KR101483082B1 - 8 로봇암을 구비한 반송 로봇 - Google Patents

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서민석
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Abstract

본 발명은 8 로봇암을 구비한 반송 로봇에 관한 것으로, 특히 8 로봇암의 개별 구동이 가능하며, 일정한 피치 단위로 상하 적재되는 반송물(기판 또는 웨이퍼 등)의 동시 적재 및 취출이 가능한 8 로봇암을 구비한 반송 로봇에 관한 것이다.
본 발명에 따른 8 로봇암을 구비한 반송 로봇은, 암 유니트가 상하 직선 운동이 가능하도록 결합되는 포스트와, 상기 암 유니트는 상기 포스트 양측면 상하로 결합되는 제1 내지 제4 로봇암 쌍으로 이루어지며, 상기 제1 내지 제4 로봇암 쌍은 2개의 로봇암이 수평하게 결합되어 한 쌍으로 이루어져 제1 내지 제8 로봇암으로 이루어진다. 동일 위치로 취출, 반송 또는 적재되도록 구현되어 동시에 다수개의 반송물을 반송할 수 있어 TACT TIME(택트 타임)을 줄일 수 있게 된다.

Description

8 로봇암을 구비한 반송 로봇{TRANSFER ROBOT HAVING EIGHT ROBOT ARMS}
본 발명은 8 로봇암을 구비한 반송 로봇에 관한 것으로, 특히 8 로봇암의 개별 구동이 가능하며, 일정한 피치 단위로 상하 적재되는 반송물(기판 또는 웨이퍼 등)의 동시 적재 및 취출이 가능한 8 로봇암을 구비한 반송 로봇에 관한 것이다.
반도체 장치나 액정표시장치 등의 제조공정에서는, 반도체 웨이퍼나 액정표시장치용 유리 기판 등의 기판에 대하여 인입 및 취출과정이 행하여진다.
기판처리장치(반송 로봇)는 더블 암 로봇, 다수개의 암으로 구성된 반송 로봇 등이 개발되고 사용되고 있으며, 복수의 캐리어를 유지하는 캐리어 유지부와, 기판을 처리하는 기판처리부와, 캐리어 유지부와 기판처리부 사이에서 상하에 적층된 반전유닛과, 각 반전유닛과 캐리어 유지부 사이에서 기판을 반송하는 인덱서 로봇과, 각 반전유닛과 기판처리부 사이에서 기판을 반송하는 메인반송로봇을 구비하는 것이 일반적이다.
이러한 반송 로봇은 근본적으로 웨이퍼, 기판 또는 반송물의 이송을 더욱 효율적으로 수행하기 위한 것이며, 이로서 공정 택 타임(Tack Time)을 줄여 공정 효율을 높일 수 있는 데 방향으로 개발이 이루어지게 된다.
하나의 기판을 반송하기 위한 하나의 암을 갖는 반송 로봇에서 더블 암을 구비한 반송 로봇이 개발되었고, 더블 암의 구조를 개선하여 더욱 효율적인 공정을 목적으로 대한민국 공개특허공보 10-2008-0047205호(기판 이재 로봇) 및 대한민국 공개특허공보 10-2012-0007449호(기판처리장치 및 기판반송방법)가 개시되어 있다.
대한민국 공개특허공보 10-2008-0047205호는 독립적 회전 이동 및 동시적 상하이동이 가능한 다수의 암을 구비하여 효율적인 기판 이재를 달성할 수 있는 기판 이재 로봇이 개시되어 있다.
대한민국 공개특허공보 10-2008-0047205호는 동서남북의 4방향으로 설치되어 위치된 반송물을 각각의 방향에서 반송 가능한 구조라는 점에서 이득이 있으나, 동서남북 4방향으로 독립적으로 동작되므로 인라인 공정이나 한 방향으로 진행되는 공정에서는 사용하기에 부적합한 단점을 갖는다.
대한민국 공개특허공보 10-2012-0007449호는 기판처리장치의 스루풋(throughput, 단위시간 당의 기판의 처리 매수)을 증가시켜 인덱서 로봇 및 메인반송로봇의 대기시간을 단축하기 위한 반송로봇을 제공한다.
