KR100868549B1

KR100868549B1 - 프로브 전달 장치

Info

Publication number: KR100868549B1
Application number: KR1020070005160A
Authority: KR
Inventors: 모리히로 사이토
Original assignee: 가부시키가이샤 교도
Priority date: 2006-12-26
Filing date: 2007-01-17
Publication date: 2008-11-13
Also published as: JP2008159979A; TW200831911A; JP4294684B2; TWI371587B; KR20080060120A

Abstract

종래, 프로브 이송기에 대한 프로브의 이동은 프로브의 손잡이를 작업자가 손으로 잡아 인력으로 행하였기 때문에 작업자에게 중량적인 부하가 가해짐과 동시에, 프로브의 검사침부에 손상을 줄 우려가 있었다. 본 발명의 프로브 전달 장치는 프로브 반송 장치를 위치결정하여 고정시키기 위한 잠금 수단과, 프로브를 받는 아암과, 상기 아암을 상하 이동시키는 상하 이동 수단을 포함하고, 상기 반송 장치와 이송기와의 사이에서 상기 프로브를 전달하는 것을 특징으로 한다.

프로브, 반송 장치, 인도 장치, 위치결정 핀, 잠금 수단, 아암, 슬라이더.

Description

프로브 전달 장치{A prove receiving and supplying apparatus}

도 1은 본 발명에 따른 프로브 전달 장치의 평면도.

도 2는 본 발명에서 사용하는 반송 장치의 정면도.

도 3은 도 2에 도시된 반송 장치의 평면도.

도 4는 본 발명에서 사용하는 인도 장치의 정면도.

도 5는 도 4에 도시된 인도 장치의 일부의 확대도.

도 6은 잠금 장치의 평면도.

도 7은 도 6에 도시된 잠금 장치의 결합 상태 설명도.

도 8은 프로브를 가지는 프로브 케이스의 정면도.

도 9는 도 8에 도시된 프로브 케이스의 평면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 프로브 케이스 2 : 개폐 뚜껑

3 : 프로브 4 : 검사침부

5 : 손잡이 6 : 케이스 반송 손잡이

7 : 위치결정 핀 구멍 8 : 프로브 고정 구멍

9 : 반송 장치 10 : 이송기

11 : 인도 장치 12 : 잠금 수단

13 : 잠금 실린더 14 : 검지기

15 : 기준 베이스 16 : 프로브 홀더

17 : 위치결정 핀 18 : 예비 선반

19 : 예비 선반 20 : 스토퍼 릴리스 페달

21 : 손잡이 22 : 케이스 회전부

23 : 회전 위치결정 스토퍼

24 : 회전 위치결정 스토퍼 릴리스 페달

25 : 롤러 26 : 롤러

27 : 스토퍼 28 : 스토퍼

29 : 프로브 케이스 위치결정 레버 30 : 스토퍼 릴리스 노브

31 : 잠금 수단 32 : 아암

33 : 낙하 방지 클로(claw) 34 : 상하 이동용 스위치

35 : 상하 스위치를 가지는 손잡이 36 : 아암부 지지부

37 : 아암부 상하 이동 벨트 38 : 프리 롤러

120 : 플레이트 121 : 블록

122 : 블록 123 : 호 형상 홈

124 : 호 형상 홈 125 : 롤러

126 : 롤러 127 : 슬라이더

128 : 슬라이더 129 : 변위 가능 수단

130 : 볼트 131 : 기부(基部)

132 : 가이드 레일 133 : 로드

134 : 반력 지지판 136 : 압축 스프링

본 발명은, 프로브(prove) 전달 장치, 특히 프로브 케이스 내의 프로브를 취출하여, 웨이퍼 검사기용 이송기로 이동시키거나 또는 그 반대로 하기 위한 프로브 전달 장치에 관한 것이다.

근년, 웨이퍼(집적회로의 재료가 되는 박편)의 외경의 대형화(현재는 직경 300 mm이 주류)에 따라 그의 회로 및 기능을 검사하는 프로브(침이 있는 검사 지그(jig))도 대형화되고, 그의 외형도 480 mm 정도로 되고, 중량도 최대 25 kg 정도로 되며, 그의 가격도 2500만엔 이상의 것도 있다.

