KR101312821B1 - 기판 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

본 실시 예는 기판 이송 장치에 관한 것이다. 일 측면에 따른 기판 이송 장치는 바디; 상기 바디의 내부에서 승강되기 위한 승강 기구; 및 상기 승강 기구와 연결되고, 상기 승강 기구에 대해서 상대 운동 가능하며, 기판을 이송할 수 있는 가동부를 포함하고, 상기 승강 기구는, 상기 가동부를 구동시키기 위한 구동부와, 상기 구동부의 외측에 구비되는 하우징과, 상기 하우징의 외측 공간과 상기 구동부가 위치하는 공간을 연통시키는 개구부와, 상기 개구부를 커버하는 커버 부재가 포함되고, 상기 승강 기구가 특정 위치로 상승되면, 상기 커버 부재는 상기 바디의 외부로 인출되는 것을 특징으로 한다.

Description

기판 이송 장치{Substrate transfer apparatus}
본 실시 예는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 기판 이송 장치는 특정 카세트에 적재된 기판을 이송하기 위한 장치이다.
상기 기판 이송 장치는, 특정 위치에 설치된 상태에서 1축 이상의 좌표로 움직일 수 있도록 구성된다. 상기 기판 이송 장치는, 암 기구와 상기 암 기구를 구동시키기 위한 하나 이상의 모터가 포함된다. 상기 암 기구는 하나 이상의 암을 포함한다. 상기 암의 단부에는 기판을 지지하기 위한 엔드 이펙터(End effector)를 가지는 핸드가 구비된다. 상기 기판은, 웨이퍼(wafer), LCD 기판 등이 포함될 수 있다.
위와 같이 구성되는 종래의 기판 이송 장치에 의하면, 모터가 손상되거나 모터의 교체가 필요한 경우, 상기 모터를 수리 또는 교체하기 위해서는 기판 이송 장치의 전체 또는 많은 부분을 분해하여야 하므로, 작업 시간이 증가되고 작업 효율이 저하되는 문제가 있다.
본 실시 예의 목적은 구동력을 발생시키는 구동부의 교체가 용이한 기판 이송 장치를 제공하는 것에 있다.
일 측면에 다른 기판 이송 장치는, 바디; 상기 바디의 내부에서 승강되기 위한 승강 기구; 및 상기 승강 기구와 연결되고, 상기 승강 기구에 대해서 상대 운동 가능하며, 기판을 이송할 수 있는 가동부를 포함하고, 상기 승강 기구는, 상기 가동부를 구동시키기 위한 구동부와, 상기 구동부의 외측에 구비되는 하우징과, 상기 하우징의 외측 공간과 상기 구동부가 위치하는 공간을 연통시키는 개구부와, 상기 개구부를 커버하는 커버 부재가 포함되고, 상기 승강 기구가 특정 위치로 상승되면, 상기 커버 부재는 상기 바디의 외부로 인출되는 것을 특징으로 한다.
다른 측면에 따른 기판 이송 장치는, 바디; 상기 바디의 내부에서 승강되기 위한 승강 기구; 상기 승강 기구에 대해서 상대 운동 가능하며, 기판을 이송할 수 있는 가동부; 상기 승강 기구와 상기 가동부를 연결하며, 상기 승강 기구에 회전 가능하게 연결되는 연결부가 포함되고, 상기 연결부는, 상기 가동부를 구동시키기 위한 구동부와, 상기 구동부의 외측에 구비되는 하우징과, 상기 하우징의 외측 공간과 상기 구동부가 위치하는 공간을 연통시키는 개구부와, 상기 개구부를 커버하는 커버 부재가 포함되고, 상기 승강 기구가 특정 위치로 상승되면, 상기 커버 부재는 상기 바디의 외부로 인출되는 것을 특징으로 한다.
제안되는 실시 예에 의하면, 구동부를 교체하기 위하여 상기 승강 기구를 일정 높이로 상승시킨 상태에서 상기 커버 부재 만을 분리시키면 되므로, 작업자의 편의성이 증진되는 장점이 있다.
즉, 본 실시 예에 의하면, 구동부의 교체 또는 수리를 위하여 분해되어야 할 구성 요소가 최소화되므로, 작업자의 작업 효율이 증가되는 장점이 있다.
도 1은 본 실시 예에 따른 기판 이송 장치의 사시도.
도 2는 기판 이송 장치에서 승강 기구를 구성하는 커버 부재가 제거된 상태를 보여주는 사시도.
도 3은 승강 기구의 구조를 보여주는 부분 사시도.
도 4는 본 실시 예에 따른 연결부와 그 내부 구성을 보여주는 도면.
도 5는 가동부에 암 기구를 구동시키기 위한 암 구동부가 연결되는 모습을 보여주는 사시도.
도 6은 승강 기구가 최고 높이로 상승한 모습을 보여주는 사시도.
도 7은 제 2 구동부 또는 암 구동부를 교체하기 위하여 커버가 분리된 상태를 보여주는 사시도.
이하에서는 도면을 참조하여 실시 예에 대해서 구체적으로 설명한다.
본 발명의 실시예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
도 1은 본 실시 예에 따른 기판 이송 장치의 사시도이다.
본 실시 예에서 제시되는 기판 이송 장치는 본 실시 예의 사상을 설명하기 위하여 예시된 것으로서, 구동부의 용이한 교체를 위한 구조를 제외한 기판 이송 장치의 다른 구조 및 형상에는 제한이 없음을 밝혀둔다.
도 1에는 바디를 구성하는 일부 프레임이 제거된 상태가 도시된다.
도 1을 참조하면, 본 실시 예의 기판 이송 장치(1)는 특정 위치에 설치되는 바디(10)와, 상기 바디(10)와 상대 운동 가능한 가동부(20)와, 상기 가동부(20)에 설치되는 하나 이상의 암 기구(30, 31)가 포함된다.
