KR102227072B1 - 프로브 카드용 나사 체결 장치 및 이를 구비한 프로브 카드 조립장치 - Google Patents

프로브 카드용 나사 체결 장치 및 이를 구비한 프로브 카드 조립장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 프로브 카드용 나사 체결 장치 및 이를 구비한 프로브 카드 조립 장치에 관한 것으로서, 프로브 카드에 체결되는 복수의 나사; 상기 복수의 나사에 접촉되어 상기 복수의 나사와 함께 회전하는 복수의 체결부; 및 복수의 체결부에 회전력을 전달하는 복수의 구동부;를 포함하고, 복수의 구동부는 복수의 구동부 중 적어도 어느 하나가 회전하면 서로 연동되어 동일 방향으로 회전하는 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은 프로브 카드를 조립하는 나사를 순차 체결이 아닌 동시 체결하여 순차 체결 시 발생하는 집중 하중을 해결할 수 있는 효과를 제공한다.

Description

프로브 카드용 나사 체결 장치 및 이를 구비한 프로브 카드 조립장치{APPARATUS FOR FASTENING SCREW OF PROBE CARD AND APPARATUS FOR ASSEMBLING PROBE CARD COMPRISING THE SAME}
본 발명은 프로브 카드용 나사 체결 장치 및 이를 구비한 프로브 카드 조립 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 프로브 카드의 조립에 사용되는 나사를 일괄 체결하는 프로브 카드용 나사 체결 장치 및 이를 구비한 프로브 카드 조립 장치에 관한 것이다.
일반적으로 프로브 카드는 반도체 소자를 웨이퍼 레벨에서 그 결함 유무를 테스트하기 위하여, 웨이퍼와 반도체 소자 검사 장비를 전기적으로 연결시켜서 검사 장비의 전기적 신호를 웨이퍼 상에 형성된 패드에 전달하여 주고, 패드로부터 돌아오는 신호를 반도체 소자의 검사 장비에 전달하기 위한 장치이다.
프로브 카드는 복수의 개의 나사를 사용하여 조립되는데 최근 프로브 카드의 크기와 무게가 증가하고 있고, 이러한 크기와 무게 증가는 종래 방식으로 나사를 순차 체결 시 무게가 분산되지 않고 집중되어 프로브 카드가 무게가 집중된 부분으로 기울어져 조립되는 집중 하중의 문제점이 있다.
이러한 문제점은 나아가 웨이퍼 상에 형성된 패드 일부가 프로브 카드에 접촉되지 않아 테스트가 제대로 이루어지지 않는 문제점이 있다.
대한민국 등록특허 제10-1282439호 (2013년07월04일) 대한민국 공개특허 제10-2007-0016291호 (2007년02월08일) 대한민국 공개특허 제10-2009-0050264호 (2009년05월20일)
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출한 것으로서, 나사를 종래 방식인 순차 조립이 아닌 동시 조립을 통하여 집중 하중의 문제점을 해결하는 프로브 카드용 나사 체결 장치 및 이를 구비한 프로브 카드 조립 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
또한, 스테이지부를 사용함으로써 프로브 카드의 조립 시 평탄도를 높이고, 승강구동부를 사용함으로써 프로브 카드의 조립을 편리하게 할 수 있는 프로브 카드용 나사 체결 장치 및 이를 구비한 프로브 카드 조립 장치를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 프로브 카드에 체결되는 복수의 나사; 상기 복수의 나사에 접촉되어 상기 복수의 나사와 함께 회전하는 복수의 체결부; 및 상기 복수의 체결부에 회전력을 전달하는 복수의 구동부;를 포함하고, 상기 복수의 구동부는 상기 복수의 구동부 중 적어도 어느 하나가 회전하면 서로 연동되어 동일 방향으로 회전하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 복수의 구동부는, 제1 구동부; 및 상기 제1 구동부와 이격 설치된 제2 구동부;를 포함하고, 상기 제1 구동부와 상기 제2 구동부가 동일 방향으로 정회전하도록 상기 제1 구동부의 회전력을 상기 제2 구동부로 전달하는 연동부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 복수의 구동부는, 상기 복수의 구동부와 연동되어 동일 방향으로 회전하는 복수의 보조구동부;를 포함하고, 상기 복수의 보조구동부는, 상기 복수의 보조구동부 중 적어도 어느 하나가 회전하면 서로 연동되어 동일 방향으로 회전하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 복수의 보조구동부는, 제1 보조구동부; 및 상기 제1 보조구동부와 이격 설치된 제2 보조구동부;를 포함하고, 상기 제1 보조구동부와 상기 제2 보조구동부가 동일 방향으로 정회전하도록 상기 제1 보조구동부의 회전력을 상기 제2 보조구동부로 전달하는 연동부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 연동부는 기어로 구성되고, 상기 연동부는 양측에 배치된 제1 구동부 및 제2 구동부가 동일 방향으로 정회전하도록 반대 방향으로 역회전하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 연동부는 타이밍벨트로 구성되고, 상기 연동부는 양측에 배치된 제1 구동부 및 제2 구동부가 동일 방향으로 정회전하도록 동일 방향으로 정회전하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 