또한, 웨이퍼의 종류(회로 구성)도 여러 가지에 걸쳐 있고, 그때마다, 웨이퍼 검사를 위한 프로브를 교환해야 하지만, 프로브의 생명인 침 끝의 보호가 중대한 과제가 되고 있다.

도 8 및 도 9는 종래 이미 알려진 프로브 케이스(1)를 나타내고, 부호 2는 그의 개폐 뚜껑, 3은 상기 프로브 케이스(1) 내에 넣어진 프로브, 4는 이 프로브(3)의 검사침부, 5는 상기 프로브(3)를 상기 프로브 케이스(1)로부터 취출하기 위해 사용하는 접을 수 있는 프로브 취출 손잡이, 6은 프로브 케이스(1)에 마련한 케이스 반송 손잡이, 7은 위치결정 핀 구멍, 8은 프로브 고정 구멍이다.

종래, 프로브(3)를 웨이퍼 검사기로 이동시키기 위한 이송기 상에 프로브 케이스(1) 내의 프로브를 꺼내어 이동하기 위해서는 프로브 취출 손잡이(5)를 작업자가 손으로 잡아 인력으로 수행하였다.

상기와 같이 종래, 이송기에 대한 프로브(3)의 이동은 프로브(3)의 손잡이(5)를 작업자가 손으로 잡아 인력으로 행하였기 때문에 작업자에게 중량적 부하가 더해짐과 동시에, 프로브(3)의 검사침부(4)에 손상을 줄 우려가 있었다.

본 발명은 이와 같은 결점을 없애도록 한 것이다.

본 발명의 프로브 전달 장치는 프로브 반송 장치를 위치결정하여 고정시키기 위한 잠금 수단과, 프로브를 받는 아암과, 상기 아암을 상하 이동시키는 상하 이동 수단을 포함하고, 상기 반송 장치와 이송기와의 사이에서 상기 프로브를 전달하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 프로브 전달 장치는, 프로브 인도 장치와 프로브 반송 장치를 위치결정하여 고정시키기 위한 잠금 수단과, 프로브를 받는 아암과, 그 아암을 상하 이동시키는 상하 이동 수단을 포함하고, 상기 잠금 수단은, 상기 인도 장치에 부착되는 플레이트와, 그 플레이트에 서로 떨어져 배치된 일방 및 타방의 블록과, 상기 일방 및 타방의 블록의 서로 대향하는 면에 형성된 호(弧) 형상 홈에 의해 구성되고, 상기 잠금 수단은, 상기 블록의 호 형상 홈에 각각 끼워 넣어지는 일방 및 타방의 롤러와, 이들 롤러를 각각 회전 가능하게 지지하는 일방 및 타방의 슬라이더와, 상기 일방의 슬라이더를 상기 반송 장치에 부착하기 위한 변위 가능 수단과, 상기 타방의 슬라이더를 상기 반송 장치의 측면에 고정하는 볼트에 의해 구성되고, 상기 변위 가능 수단은, 상기 일방의 슬라이더를 슬라이드 가능하게 지지하기 위해 상기 반송 장치에 고정된 가이드 레일과, 상기 일방의 슬라이더에 설치되고 이 슬라이더로부터 상기 타방의 슬라이더 쪽으로 연장하는 로드와, 이 로드를 이동 가능하게 지지하는 반력(反力) 지지판과, 상기 일방의 슬라이더를 상기 타방의 슬라이더로부터 멀어지는 방향으로 이동할 수 있게 하기 위한 스프링에 의해 구성되는 것을 특징으로 한다.

상기 아암은 수평방향, 상하방향, 및 회전방향으로 이동 가능한 것을 특징으로 한다.

상기 프로브는 프로브 스토커(stocker)로부터 얻어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 프로브 전달 장치에 따르면 아래와 같은 효과가 얻어진다.

(1) 인도 장치의 아암에 프로브(3)의 손잡이(5)를 걸 때, 또는 분리할 때 이외에는 작업자의 부담은 전혀 없다.

(2) 기계적으로 프로브(3)의 이동을 행하므로, 작업자에게 중량적 부하를 주지 않는다.

