JP2001232536A - 移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搭載機器類の設置スペースを確保すると共
に、ストッカ内における走行方向両端及び下部に生じる
デッドスペースをできるだけ小さくすることができる移
載装置を提供する。 【解決手段】 ロボットアーム３０のハンド部３１で把
持した物品を走行方向両側面に配置した搬送位置７間で
移載する移載装置であって、走行台車と、該走行台車に
昇降可能に設置された昇降可動部２２と、該昇降可動部
２２に設置され先端にハンド部３１を有する３軸のロボ
ットアーム３０とを具備し、ロボットアーム３０の作動
領域外に搭載物設置スペースを形成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ストッカの中で物
品を搬送して棚やポートに移載する移載装置に係り、特
に、クリーンルームのようにスペースの有効利用が求め
られる場所に適した移載装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば半導体の製造を行うクリーンル
ームにおいては、移載ロボットを搭載した無人の搬送
車、すなわち移載装置によりウエーハカセット（ウエー
ハを多数収納する容器）の搬送を行っている。このよう
な移載装置の移載ロボットには、従来より二つの関節で
連結された２軸のロボットアームが使用され、該ロボッ
トアーム先端にはウエーハカセットのような物品を把持
するためのグリップ機構を備えたハンド部が取り付けら
れている。

【０００３】図８及び図９は従来の移載装置を示したも
ので、図中の符号１は移載装置、２は走行台車、３は昇
降ベース、４は走行用モータ、５は昇降用モータ、６は
昇降コラム、７は棚及びポートなどストッカ内に設けら
れた搬送位置、１０はロボットアーム、１１はハンド部
である。この移載装置１では、走行台車２上に昇降ベー
ス３が昇降可能に設置されている。昇降ベース３にはロ
ボットアーム１０が取り付けられ、該ロボットアーム１
０は、走行台車２と共に走行移動でき、さらに、走行台
車２に対し昇降ベース３と共に昇降できるようになって
いる。

【０００４】走行台車２は、走行用モータ４を駆動源と
する図示省略の駆動機構を備えており、走行用モータ４
を駆動することにより、図８に白抜矢印で示す走行方向
に移動することができる。また、昇降ベース３は、昇降
用モータ５を駆動源とする図示省略の昇降機構を備えて
おり、昇降用モータ５を駆動することにより、図９に白
抜矢印で示す上下方向で昇降コラム６に沿って昇降する
ことができる。なお、図示の従来例では、走行台車２に
３本の昇降コラム６が固定設置されており、これらの昇
降コラム６は走行台車２と共に走行移動するようになっ
ている。

【０００５】ロボットアーム１０は、昇降ベース３に対
して第１軸１２を中心に水平面上を旋回する第１アーム
１３と、第１アーム１３の先端部付近に第２軸１４を介
して接続され、該第２軸１４を中心に水平面上を旋回す
る第２アーム１５とを備えた２軸構成である。第２アー
ム１５の先端部付近には、ハンド軸１１ａを中心に水平
面上を旋回可能なハンド部１１が取り付けられている。
なお、このロボットアーム１０は、図示省略の伸縮軸モ
ータ、旋回軸モータ及びタイミングベルトを備えたスカ
ラロボットであり、伸縮軸モータを回すことによりタイ
ミングベルトで結合した平行リンクの原理により直進動
作し、旋回軸モータを回すことにより旋回動作するよう
になっている。

【０００６】このように構成された移載装置１は、把持
する物品が置かれている搬送位置７の正面に移動するた
め走行台車２を所定の位置まで走行させ、続いて、昇降
ベース３を所定の高さまで昇降させて、ロボットアーム
１０を所望の搬送位置７正面に到達させる。なお、図９
に実線で表示したロボットアーム１０は、各アームを小
さく折曲した移動時の状態を示している。この後、ロボ
ットアーム１０の駆動モータを作動させ、図９に想像線
で示すようにハンド部１１まで直線状に伸ばし、所望の
搬送位置７にある物品を先端のハンド部１１で把持す
る。そして、各アームを移動時の状態に折曲した後、再
度走行及び昇降させることでハンド部１１に把持した物
品を所望の搬送位置７正面まで搬送する。こうして搬送
された物品は、ロボットアーム１０を搬送位置７に向け
て再度直線状に伸ばし、ハンド部１１による把持を解除
すことで所望の搬送位置７に移載される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の移載装置は、走行方向の両側に存在する壁面部の全
面を上下左右に並べて多数配置される搬送位置７として
有効利用できないため、ストッカ内に大きなデッドスペ
ースが生じるという問題を有している。これは、走行用
モータ４及び図示省略の駆動機構（減速機等）、昇降用
モータ５及び図示省略の駆動機構の高さが高いため、ロ
ボットアーム１０の動作領域においてその下端と干渉す
るのを防止した配置を採用しているためである。すなわ
ち、昇降ベース３に設置される走行用モータ４、昇降用
モータ５及び駆動機構を走行方向両端部側へずらすこと
で対応しているため、ロボットアーム１０の旋回中心
（第１軸１２）から走行台車２の両端までの寸法が大き
くなり、従って、搬送位置７の正面で物品を把持する従
来のロボットアーム１０を搭載した移載装置では、走行
方向両端に形成されるデッドスペース８の長さＬが大き
くなるのは避けられないのである。

