축하는 잇점을 가지나, 하나의 암에 다수의 핸드가 부착된 구조이므로 동시 구동을 해야 하는 단점을 가지며 다수의 핸드 구조에 의해 일정 간격으로 위치된 경우에만 다수 이송물의 이송이 가능 하다는 단점을 갖는다.
대한민국 공개특허공보 제10-2008-0047205호 대한민국 공개특허공보 제10-2012-0007449호
본 발명이 해결하려는 과제는, 동일한 수평방향의 직선운동으로 이송물의 동시 또는 개별적 이송이 가능한 4개의 로봇 암의 가변 핸드를 구비한 지능형 웨이퍼 이송 로봇을 제공하고자 한다.
또한, 인라인(In-Line) 공정 및 일방향으로 연속되는 공정에서 이송물을 1장 내지 4장 동시 이송으로 빠른 공정 흐름을 유도하여 공정시간을 단축하고 공정 효율을 높일 수 있는 4개의 로봇 암의 가변 핸드를 구비한 지능형 웨이퍼 이송 로봇을 제공하고자 한다.
또한, 4개의 로봇 암을 상하 좌우로 배열하여, 로봇 핸드를 수평 위치의 가변이 가능한 4개의 로봇 암의 가변 핸드를 구비한 지능형 웨이퍼 이송 로봇을 제공하고자 한다.
상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 가변 핸드를 구비한 지능형 웨이퍼 이송 로봇은, 위치 가변 블록이 내부에 형성되며, 상하 및 좌우로 배열되고, 전후 방향으로 직선운동이 가능하도록 형성되는 제1 내지 제4 로봇 암과, 상기 위치 가변 블록과 각각 결합되어 소정 범위내에서 좌우 폭이 가변되는 제1 내지 제4 로봇 핸드를 구비하며, 이송물을 동시 또는 개별적으로 소정 위치에서 다른 소정의 위치로 취출, 이송 또는 적재되도록 구현되어 동시에 다수개의 이송물을 이송할 수 있고 공정 장비 또는 카세트의 각 피치별 대응이 가능하여 공정 효율을 높일 수 있다.
여기서, 상기 위치 가변 블록은 상기 제1 내지 제4 로봇 암 각각의 선단면에 개구부를 가지며, 상기 제1 내지 제4 로봇 암 각각의 내부에 위치 가변 레일이 형성되고, 상기 제1 내지 제4 로봇 핸드의 선단에는 상기 위치 가변 레일과 레일 결합되는 가변 슬라이드가 각각 형성될 수 있다.
여기서, 상기 제1 및 제3 로봇 암은 상하 배치되고, 상기 제2 및 제4 로봇 암은 상하 배치되며, 상기 제1 및 제3 로봇 암 각각의 가변 슬라이드는 서로 마주 보는 위치에 형성되고, 상기 제2 및 제4 로봇 암 각각의 가변 슬라이드는 서로 마주 보는 위치에 형성되는 것이 상하 대칭 구조를 구현할 수 있어 바람직하다.
여기서, 상기 제1 내지 제4 로봇 암 각각의 외측면으로는 제1 내지 제4 수평 레일에 슬라이딩 가능하도록 결합되고, 상기 제1 및 제2 수평 레일 각각은 내측면이 상단 수직 슬라이드에 장착되며, 상기 제3 및 제4 수평 레일 각각은 내측면이 하단 수직 슬라이드에 장착되고, 상기 상하단 수직 슬라이드는 상하로 수직 형태의 수직체에 레일 결합될 수 있다.
여기서, 상기 제1 내지 제4 로봇 암 각각의 외측면으로는 제1 내지 제4 수평 레일에 슬라이딩 가능하도록 결합되고, 상기 제1 및 제2 수평 레일 각각은 내측면이 상단 수직 슬라이드에 장착되며, 상기 제3 및 제4 수평 레일 각각은 내측면이 하단 수직 슬라이드에 장착되고, 상기 상하단 수직 슬라이드는 상하로 수직 형태의 수직체에 레일 결합되며, 상기 수직체의 하단은 원운동하는 회전체에 연결될 수 있다.
