KR101499465B1 - 원자층 증착 공정용 대면적 기판 처짐 방지 물류 장치 - Google Patents

원자층 증착 공정용 대면적 기판 처짐 방지 물류 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 대면적 기판에 대하여 배치 타입으로 원자층 증착 공정이 효율적으로 이루어질 수 있도록 대면적 기판을 공급하고 배출하는 원자층 증착 공정용 대면적 기판 처짐 방지 물류 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 원자층 증착 공정용 대면적 기판 처짐 방지 물류 장치는, 대면적 기판을 상기 기판의 상면만 노출되도록 안착하며, 상기 대면적 기판을 처짐현상 없이 지지하는 다수개의 지그; 외부로부터 공급되는 대면적 기판을 상기 지그에 안착시키고, 상기 지그에 안착된 상태에서 공정이 완료된 대면적 기판을 상기 지그와 분리시켜 외부로 배출하는 지그 챔버; 상기 지그 챔버와 공정 챔버 사이에 배치되며, 상기 지그 챔버로부터 공급되는 다수장의 기판 안착 지그와 상기 공정 챔버로부터 배출되는 다수장의 기판 안착 지그를 보관하고 상기 지그 챔버 또는 공정 챔버로 전달하는 버퍼 챔버;를 포함한다.

Description

원자층 증착 공정용 대면적 기판 처짐 방지 물류 장치{THE APPARATUS FOR TRANSFERRING A LARGE SUBSTRATE}
본 발명은 대면적 기판 처짐 방지 물류 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 대면적 기판에 대하여 배치 타입으로 원자층 증착 공정이 효율적으로 이루어질 수 있도록 대면적 기판을 공급하고 배출하는 원자층 증착 공정용 대면적 기판 처짐 방지 물류 장치에 관한 것이다.
일반적으로 원자층 증착공정은 반도체, 태양전지, OLED 등의 정밀 제조 분야에서 박막을 증착하는 공정으로 널리 사용되고 있다. 원래 반도체 공정에 사용되던 원자층 증착 공정은 작은 크기의 웨이퍼 등에 박막을 증착하는 것이 대부분이며, 최근에는 태양전지, 특히 박막형 태양전지 제조분야 그리고 OLED 등의 제조분야에서는 점차 대면적 기판에 대하여 원자층 증착 공정을 수행해야할 필요성이 높아지고 있다.
이러한 대면적 기판에 대한 원자층 증착 공정에서는 대면적 기판에 대한 전체 물류 시스템이 대면적 기판을 수평으로 이동시키는 것이 일반적이므로, 원자층 증착 장치도 기판을 수평 상태로 유지한 상태에서 원자층 증착 공정을 수행해야 할 필요성이 있다.
이때 대면적 기판을 수평상태로 유지하면, 기판의 두께가 얇으므로(예를 들어 0.3 ~ 0.7mm) 기판의 중앙 부분은 중력에 의하여 하측으로 처지는 현상이 필연적으로 발생한다. 따라서 대면적 기판에 대하여 수평 상태로 원자층 증착 공정을 수행하기 위해서는 대면적 기판의 처짐 현상에 대한 대응방안이 필요하다.
또한 대면적 기판에 대한 공정 시간이 길어지므로 장비의 쓰루풋을 높이기 위하여 다수장의 기판에 대하여 동시에 공정을 진행할 수 있는 기술의 개발도 절실하게 요구되고 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 대면적 기판에 대하여 배치 타입으로 원자층 증착 공정이 효율적으로 이루어질 수 있도록 대면적 기판을 공급하고 배출하는 원자층 증착 공정용 대면적 기판 처짐 방지 물류 장치를 제공하는 것이다.
전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 원자층 증착 공정용 대면적 기판 처짐 방지 물류 장치는, 대면적 기판을 상기 기판의 상면만 노출되도록 안착하며, 상기 대면적 기판을 처짐현상 없이 지지하는 다수개의 지그; 외부로부터 공급되는 대면적 기판을 상기 지그에 안착시키고, 상기 지그에 안착된 상태에서 공정이 완료된 대면적 기판을 상기 지그와 분리시켜 외부로 배출하는 지그 챔버; 상기 지그 챔버와 공정 챔버 사이에 배치되며, 상기 지그 챔버로부터 공급되는 다수장의 기판 안착 지그와 상기 공정 챔버로부터 배출되는 다수장의 기판 안착 지그를 보관하고 상기 지그 챔버 또는 공정 챔버로 전달하는 버퍼 챔버;를 포함한다.