【０００８】また、上述した従来の移載装置において、
走行方向両端のデッドスペースを小さくするため走行台
車２の走行方向の寸法を小さく抑えると、昇降方向の最
下段に位置する搬送位置７が高くなり、従って、下部に
形成されるデッドスペース９の高さＨも大きくなるとい
う問題が生じてくる。これは、走行用モータ４及び図示
省略の駆動機構（減速機等）、昇降用モータ５及び図示
省略の駆動機構の高さが高いため、ロボットアーム１０
の動作領域においてその下端と干渉するのを防止した配
置を採用する必要があるためである。すなわち、直線状
に伸びて搬送位置７の正面から物品を処理する従来のロ
ボットアーム１０では、動作可能な最低高さが走行用モ
ータ４等によって制約を受けるため、利用できる壁面の
高さが制限されるのである。また、走行台車２の走行方
向寸法を小さくすると、制御装置やファン等の付属搭載
機器についても設置するスペースを確保できなくなるの
で、これらについては走行台車の底部に設置スペースを
設けることが考えられる。しかし、このような配置は走
行台車の地上高を高くし、結果として有効に利用できる
搬送位置の最下段を高くすることになるので、下部のデ
ッドスペースを増すことになる。

【０００９】上述したように、ストッカ内のデッドスペ
ース８，９が大きいと、スペース効率が悪くなる。特
に、半導体用ストッカのようにクリーンルーム内に設置
されるものでは、クリーンルームに関するイニシャルコ
スト及びランニングコストの面で不利になるため、スペ
ース効率を向上させることができる移載装置の開発が望
まれる。本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、搭載機器類の設置スペー
スを確保すると共に、ストッカ内における走行方向両端
および下部に生じるデッドスペースをできるだけ小さく
することができる移載装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため以下の手段を採用した。請求項１記載の移載
装置は、ボットアーム先端のハンド部で把持した物品を
少なくとも走行方向両側面に配置した搬送位置間で移載
する移載装置であって、走行台車と、該走行台車に昇降
可能に設置された昇降可動部と、該昇降可動部に設置さ
れ先端にハンド部を有する３軸のロボットアームとを具
備し、前記ロボットアームの作動領域外に搭載物設置ス
ペースを形成したことを特徴とするものである。

【００１１】このような移載装置によれば、３軸のロボ
ットアームを採用したことにより、停止位置正面及び隣
接する搬送位置から物品を把持して取り出し、また、停
止位置正面及び隣接する搬送位置まで搬送して移載する
ことが可能になるため、走行方向両端におけるデッドス
ペースを最小限に抑えることができる。さらに、ロボッ
トアームの作動領域外に搭載物設置スペースを形成した
ので、昇降可能範囲を大きくすることが可能となり、昇
降方向のデッドスペースについても最小限に抑えること
ができる。すなわち、停止位置正面に隣接する搬送位置
に物品を移載できるので、走行方向両端に向けて延長し
てロボットアームの作動と干渉しない領域を形成し、搭
載物設置スペースとして利用することが可能になる。こ
の場合、前記搭載物設置スペースは、前記走行台車を走
行方向に延長して形成するのが好ましい。

【００１２】請求項３記載の移載装置は、ロボットアー
ム先端のハンド部で把持した物品を少なくとも走行方向
両側面に配置した搬送位置間で移載する移載装置であっ
て、走行方向両端付近に設置した柱部材に沿って昇降す
る走行路と、該走行路に沿って走行する走行台車と、該
走行台車に設置され先端にハンド部を有する３軸のロボ
ットアームとを具備して構成したことを特徴とするもの
である。

