JPH0831518B2 - プロ−ブカ−ド保持搬送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、プローブカード保持搬送装置に関する。

（従来の技術） ウエハプローバは半導体ウエハ（以下、ウエハ）に多
数形成された半導体素子（以下、チップ）の夫々の電気
的諸特性を測定し、不良と判定されたチップをアセンブ
リ工程の前で排除することにより、コストダウンや生産
性の向上に寄与させるための装置である。

ところで、チップとチップの電気的特性を測定検査す
るテスターとの信号の授受は、チップに設けられた電極
群の配置に合致する触針群をもつプローブカードと称す
る基板を介して行われる。

このプローブカードは、検査対象チップに対して専用
である。即ち、同一チップを複数格子状に配列させたウ
エハに対して専用である。従って検査するウエハの品種
を変更する際、既に取付けられているプローブカードを
取外し、これから検査しようとするウエハ用のプローブ
カードをセットする作業が必要となってくる。従来で
は、この交換作業は人為的に行われていた。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、このプローブカード保持搬送工程を自
動化しようとして従来の把持、吸着等の保持搬送装置を
使用するには困難が共なった。

プローブカードは例えば薄肉の円盤状をしており、上
面にはテスター側の電極と接続するための多数の電極群
があり、下面にはチップと接触する多数の触針群がある
ため非常に保持しにくい。

また、高周波検査の際には、テストヘッドと称される
装置がプローブカードの真上に配置されるため、プロー
ブカードの周辺には保持機構のための空間が少なくな
り、従来の保持搬送機構を使用した場合、プローブカー
ド交換毎に大重量のテストヘッドを退避させる必要があ
った。そこでテストヘッドの退避をすることなくプロー
ブカードを交換するために薄型の保持搬送機構が必要と
されていた。

本発明は上述した問題点を解決するためになされたも
ので、構造が簡素でしかも確実にプローブカードを保持
することができるプローブカード保持搬送機構を提供す
ることを目的とする。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 本発明のプローブカード保持搬送装置は、プローブカ
ードを装着したリング状のプローブカードホルダを保持
機構により保持して搬送する装置において、上記保持機
構がプローブカードホルダ内孔部の中心から外周方向に
移動し前記プローブカードホルダ内周面の少なくとも一
部に当接して保持するように構成したことを特徴とする
ものである。

（作 用） 本発明は上述した手段により、プローブカード保持搬
送機構の構造が簡素となり、しかも確実にプローブカー
ドを保持することができる。

（実施例） 以下、本発明の一実施例について第１図および第２図
を参照にして説明する。

アルミニウム板等の金属部材からなる保持腕１が設け
られ、この保持腕１の先端には両側面を対称に切欠いた
矩形の凸部２が形成されている。

この凸部２の両側には、夫々ほぼ円弧形のパッド3a、
3bが凸部２の側面と間隙を保持して配置されており、該
パッド3a、3bは夫々が３本の伸縮ピン4a、4b、4cにより
凸部２に連結されている。

真中の伸縮ピン4bは、凸部２に内装された複動式エア
ーシリンダ５のプランジャー先端に接続されており、こ
のエアーシリンダ５を駆動することにより伸縮ピン4bが
伸長してパッド3a、3bが凸部２の側壁から離間する構造
となっている。

伸縮ピン4a、4cは凸部２内に内挿されたリニアブッシ
ュ６に挿入されており、上記パッド3a、3bの移動時の移
動ガイドとして作用する。

パッド3a、3bの側面下部にはその円周に沿ってプロー
ブカード係止用凸部７が突設されている。

このようなプローブカード保持装搬送置の動作につい
て、第２図の正面断面図を参照にしながら説明する。

本例に使用するプローブカード８は、ホゴピンボード
であるリング状のプローブカードホルダ９の下面に取付
けられており、この両者で一体品となっている。プロー
ブカードホルダ９内周壁には環状溝10が形成されてい
る。

プローブカードホルダ９と一体品のプローブカード８
は、予めプローブカード収容部例えばプローブカード収
容ラックに収容されており、図示を省略した保持腕駆動
機構により保持腕１をプローブカード収容部まで移動さ
せて、保持腕１のパッド3a、3bをプローブカードホルダ
９の内孔部9aに挿入する。このときパッド3a、3bは凸部
１の側面に最接近した状態となっている（第２図
（ａ））。