상기 제2 구동부의 외곽둘레에 치합되어 회전하도록 설치되고, 내주면에 치형이 형성된 원 형상의 제1 회전가이드;를 포함하고, 상기 제1 회전가이드는 상기 제2 구동부와 연동되어 동일 방향으로 회전하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 상기 제2 보조구동부의 외곽둘레에 치합되어 회전하도록 설치되고, 내주면에 치형이 형성된 원 형상의 제2 회전가이드;를 포함하고, 상기 제2 회전가이드는 상기 제2 보조구동부와 연동되어 동일 방향으로 회전하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 체결부 및 상기 구동부는 구동부지지판을 사이에 두고 배치되고, 상기 체결부 및 상기 구동부는 상기 구동부지지판을 관통하는 연결봉에 결합되어 동일 방향으로 회전되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 구동부지지판 및 상기 연결봉 사이에는 베어링이 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 보조구동부의 직경은 상기 구동부의 직경보다 작거나 크게 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 구동부는, 제1 구동부; 상기 제1 구동부와 이격 설치된 제2 구동부; 및 상기 제2 구동부와 이격 설치된 제3 구동부;를 포함하고, 상기 제1 구동부와 상기 제2 구동부가 동일 방향으로 정회전하도록 상기 제1 구동부의 회전력을 상기 제2 구동부로 전달하는 기어로 구성된 제1 연동부; 및 상기 제2 구동부와 상기 제3 구동부가 동일 방향으로 정회전하도록 상기 제2 구동부의 회전력을 상기 제3 구동부로 전달하는 타이밍벨트로 구성된 제2 연동부;를 포함하며, 상기 제2 구동부는, 상기 제1 연동부와 접하는 기어로 구성되는 제1 기어부; 및 상기 제2 연동부와 접하는 기어로 구성되는 제2 기어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 체결부는, 상기 구동부의 하부에 결합되는 통 형상의 몸체부; 상기 몸체부의 하부에 결합되는 돌출 형상의 접촉부; 및 상기 몸체부의 내부에 삽입되고, 상기 접촉부가 탄성을 가지도록 일단은 상기 몸체부에 지지되고 타단은 상기 접촉부의 타단에 접촉되는 스프링;을 포함한다.
본 발명의 제 1 항에 기재된 프로브 카드용 나사 체결 장치를 구비하는 프로브 카드 조립 장치로서, 스테이지부;를 포함하고, 상기 프로브 카드는, 복수의 프로브핀, 공간변환기 및 PCB를 포함하며, 상기 스테이지부는, 상기 복수의 프로브핀이 바닥으로부터 이격하여 위치하는 제1 공간; 상기 공간변환기가 거치되어 위치하는 제2 공간; 및 상기 공간변환기와 상기 PCB 사이에 형성되는 제3 공간;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 제3 공간부는 진공펌프와 연결된 흡기구가 형성된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 제3 공간부는 수평 단면이 원 형상이고, 상부에 PCB가 거치되도록 PCB의 직경보다 작게 형성되어 밀폐되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 제2 공간부의 상기 공간변환기가 거치되는 거치면에는 제1 밀폐부재가 개재되고, 상기 PCB가 거치되는 거치면에는 제2 밀폐부재가 개재되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 1 항에 기재된 프로브 카드용 나사 체결 장치를 구비하는 프로브 카드 조립 장치로서, 승강구동부;를 포함하고, 상기 승강구동부는, 회전가능하게 설치된 레버; 상기 레버의 회전에 따라 회전되는 볼스크류; 및 상기 볼스크류의 회전을 승강 구동으로 변환하는 승강링크;를 포함한다.
본 발명의 상기 승강링크는, 상기 볼스크류의 양단에 각각 설치되어 회전에 의해 서로 반대 방향으로 이송되어 이격거리가 신축되는 한쌍의 이송블럭; 상기 한쌍의 이송블럭에 하단이 힌지결합되어 상방에서 서로 교차하도록 설치된 한쌍의 교차바; 및 상기 한쌍의 교차바의 상단이 힌지결합되어 한쌍의 교차바 사이의 상단 이격거리를 일정하게 유지하는 고정테이블;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 상기 승강구동부가 바닥과 이격되도록 상기 승강구동부 하부에 설치되어 바닥을 지지하는 베이스부; 상기 베이스부의 상부에 수직 길이방향으로 설치되어 상기 프로브 카드용 나사 체결 장치를 지지하는 가이드부;를 포함한다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 프로브 카드를 조립하는 나사를 순차 체결이 아닌 동시 체결하여 순차 체결 시 발생하는 집중 하중을 해결할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 제1 회전가이드는 제2 구동부 및 제5 구동부와 연동되어 회전하면서 구동부 중 어느 하나가 손상되는 경우에도 체결부가 동일한 간격으로 회전하도록 할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 제2 회전가이드는 제1 회전가이드와 마찬가지로 복수의 제2 보조구동부및 제3 보조구동부와 연동되어 회전하면서 보조구동부 중 어느 하나가 손상되는 경우에도 체결부가 동일한 간격으로 회전하도록 하는 효과를 제공한다.