【００１３】このような移載装置によれば、３軸のロボ
ットアームを採用したことにより、停止位置正面に隣接
する搬送位置から物品を把持して取り出し、また、停止
位置正面に隣接する搬送位置まで搬送して移載すること
が可能になるため、走行方向両端におけるデッドスペー
スを最小限に抑えることができる。さらに、走行路を昇
降させる駆動機構を走行台車に設置する必要がないた
め、走行台車の設計自由度が増して小型化を可能にす
る。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る移載装置の一
実施形態を図面に基づいて説明する。図１ないし図３は
第１の実施形態を示すもので、図中の符号７は棚及びポ
ートなどストッカ内に設けられた搬送位置、２０は移載
装置、２１は走行台車、２２は昇降可動部、２３は走行
用モータ、２４は昇降用モータ、２５は昇降コラム、３
０はロボットアーム、３１はハンド部である。この移載
装置２０では、走行用モータ２３を駆動源とし、図示省
略の走行機構によって白抜矢印で示す走行方向に走行可
能な走行台車２１上に３本の昇降コラム２５が固定設置
されている。図示の例では、走行方向の一方の端部（右
側）近傍に設置された一対の昇降コラム２５と、走行方
向の他端部（左側）近傍に設置された昇降コラム２５と
により構成されている。また、この走行台車２１には、
走行用モータ２３及び昇降用モータ２４が設置されてい
る。走行用モータ２３及び昇降用モータ２４は、走行方
向の両端部に配置された昇降コラム２５に隣接して内側
（中央側）に配置されている。

【００１５】昇降可動部２２は、一対の昇降アーム４
１，４１によって支持され、昇降コラム２５に沿って昇
降可能である。この昇降可動部２２は、実質的にロボッ
トアーム３０のみを固定設置して、走行台車２１の上部
に配置されている。

【００１６】昇降可動部２２の中央部付近にはロボット
アーム３０が設置されている。このロボットアーム３０
は、昇降可動部２２に固定された円筒形のベース３２に
対して第１軸３３を中心に水平面上を旋回する第１リン
ク（アーム）３４と、第１リンク３４の端部付近に第２
軸３５を介して接続され、該第２軸３５を中心に水平面
上を旋回可能な第２リンク（アーム）３６と、該第２リ
ンク３６の端部付近に第３軸３７を介して接続され、該
第３軸３７を中心に水平面上を旋回可能な第３リンク
（アーム）３８とを備えた３軸構成であり、第３リンク
３８の先端部付近には、ハンド軸３１ａを中心に水平面
上を旋回可能なハンド部３１が取り付けられている。第
１軸３３はベース３２の中心部に設置され、概ね楕円柱
形状とした第２リンク３６の周辺端部近傍と連結されて
いる。また、ベース３２の内部には、第１軸３３を回転
駆動して第２リンク３６を旋回させる図示省略の駆動モ
ータを備えている。

【００１７】第２軸３５は第１軸３３と偏心して配置さ
れており、両軸３３，３５間の距離が第１リンク３４の
アーム長さとなる。図示を省略した第２軸３５の駆動モ
ータは第１リンク３４の内部に設置され、同駆動モータ
を作動させることにより、第２リンク３６を第１リンク
３４に対して旋回させることができる。なお、ハンド部
３１は、図示省略のタイミングプーリ及びタイミングベ
ルトを介して連結されており、第２軸３５と回転自在に
取り付けられたタイミングプーリは第１リンク３４のフ
レームと固定され、ハンド部３１に連結しているタイミ
ングベルトプーリの元のプーリは第１リンク３４に固定
されており、第２リンク３６、第３リンク３８が旋回し
ても同じ位置を保持する。

【００１８】第２リンク３６の先端部近傍には、第３軸
３７を介して第３リンク３８が連結されている。第３軸
３７は駆動モータ３９に連結され、該駆動モータ３９の
作動により、第３リンク３８を第２リンク３６に対して
旋回させることができる。また、第３軸３７の外周部に
は、駆動モータ３９の作動とは関係なくフリーに回動可
能な図示省略のタイミングプーリが設けられている。こ
のタイミングプーリは、前述した第２リンク３６の旋回
用モータから第２リンク３６内を通るタイミングベルト
を介して駆動力を受け、さらに第３リンク３８内を通る
タイミングベルトを介して後述するハンド軸３１ａに伝
達する。第３リンク３８の先端部に取り付けられたハン
ド部３１は、移送する物品に適した把持機構を備えてお
り、ハンド軸３１ａを中心に第３リンク３８に対し旋回
することができる。