여기서, 상기 제1 내지 제4 로봇 암 각각의 외측면은 제1 내지 제4 수평 슬라이드와 결합되며, 상기 제1 내지 제4 수평 슬라이드 각각은 제1 내지 제4 수평 레일에 슬라이딩 가능하도록 결합되고, 상기 제1 내지 제4 수평 레일의 외측면에 레일이 형성될 수 있다.
상술한 본 발명의 구성에 따르면, 동일한 수평방향의 직선운동으로 이송물의 동시 또는 개별적 이송이 가능하고, 인라인(In-Line) 공정 및 일방향으로 연속되는 공정에서 이송물을 1장 내지 4장의 개별 이송 또는 동시 이송으로 빠른 공정 흐름을 유도하고, 공정시간을 단축하여 공정 효율을 높일 수 있게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 4개의 로봇 암의 가변 핸드를 구비한 이송 로봇의 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 4개의 로봇 암의 가변 핸드를 구비한 이송 로봇의 평면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 4개의 로봇 암의 가변 핸드를 구비한 이송 로봇의 정면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 4개의 로봇 암의 가변 핸드를 구비한 이송 로봇의 측면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 4개의 로봇 암의 가변 핸드를 구비한 이송 로봇의 로봇 핸드의 수평 위치 가변 동작을 보인 상태도이다.
도 6은 본 발명에 따른 4개의 로봇 암의 가변 핸드를 구비한 이송 로봇의 제1 로봇 암의 수평 전진 상태도이다.
도 7은 본 발명에 따른 4개의 로봇 암의 가변 핸드를 구비한 이송 로봇의 제1 및 제2 로봇 암의 수평 전진 상태도이다.
도 8은 본 발명에 따른 4개의 로봇 암의 가변 핸드를 구비한 이송 로봇의 제1 내지 제3 로봇 암의 수평 전진 상태도이다.
도 9는 본 발명에 따른 4개의 로봇 암의 가변 핸드를 구비한 이송 로봇의 제1 내지 제4 로봇 암의 수평 전진 상태도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 4개의 로봇 암의 가변 핸드를 구비한 이송 로봇의 구조 및 작용효과를 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 가변 핸드를 구비한 지능형 웨이퍼 이송 로봇의 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 가변 핸드를 구비한 지능형 웨이퍼 이송 로봇의 평면도이며, 도 3은 본 발명에 따른 가변 핸드를 구비한 지능형 웨이퍼 이송 로봇의 정면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 가변 핸드를 구비한 지능형 웨이퍼 이송 로봇의 측면도이다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 지능형 웨이퍼 이송 로봇(10)은 베이스 프레임(11), 슬라이드 베이스(12), 레일 박스(13), 레일(14), 회전체(15), 수직체(16), 상하단 수직 슬라이드(17a, 17b), 제1 내지 제4 수평 레일(18a 내지 18d), 제1 내지 제4 수평 슬라이드(19a 내지 19d), 제1 내지 제4 로봇 암(20a 내지 20d) 및 제1 내지 제4 로봇 핸드(21a 내지 21d)를 포함하여 이루어진다.
베이스 프레임(11)은 이송 로봇(10)을 지지하며 4각 프레임 형태로 이루어질 수 있고, 필요에 따라 이동이 용이하도록 캐스터가 장착될 수 있으며, 로봇의 작동시 유동성을 방지하도록 다수개의 고정장치가 부착될 수 있다.
또한, 이송 로봇(10)의 좌우 이동 거리를 확인하기 위해 베이스 프레임(11)에는 스톱퍼가 장착될 수 있다.