대한민국 공개특허공보 10-2012-0007449호는 공정 시간을 단축하는 잇점을 가지나, 하나의 암에 다수의 핸드가 부착된 구조이므로 동시 구동을 해야 하는 단점을 가지며 다수의 핸드 구조에 의해 일정 간격으로 위치된 경우에만 다수 반송물의 반송이 가능 하다는 단점을 갖는다.
대한민국 공개특허공보 제10-2008-0047205호 대한민국 공개특허공보 제10-2012-0007449호
본 발명이 해결하려는 과제는, 동일한 수평방향의 직선운동으로 반송물의 동시 또는 개별적 반송이 가능한 8 로봇암을 구비한 반송 로봇을 제공하고자 한다.
또한, 인라인(In-Line) 공정 및 일방향으로 연속되는 공정에서 반송물을 1장 내지 8장 동시 이송으로 빠른 공정 흐름을 유도하여 공정시간을 단축하고 공정 효율을 높일 수 있는 8 로봇암을 구비한 반송 로봇을 제공하고자 한다.
상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 8 로봇암을 구비한 반송 로봇은, 암 유니트가 상하 직선 운동이 가능하도록 결합되는 포스트와, 상기 암 유니트는 상기 포스트 양측면 상하로 결합되는 제1 내지 제4 로봇암 쌍으로 이루어지며, 상기 제1 내지 제4 로봇암 쌍은 2개의 로봇암이 수평하게 결합되어 한 쌍으로 이루어져 제1 내지 제8 로봇암으로 이루어진다.
여기서, 상기 제1 내지 제8 로봇암 중 외측에 배열된 로봇암의 외측면에는 슬라이딩 가능하도록 슬라이더가 장착되며, 내측에 배열된 로봇암의 내측면에는 슬라이딩 가능하도록 슬라이더가 장착될 수 있다.
여기서, 상기 슬라이더와 직각 방향으로 브릿지가 연결될 수 있다.
여기서, 상기 브릿지와 직각 방향으로 로봇핸드가 장착될 수 있다.
여기서, 상기 제1 및 제2 로봇암 쌍은 하측에, 상기 제3 및 제4 로봇암 쌍은 상측에 배열되고, 하측에 배열된 상기 제1 및 제2 로봇암 쌍은 내측으로 제1 및 제2 로봇암이, 외측으로 제3 및 제4 로봇암이 배열되며, 상측에 배열된 상기 제3 및 제4 로봇암 쌍은 내측으로 제7 및 제8 로봇암이, 외측으로 제5 및 제6 로봇암이 배열될 수 있다.
여기서, 상기 포스트의 하단부는 360도 회전이 가능한 회전 베이스의 일측단에 연결되며, 상기 제1 내지 제8 로봇암에는 각각 제1 내지 제8 로봇핸드가 장착되고, 상기 제1 내지 제8 로봇핸드의 중심, 상기 회전 베이스의 회전축 및 상기 포스트의 중심은 하나의 기준라인에 일직선상으로 배치되는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 제1 내지 제8 로봇암은 동시 구동, 개별 구동 또는 2 이상의 선택 구동이 가능하다.
여기서, 상기 제1 내지 제8 로봇암에는 전후방 작동이 가능하도록 이루어진 슬라이더를 매결로 제1 내지 제8 로봇핸드가 장착되며, 상기 제1 내지 제8 로봇핸드는 상하로 배열되고 상하간격이 동일하며, 운동궤적이 서로 동일하도록 구현하는 것이 바람직하다.
상술한 본 발명의 구성에 따르면, 동일한 수평방향의 직선운동으로 반송물의 동시 또는 개별적 반송이 가능하고, 인라인(In-Line) 공정 및 일방향으로 연속되는 공정에서 반송물을 1장 내지 8장의 동시 이송으로 빠른 공정 흐름을 유도하고, 공정시간을 단축하여 공정 효율을 높일 수 있게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 8 로봇암을 구비한 반송 로봇의 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 8 로봇암을 구비한 반송 로봇의 암 유니트 구조도이다.
도 3은 본 발명에 따른 8 로봇암을 구비한 반송 로봇을 구현하기 위한 최적의 암 배열도이다.
도 4는 본 발명에 따른 8 로봇암을 구비한 반송 로봇의 평면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 8 로봇암을 구비한 반송 로봇의 측면도이다.