次にエアーシリンダ５を駆動して伸縮ピン4bを伸長さ
せ、パッド3a、3bを保持腕凸部１側面から離間させる。
このとき、パッド3a、3bに形成した円弧形の係止用凸部
７とプローブカードホルダ内周壁に形成した環状溝10と
が嵌合するように保持腕駆動機構により位置合せされて
いる（第２図（ｂ））。

こうして係止用凸部７と環状溝10とが嵌合した後、図
示を省略した保持腕駆動機構により保持腕１を移動させ
てプローブカードを所望の場所例えばプローバの測定部
へと搬送する。

このようにプローブカードホルダの内孔部9aを保持す
ることで、保持機構の構造が簡素になり、しかも確実に
保持することができる。

上述実施例では、パッド3a、3bに突設された係止用凸
部７とプローブカードホルダ９内孔に形成された環状溝
10とを係合させることでプローブカードホルダ９を保持
したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例え
ば、パッド3a、3bの外周面にゴムシート等の摩擦抵抗が
大きく柔軟性に優れた部材を取付けて、このゴムシート
をプローブカード内周面に押圧させて保持してもよく、
プローブカード内孔部を保持する手段であればいずれで
もよい。

第３図は本発明の一応用例を示す図で、上述した実施
例を保持腕駆動機構に搭載したものである。

保持腕１の一端は、保持腕駆動機構21の移動台22に搭
載されており、この搭載台22は、基台23に垂設された垂
直駆動捩子24およびガイド棒25に取付けられている。

保持腕１は、保持腕１と移動台22との取付け軸にタイ
ミングベルト26を介して連結した回転用モータ27の駆動
により回転し、また垂直駆動捩子24にタイミングベルト
28を介して連結した垂直駆動用モータ29により昇降可能
な構造となっている。

プローブカードを装着したプローブカードホルダ９
は、予め収容部例えば収容ラック30等に複数個収容され
ており、これらのプローブカードの品種はプローバCPU
の記憶機構に記憶されている。

測定すべきウエハが図示を省略したプローバ測定部に
セットされると、記憶機構がそのウエハに対応するプロ
ーブカードを検索し、その収容位置に保持腕１を移動さ
せる。そして自動的に保持腕１が所定プローブカードホ
ルダ９を保持した後、これを測定部へ搬送するための図
示を省略した搬送機構へと搬送する。

このように、本例を応用することで、安価でしかも確
実な保持が可能なプローブカードの保持搬送機構を製作
することができる。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、簡素な構造でし
かも確実にプローブカードを保持できるプローブカード
保持搬送装置が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例のプローブカード保持搬送装置を示す平
面図、第２図は第１図の正面方向の断面図、第３図は実
施例の応用例のプローブカード保持搬送機構を示す斜視
図である。 １……保持腕、２……保持腕凸部、3a、3b……パッド、
4a、4b、4c……伸縮ピン、５……エアーシリンダ、７…
…係止用凸部、８……プローブカード、９……プローブ
カードホルダ、10……環状溝、21……保持腕駆動機構。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】プローブカードを装着したリング状のプロ
   ーブカードホルダを保持機構により保持して搬送する装
   置において、 前記保持機構がプローブカードホルダ内孔部の中心から
   外周方向に移動し前記プローブカードホルダ内周部の少
   なくとも一部に当接して保持するように構成したことを
   特徴とするプローブカード保持搬送装置。
2. 【請求項２】プローブカードホルダ内孔部の内周面に係
   止溝が形成され、保持機構がこの係止溝に係合する凸部
   を有し、この係止溝と凸部とを係合させてプローブカー
   ドを保持するように構成したことを特徴とする特許請求
   の範囲第１項記載のプローブカード保持搬送装置。
3. 【請求項３】保持機構がプローブカードホルダ内周面と
   当接する部分にゴム部材を装着し、このゴム部材をプロ
   ーブカードホルダ内周面に当接させて保持するように構
   成したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のプ
   ローブカード保持搬送装置。