JP5922284B2 - 搬送ロボット - Google Patents

Description

本出願において開示される技術は、４つのロボットアームを備えた搬送ロボットに関するもので、特に、４つのロボットアームの個別駆動が可能であり、一定のピッチ単位で上下積載される搬送物（基板又はウェハなど）の同時積載及び取り出しが可能な４つのロボットアームの可変ハンドを備えた搬送ロボットに関する。

半導体装置や液晶表示装置等の製造工程においては、半導体ウェハや液晶表示装置用ガラス基板等の基板に対して引き込み及び取り出し過程が行われる。

基板処理装置（搬送ロボット）は、ダブルアームロボット、多数個のアームで構成された搬送ロボット等が開発されて使用されており、複数のキャリアを保持するキャリア保持部と、基板を処理する基板処理部と、キャリア保持部と基板処理部との間で上下に積層された反転ユニットと、各反転ユニットとキャリア保持部との間で基板を搬送するインデクサロボットと、各反転ユニットと基板処理部との間で基板を搬送するメイン搬送ロボットと、を備えるのが一般的である。

このような搬送ロボットは、根本的に、ウェハ、基板又は搬送物の移送をさらに効率的に行うためのものであり、これで工程のタックタイム（Ｔａｃｋ Ｔｉｍｅ）を減らして工程効率を高めることができる方向に開発が成されることになる。

一つの基板を搬送するための一つのアームを有する搬送ロボットからダブルアームを備えた搬送ロボットが開発され、ダブルアームの構造を改善してさらに効率的な工程を目的として、大韓民国公開特許公報１０−２００８−００４７２０５号（基板移載ロボット）（特許文献１）及び大韓民国公開特許公報１０−２０１２−０００７４４９号（基板処理装置及び基板搬送方法）（特許文献２）が開示されている。

特許文献１は、独立的回転移動及び同時的上下移動が可能な多数のアームを備え、効率的な基板移載を達成できる基板移載ロボットが開示されている。

特許文献１は、東西南北の４方向に設置され位置された搬送物をそれぞれの方向から搬送可能な構造という点で利得があるが、東西南北の４方向に独立的に動作するので、インライン工程や一方向に進められる工程では、使用するのに不適合な短所を有している。

特許文献２は、基板処理装置のスループット（ｔｈｒｏｕｇｈｐｕｔ、単位時間当たりの基板の処理枚数）を増加させて、インデクサロボット及びメイン搬送ロボットの待機時間を短縮するための搬送ロボットを提供する。

特許文献２は、工程時間を短縮する長所を有しているが、一つのアームに多数のハンドが取り付けられた構造なので同時駆動をしなければならない短所を有し、多数のハンド構造により一定間隔で位置した場合にだけ多数の搬送物の搬送が可能であるという短所を有している。

大韓民国公開特許公報１０−２００８−００４７２０５号 大韓民国公開特許公報１０−２０１２−０００７４４９号

本発明の様々な実施形態によって、同じ水平方向の直線運動で搬送物の同時又は個別的な搬送が可能な４つのロボットアームの可変ハンドを備えた搬送ロボットを提供する。

また、本発明の様々な実施形態によって、インライン（Ｉｎ−Ｌｉｎｅ）工程及び一方向に連続する工程において、搬送物を１個〜４個の同時移送で迅速な工程の流れを誘導し、工程時間を短縮して工程効率を高めることができる４つのロボットアームの可変ハンドを備えた搬送ロボットを提供する。

また、本発明の様々な実施形態によって、４つのロボットアームを上下左右に配列し、ロボットハンドを水平位置の可変が可能な４つのロボットアームの可変ハンドを備えた搬送ロボットを提供する。

上述した課題を解決するための本発明の一態様による４つのロボットアームの可変ハンドを備えた搬送ロボットは、位置可変ブロックが内部に形成されて、上下及び左右に配列され、前後方向に直線運動が可能なように形成される第１〜第４ロボットアームと、前記位置可変ブロックとそれぞれ結合して所定の範囲内で左右幅が可変される第１〜第４ロボットハンドと、を備え、搬送物を同時又は個別的に所定の位置から別の所定の位置に取り出し、搬送又は積載されるように具現されて、同時に多数個の搬送物を搬送することができ、工程装備又はカセットの各ピッチ別の対応が可能であり、工程効率を高めることができる。