도 6는 본 발명에 따른 8 로봇암을 구비한 반송 로봇의 8 로봇암이 접힌 상태도이다.
도 7은 본 발명에 따른 8 로봇암을 구비한 반송 로봇의 제1 로봇암의 수평 전진된 상태도이다.
도 8은 본 발명에 따른 8 로봇암을 구비한 반송 로봇의 제4 로봇암의 수평 전진된 상태도이다.
도 9는 본 발명에 따른 8 로봇암을 구비한 반송 로봇의 제5 로봇암의 수평 전진된 상태도이다.
도 10은 본 발명에 따른 8 로봇암을 구비한 반송 로봇의 제8 로봇암의 수평 전진된 상태도이다.
도 11은 본 발명에 따른 8 로봇암을 구비한 반송 로봇의 8 로봇암 전체가 수평 전진된 상태도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 8 로봇암을 구비한 반송 로봇의 구조 및 작용효과를 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 8 로봇암을 구비한 반송 로봇의 사시도이며, 도 2는 본 발명에 따른 8 로봇암을 구비한 반송 로봇의 암 유니트 구조도이고, 도 3은 본 발명에 따른 8 로봇암을 구비한 반송 로봇을 구현하기 위한 최적의 암 배열도이며, 도 4는 본 발명에 따른 8 로봇암을 구비한 반송 로봇의 평면도이고, 도 5는 본 발명에 따른 8 로봇암을 구비한 반송 로봇의 측면도이다.
도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 8 로봇암을 구비한 반송 로봇(100)은 주행 베이스(110), 주행 슬라이더(120), 회전 베이스(130), 업다운 포스트(140) 및 암 유니트(200)를 포함하여 이루어진다.
주행 베이스(110)는 4각 프레임 형태로 이루어질 수 있고, 필요에 따라 이동이 용이하도록 캐스터가 장착될 수 있으며, 로봇의 작동시 유동성을 방지하도록 다수개의 고정장치가 부착될 수 있다.
또한, 주행 베이스(110)의 내측으로는 주행 슬라이더(120)가 위치되며, 주행 베이스(110)의 양내측에는 주행 슬라이더(120)의 수평 이동을 위한 레일이 형성될 수 있다.
주행 슬라이더(120)는 양측의 레일과 연결되어 좌우 수평이동이 가능하도록 구성되며, 중심 상단으로는 회전 베이스(130)가 연결되고, 회전 베이스(130)의 측면 선단부에는 업다운 포스트(140)가 형성될 수 있다.
회전 베이스(130)는 회전축(130a)을 기준으로 369도 회전될 수 있고, 회전 베이스(130)의 360도 회전에 따라 업다운 포스트(140)도 동일하게 360도 회전이 가능하게 된다.
회전 베이스(130)는 회전축(130a)을 기준으로 제1 내지 제8 로봇암(211 내지 218)을 360도 회전시키며, 업다운 포스트(140)는 제1 내지 제8 로봇암(211 내지 218)을 상하 업다운 직선운동을 가능케 한다.
업다운 포스트(140)의 양측면에는 레일이 형성될 수 있고, 이 레일 양측으로는 암 유니트(200)가 장착되어 상하 업다운 직선운동을 한다.
도 2 및 도 3를 참조하여 암 유니트(200)의 구조를 상세하게 살펴본다.
암 유니트(200)는 제1 내지 제8 로봇암(211 내지 218), 제1 내지 제8 슬라이더(215 내지 258), 제1 내지 제8 브릿지(261 내지 268) 및 제1 내지 제8 로봇핸드(271 내지 278)를 포함하여 이루어진다.
제1 내지 제8 로봇암(211 내지 218)은 상하 좌우의 4분할 배열을 이루고 2개의 로봇암이 한 쌍씩 수평하게 접하여 각각 제1 내지 제4 로봇암 쌍(210 내지 240)을 이루게 되며, 또한 하측의 제1 및 제2 로봇암 쌍(210, 220)은 상측부 로봇암(320)을 구성하고 상측의 제3 및 제4 로봇암 쌍(230, 240)은 하측부 로봇암(310)을 구성한다.
제1 및 제3 로봇암 쌍(210, 230)은 업다운 포스트(140)의 좌측면에 슬라이딩 가능하도록 연결되고, 제2 및 제4 로봇암 쌍(220, 240)은 업다운 포스트(140)의 우측면에 슬라이딩 가능하도록 연결된다.