본 발명에서 상기 지그 챔버는, 상기 지그 하면과 접촉하여 상기 지그를 수평 방향으로 이동시키는 지그 이동 롤러; 상기 지그 이동 롤러 사이로 상하 구동하며, 상기 지그에 안착된 기판 또는 외부로부터 반입된 기판을 상하 방향으로 승강시키는 기판 승강부;를 포함하는 것이 바람직하다.
또한 상기 지그는, 상측에서 하측으로 음각되어 형성되며, 상기 대면적 기판이 안착된 상태에서 상기 지그의 상면과 상기 대면적 기판의 상면의 높이가 일치하도록 상기 대면적 기판이 삽입되는 기판 안착홈이 형성되는 것이 바람직하다.
또한 상기 기판 승강부는, 상기 지그 이동 롤러 하측에서 상하 방향으로 승강하는 핀 플레이트; 상기 핀 플레이트 상면에 수직으로 기립되어 설치되며, 상기 지그 이동 롤러 사이로 승강할 수 있도록 다수개가 배치되어 상기 대면적 기판을 지지하는 승강핀;을 포함하는 것이 바람직하다.
그리고 상기 버퍼 챔버는, 일정 간격 이격된 상태에서 서로 마주보도록 설치되며, 상기 지그를 수평 이동시키는 한 쌍의 지그 이동 롤러; 상기 지그 이동 롤러의 간격을 조정하는 롤러 간격 조정부; 다수장의 지그를 상하 방향으로 일정 간격 이격되어 탑재하는 지그 수직 탑재부; 상기 지그 수직 탑재부를 수직 방향으로 승강시키는 탑재부 승강수단;을 포함하는 것이 바람직하다.
이때 상기 지그 수직 탑재부는, 상기 지그의 네 모서리를 지지하는 것이 바람직하다.
그리고 상기 버퍼 챔버는, 상기 지그 수직 탑재부 높이의 절반에 해당하는 폭을 가지는 버퍼 공간을 구비하는 것이 바람직하다.
또한 상기 버퍼 챔버에는, 상기 버퍼 챔버 내부를 가열하는 가열장치가 더 구비되는 것이 바람직하다.
본 발명의 원자층 증착 공정용 대면적 기판 처짐 방지 물류 장치에 의하면 대면적 기판에 대하여 다수장의 기판을 동시에 공정 챔버 내부로 삽입하고 원자층 증착 공정을 진행하여 우수한 쓰루풋으로 공정을 효율적으로 진행할 수 있도록 기판의 반입 및 반출이 이루어지는 장점이 있다. 또한 기판 반입 및 반출 과정에서 대면적 기판의 처짐 현상을 원천적으로 방지하여 배치 타입 원자층 증착 공정이 가능하도록 하는 장점도 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 물류장치의 레이아웃을 도시한 도면이다
도 2는 본 발명의 일 실시예에 다른 지그의 구조를 도시하는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 지그 챔버의 구조를 도시하는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼 챔버의 구조를 도시하는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼 챔버의 구조를 도시하는 다른 방향의 단면도이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.
본 실시예에 따른 원자층 증착 공정용 대면적 기판 처짐 방지 물류 장치(1)는 도 1에 도시된 바와 같이, 지그 챔버(100)와 버퍼 챔버(200)를 포함하여 구성된다. 먼저 본 실시예에 따른 물류 장치(1)에서는 대면적 기판(S)이 단독으로 이동되는 것이 아니라 도 2에 도시된 바와 같이, 지그(20)에 안착된 상태에서 이동된다. 여기에서 상기 지그(20)는 대면적 기판(S)을 처짐 현상 없이 지지할 수 있는 충분한 강도를 가지며, 무게가 가벼운 경량 소재로 이루어지는 것이 바람직하며, 예를 들어 탄소합성소재로 이루어질 수 있다.
