KR100635221B1 - 평판 디스플레이 패널 제조 장치 및 그 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 로드락 챔버와 반송 챔버 그리고 공정 챔버로 구성되어 다양한 평판 디스플레이 패널을 제조하기 위한 장치에 관한 것으로, 특히, 상기 반송 챔버에 설치되는 로봇 암에 의하여 상기 챔버 사이에서 이동되는 글래스(Glass) 상에 발생하는 정전기를 측정할 수 있는 장치를 구비함으로써, 상기 기판에 대한 공정 처리 중에 정전기를 감지할 수 있는데 적당하도록 한 평판 디스플레이 패널 제조 장치에 관한 것이다.
본 발명의 평판 디스플레이 패널 제조 장치는, 로드락 챔버와 반송 챔버 그리고 공정 챔버로 이루어진 평판 디스플레이 패널 제조 장치에 있어서, 상기 챔버들 중 적어도 어느 하나의 챔버내에 마련되어 상기 챔버 내측의 정전기량을 감지하는 정전기 감지 센서부와, 상기 정전기 감지 센서부와 전기적으로 연결되어 상기 정전기 감지 센서부의 정전기 감지량을 출력하는 출력부와, 상기 정전기 감지 센서부의 검출 결과에 기초하여 상기 정전기 감지 센서부로부터의 정전기 감지량이 일정 설정기준치를 초과하는 경우 상기 결과를 상기 출력부를 통해 출력하도록 제어하는 제어부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
FPD, 정전기

Description

평판 디스플레이 패널 제조 장치 및 그 방법{apparatus and method for manufacturing fpd}
도 1은 종래의 평판 디스플레이 패널 제조 장치의 평면도이다.
도 2는 본 발명인 평판 디스플레이 패널 제조 장치에 구비되는 정전기 측정 장치의 블록도이다.
도 3은 본 발명에 따른 제1 실시예를 설명하기 위한 이해도이다.
도 4는 본 발명에 따른 제2 실시예를 설명하기 위한 이해도이다.
도 5는 본 발명에 따른 제3 실시예를 설명하기 위한 이해도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 로드락 챔버 20 : 반송 챔버 22a : 로봇암
30 : 공정 챔버 32 : 승강핀 34 : 승강바
36 : 기판지지대 40 : 기판 200 : 제어부
300 : 출력부 100, 100a, 100b, 100c : 정전기 감지 센서부
본 발명은 로드락 챔버와 반송 챔버 그리고 공정 챔버로 구성되어 다양한 평판 디스플레이 패널을 제조하기 위한 장치에 관한 것으로, 특히, 상기 반송 챔버에 설치되는 로봇 암에 의하여 상기 챔버 사이에서 이동되는 글래스(Glass) 상에 발생하는 정전기를 측정할 수 있는 장치를 구비함으로써, 상기 정전기에 의한 불량 글래스(Glass)를 선별하는데 적당하도록 한 평판 디스플레이 패널 제조 장치에 관한 것이다.
건식식각장치(Dry Etcher), 화학기상증착장치(Chemical Vapor Deposition Apparatus), 및 스퍼터(Sputter) 등과 같은 평판 디스플레이 패널(Flat Pannel Display : FPD, 이하 "FPD"라 함) 제조 장치는 통상 3개의 진공챔버를 포함한다. 공정이 진행될 기판을 외부로부터 받아들이거나 공정이 끝난 기판을 외부로 내보내는데 사용되는 로드락 챔버(Loadlock Chamber)와, 플라즈마나 열에너지를 이용하여 막을 증착하거나 에칭 등을 수행하는 데 사용되는 공정챔버(Process Chamber)와, 기판을 로드락 챔버에서 공정챔버로 또는 그 반대로 반송하는데 사용되는 반송챔버(Transfer Chamber)가 바로 그것이다.