【００１９】上述した構成のロボットアーム３０は、そ
の作動領域において走行用モータ２３や昇降用モータ２
４などの搭載物と干渉しないように配置されている。本
実施形態の場合、旋回動作及び昇降するロボットアーム
３０と干渉しない作動領域外に搭載物の設置スペースを
形成している。具体的には、昇降可動部２２の中央にロ
ボットアーム３０を配置し、その走行方向両側に走行用
モータ２３、昇降用モータ２４及び昇降コラム２５など
の搭載物設置スペースを設けてある。この搭載物設置ス
ペースは、走行台車２１を走行方向両側に延長してロボ
ットアーム３０の両側に形成したものである。すなわ
ち、走行台車２１を走行方向に長くしてできたスペース
に搭載物を設置し、動作するロボットアーム３０で最も
低い位置にある第３軸３７の駆動モータ３９との干渉、
そしてロボットアーム３０の中心から最も遠い位置まで
動作する第３リンク３８及びハンド部３１との干渉が生
じないように、高さや配置を考慮している。なお、制御
装置やファン等の付属搭載物についても、この搭載物設
置スペースを使用する。

【００２０】図３に示した例では、走行用モータ２３及
び昇降用モータ２４が、第２リンク３６と共に旋回する
駆動モータ３９と干渉しないようベース３２から適当な
距離をもって、さらに、旋回する第３リンク３８の作動
領域（高さ）より低い位置に設置されている。なお、昇
降コラム２５については、図１に示すように、走行用モ
ータ２３及び昇降用モータ２４のさらに外側に配置され
ているので、第３リンク３８及びハンド部３１のと干渉
することはない。

【００２１】続いて、図４ないし図６に基づいて、上述
したロボットアーム３０の動作を説明する。図４は、停
止位置正面の搬送位置７で物品を移載する場合の動作を
示したものであり、走行方向両端の搬送位置以外で物品
を移載する場合の動作となる。図４（ａ）は走行及び昇
降時の状態であり、第２リンク３６、第３リンク３８及
びハンド部３１は小さく折曲されてベース３２上に位置
している。このような状態で走行台車２１が走行し、さ
らに昇降可動部２２が昇降することで、走行方向両側面
に配置された搬送位置７との干渉が防止され、走行安定
性を増すことができる。図４（ｂ）は停止位置正面の搬
送位置７にある物品Ｗを把持する状態であり、第２リン
ク３６、第３リンク３８及びハンド部３１が作動するこ
とにより、ハンド部３１は、（ａ）の折曲状態から第１
軸３３を通る直線上を矢印方向へ移動している。このよ
うなハンド部３１の直線移動は、図６（ａ）に実線及び
想像線で示されている。

【００２２】図４（ｃ）は把持した物品Ｗを搬送する状
態を示している。この状態では、ハンド部３１が上述し
た（ａ）から（ｂ）の動作と逆方向に直線的に移動し、
物品Ｗを把持したまま（ａ）と同様に折曲された走行及
び昇降状態に戻る。そして、ロボットアーム３０がこの
状態で物品Ｗを把持したまま、走行台車２１の走行及び
昇降可動部２２の昇降により、所望の搬送位置７正面ま
で移動する。図４（ｄ）は、第１リンク３４が第１軸３
３を中心として１８０度旋回動作した状態を示してい
る。この旋回動作は、物品Ｗを移載する所望の搬送位置
７が、（ｂ）で物品を把持した搬送位置とは反対側の側
面になる場合に必要である。従って、所望の搬送位置７
が同一の側面に存在している場合は、この旋回動作は不
要である。

【００２３】図４（ｅ）は、正面にある搬送位置７に搬
送してきた物品Ｗを移載する動作を示している。この場
合の動作は、基本的には（ｂ）と同様であり、ハンド部
３１が第１軸３３を通る直線上を矢印方向へ移動し、所
定の位置で停止した後、把持を解除して物品Ｗを移載す
る。なお、移載完了後はハンド部３１が逆向きに直線移
動し、小さく折曲された状態となって走行及び昇降可能
になる。以後、このような動作を繰り返し、物品Ｗを移
載する。なお、把持する物品Ｗの置かれた搬送位置７に
よっては、（ｂ）の動作を行う前に、（ｄ）で説明した
ような１８０度の旋回動作を実施する必要がある。

