KR100868549B1 - 프로브 전달 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (4)
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- 프로브 케이스(1) 내의 프로브(3)를 취출하여, 웨이퍼 검사기용 이송기(10)로 이동시키거나 또는 그 반대로 하기 위한 프로브 전달 장치로서,상기 프로브 전달 장치는, 프로브 인도 장치(11)와 프로브 반송 장치(9)를 위치결정하여 고정시키기 위한 잠금 수단(12, 31)과, 프로브(3)를 받는 아암(32)과, 상기 아암(32)을 상하 이동시키는 상하 이동 수단(37)을 포함하고,상기 잠금 수단(12)은, 상기 인도 장치(11)에 부착되는 플레이트(120)와, 그 플레이트(120)에 서로 떨어져 배치된 일방 및 타방의 블록(121, 122)과, 상기 일방 및 타방의 블록(121, 122)의 서로 대향하는 면에 형성된 호(弧) 형상 홈(123, 124)에 의해 구성되고,상기 잠금 수단(31)은, 상기 블록(121, 122)의 호 형상 홈(123, 124)에 각각 끼워 넣어지는 일방 및 타방의 롤러(125, 126)와, 이들 롤러(125, 126)를 각각 회전 가능하게 지지하는 일방 및 타방의 슬라이더(127, 128)와, 상기 일방의 슬라이더(127)를 상기 반송 장치(9)에 부착하기 위한 변위 가능 수단(129)과, 상기 타방의 슬라이더(128)를 상기 반송 장치(9)의 측면에 고정하는 볼트(130)에 의해 구성되고,상기 변위 가능 수단(129)은, 상기 일방의 슬라이더(127)를 슬라이드 가능하게 지지하기 위해 상기 반송 장치(9)에 고정된 가이드 레일(132)과, 상기 일방의 슬라이더(127)에 설치되고 이 슬라이더(127)로부터 상기 타방의 슬라이더(128) 쪽으로 연장하는 로드(133)와, 이 로드(133)를 이동 가능하게 지지하는 반력(反力) 지지판(134)과, 상기 일방의 슬라이더(127)를 상기 타방의 슬라이더(128)로부터 멀어지는 방향으로 이동할 수 있게 하기 위한 압축 스프링(136)에 의해 구성되는 것을 특징으로 하는 프로브 전달 장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 아암(32)이 수평방향, 수직방향 및 회전방향으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 프로브 전달 장치.
- 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 프로브(3)가 프로브 스토커(stocker)로부터 취해지는 것을 특징으로 하는 프로브 전달 장치.
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