도 1은 종래의 FPD 제조장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 1을 참조하면, 반송챔버(20) 내에는 로봇(robot, 22)이 설치된다. 로봇암(22a)은 FPD 기판(40)을 들어올려 이를 로드락 챔버(10)에서 공정챔버(30)로 또는 그 반대로 반송시킨다.
공정챔버(30)에서는 기판(40)이 기판 지지대(substrate supporting plate, 36) 상에 올려 놓여진 상태에서 공정이 진행된다. 기판(40)은 승강핀(32) 또는 승 강바(34)의 도움을 받아 기판 지지대(36)로부터 들어올려지거나 기판 지지대(36)로 내려놓여진다.
승강핀(32)은 기판(40)의 밑에 위치하지만, 승강바(34)는 기판(40)의 외측에 위치한다. 승강바(34)는 그 위 끝부분이 수평방향으로 절곡되어 있기 때문에 그 절곡부위가 기판(40) 쪽으로 향하도록 하면 기판(40)이 승강바(34) 상에 올려 놓여질 수 있게 된다.
상기와 같은 챔버 안에서 기판에 대한 공정을 수행하게 된다. 그런데, 기판에 대한 공정을 처리하는 과정중에는 기판 상 또는 챔버 내부에 발생하는 정전기를 피할 수 없다. 즉, 상기 기판은 챔버 사이에서 이동하는 중에 로봇 암과 계속해서 접촉하고, 이로 인하여 마찰이 생긴다.
상기 기판 상에 발생하는 정전기를 줄이기 위하여, 종래에는 챔버에 이온아이저(Ionizer)를 설치하였다. 그러나, 상기 이오나이저(Ionizer)는 ATM 상태에서만 정전기를 줄이는 용도로 사용될 뿐, 진공 상태에서는 사용할 수 없는 문제점이 있다.
따라서, 진공 상태에 있는 챔버 내부에 존재하는 기판이 정전기에 의해 손상이 발생하였는지에 대해서는 알 수 없다. 특히, FPD 제조 장치의 반송 챔버는 항상 진공 상태를 유지하므로, 반송 챔버 내에 있는 기판 상에 과도한 정전기가 존재하는지 운용자가 알 수 없다는 문제점이 발생한다. 결국, 종래에는 챔버 사이를 이동하는 기판 상이나 챔버 내부에 정전기 발생 유무를 검사하는 기능이 없어, 기판에 대한 공정이 많이 진행된 후에야 비로소 정전기 유무를 판단할 수 있게 됨으로써, 수율이 떨어지는 문제점이 발생한다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 로드락 챔버와 반송 챔버 그리고 공정 챔버로 이루어지는 평판 디스플레이 패널 제조 장치의 소정의 위치에 반송되는 기판 상 또는 챔버 내부에 발생하는 정전기를 측정할 수 있는 장치를 구비함으로써, 기판에 대한 공정 처리 중에 챔버 내부 또는 기판 상의 정전기를 체크할 수 있는 평판 디스플레이 패널 제조 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 평판 디스플레이 패널 제조 장치는, 로드락 챔버와 반송 챔버 그리고 공정 챔버로 이루어진 평판 디스플레이 패널 제조 장치에 있어서, 상기 챔버들 중 적어도 어느 하나의 챔버내에 마련되어 상기 챔버 내측의 정전기량을 감지하는 정전기 감지 센서부와, 상기 정전기 감지 센서부와 전기적으로 연결되어 상기 정전기 감지 센서부의 정전기 감지량을 출력하는 출력부와, 상기 정전기 감지 센서부의 검출 결과에 기초하여 상기 정전기 감지 센서부로부터의 정전기 감지량이 일정 설정기준치를 초과하는 경우 상기 결과를 상기 출력부를 통해 출력하도록 제어하는 제어부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다. 따라서, 기판에 대한 공정이 완료되기 전에 챔버 내부 또는 기판 상에 존재하는 정전기가 일정 기준치보다 높아지는 경우, 공정을 중단하고 정전기를 제거한 후 새로운 작업을 다시 시작할 수 있다.