또한, 보조구동부와 구동부의 직경 차이에 따라 동작 환경이 달라지므로 마모 등에 의한 손상이 발생하는 위치가 다르게 됨으로써, 구동부 중 어느 하나가 손상되는 경우에도 보조구동부는 동일한 위치에 손상이 발생하지 않아 체결부가 동일한 간격으로 계속 회전하도록 하는 효과를 제공한다.
또한, 제2 구동부, 제3 구동부 및 제4 구동부는 제1 기어부 및 제2 기어부를 통해 복수의 연동부를 동시에 연동할 수 있게 되는 효과를 제공한다.
또한, 프로브 카드에 체결되는 복수의 나사가 동일 수평선상에 위치하지 않을 경우 접촉부의 일부가 나사에 접촉되지 않도록 접촉부가 탄성지지됨으로써, 복수의 나사에 모두 접촉되는 효과를 제공한다.
또한, 스테이지부를 사용함으로써 프로브 카드의 조립 시 평탄도를 높이고, 승강구동부를 사용함으로써 프로브 카드의 조립을 편리하게 할 수 있는 효과를 제공한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 프로브 카드용 나사 체결 장치 및 이를 구비한 프로브 카드 조립 장치를 나타내는 구성도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 프로브 카드용 나사 체결 장치를 나타내는 분해사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 프로브 카드용 나사 체결 장치의 체결부를 나타내는 구성도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 프로브 카드 조립장치를 나타내는 절단사시도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 프로브 카드용 나사 체결 장치의 동작을 나타내는 구성도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 의한 프로브 카드용 나사 체결 장치의 동작을 나타내는 구성도.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 의한 프로브 카드용 나사 체결 장치의 구동부를 나타내는 구성도.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 프로브 카드용 나사 체결 장치의 구동부를 나타내는 구성도.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 의한 프로브 카드 조립 장치의 분해사시도.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 의한 프로브 카드 조립 장치의 스테이지부를 나타내는 절단사시도.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 의한 프로브 카드 조립 장치의 승강구동부를 나타내는 구성도.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 더욱 상세히 설명한다.
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 프로브 카드에 복수의 나사를 동시에 체결하는 프로브 카드용 나사 체결 장치(100)는, 체결부(110), 구동부지지판(120), 구동부(130), 보조구동부(140), 연동부(150), 커버부(180) 및 핸들부(190)를 포함한다.
체결부(110)는, 프로브 카드에 체결되는 복수의 나사에 접촉되어 복수의 나사와 함께 회전하는 체결수단으로서, 도 3에 나타낸 바와 같이 몸체부(111), 접촉부(112) 및 스프링(113)을 포함한다.
몸체부(111)는, 통 형상의 구조체로서, 구동부(130)로부터 회전력을 전달 받아 구동부(130)와 동일 방향으로 회전한다.
접촉부(112)는, 몸체부(111)의 하부에 결합되는 돌출 형상의 체결부재로서, 프로브 카드에 체결되는 나사에 접촉되어 몸체부(111)로부터 전달받은 회전력을 나사에 전달하게 된다.
스프링(113)은, 몸체부(111)의 내부에 삽입된 탄성부재로서, 접촉부(112)가 탄성을 가지도록 일단은 몸체부(111)에 지지되고 타단은 접촉부(112)의 타단에 접촉된다.
따라서, 프로브 카드(300)에 체결되는 복수의 나사가 동일 수평선상에 위치하지 않을 경우 접촉부(112)의 일부가 나사에 접촉되지 않는 문제점에 있어서, 접촉부(112)가 탄성되어 복수의 나사에 모두 접촉되는 효과가 있다.
구동부지지판(120)은, 구동부(130) 및 보조구동부(140)의 하부를 지지하는 지지부재로서, 도 4에 나타낸 바와 같이 구동부(130) 및 보조구동부(140)가 접하는 면은 평판으로 형성되며, 구동부(130)의 하부를 지지하는 제1 구동부지지판(121) 및 보조구동부(140)의 하부를 지지하는 제2 구동부지지판(122)을 포함한다.
구동부지지판(120)은, 체결부(110) 및 구동부(130)와 구동부(130) 및 보조구동부(140) 사이를 연결하기 위한 복수의 연결홀(123)이 형성된다.
