JPS6227248A - 給送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野１ 本発明は給送装置に関し、特に半導体製造装置内におけ
るレチクルやマスク、或いはウェハなどの被搬送物を、
それらの収納場所と装置内搬送系の受渡し部との間で移
送するのに好適イ１給送装置に関する。

［従来の技術］ 半導体焼付装置には、レチクルを自動的にセットする目
的で複数のレチクルの収納部分の役目をも果すレチクル
チェンジャが装置の一部として装備されている。このレ
チクルチェンジャの従来例の概念を第２図に示す。

第２図において、各々レチクルを１枚ずつ収納可能な専
用のカセットケース２１が所定位置に複数段配置されて
いる。このカセットケース２１はそれぞれレチクルを載
置する本体部とその上に被さる蓋とからなり、ケースの
段のうちの任意のものの本体部をレチクルごと蓋から引
き出し或いは逆に空の蓋の下部へレチクルを載せた本体
を戻して収納したりするために、フォーク２３を有する
エレベータ２４が各カセットケースの段の萌面で駆動装
置２５により昇降するようになされており、各カセット
ケースの装着位置と位置決めユニット２２との間のレチ
クル（ケース本体部）の移送を果すようにしである。位
置決めユニット２２は、焼付装置内の搬送系との間での
レチクルの受渡し部の役目を果し、ここでレチクルが所
定の向きに位置決めされることになる。

今、説明の便宜上、位置決めユニット２２に最も近いカ
セットケース２１をＮＯ，１、以下類に番号を付してユ
ニット２２から最も遠いカセットケースをＮ　ｏ、Ｍと
する。

従来のレチクルチェンジャにおいては、位置決めユニッ
ト２Ｚとの間のエレベータ２４によるレチクルの移送を
毎回直接的に各カセットケース位置までエレベータ２４
を持ち来たして行なっていたため、Ｎｏ、１のカセット
に対するレチクル移送時とＮＯ。

Ｍのカセットに対するレチクル移送時とでエレベータ２
４の移動時間が極端に異なってしまい、レチクルのセッ
ト或いは戻しに要するサイクル時間がカセットの位置に
よって変化する結果、焼付装置での焼付工程のサイクル
時間も最遠のＮＯ，Ｍのカセットに対するレチクル移送
時間に基づいて定めなければならず、従って焼付装置の
スルーブツトの制限要因の一つとなっていた。

［発明が解決しようとする問題点］ 本発明は前述の従来技術の欠点を除去しようとするもの
であり、焼付装置の位置決めユニットとの間でどのカセ
ットのレチクルも一定のサイクル時間で移送することの
できる給送装置を提供することを目的とするものである
。

Ｅ問題点の解決手段］ 本発明によれば、前述の目的を達成するために、個々の
定位置に配置された複数の被搬送物のうちから任意のも
のを取り出して別の装置へ供給し或いは逆にこの別の装
置から戻された被搬送物を元の定位置へ戻す給送装置に
おいて、前記別の装置の例えば前述の位置決めユニット
の近くに、供給用の被搬送物待機位置と戻り用の被搬送
物待機位置とが設定され、前記別の装置との間の被搬送
物の移送が専ら前記待機位置との間で行なわれる。

両方の待機位置は各々別々に設定され、供給用と戻り用
とに固定的に、或いは交互に入れ替るように設定される
。

［作　用］ 本発明の給送装置では、定位置に配置された複数の被搬
送物を一旦供給用待機位置に移しておいてから別の装置
へ供給し、また別の装置から戻されてくる被搬送物を一
旦戻り用待磯位置に置いてから元の定位置へ戻すように
サイクルを組むことができるので、別の装置での被搬送
物の例えば焼付は等の処理工程中、すなわち給送装置と
しての待機時間中に、給送装置内で被搬送物の待機位置
と各定位置との間の移送を済まけておき、別の装置との
被搬送物のやりとりを実質的に前記待機位置との間だけ
で行なうようにして、サイクル時間の実質的な固定化が
可能となり、待機位置を別の装置に最も近い位置に設定
すれば、別の装置に対する被搬送物の受は渡しをどの定
位置の被搬送物に対しても一定の極く短時間内で済ませ
るようにして、前述従来例のようなエレベータ駆動によ
るロス時間を実質的になくすことが可能となる。

本発明の一層の理解のために実施例を示せば以下の通り
である。

［実施例］ 第１図において、カセットケース１１はそれぞれレチク
ルを１枚ずつ収容した専用のものであって所定位置にＮ
０１１〜ＮのＮ段配置されている。各カセットケース１
１はそれぞれレチクルを載置する本体部１１ａとその上
に被さる蓋１１ｂとからなり、フォーク１３によって全
体或いはレチクルを載せた本体部１１ａのみのいずれか
を選択的に定位置から引き出し、或いは逆に定位置へ房
すことができるようになっている。フォーク１３によっ
て保持されたカセットないしその本体部はエレベータ１
４によって昇降移動され、焼付装置本体へのレチクル受
は渡し部である位置決めユニット１２との間の移送が行
なわれるようになっている。