업다운 포스트(140)를 기준으로 제1 및 제3 로봇암 쌍(210, 230)과 제2 및 제4 로봇암 쌍(220, 240)이 양 사이드로 배치되면서 그 사이에는 로봇핸드의 이동 공간이 마련된다.
제1 내지 제8 로봇암(211 내지 218)은 도 3과 같이 배열될 수 있는 데, 하부의 내측으로 제1 로봇암(211)과 제2 로봇암(212)이 위치되고, 하부의 외측으로 제3 로봇암(213)과 제4 로봇암(214)이 위치되며, 상부의 외측으로 제5 로봇암(215)과 제6 로봇암(216)이 위치되고, 상부의 내측으로 제7 로봇암(217)과 제8 로봇암(218)이 위치될 수 있다.
제1 내지 제8 로봇암(211 내지 218)은 동일한 궤적으로 출입되며, 상하 동일한 이격거리를 갖으며 상하 배열되고 상하 순차적 배열을 이루게 된다.
따라서, 한정된 공간에서 상하 순차적 배열을 갖기 위해서 본 발명에서는 도 3에서와 같이 상하 및 좌우측 4분할 배열과 함께 내외측 순서 위치를 선정하여 출입시의 서로 간섭이 없고 동일 간격 및 동일 궤적 운동을 하도록 하여 워크 패널의 반송을 동시에 수행할 수 있도록 한다.
내측에 위치한 제1, 제2, 제7, 제8 로봇암(211, 212, 217, 218)에는 외측에서 슬라이딩 가능하도록 제1, 제2, 제7, 제8 슬라이더(251, 252, 257, 258)가 장착되고, 외측에 위치한 제3, 제4, 제5, 제6 로봇암(213, 214, 215, 216)에는 내측에서 슬라이딩 가능하도록 제3, 제4, 제5, 제6 슬라이더(253, 254, 255, 256)가 장착된다.
제1 내지 제8 슬라이더(251 내지 258)는 주행 베이스(110)와 직각 방향으로 전후 직선 운동을 하게 된다.
제1 내지 제8 슬라이더(251 내지 258)의 선단부에는 제1 내지 제8 브릿지(261 내지 268)가 수직으로 장착되며, 제1 내지 제8 브릿지(261 내지 268)의 선단에는 직각방향으로 제1 내지 제8 로봇핸드(271 내지 278)가 각각 장착된다.
제1 내지 제8 로봇핸드(271 내지 278) 각각은 서로 동일한 간격으로 상하 배열되며, 각각의 워크 패널(150)을 반송 및 반입시킬 수 있는 엔드 이펙터 역할을 한다.
워크 패널(150)은 주행 베이스(110)에 의해 도시상에서 좌우로 수평 왕복으로 이동이 가능하고, 회전 베이스(130)에 의해 360도 회전 이동이 가능하며, 업다운 포스트(140)에 의해 상하 업다운 이동이 가능하고, 제1 내지 제8 로봇암(211 내지 218)에 의해 전후 방향으로 위치 이동이 가능하게 된다.
8개의 로봇암을 최소의 공간에서 효율적으로 작동시키기 위해서 본 발명에서는 다음과 같은 조건을 제시한다.
먼저, 도 3에서와 같이 제1 로봇암(211 내지 218)의 배열을 좌우, 상하 4분열 배열이 되도록 2개의 로봇암을 한 쌍씩 결합시키고, 결합된 쌍의 로봇암을 내측 및 외측으로 배열시키며, 제1 로봇핸드(271 내지 278)를 동일한 간격으로 이격시켜 상하 배열되도록 하부 내측으로 제1, 제2 로봇암(211, 212), 하부 외측으로 제3 , 제4 로봇암(213, 214), 상부 내측으로 제7, 제8 로봇암(217, 218), 상부 외측으로 제5, 제6 로봇암(215, 216)을 배열하는 구조를 선택한다. 이는 8개의 로봇암이 동일한 궤적으로 작동할 수 있도록 하되 그 부피를 최소화하기 위함이며, 상하 배열된 제1 내지 제8 로봇핸드(271 내지 278)의 출입 작동상에서의 서로간의 간섭을 없애기 위한 구현방법이라 할 수 있다.