체결부(110), 구동부(130) 및 보조구동부(140)는 연결홀(123)을 관통하는 연결봉(170)에 결합되어 동일 방향으로 회전된다.
이때, 연결봉(170)이 원활하게 회전을 하도록 연결홀(123)과 연결봉(170) 사이에는 베어링이 설치될 수 있다.
구동부(130)는, 복수의 체결부(110)에 회전력을 전달하는 복수의 구동수단으로서, 복수의 구동부(130) 중 적어도 어느 하나가 회전하면 서로 연동되어 동일 방향으로 회전하게 되며, 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이 제1 구동부(131), 제2 구동부(132), 제3 구동부(133), 제4 구동부(134) 및 제5 구동부(135)를 포함한다.
복수의 구동부(130)가 서로 연동될 수 있도록 회전력을 전달하는 매개수단으로 연동부(150)가 설치되며, 연동부(150)는 기어로 구성된 제1 연동부(151) 및 타이밍벨트로 구성된 제2 연동부(152)를 포함한다.
제1 구동부(131)는, 복수의 구동부 중 핸들부(190)와 연동되도록 설치된 기어로서, 핸들부(190)로부터 전달받은 회전력을 복수의 제2 구동부(132)로 전달하게 된다.
이때, 제1 구동부(131)는 작업자의 힘으로 핸들을 돌려 회전력을 얻는 핸들부(190) 이외에도 모터 등 전기적으로 회전력을 발생시키는 동력원을 통해 회전력을 얻을 수도 있다.
또한, 제1 구동부(131)는 복수의 구동부(130) 중 중앙에 배치된 기어로만 해석되지 않으며, 핸들부(190)로부터 회전력을 받아 복수의 제2 구동부(132)에 회전력을 전달하는 기어로 해석되는 것이 바람직하다.
제2 구동부(132)는, 제1 구동부(131)와 연동되도록 이격 설치된 기어로서, 도 7에 나타낸 바와 같이, 제1 구동부(131)로부터 기어로 구성된 제1 연동부(151)에 의해 회전력을 전달받아 제1 구동부(131)와 동일 방향으로 회전하게 된다.
이때, 제1 연동부(151)는 양측에 설치된 제1 구동부(131) 및 제2 구동부(132)가 동일 방향으로 정회전하도록 반대 방향으로 역회전하게 된다.
제3 구동부(133)는, 제2 구동부(132)와 연동되도록 이격 설치된 기어로서, 도 8에 나타낸 바와 같이, 제2 구동부(132)로부터 타이밍벨트로 구성된 제2 연동부(152)에 의해 회전력을 전달받아 제2 구동부(132)와 동일 방향으로 회전하게 된다.
이때, 제2 연동부(152)는 양측에 설치된 제2 구동부(132) 및 제3 구동부(133)가 동일 방향으로 정회전하도록 동일 방향으로 정회전하게 된다.
제4 구동부(134)는 제3 구동부(133)에 연동되도록 설치된 기어로서, 제3 구동부(133)로부터 제2 연동부(152)에 의해 회전력을 전달받아 제3 구동부(133)와 동일 방향으로 회전하게 된다.
제5 구동부(135)는 제4 구동부(134)에 연동되도록 설치된 기어로서, 제4 구동부(134)로부터 제2 연동부(152)에 의해 회전력을 전달받아 제4 구동부(134)와 동일 방향으로 회전하게 된다.
제2 구동부(132), 제3 구동부(133) 및 제4 구동부(134)는 복수의 연동부(150)와 접할 수 있도록 제1 기어부(130a) 및 제2 기어부(130b)를 포함한다.
제2 구동부(132)를 참고하여 설명하면, 제1 기어부(130a)는 제1 연동부(151)와 접하는 기어이고, 제2 기어부(130b)는 제2 연동부(152)와 접하는 기어일 수 있다.
제1 기어부(130a) 및 제2 기어부(130b)는 수직 위치에서 개별로 설치되어 복수의 연동부(150)와 접하거나, 복수의 연동부(150)가 각각 접하는 부위가 마련될 수 있도록 큰 높이로 형성되어 접하는 부위에 따라 제1 기어부(130a) 및 제2 기어부(130b)로 구분될 수 있다.
따라서, 제2 구동부(132), 제3 구동부(133) 및 제4 구동부(134)는 제1 기어부(130a) 및 제2 기어부(130b)를 통해 복수의 연동부(150)를 동시에 연동할 수 있게 되는 것이다.
구동부(130)가 다수의 기어로 구성되어 있어 구동부(130) 중 어느 하나가 손상되는 경우 이로부터 회전력을 제공받는 체결부(110)가 동일한 간격으로 회전하지 않아 프로브 카드에 나사가 제대로 체결되지 않을 수 있으므로, 이러한 경우를 해결하기 위해, 본 발명은 회전력을 재연동하는 보조구동부(140) 및 회전가이드(160)를 해결수단으로 제안한다.
