KR20020012403A

KR20020012403A - 디바이스 테스트 핸들러

Info

Publication number: KR20020012403A
Application number: KR1020000045683A
Authority: KR
Inventors: 이기현; 김두철; 송기영; 신동진
Original assignee: 정문술; 미래산업 주식회사
Priority date: 2000-08-07
Filing date: 2000-08-07
Publication date: 2002-02-16
Also published as: KR100371099B1

Abstract

본 발명은 로직 디바이스(Logic Device)와 같은 각종 반도체 소자를 테스트하기 위한 디바이스 테스트 핸들러에 관한 것으로, 버퍼부에 디바이스들을 임시적으로 적재하여 로딩/언로딩부와 테스트부 위치로 이송시키는 이송작업과, 이송된 디바이스들을 테스트부에 장착하여 테스트하는 작업이 분리되어 연속 반복적으로 수행될 수 있도록 핸들러의 구조를 개선함으로써 테스트하는 디바이스의 인덱스 타임을 줄일 수 있도록 된 것이다.

이를 위해 본 발명은, 디바이스가 적재된 다수의 트레이들이 배열된 로딩/언로딩부와; 상기 로딩/언로딩부로부터 이송된 디바이스를 일시적으로 장착하여 테스트를 수행하도록 된 테스트부와; 상기 로딩/언로딩부와 테스트부 사이에서 로딩/언로딩부와 테스트부 위치로 왕복 이동가능하도록 설치되어, 상기 디바이스들을 임시적으로 적재하여 로딩/언로딩부와 테스트부 위치로 이송하여 주는 1개 이상의 버퍼부와; 상기 테스트부에 180도씩 회전 운동하도록 설치되어, 반복적으로 회전운동하면서 상기 테스트부로 이송되어 온 버퍼부의 테스트할 디바이스들을 상기 테스트부로, 상기 테스트부 상의 테스트완료된 디바이스들을 상기 버퍼부로 연속 반복적으로 로딩 및 언로딩하여 주는 회전인덱스장치를 포함하여 구성된 디바이스 테스트 핸들러를 제공한다.

Description

디바이스 테스트 핸들러{Handler for Device Test}

본 발명은 디바이스를 테스트하기 위한 핸들러에 관한 것으로, 특히 로직 디바이스(Logic Device)와 같은 각종 반도체 소자를 테스트하기 위한 디바이스 테스트 핸들러에 관한 것이다.

일반적으로, 컴퓨터 등의 각종 장치에 사용되는 반도체 소자들은 생산 후 출하되기 전에 필수적으로 검사과정을 거치게 되는데, 이러한 반도체 소자들을 자동으로 테스트하여 생산자에게 그 결과를 출력하여 주는 장치가 핸들러이다.

이와 같은 종래의 핸들러의 구성 및 작동의 실례를 첨부된 도면 중 도 1을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

도 1은 QFN(Quad Flat Non-leaded package) 또는 QFP(Quad Flat Package)와 같은 로직 디바이스를 테스트하기 위한 종래의 핸들러의 구성을 나타낸 것으로, 핸들러는, 다수개의 트레이(21, 22, 23, 24, 25)들이 베이스부(10) 상에 배열 설치된 디바이스 로딩/언로딩부(20)와, 상기 로딩/언로딩부(20)에 적재된 디바이스를 테스트하는 테스트부(90)와, 상기 로딩/언로딩부(20)에 적재된 디바이스들을 테스트부(90)로 이송하여 주는 피커로봇(40)으로 구성된다.

상기 디바이스 로딩/언로딩부(20)는 테스트할 디바이스들이 적재된 로딩 트레이(21, 22)와, 테스트완료된 디바이스들이 각각 테스트 결과에 따라 양품과 불량품 및 재검사품 등으로 분류 적재되는 언로딩 트레이(23, 24, 25)로 구성된다.

또한, 상기 디바이스 로딩/언로딩부(20)의 각 트레이(21~25)들은 베이스(10)의 양측편에 설치된 이동장치(30, 30')에 의해 개별적으로 전후로 이동가능하게 되어 있다.

한편, 상기 테스트부(90)에는 핸들러와는 별도로 구성되고 검사하고자 하는디바이스의 종류에 따라 다른 테스트장치들의 테스터(TS)가 위치하게 되는데, 상기 테스터에는 테스트할 디바이스들이 장착되는 소켓(미도시)이 구비되어 있다.