ここで、前記位置可変ブロックは、前記第１〜第４ロボットアームそれぞれの先端面に開口部を有して、前記第１〜第４ロボットアームそれぞれの内部に位置可変レールが形成され、前記第１〜第４ロボットハンドの先端には、前記位置可変レールとレール結合される可変スライドがそれぞれ形成されてもよい。

ここで、前記第１及び第３ロボットアームは上下配置されて、前記第２及び第４ロボットアームは上下配置され、前記第１及び第３ロボットアームそれぞれの可変スライドは、互いに向かい合う位置に形成され、前記第２及び第４ロボットアームそれぞれの可変スライドは、互いに向かい合う位置に形成されることが、上下対称構造を具現できて好ましい。

ここで、前記第１〜第４ロボットアームそれぞれの外側面には、第１〜第４水平レールにスライディング可能なように結合され、前記第１及び第２水平レールそれぞれは内側面が上段垂直スライドに装着されて、前記第３及び第４水平レールそれぞれは内側面が下段垂直スライドに装着され、前記上下段垂直スライドは、上下に垂直形態の垂直体にレール結合されてもよい。

ここで、前記第１〜第４ロボットアームそれぞれの外側面には、第１〜第４水平レールにスライディング可能なように結合され、前記第１及び第２水平レールそれぞれは内側面が上段垂直スライドに装着されて、前記第３及び第４水平レールそれぞれは内側面が下段垂直スライドに装着され、前記上下段垂直スライドは、上下に垂直形態の垂直体にレール結合され、前記垂直体の下段は、円運動する回転体に連結されてもよい。

ここで、前記第１〜第４ロボットアームそれぞれの外側面は、第１〜第４水平スライドと結合され、前記第１〜第４水平スライドそれぞれは、第１〜第４水平レールにスライディング可能なように結合され、前記第１〜第４水平レールの外側面にレールが形成されてもよい。

本発明の様々な実施形態によれば、同じ水平方向の直線運動で搬送物の同時又は個別的な搬送が可能であり、インライン（Ｉｎ−Ｌｉｎｅ）工程及び一方向に連続する工程において、搬送物を１個〜４個の個別移送又は同時移送で迅速な工程の流れを誘導し、工程時間を短縮して工程効率を高めることができるようになる。

本発明の一実施形態による４つのロボットアームの可変ハンドを備えた搬送ロボットの斜視図である。 本発明の一実施形態による４つのロボットアームの可変ハンドを備えた搬送ロボットの平面図である。 本発明の一実施形態による４つのロボットアームの可変ハンドを備えた搬送ロボットを正面図である。 本発明の一実施形態による４つのロボットアームの可変ハンドを備えた搬送ロボットの側面図である。 本発明の一実施形態による４つのロボットアームの可変ハンドを備えた搬送ロボットのロボットハンドの水平位置可変動作を示した状態図である。 本発明の一実施形態による４つのロボットアームの可変ハンドを備えた搬送ロボットの第１ロボットアームの水平前進状態図である。 本発明の一実施形態による４つのロボットアームの可変ハンドを備えた搬送ロボットの第１及び第２ロボットアームの水平前進状態図である。 本発明の一実施形態による４つのロボットアームの可変ハンドを備えた搬送ロボットの第１〜第３ロボットアームの水平前進状態図である。 本発明の一実施形態による４つのロボットアームの可変ハンドを備えた搬送ロボットの第１〜第４ロボットアームの水平前進状態図である。

以下、添付された図面を参照して、本発明の様々な実施形態による４つのロボットアームの可変ハンドを備えた搬送ロボットの構造及び作用効果を説明する。

図１は、本発明の一実施形態による４つのロボットアームの可変ハンドを備えた搬送ロボットの斜視図であり、図２は、本発明の一実施形態による４つのロボットアームの可変ハンドを備えた搬送ロボットの平面図であり、図３は、本発明の一実施形態による４つのロボットアームの可変ハンドを備えた搬送ロボットの正面図であり、図４は、本発明の一実施形態による４つのロボットアームの可変ハンドを備えた搬送ロボットの側面図である。