구체적으로 상기 지그(20)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상측에서 하측 방향으로 기판이 안착되는 기판 안착홈(22)이 음각되어 형성된다. 이 기판 안착홈(22)은 상기 지그(20)의 대부분의 면적에 걸쳐서 형성되며, 상기 지그(20)의 가장자리만을 남기는 형태로 형성된다. 이때 상기 기판 안착홈(22)의 깊이는 상기 기판(S)의 두께와 일치하게 형성된다. 따라서 상기 지그(20)에 기판(S)이 안착된 상태에서 기판(S)의 상면만이 노출되며, 상기 기판(S)의 상면과 상기 지그(20)의 상면 높이는 일치된다.
또한 상기 지그(20)에는 도 2에 도시된 바와 같이, 승강핀 관통홈(24)이 형성된다. 이 승강핀 관통홈(24)은 도 3에 도시된 바와 같이, 기판(S)을 엔드 이펙터에서 전달받거나 전달하는 과정에서 상기 승강핀이 통과하여 기판과 접촉하는 통로로 이용된다.
또한 상기 지그(20)의 표면은 원자층 증착 공정에서의 오염방지 및 파티클 발생 방지를 위하여 특수한 재질로 코팅될 수도 있으며, 예를 들어 상기 원자층 증착 공정에서 이루어지는 증착 물질과 동일한 물질로 코팅될 수 있다.
본 실시예에 따른 원자층 증착 공정용 대면적 기판 처짐 방지 물류 장치(1)에서는 전술한 지그(20) 다수개가 순환하면서 기판의 이동과정에 사용된다.
다음으로 상기 지그 챔버(100)는 도 1에 도시된 바와 같이, OLED 제조용 메인 물류 라인과 연결되는 반송 챔버(10)와 후술하는 버퍼 챔버(200) 사이에 배치되며, 외부로부터 공급되는 대면적 기판(S)을 상기 지그에(20) 안착시키고, 상기 지그(20)에 안착된 상태에서 공정이 완료된 대면적 기판(S)을 상기 지그(20)와 분리시켜 외부로 배출하는 역할을 한다.
본 실시예에서는 전술한 바와 같이, 대면적 기판(S)의 처짐 방지를 위하여 기판(S)을 지그(20)에 안착한 상태에서 이송 및 공정이 이루어지는데 반하여, 메인 물류 라인에서는 기판을 지그에서 분리한 상태로 이송된다. 따라서 상기 지그 챔버(100)가 기판(S)을 지그(20)에 안착시키고, 분리시키는 과정을 수행하는 것이다.
상기 지그 챔버(100)에는 도 3에 도시된 바와 같이, 메인 물류 라인과 버퍼 챔버에 접하는 측벽에 게이트(140)가 각각 형성되고, 이 게이트(140)를 개폐하는 게이트 밸브(150)가 구비된다. 또한 상기 지그 챔버(100) 내부를 진공 상태를 만들기 위한 진공 펌프가 구비된다.
구체적으로 상기 지그 챔버(100)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 지그 이동 롤러(110)와 기판 승강부(120)를 포함하여 구성된다. 먼저 상기 지그 이동 롤러(110)는 상기 지그 챔버(100)의 중앙 부분에 수평 방향으로 나란하네 배열되어 설치된다. 상기 지그 이동 롤러(110)는 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 지그(20) 하면과 접촉하여 회전하면서 상기 지그(20)를 수평 방향으로 이동시키는 구성요소이다.
다음으로 상기 기판 승강부(120)는 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 지그 이동 롤러(110) 사이로 상하 구동하며, 상기 지그(20)에 안착된 기판(S) 또는 외부로부터 반입된 기판을 상하 방향으로 승강시키는 구성요소이다. 이를 위하여 상기 기판 승강부(120)는 구체적으로 승강핀(122)과 핀 플레이트(124)를 포함하여 구성된다. 상기 승강핀(122)은 기판(S) 하면과 직접 접촉하여 기판(S)을 지지하는 구성요소이며, 도 3에 도시된 바와 같이, 지그 이동 롤러(110) 사이로 승강할 수 있는 위치에 다수개가 설치된다. 그리고 상기 핀 플레이트(124)는 상기 다수개의 승강핀(122)이 설치되는 장소를 제공하여 다수개의 승강핀(122)이 동시에 상하 방향으로 승강하도록 한다. 그리고 상기 핀 플레이트(124)는 별도로 구비되는 승강 수단(126)에 의하여 상하 방향으로 승강되며, 이 승강수단(126)은 다양한 구조를 가질 수 있다.