(3) 프로브(3)의 심장부인 검사침부(4)에 전혀 손상을 주지 않는다.

[실시예]

이하 도면에 따라 본 발명의 실시예를 설명한다.

도 1은 프로브(3)가 들어간 프로브 케이스(1)를 반송하는 반송 장치(9)로부터 프로브(3)를 받아 웨이퍼 검사기용 이송기(10)에 전달하기 위한 인도 장치(11)를 나타낸다.

또한, 부호 12는 인도 장치(11)에 설치된 잠금 수단, 13은 잠금 실린더, 14는 반송 장치(9)를 검지하는 검지기, 15는 반송 장치(9)를 탑재시킨 기준 베이스, 16은 프로브 홀더, 17은 프로브 홀더(16) 위에 설치된 위치결정 핀이다.

또한, 도 2 및 도 3은 반송 장치(9)를 나타내고, 부호 18, 19는 각각 예비 선반, 20은 예비 선반부 스토퍼 릴리스 페달, 21은 반송 장치(9)용의 손잡이, 22는 케이스 회전부, 23은 회전 위치결정 스토퍼, 24는 회전 위치결정 스토퍼 릴리스 페달, 25, 26은 각각 롤러, 27, 28은 각각 스토퍼, 29는 프로브 케이스 위치결정 레버, 30은 스토퍼 릴리스 노브, 31은 잠금 수단이다.

또한, 도 4 및 도 5는 인도 장치(11)를 나타내고, 부호 32는 프로브 척(chuck)용 아암, 33은 낙하 방지 클로(claw), 34는 아암 상하 이동용 스위치, 35는 상기 스위치(34)를 가지는 손잡이, 36은 아암부 지지부, 37은 아암부 상하 이동 벨트, 38은 프리 롤러이다.

또한, 도 6에 도시하는 바와 같이, 인도 장치(11)의 잠금 수단(12)은, 그 인도 장치의 측면에 부착되는 플레이트(120)와, 그 플레이트(120)의 측면에 서로 떨어져 배치된 일방 및 타방의 블록(121, 122)과, 상기 일방 및 타방의 블록(121, 122)의 서로 대향하는 면에 형성된 호(弧) 형상 홈(123, 124)에 의해 구성된다.

또한, 반송 장치(9)의 잠금 수단(31)은, 상기 블록(121, 122)의 호 형상 홈(123, 124)에 각각 끼워 넣어지는 일방 및 타방의 롤러(125, 126)와, 이들 롤러(125, 126)를 각각 회전할 수 있도록 지지하는 일방 및 타방의 슬라이더(127, 128)와, 상기 일방의 슬라이더(127)를 상기 반송 장치(9)의 측면에 부착하기 위한 변위 가능 수단(129)과, 상기 타방의 슬라이더(128)를 상기 반송 장치(9)의 측면에 고정하는 볼트(130)에 의해 구성된다.

상기 변위 가능 수단(129)은, 상기 일방의 슬라이더(127)의 기부(131)를 슬라이드할 수 있게 지지하기 위해 상기 반송 장치(9)의 측면을 따라 고정된 가이드 레일(132)과, 상기 일방의 슬라이더(127)에 설치되고 이 슬라이더(127)로부터 상기 타방의 슬라이더(128) 쪽으로 연장하는 로드(133)와, 이 로드(133)를 이동 가능하게 지지하는 반력(反力) 지지판(134)과, 상기 일방의 슬라이더(127)를 상기 타방의 슬라이더(128)로부터 멀어지는 방향으로 이동할 수 있게 하기 위해 상기 반력 지지판(134)과 상기 일방의 슬라이더(127) 사이에 삽입된 압축 스프링(136)에 의해 구성된다.