베이스 프레임(11)의 내측으로는 슬라이드 베이스(12)가 위치되며, 베이스 프레임(11)의 양측 위에는 슬라이드 베이스(12)의 수평 이동을 위한 레일(14)이 형성된다.
레일(14)은 레일 박스(13)에 의해 커버될 수 있고, 레일 박스(13) 내로는 전원 및 제어신호를 보내는 케이블(미도시)이 안착될 수 있다.
슬라이드 베이스(12)는 양측의 레일(14)과 연결되어 좌우 수평이동이 가능하도록 구성되며, 중심 상단으로는 회전체(15)가 형성되며, 회전체(15)의 선단에는 수직체(16)가 장착될 수 있다.
회전체(15)의 중심에는 회전중심축이 형성되고, 회전중심축을 기준으로 회전체(15)가 회전하게 된다.
회전체(15)는 회전중심축을 기준으로 제1 내지 제4 로봇 암(20a 내지 20d)을 360도 회전시키며, 수직체(16)는 제1 내지 제4 로봇 암(20a 내지 20d)을 상하 왕복 직선운동을 가능케 한다.
수직체(15)의 일측면으로는 레일이 형성되며, 이 레일에는 상단 수직 슬라이드(17a)와 하단 수직 슬라이드(17b)가 상하로 결합되어 상하단 수직 슬라이드(17a, 17b)가 동시에 상하 왕복 직선운동을 한다.
상하단 수직 슬라이드(17a, 17b)의 외측 일면으로는 제1 및 제2 수평레일(18a, 18b)이 장착되고, 외측 타면으로는 제3 및 제4 수평레일(18c, 18d)이 장착된다.
제1 내지 제4 수평레일(18a 내지 18d)은 외측으로 레일이 형성되며 긴 막대 형상을 갖도록 하여 로봇 암의 수평 이동이 가능하도록 한다.
제1 및 제3 수평레일(18a, 18c)은 상하 배열되며, 제2 및 제4 수평레일(18b, 18d) 또한 상하 배열되는 형태를 갖는다.
제1 내지 제4 수평레일(18a 내지 18d) 각각의 레일에는 제1 내지 제4 수평 슬라이드(19a 내지 19d)가 전후 슬라이딩 가능하도록 연결된다.
제1 내지 제4 수평 슬라이드(19a 내지 19d) 각각의 내측으로는 제1 내지 제4 로봇 암(20a 내지 20d)가 장착되어 수평 슬라이드의 전후 슬라이딩 운동에 연동하여 로봇 암이 전후 슬라이딩 운동되도록 구현된다.
제1 내지 제4 수평 슬라이드(19a 내지 19d)와 제1 내지 제4 로봇 암(20a 내지 20d)는 물리적으로 분리되어 구현될 수 있고, 또는 일체로 결합될 수 있으며, 일체로 결합될 경우 제1 내지 제4 로봇 암(20a 내지 20d)은 슬라이드를 겸비하여 제1 내지 제4 수평레일(18a 내지 18d)에 장착될 수 있다.
제1 내지 제4 로봇 암(20a 내지 20d)은 격자 배열 즉, 제1 및 제4 로봇 암(20a, 20d)과 제2 및 제3 로봇 암(20b, 20c)이 각각 서로 대각방향으로 배치되고 제1 및 제2 로봇 암(20a, 20b)이 상단 수평배열, 제3 및 제4 로봇 암(20c, 20d)이 하단 수평배열된다.
제1 내지 제4 로봇 암(20a 내지 20d)의 선단에는 제1 내지 제4 로봇 핸드(21a 내지 21d)가 장착되며, 제1 내지 제4 로봇 핸드(21a 내지 21d)에는 이송 대상물이 놓여지게 된다.
제1 내지 제4 로봇 암(20a 내지 20d)의 선단부에는 제1 내지 제4 로봇 핸드(21a 내지 21d)가 장착될 수 있는 제1 내지 제4 위치 가변 블록(22a 내지 22d)이 형성된다.