【００２４】続いて、停止位置正面に隣接する搬送位置
７で物品を移載する場合の動作を説明する。この動作
は、特に走行方向両端の搬送位置で物品を移載する場合
に利用されるものである。図５（ａ）は走行及び昇降時
の状態であり、第２リンク３６、第３リンク３８及びハ
ンド部３１は小さく折曲されてベース３２上に位置して
いる。このような状態で走行台車２１が走行し、さらに
昇降可動部２２が昇降することで、走行方向両側面に配
置された搬送位置７との干渉が防止され、走行安定性を
増すことができる。なお、この状態は前述した図４
（ａ）と同様である。図５（ｂ）は、停止位置正面の左
側に隣接する搬送位置７から物品Ｗを把持する準備状態
であり、第３リンク３８が旋回作動して第２リンク３６
及び第３リンク３８が直線となる。この時、第３リンク
３８の先端部にあるハンド部３１は、把持する物品Ｗが
ある搬送位置７の正面に位置している。このようなハン
ド部３１の直線移動（走行方向）は、図６（ｂ）に実線
及び想像線で示されている。

【００２５】図５（ｃ）は、（ｂ）の状態から直線上を
前進したハンド部３１が物品Ｗを把持した状態を示して
いる。この場合のハンド部３１は、第２リンク３６及び
第３リンク３８の作動により搬送位置７まで前進し、所
定位置において物品Ｗを把持する。このようなハンド部
３１の直線移動は、図６（ｃ）に実線及び想像線で示さ
れている。図５（ｄ）は、物品Ｗを把持して搬送位置ま
で後退する状態を示している。この場合、ハンド部３１
が上述した（ｂ）から（ｃ）の動作と逆方向に直線的に
移動し、物品Ｗを把持したまま（ｂ）の準備状態と同様
の状態に戻る。図５（ｅ）は、物品Ｗを把持したまま、
走行・昇降位置まで戻った状態を示している。この時の
動作は、上述した（ａ）から（ｂ）と逆方向となる。ま
た、この状態は上述した図４（ｃ）と同じであり、従っ
て、以後の動作については図４（ｃ）〜（ｅ）と同様で
ある。なお、図６（ａ）〜（ｃ）においては、第２軸３
５の左側へく字状に折曲された状態（ａ）から左側へ、
あるいは左側で直線移動する動作を示しているが、これ
とは逆の状態、すなわち逆く字状に折曲された状態から
右側へ、あるいは右側で直線移動が可能なことはもちろ
んである。

【００２６】このように、ロボットアーム３０は、停止
位置正面の搬送位置７だけでなく、停止位置正面に隣接
する搬送位置７からも物品Ｗを取り出したり移送したり
することができるため、図１に示すように、走行方向に
おけるデッドスペース８Ａの長さＬＡを小さくすること
ができる。また、このような動作が可能になったことに
より、走行台車２１を走行方向に延長して走行用モータ
２３や昇降用モータ２４などの搭載物設置スペースを確
保しても、走行台車２１が長くなったことによるデッド
スペースＬＡの増加を抑制できる。また、搭載物設置ス
ペースを走行台車２１の延長部分に形成できることによ
り、ロボットアーム３０の作動領域を低くすることも可
能になり、結果として最下段のデッドスペース高さを小
さくすることができる。従って、走行方向及び最下段の
デッドスペースを共に小さくすることができるので、ス
トッカ内のスペース効率を向上させることができる。

【００２７】さらに、上述したように、３軸のロボット
アーム３０は多彩な動作が可能になっているので、搬送
位置７の条件によって移載時の動作及び移動距離を短縮
することができる。この結果、移載に要する作業時間が
短縮され、作業効率を向上させることができる。また、
走行台車２１の長さが増したことにより、走行時の安定
性が向上する。そして、このような走行安定性の向上を
利用すれば、移動時の走行速度を増すことも可能にな
る。

【００２８】次に、本発明に係る移載装置の第２の実施
形態を図７に示して説明する。この実施形態では、走行
方向両端付近に柱部材として昇降コラム５１，５１を設
置し、該昇降コラム５１，５１に沿って昇降する走行路
５２を設けてある。この走行路５２は、両端を昇降コラ
ム５１に支持された梁状の部材であり、前述した３軸の
ロボットアーム３０を搭載・設置して走行する走行台車
５３を支持するのに十分な剛性を有している。ここで使
用する走行台車５３は、ロボットアーム３０の他に図示
省略の走行用モータ及び駆動機構を備えている。また、
走行路５２を昇降させる昇降用モータ５４、減速機等の
昇降駆動機構５５及び制御装置５６などは、走行方向両
端の昇降コラム５１基部周辺に設置してあるので、干渉
により走行路５２の昇降及び走行台車５３の走行を妨げ
ることは最小限に抑えられる。