図１ないし図４に示されたように、本発明の一実施形態による４つのロボットアームの可変ハンドを備えた搬送ロボット１０は、ベースフレーム１１、スライドベース１２、レールボックス１３、レール１４、回転体１５、垂直体１６、上下段スライド１７ａ、１７ｂ、第１〜第４水平レール１８ａ〜１８ｄ、第１〜第４水平スライド１９ａ〜１９ｄ、第１〜第４ロボットアーム２０ａ〜２０ｄ、及び第１〜第４ロボットハンド２１ａ〜２１ｄを含んでなる。

ベースフレーム１１は、搬送ロボット１０を支持して四角フレーム形態から成ってもよく、必要に応じて移動が容易なようにキャスターが装着されてもよく、ロボットの作動時に流動性を防止するように多数個の固定装置が付着されてもよい。

また、搬送ロボット１０の左右移動距離を確認するため、ベースフレーム１１にはストッパーが装着されてもよい。

ベースフレーム１１の内側にはスライドベース１２が位置し、ベースフレーム１１の両側の上にはスライドベース１２の水平移動のためのレール１４が形成される。

レール１４は、レールボックス１３によってカバーされてもよく、レールボックス１３内には電源及び制御信号を送るケーブル（図示せず）が安着してもよい。

スライドベース１２は、両側のレール１４と連結して左右水平移動が可能なように構成され、中心上端には回転体１５が形成され、回転体１５の先端には垂直体１６が形成されてもよい。

回転体１５の中心には回転中心軸が形成され、回転中心軸を基準として回転体１５が回転するようになる。

回転体１５は、回転中心軸を基準として第１〜第４ロボットアーム２０ａ〜２０ｄを３６０度回転させ、垂直体１６は、第１〜第４ロボットアーム２０ａ〜２０ｄの上下往復直線運動を可能にする。

垂直体１５の一側面にはレールが形成され、このレールには、上段垂直スライド１７ａと下段垂直スライド１７ｂとが上下に結合し、上下段垂直スライド１７ａ、１７ｂが同時に上下往復直線運動をする。

上下段垂直スライド１７ａ、１７ｂの外側一面には、第１及び第２水平レール１８ａ、１８ｂが装着され、外側他面には、第３及び第４水平レール１８ｃ、１８ｄが装着される。

第１〜第４水平レール１８ａ〜１８ｄは外側にレールが形成され、長い棒状を有するようにしてロボットアームの水平移動が可能なようにする。

第１及び第３水平レール１８ａ、１８ｃは上下配列され、第２及び第４水平レール１８ｂ、１８ｄもまた上下配列される状態を有する。

第１〜第４水平レール１８ａ〜１８ｄそれぞれのレールには、第１〜第４水平スライド１９ａ〜１９ｄが前後スライディング可能なように連結される。

第１〜第４水平スライド１９ａ〜１９ｄそれぞれの内側には、第１〜第４ロボットアーム２０ａ〜２０ｄが装着されて、水平スライドの前後スライディング運動に連動してロボットアームが前後スライディング運動するように具現される。

第１〜第４水平スライド１９ａ〜１９ｄと第１〜第４ロボットアーム２０ａ〜２０ｄは、物理的に分離されて具現されてもよく、または一体に結合されてもよく、一体に結合される場合、第１〜第４ロボットアーム２０ａ〜２０ｄは、スライドを兼備して第１〜第４水平レール１８ａ〜１８ｄに装着されてもよい。

第１〜第４ロボットアーム２０ａ〜２０ｄは、格子配列、すなわち第１及び第４ロボットアーム２０ａ、２０ｄ及び第２及び第３ロボットアーム２０ｂ、２０ｃがそれぞれ互いに対角方向に配置され、第１及び第２ロボットアーム２０ａ、２０ｂが上段水平配列、第３及び第４ロボットアーム２０ｃ、２０ｄが下段水平配列される。

第１〜第４ロボットアーム２０ａ〜２０ｄの先端には、第１〜第４ロボットハンド２１ａ〜２１ｄが装着され、第１〜第４ロボットハンド２１ａ〜２１ｄには、搬送対象物が置かれることになる。