보조구동부(140)는, 복수의 구동부(130)에 회전력을 재연동하는 복수의 보조구동수단으로서, 복수의 보조구동부 중 적어도 어느 하나가 회전하면 서로 연동되어 동일 방향으로 회전하게 되며, 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이 제1 보조구동부(141), 제2 보조구동부(142) 및 제3 보조구동부(143)를 포함한다.
제1 보조구동부(141)는, 복수의 보조구동부 중 제1 구동부(131)와 함께 연결봉에 결합되어 제1 구동부(131)와 연동되어 동일 방향으로 회전되도록 설치된 기어로서, 핸들부(190)로부터 전달받은 회전력을 복수의 보조구동부(140)로 전달하게 된다.
제2 보조구동부(142)는, 제1 보조구동부(141)와 연동되도록 이격 설치된 기어로서, 제1 보조구동부(141)로부터 기어로 구성된 제1 연동부(151)에 의해 회전력을 전달받아 제1 보조구동부(141)와 동일 방향으로 회전하게 된다.
또한, 제2 보조구동부(142)는, 제3 구동부(133)와 함께 연결봉(170)에 결합되어 제3 구동부(133)와 연동되어 동일 방향으로 회전하게 된다.
제3 보조구동부(143)는, 제2 보조구동부(142)와 이격 설치된 기어로서, 제4 구동부(134)와 함께 연결봉(170)에 결합되어 제4 구동부(134)와 동일 방향으로 회전하게 된다.
보조구동부(140)의 직경은 구동부(130)의 직경보다 작거나 크게 형성될 수 있다.
이는, 보조구동부(140)와 구동부(130)의 직경 차이에 따라 동작 환경이 달라지므로 마모 등에 의한 손상이 발생하는 위치가 다르게 된다.
따라서, 구동부(130) 중 어느 하나가 손상되는 경우에도 보조구동부(140)는 동일한 위치에 손상이 발생하지 않아 체결부(110)가 동일한 간격으로 계속 회전하도록 하는 효과가 있다.
회전가이드(160)는 구동부(130)의 회전력을 재연동하는 제1 회전가이드(161) 및 보조구동부(140)의 회전력을 재연동하는 제2 회전가이드(162)를 포함한다.
제1 회전가이드(161)는, 제2 구동부(132) 및 제5 구동부(135)의 외곽둘레에 치합되어 회전하도록 설치되고, 내주면에 치형이 형성된 원 형상의 회전가이드이다.
제1 회전가이드(161)는, 제2 구동부(132) 및 제5 구동부(135)와 연동되어 동일 방향으로 회전한다.
제1 구동부(131), 제2 구동부(132), 제3 구동부(133), 제4 구동부(134) 및 제5 구동부(135) 순서로 전달되는 회전력을 제1 회전가이드(161)가 복수의 제2 구동부(132) 및 복수의 제5 구동부(135)와 함께 회전함으로써 회전력을 재연동한다.
예를 들어, 제2 구동부(132)가 손상되어 제3 구동부(133)로 전단하는 회전력이 손실되는 경우 제3 구동부(133), 제4 구동부(134) 및 제5 구동부(135)는 정상적인 회전력을 전달받지 못하고 손실된 회전력을 전달 받아 회전되므로 정상적인 구동부(130)보다 느리게 회전된다.
이때, 정상적인 회전력을 전달받아 회전하는 제2 구동부(132) 및 제5 구동부(135)로부터 회전력을 전달받은 제1 회전가이드(161)가 역으로 손실된 회전력을 전달받아 회전하는 제2 구동부(132) 및 제5 구동부(135)에 정상적인 회전력을 전달하므로 손실된 회전력을 전달받아 회전하는 제3 구동부(133), 제4 구동부(134) 및 제5 구동부(135)가 정상적인 회전력을 전달받아 회전하도록 재연동된다.
따라서, 제1 회전가이드(161)는, 복수의 제2 구동부(132) 및 복수의 제5 구동부(135)와 연동되어 회전하면서 구동부(130) 중 어느 하나가 손상되는 경우에도 체결부(110)가 동일한 간격으로 회전하도록 하는 효과가 있다.
제2 회전가이드(162)는, 제2 보조구동부(142) 및 제3 보조구동부(143)의 외곽둘레에 치합되어 회전하도록 설치되고, 내주면에 치형이 형성된 원 형상의 회전가이드이다.
제2 회전가이드(162)는, 제2 보조구동부(142) 및 제3 보조구동부(143)와 연동되어 동일 방향으로 회전한다.
제1 보조구동부(141), 제2 보조구동부(142) 및 제3 보조구동부(143) 순서로 전달되는 회전력을 제2 회전가이드(162)가 복수의 제2 보조구동부(142) 및 제3 보조구동부(143)과 함께 회전함으로써 회전력을 재연동한다.