제1 내지 제4 로봇 핸드(21a 내지 21d)는 제1 내지 제4 위치 가변 블록(22a 내지 22d)에 결합되며, 제1 내지 제4 위치 가변 블록(22a 내지 22d)의 가변 영역에 따라 제1 내지 제4 로봇 핸드(21a 내지 21d) 각각은 좌우로 위치가 가변될 수 있도록 구성된다.
제1 내지 제4 로봇 암(20a 내지 20d)은 각각 독립적으로 구동될 수 있고 2개씩 또는 3개씩 구동될 수 있으며, 또한 동시 구동이 가능하다.
제1 내지 제4 로봇 암(20a 내지 20d)은 x축 방향의 수평 직선운동(x), y축 방향의 수직 직선운동(y), z축 방향의 수평 직선운동(z) 및 회전운동(θ)을 동시 또는 개별적으로 구동될 수 있다.
x축 방향의 수평 직선운동(x)은 슬라이드 베이스(12)와 레일(14)의 결합에 의해 슬라이드 베이스(12)의 x축 방향으로 왕복운동을 함으로써 구현이 가능하고, y축 방향의 수직 직선운동(y)은 수직체(16)를 기준으로 상하단 수직 슬라이드(17a, 17b)가 y축 방향으로 상하 수직운동을 가능하게 하며, z축 방향의 수평 직선운동은 제1 내지 제4 수평레일(18a 내지 18d) 및 제1 내지 제4 수평 슬라이드(19a 내지 19d)를 기준으로 제1 내지 제4 로봇 암(20a 내지 20d)이 z축 방향으로 수평 구동됨으로써 가능하고, 회전운동(θ)은 회전체(15)의 회전중심축을 기준으로 수직체(16)가 360도 회전 운동하게 된다.
제1 내지 제4 로봇 암(20a 내지 20d)의 배열은 격자 배열, 즉 'ㅁ'문자 배열되어 이송물의 동시 이송 및 적재가 가능하도록 구성된다.
제1 내지 제4 로봇 암(20a 내지 20d)의 배열에 따라 4장의 이송물을 동시 또는 개별 이송 및 적재가 가능하지만, 공정에 따라 어느 하나 또는 두 개의 로봇 암의 구동없이 3개의 로봇 암 또는 2개의 로봇 암의 구동에 의해 3개의 이송물 또는 2개의 이송물의 동시 이송 및 개별 적재가 가능하다.
또한, 제1 내지 제4 로봇 암(20a 내지 20d) 중 어느 하나의 로봇 암을 구성시키지 않고 3개의 로봇 암을 구성시킬 수도 있을 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 4개의 로봇 암의 가변 핸드를 구비한 이송 로봇의 로봇 핸드의 수평 위치 가변 동작을 보인 상태도이다.
도 5는 4개의 로봇 암(20a 내지 20d)이 전방향으로 전진된 상태에서 제1 내지 제4 로봇 핸드(21a 내지 21d)가 최대 폭으로 가변되었을 때와 최소 폭으로 가변되었을 때를 보여준다.
(A)의 경우는 제1 내지 제4 로봇 핸드(21a 내지 21d)가 전방향으로 전진된 상태에서 최대 폭으로 양쪽으로 펼쳐졌을 때의 상태도이고, (B)의 경우는 제1 내지 제4 로봇 핸드(21a 내지 21d)가 전방향으로 전진된 상태에서 최소 폭으로 좁혀졌을 때의 상태도를 나타낸다.
4개의 로봇 핸드(21a 내지 21d)의 가변 범위는 제1 내지 제4 위치 가변 블록(22a 내지 22d)의 가변 범위내에서 가능하며, 로봇 핸드(21a 내지 21d) 각각은 위치 가변 블록(22a 내지 22d) 내에서 슬라이딩 가능하도록 레일 결합될 수 있다.