따라서, 사용자가 핸들러의 로딩/언로딩부(20)의 로딩 트레이(21, 22)에 테스트할 디바이스들을 적재한 다음 테스트 시작모드를 선택하면, 이동장치(30, 30')에 의해 하나의 로딩 트레이(21, 22)가 전진하게 된다. 이어 피커로봇(40)이 전진 이동한 로딩 트레이(21, 22)로 이동한 다음, 트레이 내에서 테스트할 디바이스를 파지한 후 상기 테스트부(90)로 이송하여 테스트 소켓(미도시)에 장착하여 테스트를 수행한다.

테스트가 완료되면 피커로봇(40)이 테스트부(90)의 소켓에 장착된 디바이스를 파지하여 테스트 결과에 따라 로딩/언로딩부(20)의 각 언로딩 트레이(21, 22)에 분류 적재한다.

이어 다음 테스트 수행을 위해 피커로봇(40)은 로딩 트레이(21, 22)로 이동하여 테스트할 디바이스를 파지한 후 상기한 과정을 반복하며 테스트를 수행하게 된다.

그러나, 상기와 같은 종래의 핸들러 동작에 있어서, 피커로봇(40)이 로딩 트레이(21, 22)에 적재된 디바이스를 테스트부(90)로 이송하고, 테스트 완료된 디바이스를 다시 언로딩 트레이(21, 22)들로 이송한 후 원래의 로딩 트레이(21, 22)로 복귀하는 경로를 거치도록 되어 있는 바, 피커로봇이 이동하는 경로가 길어 인덱스 타임(index time)이 많이 소요되고, 이로 인해 테스트 효율이 저하되는 문제점이 있었다.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 핸들러의 구조를 개선하여 테스트하는 디바이스의 인덱스 타임을 줄일 수 있도록 된 디바이스 테스트 핸들러를 제공함에 그 목적이 있다.

도 1은 종래의 핸들러 구성을 개략적으로 나타낸 평면도

도 2는 본 발명에 따른 핸들러의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도

도 3은 도 2의 핸들러를 개략적으로 나타낸 측면도

도 4는 도 2의 핸들러 중 인덱스 장치의 구성을 나타낸 개략적인 측면도

* 도면의 주요부분에 대한 참조부호의 설명 *

110 - 베이스부 120 - 로딩/언로딩부

121~125 - 트레이 140 - 피커로봇

151, 152 - 버퍼부 151a, 152a - 가이드레일

160 - 회전인덱스장치 161 - 구동장치

162 - 회전아암 163, 163' - 홀더

190 - 테스트부 TS - 테스터

ND - 테스트할 디바이스 TD - 테스트완료된 디바이스

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 디바이스가 적재된 다수의 트레이들이 배열된 로딩/언로딩부와; 상기 로딩/언로딩부로부터 이송된 디바이스를 일시적으로 장착하여 테스트하도록 된 테스트부와; 상기 로딩/언로딩부와 테스트부 사이에서 로딩/언로딩부와 테스트부 위치로 왕복 이동가능하도록 설치되어, 상기 디바이스들을 임시적으로 적재하여 로딩/언로딩부와 테스트부 위치로 이송하여 주는 1개 이상의 버퍼부와; 상기 테스트부에 180도씩 회전 운동하도록 설치되어, 반복적으로 회전운동하면서 상기 테스트부로 이송되어 온 버퍼부의 테스트할 디바이스들을 상기 테스트부로, 상기 테스트부 상의 테스트완료된 디바이스들을 상기 버퍼부로 연속 반복적으로 로딩 및 언로딩하여 주는 회전인덱스장치를 포함하여 구성된 디바이스 테스트 핸들러를 제공한다.

그리고, 상기 버퍼부는 상기 로딩/언로딩부의 양측편에 쌍으로 구성되어, 서로 순차적으로 왕복 이동하며 디바이스 이송작업을 수행하도록 된 것을 특징으로 하는 디바이스 테스트 핸들러.

이와 같은 본 발명에 따르면, 버퍼부에 디바이스들을 임시적으로 적재하여 로딩/언로딩부와 테스트부 위치로 이송시키는 이송작업과, 이송된 디바이스들을 테스트부에 장착하여 테스트하는 작업이 분리되어 연속 반복적으로 수행되므로, 기존의 핸들러에서와 같이 디바이스를 테스트부로, 테스트부의 디바이스를 로딩/언로딩부로 이송하는데 걸리는 시간이 대폭 단축되어 디바이스 인덱스 타임이 줄어들게 된다.