또한, 상기 출력부는 디스플레이 정보를 출력하는 모니터 출력장치이거나, 음성 정보를 출력하는 알람 출력장치인 것을 특징으로 한다. 따라서, 운용자로 하여금 챔버 내부 또는 기판상의 정전기량을 시각적 또는 청각적으로 알려서 공정의 중단 및 재개가 가능하게 한다.
또한, 상기 센서부는 반송 챔버 내측 일부 영역에 설치되는 것을 특징으로 한다. 따라서, 상기 센서부는 상기 반송 챔버에 구비되는 로봇 암의 하부에 고정되어 설치되는 것이 바람직하다.
한편, 또 다른 본 발명인 평판 디스플레이 패널 제조 방법을 이루는 구성수단은, 로드락 챔버와 반송 챔버 그리고 공정챔버를 이용하여 평판 디스플레이 패널을 제조하는 방법에 있어서, 정전기 감지 센서부에 의하여 소정의 챔버 내부의 정전기량을 측정하는 단계, 상기 정전기 감지 센서부에 의하여 측정된 정전기량과 일정 설정기준치를 제어부가 비교하는 단계, 상기 비교결과, 상기 측정된 정전기량이 설정기준치 이상인 경우에는 소정의 출력부를 통해 상기 비교 결과를 출력함과 동시에 공정을 중단하고, 상기 측정된 정전기량이 설정기준치 이상이 아닌 경우에는 공정을 계속 진행하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 출력결과는 디스플레이 정보 또는 음성 정보로 출력되는 것을 특징으로 한다. 따라서, 상기 디스플레이 정보 또는 음성 정보에 의하여 운용자는 챔버 내부에 일정 이상의 정전기가 발생한 것을 알 수 있다.
이하, 상기와 같은 구성수단으로 이루어져 있는 본 발명인 평판 디스플레이 패널(FPD : Flat Pannel Display) 제조 장치에 관한 작용과 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명인 평판 디스플레이 패널 제조 장치에 구비되는 정전기 측정 장치를 구성하는 블록도이다. 이하에서는 상기 정전기 측정 장치를 제외한 평판 디스플레이 패널 제조 장치를 이루는 구성에 대해서는 종래와 동일함으로, 정전기 측정 장치를 중심으로 설명한다.
도 2에 도시된 바와 같이, 평판 디스플레이 패널 제조 장치에 구비되는 정전기 측정 장치는, 상기 평판 디스플레이 패널 제조 장치를 구성하는 챔버 중 적어도 하나의 챔버 내부에 설치되는 정전기 감지 센서부(100), 상기 센서부와 유선 또는 무선에 의하여 전기적으로 연결되어 상기 정전기 감지 센서부(100)로부터 출력되는 정전기 감지량을 제어부의 제어에 따라 출력하는 출력부(300)와, 상기 정전기 감지 센서부(100)의 검출결과인 정전기 감지량과 일정한 설정기준치를 비교하여 상기 정전기 감지량이 일정 설정기준치를 초과한 경우에 상기 검출결과를 상기 출력부(300)에 출력하도록 제어하는 제어부(200)를 포함하여 구성된다.
상기 정전기 감지 센서부(100)는 챔버 내부에 설치되어 이동 또는 대기하는 기판 상의 정전기량 또는 챔버 내부의 정전기량을 감지한다. 상기 정전기 감지 센서부(100)는 평판 디스플레이 패널 제조 장치를 이루는 로드락 챔버, 반송 챔버, 공정 챔버에 각각 모두 설치될 수도 있고 특정 챔버에만 설치될 수 있다. 그러나, 상기 반송 챔버는 항상 진공 상태를 유지하고, 다른 챔버에 비하여 상기 반송 챔버의 내부 구조가 단순하다는 점을 고려해 볼 때, 상기 정전기 감지 센서부(100)는 반송 챔버에 설치함이 가장 바람직하다. 한편, 상기 정전기 감지 센서부(100)는 기판 상의 정전기 또는 챔버 내부의 정전기를 감지하여 정전기 전압으로 출력한다.
