JPS63262854A - プロ−ブカ−ド保持搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、プローブカード保持搬送装置に間する。

（従来の技術） ウエハプローバは半導体ウェハ（以下、ウェハ）に多数
形成された半導体素子（以下、チップ）の夫々の電気的
緒特性を測定し、不良と判定されたチップをアセンブリ
工程の前で排除することにより、コストダウンや生産性
の向上に寄与させるための装置である。

ところで、チップとチップの電気的特性を測定検査する
テスターとの信号の授受は、チップに設けられた電極群
の配置に合致する触針群をもつプローブカードと称する
基板を介して行われる。

このプローブカードは、検査対象チップに対して専用で
ある。即ち、同一チップを複数格子状に配列させたウェ
ハに対して専用である。従って検査するウェハの品種を
変更する際、既に取付けられているプローブカードを取
外し、これから検査しようとするウェハ用のプローブカ
ードをセットする作業が必要となってくる。従来では、
この交換作業は人為的に行われていた。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、このプローブカード保持搬送工程を自動
化しようとして従来の把持、吸着等の保持搬送装置を使
用するには困難が共なった。

プローブカードは例えば薄肉の円盤状をしており、上面
にはテスター側の電極と接続するための多数の電極群が
あり、下面にはチップと接触する多数の触針群があるた
め非常に保持しにくい。

また、高周波検査の際には、テストヘッドと称される装
置がプローブカードの真上に配置されるため、プローブ
カードの周辺には保持機構のための空間が少なくなり、
従来の保持搬送機構を使用した場合、プローブカード交
換毎に大重量のテストヘッドを退避させる必要があった
。そこでテストヘッドの退避をすることなくプローブカ
ードを交換するために薄型の保持搬送機構が必要とされ
ていた。

本発明は上述した問題点を解決するためになされたもの
で、構造が簡素でしかも確実にプローブカードを保持す
ることができるプローブカード保持搬送機構を提供する
ことを目的とする。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 本発明のプローブカード保持搬送装置は、プローブカー
ドを装着したリング状のプローブカードホルダを保持機
構により保持して搬送する装置において、上記保持機構
がプローブカードホルダ内孔部の中心から外周方向に移
動し前記プローブカードホルダ内周面の少なくとも一部
に当接して保持するように構成したことを特徴とするも
のである。

（作　用） 本発明は上述した手段により、プローブカード保持搬送
機構の構造が簡素となり、しかも確実にプローブカード
を保持することができる。

（実施例） 以下、本発明の一実施例について第１図および第２図を
参照にして説明する。

アルミニウム板等の金属部材からなる保持腕１が設けら
、れ、この保持腕１の先端には両側面を対称に切欠いた
矩形の凸部２が形成されている。

この凸部２の両側には、夫々はぼ円弧形のパッド３ａ、
３ｂが凸部２の側面と間隙を保持して配置されており、
該パッド３ａ、３ｂは夫々が３本の伸縮ビン４ａ、４ｂ
、４Ｃにより凸部２に連結されている。

真中の伸縮ビン４ｂは、凸部２に内装された複動式エア
ーシリンダ５のプランジャー先端に接続されており、こ
のエアーシリンダ５を駆動することにより伸縮ビン４ｂ
が伸長してパッド３ａ、３ｂが凸部２の側壁から離間す
る構造となっている。

伸縮ビン４ａ、４Ｃは凸部２内に内挿されたリニアブツ
シュ６に挿入されており、上記パッド３ａ、３ｂの移動
時の移動ガイドとして作用する。

パッド３ａ、３ｂの側面下部にはその円周に沿ってプロ
ーブカード係土用凸部７が突設されている。

このようなプローブカード保持装機送置の動作について
、第２図の正面断面図を参照にしながら説明する。

本例に使用するプローブカード８は、ホゴビンボードで
あるリング状のプローブカードホルダ９の下面に取付け
られており、この両者で一体品となっている。プローブ
カードホルダ９内周壁には環状溝１０が形成されている
。