이하, 본 발명에 따른 디바이스 테스트 핸들러의 일 실시예를 첨부된 도면 도 2 내지 도 4를 참조하여 상세히 설명한다. 설명의 편의상 도면의 좌측부분을 장치의 후방부로 하고 도면의 우측부분을 장치의 전방부로 함을 미리 밝혀둔다.

핸들러의 베이스부(110)의 후방부에는 디바이스들이 적재된 다수의 트레이(121, 122, 123, 124, 125)들이 복수열로 정렬 설치되어 디바이스 로딩/언로딩부(120)를 이루고 있고, 베이스부(110)의 전방부에는 상기 로딩/언로딩부(120)로부터 이송되어 온 디바이스들이 일시적으로 장착되어 필요한 테스트를 하게 되는 테스트부(190)가 설치되어 있다.

여기서, 상기 디바이스 로딩/언로딩부(120)는 테스트할 디바이스들이 적재된 로딩 트레이(121, 122)와, 테스트완료된 디바이스들이 각각 테스트 결과에 따라 양품과 불량품 및 재검사품 등으로 분류 적재되는 언로딩 트레이(123, 124, 125)로 구성되며, 각각의 트레이(121~125)들은 베이스부(110)의 양측편에 설치된 이동장치(130, 130')에 의해 개별적으로 전후로 이동가능하게 되어 있다.

한편, 상기 로딩/언로딩부(120)와 테스트부(190) 사이에는 2개의 버퍼부(151, 152)가 왕복 이동가능하게 설치되어 있는 바, 이들 버퍼부(151, 152)는 로딩/언로딩부(20)의 양측편 바로 전방위치(이하 제 1위치라함)에서부터 테스트부(90)의 바로 후방위치(이하 제 2위치라함)까지 이어진 가이드레일(151a, 152a) 상에 설치되어 구동수단(미도시)에 의해 상기 제 1위치와 제 2위치로 왕복 이동할 수 있게 되어 있다.

상기 버퍼부(151, 152)는 디바이스들을 임시적으로 적재하여 로딩/언로딩부(120)에서 테스트부(190)로, 테스트부(190)에서 로딩/언로딩부(120)로 디바이스들을 이송하여 주는 기능을 한다.

또한, 핸들러의 상부에는 전후 및 좌우로 이동가능하도록 설치되어, 상기 로딩/언로딩부(120)와 버퍼부(151, 152)의 디바이스들을 설정된 부분으로 이송하여 주는 피커로봇(140)이 설치되어 있다.

한편, 상기 테스트부(190)에는 핸들러와는 별도로 구성되고 검사하고자 하는 디바이스의 종류에 따라 다른 테스트장치들의 테스터(TS)가 위치하게 되는데, 상기 테스터에는 테스트할 디바이스들이 일시적으로 장착되는 테스트 소켓(미도시)이 구비되어 있다.

또한, 상기 테스트부(190)에는 상기 제 2위치로 이송되어 온 버퍼부(151, 152)의 테스트할 디바이스(ND)들을 테스트부(190)의 테스트 소켓으로, 테스트 소켓에서 테스트 완료된 디바이스(TD)들을 버퍼부(151, 152)로 이송하여 장착시키기 위한 회전인덱스장치(160)가 설치되어 있다.

상기 회전인덱스장치(160)는 180°씩 회전하면서 작업대상 물체를 한 위치에서 반대편 위치로 연속 반복적으로 이송하여 주는 기능을 하는 장치로서, 도 4에 도시된 바와 같이, 핸들러 상부에 고정된 구동장치(161)와, 상기 구동장치(161)의하부에 그 중심부가 회동가능하게 설치되어 있는 회전아암(162)과, 상기 회전아암(162)의 양단부 각각에 상하로 이동가능하게 설치된 디바이스 파지용 홀더(163, 163')로 구성된다.

여기서 상기 홀더(163, 163')는 상기 회전아암의 1회전(180°)후 두번의 상승 및 하강 동작을 연속적으로 수행하도록 되어 있는데, 이는 회전아암(162)의 1회전후 버퍼부(151, 152) 및 테스터(TS)에서 디바이스의 로딩/언로딩이 모두 이루어지는 것이 바람직하기 때문이다.