따라서, 제2 회전가이드(162)는, 제1 회전가이드(161)과 동일하게 복수의 제2 보조구동부(142) 및 제3 보조구동부(143)과 연동되어 회전하면서 보조구동부(140) 중 어느 하나가 손상되는 경우에도 체결부(110)가 동일한 간격으로 회전하도록 하는 효과가 있다.
앞서 설명한 바와 같이 구동부(130), 보조구동부(140) 및 회전가이드(160)는 서로 복합적으로 연동되어 구동부(130), 보조구동부(140) 및 회전가이드(160) 중 어느 하나가 손상되는 경우에도 체결부(110)가 동일한 간격으로 회전하도록 상호 회전력을 보완하는 효과가 있다.
커버부(180)는, 구동부(130)와 보조구동부(140)의 상부를 커버하는 커버부재로서, 구동부(130) 및 보조구동부(140)와 핸들부(190)를 연결하도록 관통홀이 형성된다.
도 9에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 프로브 카드 조립 장치(500)는, 프로브 카드용 나사 체결 장치(100), 스테이지부(510) 및 승강구동부(520)를 포함한다.
프로브 카드(300)는 복수의 프로브핀(310), 공간변환기(320) 및 PCB(330)를 포함한다.
스테이지부(510)는, 도 10에 나타낸 바와 같이, 프로브 카드(300)를 조립 시 지지하기 위한 지그이며, 제1 공간부(511), 제2공간부(512) 및 제3 공간부(513)을 포함한다.
제1 공간부(511)는 수평 단면이 원 형상이고, 복수의 프로브핀(310)이 바닥으로부터 이격하여 위치하는 공간이다.
제2 공간부(512)는 수평 단면이 원 형상이고, 공간변환기(320)가 거치되어 위치하는 공간이다.
제1 공간부(511) 및 제2 공간부(512)는 수직 단면이 계단 형상으로 형성되어, 제2 공간부(512)의 직경은 제1 공간부(511)의 직경보다 큰 것이 바람직하다.
제3 공간부(513)는 수평 단면이 원 형상이고, 공간변환기(320)와 PCB(330) 사이에 형성되는 공간이다.
제3 공간부(513)의 직경은 제2 공간부(512)의 직경보다 큰 것이 바람직하다.
또한, 제3 공간부(513)에는 진공펌프와 연결된 흡기구가 형성되고, PCB(330)의 직경보다 작게 형성되어 상부에 PCB(330)가 거치되어 제3 공간부(513)는 밀폐되도록 하는 것이 바람직하다.
이때, 제3 공간부(513)의 밀폐율을 높이기 위해, 제2 공간부(512)의 공간변환기(320)가 거치되는 거치면에는 고무링 등으로 구성된 제1 밀폐부재(513a)가 개재되고, PCB(330)가 거치되는 거치면에는 고무링 등으로 구성된 제2 밀폐부재(513b)가 개재될 수 있다.
제3 공간부(513)를 밀폐하면, PCB(330)가 제3 공간부(513)로 당겨져 평탄하게 밀착되고, 밀착된 상태에서 프로브 카드(300)를 조립하면 프로브 카드(300)의 평탄도가 향상되는 효과가 있다.
승강구동부(520)는, 도 9 및 도 11에 나타낸 바와 같이, 프로브 카드(300)를 승강하는 승강구동수단이며, 회전가능하게 설치된 레버(521), 레버(521)의 회전에 연동되어 회전하는 볼스크류(522), 볼스크류(522)의 회전을 승강 구동으로 변환하는 승강링크(523)를 포함한다.
승강링크(523)는, 볼스크류(522)의 양단에 각각 설치되어 회전에 의해 서로 반대 방향으로 이송되어 이격거리가 신축되는 한쌍의 이송블럭(523a), 한쌍의 이송블럭(523a)에 하단이 힌지결합되어 상방에서 서로 교차하도록 설치된 한쌍의 교차바(523b), 한쌍의 교차바(523b)의 상단이 힌지결합되어 한쌍의 교차바(523b) 사이의 상단 이격거리를 일정하게 유지하는 고정테이블(523c)을 포함한다.
따라서, 승강링크(523)는, 레버(521)를 일방향으로 회전시키는 경우 볼스크류(522)가 일방향으로 회전하고, 볼스크류(522)의 회전에 의해 한쌍의 이송블럭(523a) 간에 이격거리가 좁아져 한쌍의 교차바(523b)의 높이가 높아지고, 한쌍의 교차바(523b)에 결합된 고정테이블(523c)이 상승하므로 고정테이블(523c) 상부에 안착되는 프로브 카드(300)가 결과적으로 상승하게 된다.