プローブカードホルダ９と一体品のプローブカード８は
、予めプローブカード収容部例えばプローブカード収容
ラックに収容されており、図示を省略した保持腕駆動機
構により保持腕１をプローブカード収容部まで移動させ
て、保持腕１のパッド３ａ、３ｂをプローブカードホル
ダ９の内孔部９ａに挿入する。このときパッド３ａ、３
ｂは凸部１の側面に最接近した状態となっている（第２
図（ａ））。

次にエアーシリンダ５を駆動して伸縮ピン４ｂを伸長さ
せ、パッド３ａ、３ｂを保持腕凸部１側面から離間させ
る。このとき、パッド３ａ、３ｂに形成した円弧形の係
止用凸部７とプローブカードホルダ内周壁に形成した環
状溝１０とが嵌合するように保持腕駆動機構により位置
合せされている（第２図（ｂ））。

こうして係止用凸部７と環状溝１０とが嵌合した後、図
示を省略した保持腕駆動機構により保持腕１を移動させ
てプローブカードを所望の場所例えばブローバの測定部
へと搬送する。

このようにプローブカードホルダの内孔部９ａを保持す
ることで、保持機構の構造が簡素になり、しかも確実に
保持することができる。

上述実施例では、パッド３ａ、３ｂに突設された係止用
凸部７とプローブカードホルダ９内孔に形成された環状
溝１０とを係合させることでプローブカードホルダ９を
保持したが、本発明はこれに限定されるものではなく、
例えば、パッド３ａ、３ｂの外周面にゴムシート等の摩
擦抵抗が大きく柔軟性に優れた部材を取付けて、このゴ
ムシートをプローブカード内周面に押圧させて保持して
もよく、プローブカード内孔部を保持する手段であれば
いずれでもよい。

第３図は本発明の一応用例を示す図で、上述した実施例
を保持腕駆動機構に搭載したものである。

保持腕１の一端は、保持腕駆動ｆｉｆｌ１２１の移動台
２２に搭載されており、この搭載台２２は、基台２３に
垂設された垂直駆動捩子２４およびガイド棒２５に取付
けられている。

保持腕１は、保持腕１と移動台２２との取付は軸にタイ
ミングベルト２６を介して連結した回転用モータ２７の
駆動により回転し、また垂直駆動捩子２４にタイミング
ベルト２８を介して連結した垂直駆動用モータ２９によ
り昇降可能な構造となっている。

プローブカードを装着したプローブカードホルダ９は、
予め収容部例えば収容ラック３０等に複数個収容されて
おり、これらのプローブカードの品種はブローバＣＰＵ
の記憶機構に記憶されている。

測定すべきウェハが図示を省略したプローバ測定部にセ
ットされると、記憶機構がそのウェハに対応するプロー
ブカードを検索し、その収容位置に保持腕１を移動させ
る。そして自動的に保持腕１が所定プローブカードホル
ダ９を保持した後、これを測定部へ搬送するための図示
を省略した搬送機構へと搬送する。

このように、本例を応用することで、安価でしかも確実
な保持が可能なプローブカードの保持搬送機構を製作す
ることができる。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、簡素な構造でしか
も確実にプローブカードを保持できるプローブカード保
持搬送装置が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例のプローブカード保持搬送装置を示す平
面図、第２図は第１図の正面方向の断面図、第３図は実
施例の応用例のプローブカード保持搬送機構を示す斜視
図である。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）プローブカードを装着したリング状のプローブカ
   ードホルダを保持機構により保持して搬送する装置にお
   いて、 前記保持機構がプローブカードホルダ内孔部の中心から
   外周方向に移動し前記プローブカードホルダ内周部の少
   なくとも一部に当接して保持するように構成したことを
   特徴とするプローブカード保持搬送装置。
2. （２）プローブカードホルダ内孔部の内周面に係止溝が
   形成され、保持機構がこの係止溝に係合する凸部を有し
   、この係止溝と凸部とを係合させてプローブカードを保
   持するように構成したことを特徴とする特許請求の範囲
   第１項記載のプローブカード保持搬送装置。
3. （３）保持機構がプローブカードホルダ内周面と当接す
   る部分にゴム部材を装着し、このゴム部材をプローブカ
   ードホルダ内周面に当接させて保持するように構成した
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のプローブ
   カード保持搬送装置。