상기 잠금 수단(31)은 평상시는 도 6에 도시하는 바와 같이 상기 일방의 슬라이더(127)는 압축 스프링(136)의 작용에 의해 타방의 슬라이더(218)로부터 멀어지는 방향을 향하여 슬라이드되어 있고, 따라서, 상기 일방의 롤러(125)와 타방의 롤러(126) 사이의 간격은 상기 일방의 블록(121)과 타방의 블록(122) 사이의 간격보다 충분히 크게 되어 있다. 따라서, 반송 장치(9)의 롤러(125)를 인도 장치(11)의 블록(121)의 호 형상 홈(123)에 넣고, 상기 압축 스프링(136)을 압축하는 방향으로 반송 장치(9)를 전진시키면서 이것을 움직이면, 도 7에 도시하는 바와 같이 타방의 슬라이더(128)의 롤러(126)가 인도 장치(11)의 블록(122)의 호 형상 홈(124)에 직접 삽입할 수 있게 된다.

따라서, 인도 장치(11)에 설치된 블록(121, 122)의 호 형상 홈(123, 124)에 반송 장치(9)의 롤러(125, 126)가 압축 스프링(136)의 복원력에 의해 삽입되어, 인도 장치(11)와 반송 장치(9)가 고정됨과 동시에 양쪽의 위치 관계도 고정되게 된다.

이하 본 발명의 프로브 전달 장치의 사용 상태를 설명한다.

(1) 반송 장치(9)의 선반으로부터 프로브 케이스(1)를 취출하여, 반송 장치(9)의 상면의 롤러(26) 위에 올린다.

(2) 스토퍼(27)가 프로브 케이스(1)에 의해 눌려 잠겨질 때까지 프로브 케이스(1)를 밀어넣는다.

(3) 인도 장치(11)에서 프로브(3)를 취출할 때 열려 있는 개폐 뚜껑(2)이 방해가 되지 않도록 프로브 케이스(1)를 케이스 회전부(22)를 중심으로 하여 수평면 내에서 180° 회전시킨다.

또한, 이때 반송 장치(9)의 회전 위치결정 스토퍼 릴리스 페달(24)을 밟아, 프로브 케이스(1)가 180° 회전하여 회전 스토퍼(28)에 닿은 때 상기 릴리스 페달(24)을 푼다.

(4) 이 상태에서 반송 장치(9)를 이동시켜 도 1에 도시하는 기준 베이스(15) 위에 올린다.

(5) 도 1에 도시하는 인도 장치(11)의 잠금 수단(12)과, 도 3에 나타내는 반송 장치(9)의 잠금 수단(31)을 도킹시킨다.

(6) 검지기(14)로 반송 장치(9)를 검지하고, 잠금 실린더(13)를 작동시켜 반송 장치(9)를 기준 베이스(15) 위에 고정한다.

(7) 도 4에 도시하는 아암부 상하 이동 벨트(상하 이동 수단)(37)의 아암 상하 이동용 스위치(34)에 의해, 인도 장치(11)의 낙하 방지 클로(33)가 붙어 있는 프로브 척용 아암(32)을 아암부 상하 이동 벨트(37)를 통하여 최하단까지 하강시키고, 프로브 케이스(1)의 손잡이(5)를 작업자에 의해 올려 프로브 척용 아암(32)에 건다.

(8) 아암 상하 이동용 스위치(34)를 눌러 프로브 척용 아암(32)을 최상단까지 상승시킨다.

(9) 프로브 척용 아암(32)이 최상단까지 상승했을 때, 잠금 실린더(13)를 복귀시켜, 반송 장치(9)의 잠금 수단(31)과 인도 장치(11)의 잠금 수단(12)의 도킹을 해제시킨다.

(10) 반송 장치(9) 위의 비어 있는 프로브 케이스(1)의 개폐 뚜껑(2)을 닫는다.

(11) 반송 장치(9)의 회전 위치결정 스토퍼 릴리스 페달(24)을 밟아 프로브 케이스(1)를 180° 회전시키고, 스토퍼 릴리스 노브(30)를 당겨 프로브 케이스(1)를 반송 장치(9)로부터 해제시킨다.

(12) 비어 있는 프로브 케이스(1)는 반송 장치(9)의 예비 선반(18, 19)에 수납한다. 이 상태에서는 프로브(3)는 프로브 척용 아암(32)에 의해 끌어 올려져 최상단에 있다.