제1 내지 제4 위치 가변 블록(22a 내지 22d)은 제1 내지 제4 로봇 암(20a 내지 20d) 내부에 형성되며, 제1 내지 제4 로봇 암(20a 내지 20d)의 선단면에 개구부를 갖는다.
개구부측으로는 제1 내지 제4 로봇 핸드(21a 내지 21d)가 결합을 위해 삽입되는 부분이다.
위치 가변 블록(22a 내지 22d)과 로봇 핸드(21a 내지 21d)가 레일 결합되기 위해 위치 가변 블록(22a, 22c)은 내부에 제1 및 제3 위치 가변 레일(24a, 24c)이 형성되고, 제1 및 제3 위치 가변 레일(24a, 24c) 각각에 레일 결합되는 제1 및 제3 가변 슬라이드(23a, 23c)가 로봇 핸드(21a, 21c) 선단부에 장착된다.
제2, 제4 위치 가변 레일 및 제2, 제4 가변 슬라이드도 제1, 제3 가변 레일(24a, 24c) 및 제1, 제3 가변 슬라이드(23a, 23c)와 마찬가지로 형성된다.
바람직하게는, 제1 및 제3 가변 슬라이드(23a, 23c)는 서로 마주보는 방향으로 형성되고, 제2 및 제4 가변 슬라이드도 서로 마주보는 방향으로 형성되어 상하 대칭 구조를 이루도록 구현된다.
도 1 내지 도 5에서 나타낸 바와 같이, 본 발명의 이송 로봇(10)은 4개의 로봇 암이 수평방향으로 직선운동을 하여 이송물(디스플레이 패널이 대표적이라 할 수 있음) 4장을 동시에 이송이 가능하고, 일정한 상하 피치로 구성되어 있는 공정 장비 또는 카세트 내부의 이송물 4장의 동시 이송이 가능하며, 또한 일정한 좌우 피치로 구성되어 있는 공정 장비 또는 카세트 내부의 이송물 4장의 동시 이송이 가능하게 된다.
이는 인라인 공정에서 다량 이송물의 이송이 가능하고, 공정 장비 또는 카세트의 각 피치별 대응이 가능하여 로봇의 세팅시간을 단축시킴으로써 공정 효율을 극대화시킬 수 있게 된다.
도 6은 본 발명에 따른 4개의 로봇 암의 가변 핸드를 구비한 이송 로봇의 제1 로봇 암의 수평 전진 상태도이며, 도 7은 본 발명에 따른 4개의 로봇 암의 가변 핸드를 구비한 이송 로봇의 제1 및 제2 로봇 암의 수평 전진 상태도이고, 도 8은 본 발명에 따른 4개의 로봇 암의 가변 핸드를 구비한 이송 로봇의 제1 내지 제3 로봇 암의 수평 전진 상태도이며, 도 9는 본 발명에 따른 4개의 로봇 암의 가변 핸드를 구비한 이송 로봇의 제1 내지 제4 로봇 암의 수평 전진 상태도이다.
도 6을 참조하면, 제1 로봇 암(20a)은 제1 수평레일(18a)을 기준으로 전진 방향으로 수평 이동될 수 있고(z축방향), 제1 로봇 핸드(21a)는 제1 로봇 암(20a)에 장착되어 동시에 z축 방향으로 운동되며, 또한 제1 로봇 암(20a) 선단에 형성된 제1 위치 가변 블록(22a)의 범위 내에서 좌우 위치가 가변될 수 있는 상태에 놓이게 된다.