第１〜第４ロボットアーム２０ａ〜２０ｄの先端部には、第１〜第４ロボットハンド２１ａ〜２１ｄが装着され得る第１〜第４位置可変ブロック２２ａ〜２２ｄが形成される。

第１〜第４ロボットハンド２１ａ〜２１ｄは、第１〜第４位置可変ブロック２２ａ〜２２ｄに結合され、第１〜第４位置可変ブロック２２ａ〜２２ｄの可変領域に応じて第１〜第４ロボットハンド２１ａ〜２１ｄのそれぞれは左右に位置が可変され得るように構成される。

第１〜第４ロボットアーム２０ａ〜２０ｄはそれぞれ独立して駆動されてもよく、２つずつ又は３つずつ駆動してもよく、また、同時駆動が可能である。

第１ないし第４ロボットアーム２０ａ〜２０ｄは、ｘ軸方向の水平直線運動ｘ、ｙ軸方向の垂直直線運動ｙ、ｚ軸方向の水平直線運動ｚ、及び回転運動θを、同時又は個別的に駆動してもよい。

ｘ軸方向の水平直線運動ｘは、スライドベース１２とレール１４の結合によってスライドベース１２のｘ軸方向に往復運動をすることによって具現が可能であり、ｙ軸方向の垂直直線運動ｙは、垂直体１６を基準として上下段垂直スライド１７ａ、１７ｂがｙ軸方向に上下垂直運動を可能にし、ｚ軸方向の水平直線運動は、第１〜第４水平レール１８ａ〜１８ｄ及び第１〜第４水平スライド１９ａ〜１９ｄを基準として第１〜第４ロボットアーム２０ａ〜２０ｄがｚ軸方向に水平駆動することによって可能であり、回転運動θは、回転体１５の回転中心軸を基準として垂直体１６が３６０度回転運動するようになる。

第１〜第４ロボットアーム２０ａ〜２０ｄの配列は、格子配列、すなわち「ロ」状に配列されて、搬送物の同時搬送及び積載が可能なように構成される。

第１〜第４ロボットアーム２０ａ〜２０ｄの配列に応じて、４個の搬送物を同時又は個別搬送及び積載が可能であるが、工程によって何れか一つ又は二つのロボットアームの駆動なしに３つのロボットアーム又は２つのロボットアームの駆動によって３個の搬送物又は２個の搬送物の同時搬送又は個別積載が可能である。

また、第１〜第４ロボットアーム２０ａ〜２０ｄの何れか一つのロボットアームを構成させずに、３つのロボットアームを構成させることもできるだろう。

図５は、本発明の一実施形態による４つのロボットアームの可変ハンドを備えた搬送ロボットのロボットハンドの水平位置可変動作を示した状態図である。

図５は、４つのロボットアーム２０ａ〜２０ｄが前方方向に前進した状態において、第１〜第４ロボットハンド２１ａ〜２１ｄが最大幅で可変された時と最小幅で可変された時とを示している。

（Ａ）の場合は、第１〜第４ロボットハンド２１ａ〜２１ｄが前方方向に前進した状態で最大幅で両側に広がった時の状態図であり、（Ｂ）の場合は、第１〜第４ロボットハンド２１ａ〜２１ｄが前方方向に前進した状態で最小幅に狭まった時の状態図を示している。

４つのロボットハンド２１ａ〜２１ｄの可変範囲は、第１〜第４位置可変ブロック２２ａ〜２２ｄの可変範囲内で可能であり、ロボットハンド２１ａ〜２１ｄそれぞれは、位置可変ブロック２２ａ〜２２ｄ内でスライディング可能なようにレール結合されてもよい。

第１〜第４位置可変ブロック２２ａ〜２２ｄは、第１〜第４ロボットアーム２０ａ〜２０ｄ内部に形成され、第１〜第４ロボットアーム２０ａ〜２０ｄの先端面に開口部を有する。

開口部側は、第１〜第４ロボットハンド２１ａ〜２１ｄが結合のために挿入される部分である。

位置可変ブロック２２ａ〜２２ｄとロボットハンド２１ａ〜２１ｄとがレール結合されるために、位置可変ブロック２２ａ、２２ｃは内部に第１及び第３位置可変レール２４ａ、２４ｃが形成され、第１及び第３位置可変レール２４ａ、２４ｃそれぞれにレール結合される第１及び第３可変スライド２３ａ、２３ｃがロボットハンド２１ａ、２１ｃ先端部に装着される。