한편 상기 지그 챔버(100)에는 상기 지그(20)가 상기 지그 이동 롤러(122) 상의 정확한 정지 위치에 정지하였는지를 감지할 수 있는 센싱수단(도면에 미도시)이 더 구비될 수 있다. 상기 지그(20)의 정확한 정지 위치는 승강핀(122)의 승강 과정 및 기판(S)의 안착 과정에서 매우 중요하기 때문이다.
다음으로 상기 버퍼 챔버(200)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 지그 챔버(100)와 공정 챔버(300) 사이에 배치되며, 상기 지그 챔(100)버로부터 공급되는 다수장의 기판 안착 지그(20)와 상기 공정 챔버(300)로부터 배출되는 다수장의 기판 안착 지그(20)를 보관하고 상기 지그 챔버(100) 또는 공정 챔버(300)로 전달하는 역할을 한다. 이를 위하여 상기 버퍼 챔버(200)는 구체적으로 도 4에 도시된 바와 같이, 지그 이동 롤러(210), 롤러 간격 조정부(220), 지그 수직 탑재부(230) 및 탑재부 승강수단(240)을 포함하여 구성된다.
먼저 상기 지그 이동 롤러(210)는 도 4, 5에 도시된 바와 같이, 일정 간격 이격된 상태에서 서로 마주보도록 설치되며, 회전하면서 상기 지그(20)를 수평 이동시키는 구성요소이다. 이때 상기 한 쌍의 지그 이동 롤러(210)는 상기 지그 수직 탑재부(230)의 상하 구동을 위하여 간격 조정이 필요하다. 따라서 상기 롤러 간격 조정부(220)는 상기 지그 이동 롤러(210)의 간격을 필요에 따라 조정한다. 즉, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 지그 이동 롤러(210)가 서로 마주보는 방향으로 수평 이동시킴으로써 지그 반입 반출 과정과 지그 적재 과정이 원활하게 진행되도록 한다.
다음으로 상기 지그 수직 탑재부(230)는 도 4, 5에 도시된 바와 같이, 다수장의 지그(20)를 상하 방향으로 일정 간격 이격되어 탑재하는 구성요소이다. 이를 위하여 상기 지그 수직 탑재부(230)는 지그(20)의 하면 일부를 지지하는 다양한 구조를 가질 수 있으며, 예를 들어 지그(20)의 네 모서리를 각각 지지하는 구조를 가질 수 있다.
이때 상기 지그 수직 탑재부(230)에 탑재되는 지그 사이의 간격은 최소화되는 것이 바람직하며, 탑재되는 지그(20)의 수는 상기 공정 챔버(300)에서 한번의 공정으로 이루어지는 기판 개수의 2배인 것이 바람직하다. 이는 상기 공정 챔버(300)에서 처리된 기판과 처리될 기판을 동시에 탑재할 수 있어야 상기 공정 챔버(300)에서 공정이 완료된 후에 공정이 완료된 기판 전체를 버퍼 챔버(200)로 배출하고, 즉시 공정이 진행될 기판을 공정 챔버(300)로 반입할 수 있어서 공정 시간을 단축할 수 있기 때문이다.
다음으로 상기 탑재부 승강수단(240)은 도 4, 5에 도시된 바와 같이, 상기 지그 수직 탑재부(230)를 수직 방향으로 승강시키는 구성요소이다. 상기 기판 수직 탑재부(230)는 다수장의 대면적 기판(S)이 안착된 지그(20)를 수평 상태로 탑재시키므로, 상기 지그 수직 탑재부(230)를 지그(20)의 적재과정이나 분리 과정에서는 상기 지그 수직 탑재부가(230) 승하강할 필요가 있다. 따라서 상기 탑재부 승강수단(240)이 상기 지그 수직 탑재부(230)를 상하 방향으로 한 피치씩 승강시키는 것이며, 그 구조는 다양하게 변화될 수 있다. 또한 도, 4, 5에서는 상기 탑재부 승강수단(240)이 상기 버퍼 챔버(200)의 상측에 구비되는 것으로 도시하였으나, 그 설치위치는 여기에 한정되지 않고, 상기 버퍼 챔버(200)의 하측에 구비될 수도 있다.