상기 제어부(200)는 상기 정전기 감지 센서부(100)와 유선 또는 무선으로 연결되어 상기 정전기 감지 센서부(100)로부터 출력되는 감지된 정전기량을 입력받고, 입력받은 정전기 감지량과 사전에 설정된 일정 기준치를 비교하여 입력받은 정전기 감지량이 일정 설정기준치를 초과하는 경우에는 정전기 감지량이 출력될 수 있도록 제어한다. 한편, 상기 제어부(200)는 평판 디스플레이 패널 제조 장치의 전체적인 레이아웃에 따라 챔버의 내부 또는 외부에 설치될 수 있다.
상기 출력부(300)는 상기 제어부(200)의 제어에 따라 상기 정전기 감지 센서부(100)로부터 감지된 정전기 감지량을 출력한다. 즉, 상기 출력부(300)는 시각적으로 외부 운용자에게 알릴 수 있는 모니터와 같은 출력장치를 이용하여 상기 정전기 감지량에 해당하는 디스플레이 정보를 해당 모니터에 디스플레이한다. 또한, 상기 출력부(300)는 청각적으로 외부 운용자에게 알릴 수 있는 알람 출력장치를 이용하여 상기 정전기 감지량이 검출되었다는 사실을 알린다. 따라서, 운용자는 상기 출력부(300)에 의하여 디스플레이되는 디스플레이 정보나 청각적으로 감지할 수 있는 알람 정보에 의하여 공정의 중단 또는 재개 등의 공정상에 적절한 조치를 취할 수 있다.
한편, 상기 정전기 감지 센서부(100)는 정전기를 감지하는 다수개의 센서가 바(Bar) 형태의 구조물에 일렬로 배치되어 구성될 수 있다. 상기와 같은 바(Bar) 형태의 정전기 감지 센서부(100)는 챔버 내에서 이동하고 있는 기판 상의 정전기를 감지하거나 챔버 내부의 정전기를 감지하는데 적절하다.
즉, 도 3에 도시된 바와 같이 챔버(20) 내부의 기판 출입구 상측에 상기 바(Bar) 형태의 정전기 감지 센서부(100a)가 챔버(20) 내에 설치되어 챔버(20) 내에서 이동하는 기판(40) 상에 존재하는 정전기나 챔버(20) 내부에 산재되어 있는 정전기를 지속적으로 감지하여 상기 제어부(200)에 정전기 감지량을 전달한다.
또한, 상기 정전기 감지 센서부(100)는 정전기를 감지하는 다수개의 센서가 평면 형태의 구조물에 가로 및 세로로 배열되어 구성될 수 있다. 상기와 같은 평면 형태의 정전기 감지 센서부(100)는 챔버 내에서 대기하고 있는 기판 상의 정전기를 감지하거나 챔버 내부에 산재되어 있는 정전기를 감지하는데 적절하다.
즉, 도 4에 도시된 바와 같이 챔버(20) 내부의 상측에 상기 평면 형태의 정전기 감지 센서부(100b)가 챔버(20) 내에 설치되어 챔버(20) 내에서 다음 공정을 위하여 대기하고 있는 기판(40) 상에 존재하는 정전기나 챔버 내부에 산재되어 있는 정전기를 감지하여 상기 제어부(200)에 정전기 감지량을 전달한다.
도 3 또는 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 바 형태 또는 평면 형태의 정전기 감지 센서부(100a, 100b)는 정전기가 가장 빈번히 발생하는 반송챔버(20)의 내측 일부 영역에 설치되는 것이 가장 효과적이다. 따라서, 상기에서 설명한 바(Bar) 형태의 정전기 감지 센서부(100a)와 평면 형태의 정전기 감지 센서부(100b)는 반송 챔버(20) 내에서 이동 또는 대기하고 있는 기판(40)과 근접하게 설치되되, 로봇 암(22a)의 움직임에 영향을 주지 않는 위치에 설치되어야 한다. 즉, 반송 챔버(20)의 상부 내벽 또는 하부 내벽 근처에 설치하여 반송 챔버(20) 내에서 이동 또는 대기하는 기판(40) 상에 정전기를 감지하거나 반송 챔버 내에서 산재되어 있는 정전기를 감지한다.