第２、第４位置可変レール及び第２、第４可変スライドも、第１、第３可変レール２４ａ、２４ｃ及び第１、第３可変スライド２３ａ、２３ｃと同様に形成される。

好ましくは、第１及び第３可変スライド２３ａ、２３ｃは、互いに向かい合う方向に形成され、第２及び第４可変スライドも互いに向かい合う方向に形成されて、上下対称構造を成すように具現される。

図１〜図５で示したように、本発明のの一実施形態に係る搬送ロボット１０は、４つのロボットアームが水平方向に直線運動をして搬送物（ディスプレイパネルが代表的と言える）４個の同時移送が可能であり、一定の上下ピッチで構成されている工程装備又はカセット内部の搬送物４個の同時移送が可能であり、また、一定の左右ピッチで構成されている工程装備又はカセット内部の搬送物４個の同時移送が可能となる。

これは、インライン工程において大量搬送物の移送が可能であり、工程装備又はカセットの各ピッチ別の対応が可能であり、ロボットのセッティング時間を短縮させることによって工程効率を極大化させられるようになる。

図６は、本発明の一実施形態による４つのロボットアームの可変ハンドを備えた搬送ロボットの第１ロボットアームの水平前進状態図であり、図７は、本発明の一実施形態による４つのロボットアームの可変ハンドを備えた搬送ロボットの第１及び第２ロボットアームの水平前進状態図であり、図８は、本発明の一実施形態による４つのロボットアームの可変ハンドを備えた搬送ロボットの第１〜第３ロボットアームの水平前進状態図であり、図９は、本発明の一実施形態による４つのロボットアームの可変ハンドを備えた搬送ロボットの第１〜第４ロボットアームの水平前進状態図である。

図６を参照すると、第１ロボットアーム２０ａは、第１水平レール１８ａを基準として前進方向に水平移動されてもよく（ｚ軸方向）、第１ロボットハンド２１ａは、第１ロボットアーム２０ａに装着されて同時にｚ軸方向に運動し、また、第１ロボットアーム２０ａ先端に形成された第１位置可変ブロック２２ａの範囲内で左右位置が可変され得る状態に置かれるようになる。

図７を参照すると、第１ロボットアーム２０ａとともに第２ロボットアーム２０ｂは、第２水平レール１８ｂを基準として前進方向に水平移動されてもよく（ｚ軸方向）、第２ロボットハンド２１ｂは、第２ロボットアーム２０ｂに装着されて同時にｚ軸方向に運動し、また、第２ロボットアーム２０ｂ先端に形成された第２位置可変ブロック２２ｂの範囲内で左右位置が可変され得る状態に置かれるようになる。

図８及び図９を参照すると、第１及び第２ロボットアーム２０ａ、２０ｂと同様に、第３及び第４ロボットアーム２０ｃ、２０ｄも第３及び第４水平レール１８ｃ、１８ｄを基準として前進方向に水平移動してもよく（ｚ軸方向）、第３及び第４ロボットハンド２１ｃ、２１ｄは、第３及び第４ロボットアーム２０ｃ、２０ｄに装着されて同時にｚ軸方向に運動し、また、第３及び第４位置可変ブロック２２ｃ、２２ｄの範囲内で左右位置が可変され得る状態に置かれるようになる。

以上、添付された図面を参照して本発明の好ましい実施形態を説明したが、上述した本発明の技術的構成は、本発明に属する技術分野の当業者が、本発明のその技術的思想や必須的特徴を変更せずに、他の具体的な形態で実施され得ることが理解できるだろう。それゆえに、以上において上述した実施形態は、全ての面で例示的なものであり、限定的なものでないことと理解されなければならず、本発明の範囲は、上記詳細な説明よりは後述する特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲の意味及び範囲、そしてその等価概念から導出される全ての変更又は変形された形態が、本発明の範囲に含まれるものと解釈されなければならない。