또한, 반대로 레버(521)를 타방향으로 회전시키는 경우 볼스크류(522)가 타방향으로 회전하고, 볼스크류(522)의 회전에 의해 한쌍의 이송블럭(523a) 간에 이격거리가 넓어져 한쌍의 교차바(523b)의 높이가 낮아지고, 한쌍의 교차바(523b)에 결합된 고정테이블(523c)이 하강하므로 고정테이블(523c) 상부에 안착되는 프로브 카드(300)가 결과적으로 하강하게 된다.
승강구동부(520)는 바닥과 이격되도록 바닥을 지지하는 베이스부재인 베이스부(530) 상부에 설치되는 것이 바람직하다.
가이드부(540)는, 베이스부(530)의 외곽둘레에 설치된 가이드부재로서, 베이스부(530)의 상부에 수직 길이방향으로 설치된 가이드로 이루어져 프로브 카드용 나사 체결 장치(100)를 지지하며, 나아가 승강구동부(520)의 승강을 가이드할 수 있다.
따라서, 승강구동부(520)를 사용함으로써 프로브 카드(300)를 손쉽게 원하는 위치로 승강할 수 있어 프로브 카드(300)의 조립을 편리하게 할 수 있는 효과가 있다.
이상 설명한 본 발명은 그 기술적 사상 또는 주요한 특징으로부터 벗어남이 없이 다른 여러 가지 형태로 실시될 수 있다. 따라서 상기 실시예는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않으며 한정적으로 해석되어서는 안 된다.
110: 체결부 120: 구동부지지판
130: 구동부 140: 보조구동부
150: 연동부 160: 회전가이드
170: 연결봉 180: 커버부
190: 핸들부 510: 스테이지부
520: 승강구동부 530: 베이스부
540: 가이드부

Claims (20)

  1. 프로브 카드에 체결되는 복수의 나사;
    상기 복수의 나사에 접촉되어 상기 복수의 나사와 함께 회전하는 복수의 체결부;
    상기 복수의 체결부에 회전력을 전달하는 복수의 구동부; 및
    상기 복수의 구동부와 연동되어 동일 방향으로 회전하는 복수의 보조구동부;를 포함하고,
    상기 복수의 구동부는 상기 복수의 구동부 중 적어도 어느 하나가 회전하면 서로 연동되어 동일 방향으로 회전하고,
    상기 복수의 보조구동부는, 상기 복수의 보조구동부 중 적어도 어느 하나가 회전하면 서로 연동되어 동일 방향으로 회전하고,
    상기 복수의 보조구동부의 직경은 상기 복수의 구동부의 직경보다 작거나 크게 형성되고,
    상기 체결부, 상기 구동부 및 상기보조구동부는 연결봉에 결합되어 동일 방향으로 회전되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 나사 체결 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 구동부는,
    제1 구동부; 및
    상기 제1 구동부와 이격 설치된 제2 구동부;를 포함하고,
    상기 제1 구동부와 상기 제2 구동부가 동일 방향으로 정회전하도록 상기 제1 구동부의 회전력을 상기 제2 구동부로 전달하는 연동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 나사 체결 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 보조구동부는,
    제1 보조구동부; 및
    상기 제1 보조구동부와 이격 설치된 제2 보조구동부;를 포함하고,
    상기 제1 보조구동부와 상기 제2 보조구동부가 동일 방향으로 정회전하도록 상기 제1 보조구동부의 회전력을 상기 제2 보조구동부로 전달하는 연동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 나사 체결 장치.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 연동부는 기어로 구성되고,
    상기 연동부는 양측에 배치된 제1 구동부 및 제2 구동부가 동일 방향으로 정회전하도록 반대 방향으로 역회전하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 나사 체결 장치.
  5. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 연동부는 타이밍벨트로 구성되고,
    상기 연동부는 양측에 배치된 제1 구동부 및 제2 구동부가 동일 방향으로 정회전하도록 동일 방향으로 정회전하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 나사 체결 장치.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 제2 구동부의 외곽둘레에 치합되어 회전하도록 설치되고, 내주면에 치형이 형성된 원 형상의 제1 회전가이드;를 포함하고,
    상기 제1 회전가이드는 상기 제2 구동부와 연동되어 동일 방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 나사 체결 장치.