또한, 워크 패널, 로봇핸드, 회전 베이스, 업다운 포스트의 위치상에서 부피의 최소화 및 작업 효율화를 구현하도록 한다.
도 4를 참조하면, 워크 패널(150)의 중심, 로봇핸드(271 내지 278)의 중심, 회전 베이스(130)의 회전축(132) 중심 및 업다운 포스트(140)의 중심이 기준라인(401)의 일직선상에 놓이도록 배치된다.
도 6는 본 발명에 따른 8 로봇암을 구비한 반송 로봇의 8 로봇암이 접힌 상태도이고, 도 7은 본 발명에 따른 8 로봇암을 구비한 반송 로봇의 제1 로봇암의 수평 전진된 상태도이며, 도 8은 본 발명에 따른 8 로봇암을 구비한 반송 로봇의 제4 로봇암의 수평 전진된 상태도이고, 도 9는 본 발명에 따른 8 로봇암을 구비한 반송 로봇의 제5 로봇암의 수평 전진된 상태도이며, 도 10은 본 발명에 따른 8 로봇암을 구비한 반송 로봇의 제8 로봇암의 수평 전진된 상태도이고, 도 11은 본 발명에 따른 8 로봇암을 구비한 반송 로봇의 8 로봇암 전체가 수평 전진된 상태도이다.
본 발명의 암 유니트(200)는 각각 8개의 암으로 이루어지며, 업다운 포스트(140)를 기준으로 양 사이드 4분할되어 상하 4열씩 배치되는 구조를 갖고, 각각의 로봇암은 독립적 구동, 동시 구동 및 선택적 구동이 가능하여 1개의 워크 패널, 8개의 워크 패널 또는 2개 내지 7개의 패널을 선택적으로 반송이 가능하게 된다.
도 6을 참조하면, 제1 내지 제8 로봇핸드(271 내지 278)들이 모두 양 사이드 및 상하의 제1 내지 제4 로봇암 쌍(210 내지 240)들이 형성하는 공간 내에 인입되어 접혀진 형상을 보인다.
도 7를 참조하면, 제1 로봇암(211)의 작동상태를 나타내는 데, 제1 로봇암(211)을 베이스로 하여 제1 슬라이더(251)가 전방으로 향해 슬라이드 되고, 제1 슬라이더(251)와 직각으로 결합된 제1 브릿지(261)가 연동되어 슬라이드 되며, 제1 브릿지(261)와 직각방향으로 결합된 제1 로봇핸드(271)가 전방으로 이동되어 워크 패널(150a)을 반송하거나 취출하게 된다.
도 8를 참조하면, 제4 로봇암(214)의 작동상태를 나타내는 데, 제4 로봇암(214)을 베이스로 하여 제4 로봇암(214)의 외측면에 슬라이딩 가능하도록 연결된 제4 슬라이더(254)가 전방으로 향해 슬라이드 되고, 제4 슬라이더(254)와 직각으로 결합된 제4 브릿지(264)가 연동되어 슬라이드 되며, 제4 브릿지(264)와 직각방향으로 결합된 제4 로봇핸드(274)가 전방으로 이동되어 워크 패널(150d)을 반송하거나 취출하게 된다.
도 9를 참조하면, 제5 로봇암(215)의 작동상태를 나타내며, 제5 로봇암(215)을 베이스로 하여 제5 슬라이더(255)가 전방으로 향해 슬라이드 되고, 제5 슬라이더(255)와 직각으로 결합된 제5 브릿지(265)가 연동되어 슬라이드 되며, 제5 브릿지(265)와 직각방향으로 결합된 제5 로봇핸드(275)가 전방으로 이동되어 워크 패널(150e)을 반송하거나 취출하게 된다. 여기서, 제5 슬라이더(255)와 제5 브릿지(265)는 일체로 형성될 수 있으며, 나머지 제1 내지 제8 슬라이더(251 내지 258)와 제1 내지 제8 브릿지(261 내지 268) 역시 일체로 형성될 수 있다.