【００２９】このような構成とすれば、上述した第１の
実施形態と同様にロボットアーム３０が動作できるの
で、搬送位置として利用できないデッドスペースが小さ
くなるだけでなく、昇降用モータ５４や昇降機構を設置
する必要がないため、走行台車５１の小型・軽量化が可
能となる。なお、昇降コラム５１の存在により走行台車
５３が移動できない走行方向両端のスペースに付いて
は、上述した図５の動作により移載が可能になる。

【００３０】

【発明の効果】上述した本発明の移載装置によれば、走
行方向両端及び最下段に形成される移載不可能なデッド
スペースを小さくして、ストッカ内のスペース効率を向
上させることができる。このため、特にクリーンルーム
のように環境を維持するのに特別な設備を必要とし、建
設に要するコストや運転・維持に要するコストが大きい
場合であっても、スペースの有効利用によるコストの低
減が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係る移載装置の第１の実施形態を示
す平面図である。

【図２】 図１の移載装置に設置されたロボットアーム
の構成を示す斜視図である。

【図３】 図１に示した移載装置の要部拡大図で、
（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の部分断面正面図であ
る。

【図４】 図２に示したロボットアームが正面の搬送位
置で行う移載動作を示す図で、（ａ）は走行及び昇降時
の状態、（ｂ）は停止位置正面の搬送位置から物品を把
持する状態、（ｃ）は把持した物品を搬送する状態、
（ｄ）は第１リンクを１８０度旋回動作させた状態、
（ｅ）は物品を移載する状態である。

【図５】 図１に示したロボットアームが正面の左側に
隣接する搬送位置で行う移載動作を示す図で、（ａ）は
走行及び昇降時の状態、（ｂ）は停止位置正面の左側に
隣接する搬送位置から物品を把持する準備状態、（ｃ）
は物品を把持した状態、（ｄ）は物品を把持して後退す
る状態、（ｅ）は部ピンを把持して走行・昇降位置まで
戻った状態である。

【図６】 図２に示すロボットアームの直線移動を示す
図で、（ａ）は停止位置正面で走行方向と直交する方向
にハンド部を移動させる直線運動、（ｂ）は走行方向に
ハンド部を移動させる直線運動、（ｃ）は停止位置正面
に隣接する搬送位置で走行方向と直交する方向にハンド
部を移動させる直線運動である。

【図７】 本発明に係る移載装置の第２の実施形態を示
す図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面
図である。

【図８】 従来の移載装置を示す平面図である。

【図９】 図８の側面図である。

【符号の説明】

７ 搬送位置 ２０ 移載装置 ２１，５３ 走行台車 ２２ 昇降可動部 ２３ 走行用モータ ２４ 昇降用モータ ２５，５１ 昇降コラム ３０ ロボットアーム ３１ ハンド部 ３１ａ ハンド軸 ３２ ベース ３３ 第１軸 ３４ 第１リンク（アーム） ３５ 第２軸 ３６ 第２リンク（アーム） ３７ 第３軸 ３８ 第３リンク（アーム） ４１ 昇降アーム ５２ 走行路

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ロボットアーム先端のハンド部で把持
   した物品を少なくとも走行方向両側面に配置した搬送位
   置間で移載する移載装置であって、 走行台車と、該走行台車に昇降可能に設置された昇降可
   動部と、該昇降可動部に設置され先端にハンド部を有す
   る３軸のロボットアームとを具備し、前記ロボットアー
   ムの作動領域外に搭載物設置スペースを形成したことを
   特徴とする移載装置。
2. 【請求項２】 前記搭載物設置スペースが前記走行台
   車を走行方向に延長して形成されたことを特徴とする請
   求項１記載の移載装置。
3. 【請求項３】 ロボットアーム先端のハンド部で把持
   した物品を少なくとも走行方向両側面に配置した搬送位
   置間で移載する移載装置であって、 走行方向両端付近に設置した柱部材に沿って昇降する走
   行路と、該走行路に沿って走行する走行台車と、該走行
   台車に設置され先端にハンド部を有する３軸のロボット
   アームとを具備して構成したことを特徴とする移載装
   置。