  7. 제 3 항에 있어서,
    상기 제2 보조구동부의 외곽둘레에 치합되어 회전하도록 설치되고, 내주면에 치형이 형성된 원 형상의 제2 회전가이드;를 포함하고,
    상기 제2 회전가이드는 상기 제2 보조구동부와 연동되어 동일 방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 나사 체결 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 체결부 및 상기 구동부는 구동부지지판을 사이에 두고 배치되는 프로브 카드용 나사 체결 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 구동부지지판 및 상기 연결봉 사이에는 베어링이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 나사 체결 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동부는,
    제1 구동부;
    상기 제1 구동부와 이격 설치된 제2 구동부; 및
    상기 제2 구동부와 이격 설치된 제3 구동부;를 포함하고,
    상기 제1 구동부와 상기 제2 구동부가 동일 방향으로 정회전하도록 상기 제1 구동부의 회전력을 상기 제2 구동부로 전달하는 기어로 구성된 제1 연동부; 및
    상기 제2 구동부와 상기 제3 구동부가 동일 방향으로 정회전하도록 상기 제2 구동부의 회전력을 상기 제3 구동부로 전달하는 타이밍벨트로 구성된 제2 연동부;를 포함하며,
    상기 제2 구동부는,
    상기 제1 연동부와 접하는 기어로 구성되는 제1 기어부; 및
    상기 제2 연동부와 접하는 기어로 구성되는 제2 기어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 나사 체결 장치.
  11. 프로브 카드에 체결되는 복수의 나사;
    상기 복수의 나사에 접촉되어 상기 복수의 나사와 함께 회전하는 복수의 체결부; 및
    상기 복수의 체결부에 회전력을 전달하는 복수의 구동부;를 포함하고,
    상기 복수의 구동부는 상기 복수의 구동부 중 적어도 어느 하나가 회전하면 서로 연동되어 동일 방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 나사 체결 장치를 구비하는 프로브 카드 조립 장치로서,
    상기 체결부는,
    상기 구동부의 하부에 결합되는 통 형상의 몸체부;
    상기 몸체부의 하부에 결합되는 돌출 형상의 접촉부; 및
    상기 몸체부의 내부에 삽입되고, 상기 접촉부가 탄성을 가지도록 일단은 상기 몸체부에 지지되고 타단은 상기 접촉부의 타단에 접촉되는 스프링;을 포함하는 프로브 카드용 나사 체결 장치.
  12. 프로브 카드에 체결되는 복수의 나사;
    상기 복수의 나사에 접촉되어 상기 복수의 나사와 함께 회전하는 복수의 체결부; 및
    상기 복수의 체결부에 회전력을 전달하는 복수의 구동부;를 포함하고,
    상기 복수의 구동부는 상기 복수의 구동부 중 적어도 어느 하나가 회전하면 서로 연동되어 동일 방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 나사 체결 장치를 구비하는 프로브 카드 조립 장치로서,
    스테이지부;를 포함하고,
    상기 프로브 카드는, 복수의 프로브핀, 공간변환기 및 PCB를 포함하며,
    상기 스테이지부는,
    상기 복수의 프로브핀이 바닥으로부터 이격하여 위치하는 제1 공간부;
    상기 공간변환기가 거치되어 위치하는 제2 공간부; 및
    상기 공간변환기와 상기 PCB 사이에 형성되는 제3 공간부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 조립 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 제3 공간부는 진공펌프와 연결된 흡기구가 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 카드 조립 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 제3 공간부는 수평 단면이 원 형상이고, 상부에 PCB가 거치되도록 PCB의 직경보다 작게 형성되어 밀폐되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 조립 장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 제2 공간부의 상기 공간변환기가 거치되는 거치면에는 제1 밀폐부재가 개재되고,
    상기 PCB가 거치되는 거치면에는 제2 밀폐부재가 개재되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 조립 장치.
  16. 프로브 카드에 체결되는 복수의 나사;
    상기 복수의 나사에 접촉되어 상기 복수의 나사와 함께 회전하는 복수의 체결부; 및
    상기 복수의 체결부에 회전력을 전달하는 복수의 구동부;를 포함하고,
    상기 복수의 구동부는 상기 복수의 구동부 중 적어도 어느 하나가 회전하면 서로 연동되어 동일 방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 나사 체결 장치를 구비하는 프로브 카드 조립 장치로서,
    승강구동부;를 포함하고,
    상기 승강구동부는,
    회전가능하게 설치된 레버;
    상기 레버의 회전에 따라 회전되는 볼스크류; 및
    상기 볼스크류의 회전을 승강 구동으로 변환하는 승강링크;를 포함하는, 프로브 카드 조립 장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 승강링크는,
    상기 볼스크류의 양단에 각각 설치되어 회전에 의해 서로 반대 방향으로 이송되어 이격거리가 신축되는 한쌍의 이송블럭;
    상기 한쌍의 이송블럭에 하단이 힌지결합되어 상방에서 서로 교차하도록 설치된 한쌍의 교차바; 및
    상기 한쌍의 교차바의 상단이 힌지결합되어 한쌍의 교차바 사이의 상단 이격거리를 일정하게 유지하는 고정테이블;을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 조립 장치.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 승강구동부가 바닥과 이격되도록 상기 승강구동부 하부에 설치되어 바닥을 지지하는 베이스부; 및
    상기 베이스부의 상부에 수직 길이방향으로 설치되어 상기 프로브 카드용 나사 체결 장치를 지지하는 가이드부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 조립 장치.
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