１０ 搬送ロボット
１１ ベースフレーム
１２ スライドベース
１３ レールボックス
１４ レール
１５ 回転体
１６ 垂直体
１７ａ、１７ｂ 垂直スライド
１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄ 水平レール
１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ 水平スライド
２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ ロボットアーム
２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄ ロボットハンド
２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ 位置可変ブロック

Claims (14)

1. ベースフレームと、
   前記ベースフレーム上に配置されているスライドベースと、
   前記スライドベース上に回転中心軸が配置されている回転体と、
   前記回転体の先端上に配置されている垂直体と、
   前記垂直体の一側面に配置されている垂直スライドと、
   前記回転体上に配置されている第１のロボットアームと、
   前記回転体上において前記第１のロボットアームと水平に配置されている第２のロボットアームと、
   前記第１のロボットアームの開口部から第１の方向に延設されている第１のロボットハンドと、
   前記第２のロボットアームの開口部から前記第１の方向に延設されている第２のロボットハンドと、を有し、
   前記ベースフレームは、水平方向に延設されている第１のレールを介して前記スライドベースと連結され、
   前記垂直体は、垂直方向に延設されている第２のレールを介して前記垂直スライドと連結され、
   前記垂直スライドは、前記第１の方向に延設されている第３のレールを介して前記第１のロボットアームと連結され、
   前記垂直スライドは、前記第１の方向に延設されている第４のレールを介して前記第２のロボットアームと連結され、
   前記スライドベース、前記回転体、前記垂直体、前記垂直スライド、前記第１のロボットアーム及び前記第２のロボットアーム、並びに前記第１のロボットハンド及び前記第２のロボットハンドは、前記第１のレールに沿った第１の水平移動が可能であり、
   前記回転体、前記垂直体、前記垂直スライド、前記第１のロボットアーム及び前記第２のロボットアーム、並びに前記第１のロボットハンド及び前記第２のロボットハンドは、前記回転中心軸を基準とした回転が可能であり、
   前記垂直スライド、前記第１のロボットアーム及び前記第２のロボットアーム、並びに前記第１のロボットハンド及び前記第２のロボットハンドは、前記第２のレールに沿った垂直移動が可能であり、
   前記第１のロボットアーム及び前記第１のロボットハンドは、前記第３のレールに沿った第２の水平移動が可能であり、
   前記第２のロボットアーム及び前記第２のロボットハンドは、前記第４のレールに沿った第３の水平移動が可能である搬送ロボット。
2. ベースフレームと、
   前記ベースフレーム上に配置されているスライドベースと、
   前記スライドベース上に回転中心軸が配置されている回転体と、
   前記回転体の先端上に配置されている垂直体と、
   前記垂直体の一側面に配置されている垂直スライドと、
   前記回転体上に配置されている第１のロボットアームと、
   前記回転体上において前記第１のロボットアームと水平に配置されている第２のロボットアームと、
   前記第１のロボットアームの開口部から第１の方向に延設されている第１のロボットハンドと、
   前記第２のロボットアームの開口部から前記第１の方向に延設されている第２のロボットハンドと、を有し、
   前記スライドベース、前記回転体、前記垂直体、前記垂直スライド、前記第１のロボットアーム及び前記第２のロボットアーム、並びに前記第１のロボットハンド及び前記第２のロボットハンドは、前記ベースフレームが固定された状態で、第１の水平移動が可能であり、
   前記回転体、前記垂直体、前記垂直スライド、前記第１のロボットアーム及び前記第２のロボットアーム、並びに前記第１のロボットハンド及び前記第２のロボットハンドは、前記ベースフレーム及び前記スライドベースが固定された状態で、前記回転中心軸を基準とした回転が可能であり、