各カセット１７の定位置の最上部で位置決めユニット１
２に最も近い位置に、供給用待機位置１Ｇと戻り用待機
位置１７とが設定され、これら両位置にもエレベータ１
４とフ４−り１３によるカセットの出し入れができるよ
うになされており、図示の例では丁度Ｎ００８のカセッ
トが供給用待機位置１６に、Ｎｏ、９のカセットの蓋１
１ｊｌが戻り用待機位置１７にセットされており、Ｎｏ
、９のカセットのレチクルと本体部１１ａが位置決めユ
ニット１２から図示しない焼付装置本体内での処理に供
されている状態を示している。この場合、Ｎ０８８とＮ
ｏ、９のカセットの本来の定位置は空状態となっている
。尚、第１図において１５はエレベータ駆動系を示す。

本発明の給送装置によるレチクルチェンジャの作動手順
を述べれば以下の通りである。

（１）焼付装置よりレチクル交換の指令を受ける。

（２）焼付装置内のＮ００９レチクルを位置決めユニッ
ト１２を介してそのカセット本体部に載せてフォーク１
３およびエレベータ１４により戻り用待機位Ｍ１７にあ
るＮＯ１９カセットの蓋に戻す。

（３）フォーク１３とエレベータ１４によって供給用待
機位置１６にあるＮｏ、８のカセットのレチクルをその
カセット本体部に載せたまま引き出して位置決めユニッ
ト１２に移送し、位置決め後、焼付装置、　　内へ搬入
して交換終了の信号を装置へ与える。

（４）フォーク１３とエレベータ１４を戻して、戻り用
待機位置１７にあるＮ０９９力セツト全体を引き出し、
元のＮＯ１９の定位置へ戻す。

（５）フォーク１３とエレベータ１４により供給用待機
位置１６にあるＮｏ６８カセツトの蓋（つまり空のカセ
ット）を戻り用待機位＠１７に移しておく。

（６）焼付装置にＮ００８カセツトの次にセットが予定
されているカセット（例えばＮｏ、１０カセツトとする
）をフォーク１３とエレベータ１４によって全体的に定
位置から引き出して、空になっている供給用待機位置１
６にセットし、焼付装置からの次のレチクル交換指令を
待つ。

以上のようにして、次の交換指令を受けたら（１）〜（
６）の工程を繰り返すことによりＮｏ。

８カセツトを戻してＮｏ、１０カセツトのレチクルを焼
付装置に供給し、以後同様にして予じめ組まれだレチク
ル順序に従ってレチクル交換を行なう。

焼付装置側からみた場合、上記の工程中でレチクル交換
のために待たされるのは（１）〜（３）の工程に要する
時間のみであってこれは常に一定であり、工程（４）〜
（６）は焼付装置での処理時間中に行なうことができる
ので、レチクル交換のロス時間とはならない。

このように焼付装置のレチクル交換のための待ち時間は
本発明によれば常に一定であり、また両待機位置を位置
決めユニットに極力近づけることによりこの待ち時間を
極めて短いものとすることができ、焼付装置のスループ
ットの向上が達成できるものである。

本発明において前述の実施例の作動手順は一例であって
これに限定されるものではなく、たとえば工程（５）を
省略して次に焼付装置ヘセットすべきレチクルの入った
カセット（Ｎｏ、１０）を工程（６）で待機位置１７に
セットするようにしてもよく、待機位置１６と１７を交
互に供給用と戻り用に役割りを替えて用いるようにして
もよい。

尚、前述の実施例では各カセット１１と両待機位置とが
固定であってフォーク１３がこれと相対的にエレベータ
１４で昇降移動する場合を述べたが、カセットの各定位
置と両待機位置とをカセット多段保持枠内に設定してこ
の保持枠全体をフォークに対して相対的に昇降移動させ
、フォークの上下移動を制限するようにしてもよい。

［発明の効果］ 以上に述べたように、本発明によれば、二つの待機位置
を設けて被搬送物の給送を専らこの特別位置との間で行
なうようにしたから、例えば半導体焼付装置のレチクル
チェンジャに適用してレチクル交換のための焼付装置の
待ち時間を常に一定時間に固定でき、またその短縮化も
可能であるので全体としての装置のスルーブツトの向上
が達成できるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す概念図、第２図は従来
例の概念図である。 １１・・・カセットケース、１２・・・位置決めユニッ
ト、１３・・・フォーク、１４・・・エレベータ、１５
・・・エレベータ駆動系、１６・・・供給用待機位置、
１７・・・戻り用待機位買。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、個々の定位置に配置された複数の被搬送物のうちか
   ら任意のものを取り出して別の装置へ供給し、この別の
   装置から戻された被搬送物を元の定位置へ戻す給送装置
   において、 前記別の装置へ供給するための被搬送物用と前記別の装
   置から戻されてくる被搬送物用の各々の待機位置が設け
   られ、前記別の装置との間の被搬送物の移送を専ら前記
   待機位置との間で行なうようになされたことを特徴とす
   る給送装置。 ２、前記別の装置へ供給するための被搬送物の待機位置
   と、前記別の装置から戻されてくる被搬送物の待機位置
   とが各々別々に設定されている特許請求の範囲第１項に
   記載の給送装置。 ３、両方の待機位置が固定的に設定されている特許請求
   の範囲第２項に記載の給送装置。 ４、両方の待機位置が交互に入れ替るように設定されて
   いる特許請求の範囲第２項に記載の給送装置。