(13) 다음에, 반송 장치(9) 대신에, 상기 잠금 수단(31)과 마찬가지의 잠금 수단을 가지는 이송기(10)를 기준 베이스(15) 위에서 인도 장치(11)에 도킹시킨다.

(14) 도 4 및 도 5에 나타내는 아암 상하 이동용 스위치(34)를 눌러 프로브(3)를 하강시키고, 이송기(10)에 올린 프로브 홀더(16)의 위치결정 핀(17)과 프로브(3)의 위치결정 핀 구멍(7)을 맞춘다. 이때, 프로브 척용 아암(32)과 아암부 지지부(36) 사이에는 프리 롤러(38)가 삽입되어 있기 때문에, 프로브 척용 아암(32)은 수평방향 및 상하방향 뿐만 아니라, 회전방향으로 이동 가능하다.

(15) 프로브(3)가 최하단에 위치했을 때, 낙하 방지 클로(33)를 눌러 프로브(3)의 손잡이(5)로부터 프로브 척용 아암(32)을 분리시킨다.

(16) 분리한 후에는 프로브 척용 아암(32)을 아암 상하 이동용 스위치(34)의 조작에 의해 최상단까지 상승시킨다.

(17) 프로브 척용 아암(32)이 최상단에 도달하였을 때, 도킹부의 잠금 실린더(13)를 해방하여 이송기(10)와 인도 장치(11)의 도킹을 해제한다.

(18) 이송기(10)에 올려져 있는 프로브(3)를 반송 장치(9)로 옮기는 경우에는 상기와 완전히 반대로 조작한다.

또한, 상기 프로브는 프로브 스토커로부터 직접 상기 프로브 전달 장치에 공급시키는 것도 가능하다.

Claims

삭제
프로브 케이스(1) 내의 프로브(3)를 취출하여, 웨이퍼 검사기용 이송기(10)로 이동시키거나 또는 그 반대로 하기 위한 프로브 전달 장치로서,

상기 프로브 전달 장치는, 프로브 인도 장치(11)와 프로브 반송 장치(9)를 위치결정하여 고정시키기 위한 잠금 수단(12, 31)과, 프로브(3)를 받는 아암(32)과, 상기 아암(32)을 상하 이동시키는 상하 이동 수단(37)을 포함하고,

상기 잠금 수단(12)은, 상기 인도 장치(11)에 부착되는 플레이트(120)와, 그 플레이트(120)에 서로 떨어져 배치된 일방 및 타방의 블록(121, 122)과, 상기 일방 및 타방의 블록(121, 122)의 서로 대향하는 면에 형성된 호(弧) 형상 홈(123, 124)에 의해 구성되고,

상기 잠금 수단(31)은, 상기 블록(121, 122)의 호 형상 홈(123, 124)에 각각 끼워 넣어지는 일방 및 타방의 롤러(125, 126)와, 이들 롤러(125, 126)를 각각 회전 가능하게 지지하는 일방 및 타방의 슬라이더(127, 128)와, 상기 일방의 슬라이더(127)를 상기 반송 장치(9)에 부착하기 위한 변위 가능 수단(129)과, 상기 타방의 슬라이더(128)를 상기 반송 장치(9)의 측면에 고정하는 볼트(130)에 의해 구성되고,

상기 변위 가능 수단(129)은, 상기 일방의 슬라이더(127)를 슬라이드 가능하게 지지하기 위해 상기 반송 장치(9)에 고정된 가이드 레일(132)과, 상기 일방의 슬라이더(127)에 설치되고 이 슬라이더(127)로부터 상기 타방의 슬라이더(128) 쪽으로 연장하는 로드(133)와, 이 로드(133)를 이동 가능하게 지지하는 반력(反力) 지지판(134)과, 상기 일방의 슬라이더(127)를 상기 타방의 슬라이더(128)로부터 멀어지는 방향으로 이동할 수 있게 하기 위한 압축 스프링(136)에 의해 구성되는 것을 특징으로 하는 프로브 전달 장치.
제 2 항에 있어서, 상기 아암(32)이 수평방향, 수직방향 및 회전방향으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 프로브 전달 장치.
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 프로브(3)가 프로브 스토커(stocker)로부터 취해지는 것을 특징으로 하는 프로브 전달 장치.