   前記垂直スライド、前記第１のロボットアーム及び前記第２のロボットアーム、並びに前記第１のロボットハンド及び前記第２のロボットハンドは、前記ベースフレーム、前記スライドベース、前記回転体、及び前記垂直体が固定された状態で、垂直移動が可能であり、
   前記第１のロボットアーム及び前記第１のロボットハンドは、前記ベースフレーム、前記スライドベース、前記回転体、前記垂直体、前記垂直スライド、前記第２のロボットアーム、及び前記第２のロボットハンドが固定された状態で、前記第１の方向への第２の水平移動が可能であり、
   前記第２のロボットアーム及び前記第２のロボットハンドは、前記ベースフレーム、前記スライドベース、前記回転体、前記垂直体、前記垂直スライド、前記第１のロボットアーム、及び前記第１のロボットハンドが固定された状態で、前記第１の方向への第３の水平移動が可能である搬送ロボット。
3. 前記第１のロボットアームの開口部内に配置され、前記第１のロボットハンドの先端部と結合されている第１の位置可変ブロックと、
   前記第２のロボットアームの開口部内に配置され、前記第２のロボットハンドの先端部と結合されている第２の位置可変ブロックと、を有し、
   前記第１のロボットハンド及び前記第２のロボットハンドは、間隔が可変である請求項１又は請求項２に記載の搬送ロボット。
4. 前記回転体と前記第１のロボットアームの間に配置されている第３のロボットアームと、
   前記回転体と前記第２のロボットアームの間において前記第３のロボットアームと水平に配置されている第４のロボットアームと、
   前記第３のロボットアームの開口部から前記第１の方向に延設されている第３のロボットハンドと、
   前記第４のロボットアームの開口部から前記第１の方向に延設されている第４のロボットハンドと、を有し、
   前記垂直スライドは、
   前記第１の方向に延設されている第５のレールを介して前記第３のロボットアームと連結され、且つ
   前記第１の方向に延設されている第６のレールを介して前記第４のロボットアームと連結され、
   前記第３のロボットアーム及び前記第４のロボットアーム並びに前記第３のロボットハンド及び前記第４のロボットハンドは、
   前記スライドベース、前記回転体、前記垂直体、前記垂直スライド、前記第１のロボットアーム及び前記第２のロボットアーム、並びに前記第１のロボットハンド及び前記第２のロボットハンドと共に、前記第１の水平移動が可能であり、
   前記回転体、前記垂直体、前記垂直スライド、前記第１のロボットアーム及び前記第２のロボットアーム、並びに前記第１のロボットハンド及び前記第２のロボットハンドと共に、前記回転が可能であり、且つ
   前記垂直スライド、前記第１のロボットアーム及び前記第２のロボットアーム、並びに前記第１のロボットハンド及び前記第２のロボットハンドと共に、前記垂直移動が可能であり、
   前記第３のロボットアーム及び前記第３のロボットハンドは、前記第５のレールに沿った第４の水平移動が可能であり、
   前記第４のロボットアーム及び前記第４のロボットハンドは、前記第６のレールに沿った第５の水平移動が可能である請求項１に記載の搬送ロボット。
5. 前記回転体と前記第１のロボットアームの間に配置されている第３のロボットアームと、
   前記回転体と前記第２のロボットアームの間において前記第３のロボットアームと水平に配置されている第４のロボットアームと、
   前記第３のロボットアームの開口部から前記第１の方向に延設されている第３のロボットハンドと、
   前記第４のロボットアームの開口部から前記第１の方向に延設されている第４のロボットハンドと、を有し、
   前記第３のロボットアーム及び前記第４のロボットアーム並びに前記第３のロボットハンド及び前記第４のロボットハンドは、
   前記ベースフレームが固定された状態で、前記スライドベース、前記回転体、前記垂直体、前記垂直スライド、前記第１のロボットアーム及び前記第２のロボットアーム、並びに前記第１のロボットハンド及び前記第２のロボットハンドと共に、前記第１の水平移動が可能であり、
   前記ベースフレーム及び前記スライドベースが固定された状態で、前記回転体、前記垂直体、前記垂直スライド、前記第１のロボットアーム及び前記第２のロボットアーム、並びに前記第１のロボットハンド及び前記第２のロボットハンドと共に、前記回転が可能であり、且つ
   前記ベースフレーム、前記スライドベース、前記回転体、及び前記垂直体が固定された状態で、前記垂直スライド、前記第１のロボットアーム及び前記第２のロボットアーム、並びに前記第１のロボットハンド及び前記第２のロボットハンドと共に、前記垂直移動が可能であり、