예를 들어, 버퍼부(151, 152)에서 테스트할 디바이스(ND)를 파지한 홀더(163, 163')는 회전아암(162)이 1회전하여 테스터(TS) 위치에 왔을 때 하강하여 테스트할 디바이스(ND)를 테스터에 장착한 후 상승한 다음, 다시 하강하여 테스터(TS)에서 테스트완료된 다른 디바이스(TD)를 파지하여 상승한 후, 회전아암(162)이 다시 회전하게 되는 것이다.

물론, 반대편의 버퍼부(151, 152)쪽에서도 홀더(163, 163')의 2회 상승 하강 동작이 이루어지며, 테스트완료된 디바이스(TD)의 언로딩과 새로운 디바이스(ND)의 로딩이 순차적으로 이루어지게 된다.

상기와 같이 구성된 핸들러의 동작은 다음과 같이 이루어진다.

사용자가 로딩/언로딩부(120)의 로딩 트레이(121, 122)에 테스트할 디바이스들을 적재한 후 테스트 시작모드를 선택하면, 로딩 트레이(121, 122)가 소정의 위치까지 전진하게 된다. 이어 피커로봇(140)이 로딩 트레이(121, 122) 내의 디바이스들을 초기의 제 1위치에 위치한 버퍼부(151, 152)에 옮겨 적재하게 된다.

상기 버퍼부(151, 152)에 테스트할 디바이스의 적재가 완료되면 버퍼부(151, 152)는 가이드레일(151a, 152a)을 따라 이동하여 테스트부(190) 직후방의 제 2위치에 위치하게 되고, 이어서 테스트부(190)의 회전인덱스장치(160)가 동작하며 디바이스의 로딩/언로딩이 이루어지게 된다.

상기 회전인덱스장치(160)에서의 디바이스 로딩/언로딩 동작 과정의 일 실시예를 설명하면 다음과 같다.

a) 먼저, 버퍼부(151, 152)가 제 2위치에 위치하게 되면 회전인덱스장치(160)의 홀더(163, 163')가 하강하여 테스트할 디바이스(ND)를 파지하고, 이어서 회전아암(162)이 180도 회전하여 디바이스(ND)를 파지한 홀더(163, 163')가 테스트부(90)의 테스터(TS) 상에 오게 되면 다시 홀더(163, 163')가 하강하여 디바이스(ND)를 테스터(TS)의 소켓(미도시)에 장착하고, 이 테스터에서는 장착된 디바이스의 테스트를 수행하게 된다.

b) 그런 다음, 다시 회전아암(162)이 180도 회전하여 홀더(163, 163')가 버퍼부(151, 152) 상의 새로운 디바이스(ND)를 파지한다. 이 때, 반대쪽, 즉 테스터(TS) 상에 위치하게 되는 다른 홀더(163, 163')는 테스터(TS) 상의 테스트 완료된 디바이스(TD)를 파지하게 된다.

c) 이어서, 다시 회전아암(162)이 180도 회전하여 새로운 디바이스(ND)를 테스터(TS) 상에 언로딩시키고 반대편에서는 테스트완료된 디바이스(TD)를 버퍼부(151, 152) 상에 언로딩시키게 된다.

그런 다음, 다시 이 위치에서 홀더(163, 163')가 하강하여 버퍼부(151, 152)상의 새로운 디바이스(ND)를 파지함과 동시에, 반대편 홀더(163, 163')는 테스터(TS) 상에서 테스트완료된 다른 디바이스(TD)를 파지하게 된다.

이 때부터 회전인덱스장치(160)의 홀더(163, 163')는 회전아암(162)의 1회전후 2회의 상하이동 동작을 하게 되는 것이다.

d) 이어서, 회전인덱스장치(160)의 회전아암(162)이 회전하면서 상기 과정 c)에서와 같은 동작을 연속 반복적으로 수행하며 버퍼부(151, 152) 상의 테스트할 디바이스(ND)를 테스터(TS)로, 테스터(TS) 상의 테스트 완료된 디바이스(TD)들을 다시 버퍼부(151, 152)로 연속 반복적으로 이송하여 테스트를 수행하게 된다.