도 10을 참조하면, 제8 로봇암(218)의 작동상태를 나타내며, 제8 로봇암(218)의 내측면을 베이스로 하여 제8 슬라이더(258)가 전방으로 향해 슬라이드 되고, 제8 슬라이더(258)와 직각으로 결합된 제8 브릿지(268)가 연동되어 슬라이드 되며, 제8 브릿지(268)와 직각방향으로 결합된 제8 로봇핸드(278)가 전방으로 이동되어 워크 패널(150h)을 반송하거나 취출하게 된다.
도 11은 제1 내지 제8 로봇암(211 내지 218)이 모두 뻗은 상태를 나타낸 것으로서, 8장의 워크 패널을 동시 취출 및 반송하기 위해 사용될 수 있는 상태이다.
8장의 워크 패널을 동시 취출 및 반송을 하기 위해 도 6과 도 11과 같은 동시에 제1 내지 제8 로봇암(211 내지 218)을 뻗거나 접을 수 있으며, 제1 내지 제8 로봇핸드(271 내지 278)은 상하 동일한 간격을 유지한 채 동일한 작동 궤도를 갖게 된다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100 : 8 로봇암을 구비한 반송 로봇 110 : 주행 베이스
120 : 주행 슬라이더 130 : 회전 베이스
130a : 회전축 140 : 업다운 포스트
150, 150a, 150d, 150e, 150h : 워크 패널
200 : 암 유니트
211, 212, 213, 214, 215, 216, 217, 218 : 로봇암
210, 220, 230, 240 : 로봇암 쌍
251, 252, 253, 254, 255, 256, 257, 258 : 슬라이더
261, 262, 263, 264, 265, 266, 267, 268 : 브릿지
271, 272, 273, 274, 275, 276, 277, 278 : 로봇핸드
310 : 하측부 로봇암 320 : 상측부 로봇암

Claims (8)

  1. 암 유니트가 상하 직선 운동이 가능하도록 결합되는 포스트와,
    상기 암 유니트는 상기 포스트 양측면 상하로 결합되는 제1 내지 제4 로봇암 쌍으로 이루어지며,
    상기 제1 내지 제4 로봇암 쌍은 2개의 로봇암이 수평하게 결합되어 한 쌍으로 이루어져 제1 내지 제8 로봇암으로 이루어지는, 8 로봇암을 구비한 반송 로봇.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 내지 제8 로봇암 중 외측에 배열된 로봇암의 외측면에는 슬라이딩 가능하도록 슬라이더가 장착되며, 내측에 배열된 로봇암의 내측면에는 슬라이딩 가능하도록 슬라이더가 장착되는, 8 로봇암을 구비한 반송 로봇.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 슬라이더와 직각 방향으로 브릿지가 연결되는, 8 로봇암을 구비한 반송 로봇.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 브릿지와 직각 방향으로 로봇핸드가 장착되는, 8 로봇암을 구비한 반송 로봇.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 로봇암 쌍은 하측에, 상기 제3 및 제4 로봇암 쌍은 상측에 배열되고,
    하측에 배열된 상기 제1 및 제2 로봇암 쌍은 내측으로 제1 및 제2 로봇암이, 외측으로 제3 및 제4 로봇암이 배열되며,
    상측에 배열된 상기 제3 및 제4 로봇암 쌍은 내측으로 제7 및 제8 로봇암이, 외측으로 제5 및 제6 로봇암이 배열되는, 8 로봇암을 구비한 반송 로봇.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 포스트의 하단부는 360도 회전이 가능한 회전 베이스의 일측단에 연결되며,
    상기 제1 내지 제8 로봇암에는 각각 제1 내지 제8 로봇핸드가 장착되고,
    상기 제1 내지 제8 로봇핸드의 중심, 상기 회전 베이스의 회전축 및 상기 포스트의 중심은 하나의 기준라인에 일직선상으로 배치되는, 8 로봇암을 구비한 반송 로봇.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제1 내지 제8 로봇암은 동시 구동, 개별 구동 또는 2 이상의 선택 구동이 가능한, 8 로봇암을 구비한 반송 로봇.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제1 내지 제8 로봇암에는 전후방 작동이 가능하도록 이루어진 슬라이더를 매결로 제1 내지 제8 로봇핸드가 장착되며,
    상기 제1 내지 제8 로봇핸드는 상하로 배열되고 상하간격이 동일하며, 운동궤적이 서로 동일한, 8 로봇암을 구비한 반송 로봇.
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