   前記第３のロボットアーム及び前記第３のロボットハンドは、前記ベースフレーム、前記スライドベース、前記回転体、前記垂直体、前記垂直スライド、前記第１のロボットアーム、前記第２のロボットアーム、前記第４のロボットアーム、前記第１のロボットハンド、前記第２のロボットハンド、及び前記第４のロボットハンドが固定された状態で、前記第１の方向への第４の水平移動が可能であり、
   前記第４のロボットアーム及び前記第４のロボットハンドは、前記ベースフレーム、前記スライドベース、前記回転体、前記垂直体、前記垂直スライド、前記第１のロボットアーム乃至前記第３のロボットアーム、及び前記第１のロボットハンド乃至前記第３のロボットハンドが固定された状態で、前記第１の方向への第５の水平移動が可能である請求項２に記載の搬送ロボット。
6. 前記第１のロボットアームの開口部内に配置され、前記第１のロボットハンドの先端部と結合されている第１の位置可変ブロックと、
   前記第２のロボットアームの開口部内に配置され、前記第２のロボットハンドの先端部と結合されている第２の位置可変ブロックと、
   前記第３のロボットアームの開口部内に配置され、前記第３のロボットハンドの先端部と結合されている第３の位置可変ブロックと、
   前記第４のロボットアームの開口部内に配置され、前記第４のロボットハンドの先端部と結合されている第４の位置可変ブロックと、を有し、
   前記第１のロボットハンド及び前記第２のロボットハンドは、間隔が可変であり、
   前記第３のロボットハンド及び前記第４のロボットハンドは、間隔が可変である請求項４又は請求項５に記載の搬送ロボット。
7. 前記第１のロボットアームに装着されている第１の水平スライドと、
   前記第２のロボットアームに装着されている第２の水平スライドと、を有し、
   前記第１のロボットアーム及び前記第１のロボットハンドは、前記第１の水平スライドのスライディング運動に連動し、
   前記第２のロボットアーム及び前記第２のロボットハンドは、前記第２の水平スライドのスライディング運動に連動する請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の搬送ロボット。
8. 前記第１のロボットアームに装着されている第１の水平スライドと、
   前記第２のロボットアームに装着されている第２の水平スライドと、
   前記第３のロボットアームに装着されている第３の水平スライドと、
   前記第４のロボットアームに装着されている第４の水平スライドと、を有し、
   前記第１のロボットアーム及び前記第１のロボットハンドは、前記第１の水平スライドのスライディング運動に連動し、
   前記第２のロボットアーム及び前記第２のロボットハンドは、前記第２の水平スライドのスライディング運動に連動し、
   前記第３のロボットアーム及び前記第３のロボットハンドは、前記第３の水平スライドのスライディング運動に連動し、
   前記第４のロボットアーム及び前記第４のロボットハンドは、前記第４の水平スライドのスライディング運動に連動する請求項４乃至請求項６のいずれか一項に記載の搬送ロボット。
9. 前記第２の水平移動及び前記第３の水平移動は、同時駆動が可能である請求項１乃至請求項３及び請求項７のいずれか一項に記載の搬送ロボット。
10. 前記第２の水平移動乃至前記第５の水平移動の少なくとも２つは、同時駆動が可能である請求項４乃至請求項６及び請求項８のいずれか一項に記載の搬送ロボット。
11. 前記第１の水平移動乃至前記第３の水平移動、前記回転、及び前記垂直移動の少なくとも２つは、同時駆動が可能である請求項１乃至請求項３及び請求項７のいずれか一項に記載の搬送ロボット。
12. 前記第１の水平移動乃至前記第５の水平移動、前記回転、及び前記垂直移動の少なくとも２つは、同時駆動が可能である請求項４乃至請求項６及び請求項８のいずれか一項に記載の搬送ロボット。
13. 前記回転においては、３６０度回転が可能である請求項１乃至請求項１２のいずれか一項に記載の搬送ロボット。
14. 前記ベースフレームの第１の側端上に配置されている第１のレールボックスと、
    前記ベースフレームの第２の側端上に配置されている第２のレールボックスと、を有し、
    前記スライドベースは、前記第１のレールボックスと前記第２のレールボックスの間に配置されている請求項１乃至請求項１３のいずれか一項に記載の搬送ロボット。

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