한편, 도 5에 도시된 바와 같이, 바(Bar) 형태의 정전기 감지 센서부(100c)와 평면 형태의 정전기 감지 센서부(100c)는 기판(40)과 직접 접촉하고 있는 로봇 암(22a)의 하부 영역에 고정되어 설치할 수 있다.
이하, 첨부된 도 2 및 도 5를 참조하여 상기와 같은 구성작동에 의하여 챔버 내부의 정전기량을 감지할 수 있는 평면 디스플레이 패널 제조 방법에 관한 실시예를 설명하면 다음과 같다.
기판에 대한 공정이 진행되는 동안 정전기 감지 센서부(100, 100a, 100b, 100c)는 소정의 챔버(20) 내부에 존재하는 기판(40) 상 또는 챔버(20) 내부에 산재되어 있는 정전기량을 측정하여 제어부에 출력한다. 상기 정전기는 반송 챔버(20) 내부에 빈번하게 존재하는 것이 일반적이므로, 상기 정전기 감지 센서부(100, 100a, 100b, 100c)는 반송 챔버(20) 내부에 설치되는 것이 바람직하다.
상기 정전기 감지 센서부(100, 100a, 100b, 100c)에 의하여 출력되는 정전기 감지량을 제어부(200)가 전달받아 사전에 설정된 일정 기준치와 비교를 수행한다. 상기 비교 결과 상기 정전기 감지 센서부(100, 100a, 100b, 100c)로부터 입력받은 정전기 감지량이 일정 설정기준치를 초과하는 경우에는 상기 정전기 감지량을 출력부(300)를 통해 출력될 수 있도록 제어한다.
상기 제어부(200)의 제어에 따라 출력되는 정전기 감지량을 전달받은 출력부(300)는 운용자가 알 수 있도록 디스플레이 정보 또는 음성 정보를 출력한다. 즉, 챔버(20) 내부 또는 기판(40) 상에 존재하는 정전기가 일정 설정기준치 이상이라는 결과를 모니터와 같은 디스플레이 장비를 통해 시각적으로 운용자에게 알리거나, 부저와 같은 알람 장비를 통해 청각적으로 운용자에게 알린다.
상기와 같은 구성 및 작용 그리고 바람직한 실시예를 가지는 본 발명인 정전기 측정 장치를 구비한 평판 디스플레이 패널 제조 장치에 의하면, 기판에 대한 공정 처리가 완전히 완료되기 전에 정전기 영향에 의하여 손상된 기판을 조기에 발견할 수 있어 공정 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (7)

  1. 각각 진공 상태인 로드락 챔버와 반송 챔버 그리고 공정 챔버로 이루어진 평판 디스플레이 패널 제조 장치에 있어서,
    상기 반송 챔버에 구비되는 로봇 암의 하부 영역에 설치되어 상기 로봇 암에 장착되는 기판의 정전기량을 감지하는 정전기 감지 센서부와;
    상기 정전기 감지 센서부와 전기적으로 연결되어 상기 정전기 감지 센서부의 정전기 감지량을 출력하는 출력부와;
    상기 정전기 감지 센서부의 검출 결과에 기초하여 상기 정전기 감지 센서부로부터의 정전기 감지량이 일정 설정기준치를 초과하는 경우 상기 결과를 상기 출력부를 통해 출력하도록 제어하는 제어부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 제조장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 출력부는, 디스플레이 정보를 출력하는 모니터 출력장치인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 제조장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 출력부는, 음성 정보를 출력하는 알람 출력장치인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 제조장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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