한편 상기 버퍼 챔버(200)는 도 4, 5에 도시된 바와 같이, 상기 지그 수직 탑재부(230)가 상하 방향으로 구동할 수 있는 공간을 제공하기 위하여 버퍼 공간을 구비한다. 이때 상기 버퍼 공간은 도 4, 5에 도시된 바와 같이, 상기 지그 수직 탑재부(230) 높이의 절반에 해당하는 폭을 가지는 것이 바람직하다. 상기 버퍼 공간은 상기 버퍼 챔버(200)가 진공상태를 유지하기 때문에 최소화되는 것이 바람직하다. 그러면서도 상기 지그 수직 탑재부(230)에는 한번의 공정으로 공정이 진행될 기판과 공정이 완료된 기판이 동시에 적재될 수 있어야 한다. 따라서 상기 지그 수직 탑재부(230)에 공정 예정 지그 전체를 탑재하기 위하여 하측으로 하강하는 높이와 공정 완료 지그 전체를 탑재하기 위하여 상측으로 상승하는 높이는 모두 동일하게 지그 수직 탑재부(230)의 절반에 해당된다. 그러므로 상기 버퍼 공간은 그 과정에서 지그 수직 탑재부(230)가 승강할 수 있는 폭으로 형성되면 충분한 것이다.
다음으로 상기 버퍼 챔버(200)에는 상기 버퍼 챔버(200) 내부를 가열하는 가열장치(도면에 미도시)가 더 구비될 수 있다. 공정 챔버(300)에서 이루어지는 원자층 증착 공정에서는 지그(20) 및 기판(S)이 일정한 온도로 가열될 필요가 있다. 따라서 상기 버퍼 챔버(200)에서 상기 지그(20) 및 기판(S)을 필요한 온도로 가열하고 보관하는 경우에는 상기 공정 챔버(300)에서 승온에 필요한 시간이 단축될 수 있는 장점이 있다.
이하에서는 본 실시예에 따른 물류 장치(1)에 기판이 이동되는 과정을 설명한다.
먼저 메인 물류 라인(10)에서 대면적 기판(S)이 지그 챔버(100) 내부로 반입된다. 반입된 기판(S)은 일반적으로 반송 로봇의 엔드 이펙터에 탑재된 상태로 공급된다. 반입된 기판(S)을 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 승강핀(122)이 상승하여 상기 엔드 이펙터로부터 전달받고, 상기 엔드 이펙터는 지그 챔버(100) 밖으로 후퇴한다.
이때 상기 지그 이동 롤러(110) 상에는 기판(S)이 안착될 지그(20)가 정확한 위치에 배치되어 대기한다. 이 상태에서 상기 승강핀(122)이 기판(S)을 지지한 채로 하강하면 상기 기판(S)이 상기 지그(20)의 기판 안착홈(22)의 정확한 위치에 안착된다.
그리고 나서 상기 지그 이동 롤러(110)가 회전하여 상기 기판(S)이 안착된 지그(20)를 상기 버퍼 챔버(200)로 이동시킨다. 상기 버퍼 챔버(200)에서는 지그 이동 롤러(210)가 이동되는 지그(20)를 수취하여 정확한 위치에 정지시킨다.
상기 지그(20)가 정확한 위치에 정지한 상태에서 상기 지그 수직 탑재부(230)가 상승하면서 상기 지그 이동 롤러(210) 상에 지지되어 있는 지그(20)를 들어올려 상기 지그 수직 탑재부(230)에 탑재시킨다. 이러한 과정을 다수번 반복하여 공정이 진행될 지그 전체를 상기 지그 수직 탑재부(230)에 탑재시킨다.
그리고 상기 지그 수직 탑재부(230)에 탑재된 지그(20)를 상기 공정 챔버(300)로 공급하는 과정은 탑재 과정과 역순으로 진행된다. 즉, 상기 지그 수직 탑재부(230)가 하강하면서 탑재된 지그(20)를 상기 지그 이동 롤러(210)로 전달하고, 상기 지그 이동 롤러(210)가 회전하여 지그(20)를 상기 공정 챔버(300)로 반입하는 것이다.
한편 상기 공정 챔버(300)에서 공정이 완료된 지그(20)는 상기 지그 이동롤러(210)로 배출된다. 배출된 지그(20)는 상기 지그 수직 탑재부(230)에 순차적으로 탑재된다. 모든 공정 완료 지그가 지그 수직 탑재부(230)에 탑재된 후에는 공정 챔버(300)의 게이트 밸브(260)가 닫히고 공정이 진행되며, 버퍼 챔버(200) 내부의 공정 완료 지그(20)를 지그 챔버(100)로 배출하는 과정이 진행된다. 그리고 지그 챔버(100)에서는 지그(20)로부터 기판을 분리하여 메인 물류 라인으로 배출하고, 공정이 진행될 새로운 기판을 지그에 안착하여 버퍼 챔버(200)로 공급한다.