도 7를 참조하면, 제1 로봇 암(20a)과 더불어 제2 로봇 암(20b)은 제2 수평레일(18b)을 기준으로 전진 방향으로 수평 이동될 수 있고(z축방향), 제2 로봇 핸드(21b)는 제2 로봇 암(20b)에 장착되어 동시에 z축 방향으로 운동되며, 또한 제2 로봇 암(20b) 선단에 형성된 제2 위치 가변 블록(22b)의 범위 내에서 좌우 위치가 가변될 수 있는 상태에 놓이게 된다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 제1 및 제2 로봇 암(20a, 20b)과 마찬가지로, 제3 및 제4 로봇 암(20c, 20d)도 제3 및 제4 수평레일(18c, 18d)을 기준으로 전진 방향으로 수평 이동될 수 있고(z축방향), 제3 및 제4 로봇 핸드(21c, 21d)는 제3 및 제4 로봇 암(20c, 20d)에 장착되어 동시에 z축 방향으로 운동되고 제3 및 제4 위치 가변 블록(22c, 22d)의 범위 내에서 좌우 위치가 가변될 수 있는 상태에 놓이게 된다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 이송 로봇 11 : 베이스 프레임
12 : 슬라이드 베이스 13 : 레일박스
14 : 레일 15 : 회전체
16 : 수직체 17a, 17b : 수직 슬라이드
18a, 18b, 18c, 18d : 수평 레일
19a, 19b, 19c, 19d : 수평 슬라이드
20a, 20b, 20c, 20d : 로봇 암
21a, 21b, 21c, 21d : 로봇 핸드
22a, 22b, 22c, 22d : 위치 가변 블록

Claims (4)

  1. 위치 가변 블록이 내부에 형성되며, 상하 및 좌우로 배열되고, 전후 방향으로 직선운동이 가능하도록 형성되는 제1 내지 제4 로봇 암과,
    상기 위치 가변 블록과 각각 결합되어 소정 범위내에서 좌우 폭이 가변되는 제1 내지 제4 로봇 핸드를 구비하며,
    이송물을 동시 또는 개별적으로 소정 위치에서 다른 소정의 위치로 취출, 이송 또는 적재되도록 구현되고,
    상기 위치 가변 블록은 상기 제1 내지 제4 로봇 암 각각의 선단면에 개구부를 가지며, 상기 제1 내지 제4 로봇 암 각각의 내부에 위치 가변 레일이 형성되고,
    상기 제1 내지 제4 로봇 핸드의 선단에는 상기 위치 가변 레일과 레일 결합되는 가변 슬라이드가 각각 형성되는, 가변 핸드를 구비한 지능형 웨이퍼 이송 로봇.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제3 로봇 암은 상하 배치되고, 상기 제2 및 제4 로봇 암은 상하 배치되며,
    상기 제1 및 제3 로봇 암 각각의 가변 슬라이드는 서로 마주 보는 위치에 형성되고, 상기 제2 및 제4 로봇 암 각각의 가변 슬라이드는 서로 마주 보는 위치에 형성되는, 가변 핸드를 구비한 지능형 웨이퍼 이송 로봇.
  3. 위치 가변 블록이 내부에 형성되며, 상하 및 좌우로 배열되고, 전후 방향으로 직선운동이 가능하도록 형성되는 제1 내지 제4 로봇 암과,
    상기 위치 가변 블록과 각각 결합되어 소정 범위내에서 좌우 폭이 가변되는 제1 내지 제4 로봇 핸드를 구비하며,
    이송물을 동시 또는 개별적으로 소정 위치에서 다른 소정의 위치로 취출, 이송 또는 적재되도록 구현되고,
    상기 제1 내지 제4 로봇 암 각각의 외측면으로는 제1 내지 제4 수평 레일에 슬라이딩 가능하도록 결합되며,
    상기 제1 및 제2 수평 레일 각각은 내측면이 상단 수직 슬라이드에 장착되고, 상기 제3 및 제4 수평 레일 각각은 내측면이 하단 수직 슬라이드에 장착되며,
    상기 상하단 수직 슬라이드는 상하로 수직 형태의 수직체에 레일 결합되는, 가변 핸드를 구비한 지능형 웨이퍼 이송 로봇.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 수직체의 하단은 원운동하는 회전체에 연결되는, 가변 핸드를 구비한 지능형 웨이퍼 이송 로봇.
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