상기와 같이 회전인덱스장치(160)에 의해 테스트완료된 디바이스들이 버퍼부(151, 152)에 모두 적재되면, 상기 버퍼부(151, 152)는 다시 가이드레일(151a, 152a)을 따라 초기의 제 1위치로 복귀하게 되는데, 이 때 상기 제 2위치에는 테스트할 디바이스들이 적재된 다른 버퍼부(151, 152)가 이송되고 회전인덱스장치(160)에 의해 전술한 것과 같은 과정을 통해 테스트를 수행하게 된다.

한편, 상기 테스트 완료된 디바이스가 적재된 버퍼부(151, 152)가 제 1위치로 복귀하게 되면, 테스트 결과에 따라 디바이스들이 양품과 불량품 및 재검사품들로 분류되어 로딩/언로딩부(120)의 언로딩 트레이(123, 124, 125)들에 적재되는데, 이러한 분류는 피커로봇(140)에 의해 이루어진다.

전술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따르면 로딩/언로딩부(120)의 디바이스를 버퍼부(151, 152)에 적재하거나 버퍼부(151, 152)의 디바이스를 로딩/언로딩부(120)에 적재하는 것은 피커로봇(140)에 의해 최단 경로를 통해 이루어지고,테스트부(190)에서는 회전인덱스장치(160)에 의해 테스터(TS)에 디바이스를 공급하는 작업만이 연속적으로 이루어질 수 있게 되므로 인덱스 타임이 대폭적으로 축소될 수 있게 되는 것이다.

한편, 본 발명은 전술한 실시예에 국한되지 아니하고 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변경 및 실시가 가능할 것이다.

예를 들어, 상기 회전인덱스장치는 1회전시 2회의 상하 이동동작을 하며 로딩/언로딩이 이루어지도록 되어 있으나, 회전아암의 양단에 각각 개별동작하는 2개의 홀더를 설치하여 한 번의 동작으로 로딩/언로딩이 이루어질 수 있도록 구성할 수도 있을 것이다.

이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 테스트할 디바이스 및 테스트완료된 디바이스들이 버퍼부에 임시적으로 장착되어 로딩/언로딩부와 테스트부로 이송됨과 더불어 테스트완료된 디바이스들이 별도의 피커로봇에 의해 자동 분류되어 로딩/언로딩부에 적재되고, 테스트부에서는 이송작업과 무관하게 회전인덱스장치에 의해 이송되어 온 디바이스 만을 연속적으로 테스트할 수 있게 되므로, 기존에 비해 디바이스 인덱스 타임이 대폭적으로 축소되어 테스트 효율이 향상되는 효과를 얻을 수 있다.

Claims

디바이스가 적재된 다수의 트레이들이 배열된 로딩/언로딩부와;

상기 로딩/언로딩부로부터 이송된 디바이스를 일시적으로 장착하여 테스트를 수행하게 되는 테스트부와;

상기 로딩/언로딩부와 테스트부 사이에서 로딩/언로딩부와 테스트부 위치로 왕복 이동가능하도록 설치되어, 상기 디바이스들을 임시적으로 적재하여 로딩/언로딩부와 테스트부 위치로 이송하여 주는 1개 이상의 버퍼부와;

상기 테스트부에 180도씩 회전 운동하도록 설치되어, 반복적으로 회전운동하면서 상기 테스트부로 이송되어 온 버퍼부의 테스트할 디바이스들을 상기 테스트부로, 상기 테스트부 상의 테스트완료된 디바이스들을 상기 버퍼부로 연속 반복적으로 로딩 및 언로딩하여 주는 회전인덱스장치를 포함하여 구성된 디바이스 테스트 핸들러.
제 1항에 있어서, 상기 버퍼부는 상기 로딩/언로딩부의 양측편에 쌍으로 구성되어, 서로 순차적으로 왕복 이동하며 디바이스 이송작업을 수행하도록 된 것을 특징으로 하는 디바이스 테스트 핸들러.
제 1항에 있어서, 상기 로딩/언로딩부의 디바이스들을 상기 버퍼부로 이송하여 주는 작업과, 상기 버퍼부의 디바이스들을 테스트 결과에 따라 분류하여 상기로딩/언로딩부로 재이송하여 주는 작업을 수행하기 위한 이송수단을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 디바이스 테스트 핸들러.
제 1항에 있어서, 상기 회전인덱스장치는 1회전(180°)마다 2회의 상하 이동동작을 연속 수행함으로써 디바이스의 로딩 및 언로딩이 연속적으로 이루어지도록 된 것을 특징으로 하는 디바이스 테스트 핸들러.