1 : 본 발명의 일 실시예에 따른 원자층 증착 공정용 대면적 기판 처짐 방지 물류 장치
10 : 메인 물류 장치의 반송챔버 20 : 기판 안착 지그
100 : 지그 챔버 200 : 버퍼 챔버
300 : 공정 챔버 S : 기판

Claims (8)

  1. 대면적 기판을 상기 기판의 상면만 노출되도록 안착하며, 상기 대면적 기판을 처짐현상 없이 지지하는 다수개의 지그;
    외부로부터 공급되는 대면적 기판을 상기 지그에 안착시키고, 상기 지그에 안착된 상태에서 공정이 완료된 대면적 기판을 상기 지그와 분리시켜 외부로 배출하는 지그 챔버;
    상기 지그 챔버와 공정 챔버 사이에 배치되며, 상기 지그 챔버로부터 공급되는 다수장의 기판 안착 지그와 상기 공정 챔버로부터 배출되는 다수장의 기판 안착 지그를 보관하고 상기 지그 챔버 또는 공정 챔버로 전달하는 버퍼 챔버;를 포함하며,
    상기 버퍼 챔버는,
    일정 간격 이격된 상태에서 서로 마주보도록 설치되며, 상기 지그를 수평 이동시키는 한 쌍의 지그 이동 롤러;
    상기 지그 이동 롤러의 간격을 조정하는 롤러 간격 조정부;
    다수장의 지그를 상하 방향으로 일정 간격 이격되어 탑재하는 지그 수직 탑재부;
    상기 지그 수직 탑재부를 수직 방향으로 승강시키는 탑재부 승강수단;을 포함하는 원자층 증착 공정용 대면적 기판 처짐 방지 물류 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 지그 챔버는,
    상기 지그 하면과 접촉하여 상기 지그를 수평 방향으로 이동시키는 지그 이동 롤러;
    상기 지그 이동 롤러 사이로 상하 구동하며, 상기 지그에 안착된 기판 또는 외부로부터 반입된 기판을 상하 방향으로 승강시키는 기판 승강부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 공정용 대면적 기판 처짐 방지 물류 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 지그는,
    상측에서 하측으로 음각되어 형성되며, 상기 대면적 기판이 안착된 상태에서 상기 지그의 상면과 상기 대면적 기판의 상면의 높이가 일치하도록 상기 대면적 기판이 삽입되는 기판 안착홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 공정용 대면적 기판 처짐 방지 물류 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 기판 승강부는,
    상기 지그 이동 롤러 하측에서 상하 방향으로 승강하는 핀 플레이트;
    상기 핀 플레이트 상면에 수직으로 기립되어 설치되며, 상기 지그 이동 롤러 사이로 승강할 수 있도록 다수개가 배치되어 상기 대면적 기판을 지지하는 승강핀;을 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 공정용 대면적 기판 처짐 방지 물류 장치.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서, 상기 지그 수직 탑재부는,
    상기 지그의 네 모서리를 지지하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 공정용 대면적 기판 처짐 방지 물류 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 버퍼 챔버는,
    상기 지그 수직 탑재부 높이의 절반에 해당하는 폭을 가지는 버퍼 공간을 구비하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 공정용 대면적 기판 처짐 방지 물류 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 버퍼 챔버에는,
    상기 버퍼 챔버 내부를 가열하는 가열장치가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 공정용 대면저 기판 처짐 방지 물류 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20060066224A (ko) * 2004-12-13 2006-06-16 엘지전자 주식회사 챔버
KR20100128864A (ko) * 2009-05-29 2010-12-08 주식회사 케이씨텍 원자층 증착장치
KR20110104594A (ko) * 2010-03-17 2011-09-23 주식회사 엘지실트론 서셉터 및 이를 사용하는 에피텍셜 반응기
KR20120048879A (ko) * 2010-11-08 2012-05-16 주식회사 케이씨텍 클램프 링을 구비하는 세미배치 타입 원자층 증착장치

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