상세히, 상기 바디(10)는, 베이스(101)와, 상기 베이스(101)에 설치되는 프레임(102)이 포함된다.
상기 프레임(102)의 내부에는 상하 이동하는 승강 기구(110)와, 상기 승강 기구를 구동시키기 위한 제 1 구동부(130)가 구비된다. 상기 가동부(20)는 상기 승강 기구(110)의 상측부에 연결된다.
상기 프레임(102)의 상면에는 상기 승강 기구(110)가 관통하기 위한 홀(103)이 형성된다.
상기 제 1 구동부(130)의 작동에 의해서 상기 프레임(102) 내부에 구비되는 스크류(121: 도 2참조)가 회전되어, 상기 승강 기구(110)가 상하 이동하게 된다. 상기 프레임(102) 내부에는 상기 승강 기구(110)의 상하 이동을 가이드하는 하나 이상의 가이더(122)가 구비될 수 있다.
본 실시 예에서 상기 승강 기구를 구동시키기 위한 제 1 구동부 및 동력 전달 구조는 공지의 구성을 사용할 수 있으므로, 자세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 하나 이상의 암 기구(30, 31)는 제 1 암 기구(30)와 제 2 암 기구(31)가 포함된다. 도 1에는 일 례로 상기 가동부(20)에 두 개의 암 기구(30, 31)가 설치되는 것이 개시되나, 상기 암 기구(30, 31)의 개수에는 제한이 없음을 밝혀둔다.
상기 각 암 기구(30, 31)는 상기 가동부(20)에 연결되는 제 1 암(32)과, 상기 제 1 암(32)에 회전 가능하게 연결되는 제 2 암(33)과, 상기 제 2 암(33)에 회전 가능하게 연결되는 핸드(34)를 포함한다. 상기 핸드(34)는 기판을 지지하기 위한 엔드 이펙터(35)를 포함한다.
본 실시 예에서는 상기 각 암 기구(30, 31)가 하나의 핸드와 두 개의 암을 구비하는 것으로 설명되나, 핸드 및 암의 개수에는 제한이 없음을 밝혀둔다. 또한, 암 기구(30, 31)가 복수로 구성되는 경우, 복수의 암 기구가 동일한 구조로 형성되거나 서로 다른 구조로 형성될 수도 있다.
또한, 본 실시 예에서는 가동부(20)와 암 기구(30, 31)를 구분하여 설명하였으나, 상기 가동부(20)에 암 기구(30, 31)가 포함될 수도 있음을 밝혀둔다.
도 2는 기판 이송 장치에서 승강 기구를 구성하는 커버 부재가 제거된 상태를 보여주는 사시도이고, 도 3은 승강 기구의 구조를 보여주는 부분 사시도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 실시 예의 승강 기구는, 승강 부재(111)와, 상기 승강 부재(110)의 상면에 위치되는 하우징(112, 113)과, 상기 하우징(112, 113) 내부에 위치되며, 상기 가동부(20)를 회전시키기 위한 동력을 발생하는 제 2 구동부(140)가 포함된다.
상기 하우징(112, 113)은 상기 제 2 구동부(140)의 외측에 위치되어 상기 제 2 구동부(140)를 보호한다.
상기 하우징(112, 113)은 제 1 하우징(112)과 제 2 하우징(113)이 포함된다. 상기 각 하우징(112, 113)은 서로 대응되는 형상으로 형성될 수 있다. 그리고, 상기 각 하우징(112, 113)의 양단은 서로 이격되어 배치된다. 따라서, 상기 각 하우징(112, 113) 사이에는 상기 제 2 구동부(140)를 교체하기 위한 제 1 개구부(114, 115)가 형성된다. 상기 제 2 구동부(140)는 모터를 포함할 수 있다.
위에서는 복수의 하우징(112, 113) 사이에 제 1 개구부(114, 115)가 형성되는 것으로 설명되나, 이와 달리 단일의 하우징에 제 2 구동부(140)를 교체하기 위한 제 1 개구부(114, 115)가 형성되는 것으로 설명될 수 있다.
정리하면, 상기 제 1 개구부(114, 115)는 상기 하우징(112, 113)의 외측 공간과 상기 제 2 구동부(140)가 위치한 공간(또는 하우징의 내측 공간)을 연통시키는 역할을 한다.
상기 하우징(112, 113)의 상측에는 상부 커버(116)가 구비된다. 상기 하우징(112, 113)은 상기 상부 커버(116)와 별도의 구성이거나, 일체로 형성될 수 있다.
그리고, 상기 상부 커버(116)에 상기 제 2 구동부(140)가 설치되는 설치부(141)가 형성된다. 이와 달리 상기 하우징(112, 113)에 상기 설치부(141)가 형성되는 것도 가능하다.
상기 상부 커버(116)의 상측에는 상기 제 2 구동부(140)와 연결되는 감속기(142)가 설치된다. 상기 감속기(142)는 도시되지 않은 동력전달부에 의해서 상기 제 2 구동부(140)와 연결될 수 있다. 상기 감속기(142)는 공지의 구조가 사용될 수 있으며, 공지의 감속기는 도시되지는 않았지만 고정부와 회전부로 구성될 수 있다.
상기 감속기(142)의 고정부는 상기 상부 커버(116)에 고정되고, 회전부는 상기 가동부(20)와 상기 회전부를 연결하는 연결부(150, 151, 152)에 결합된다.
상기 연결부(150, 151, 152)는 상기 가동부(20)와 별도의 구성이거나, 상기 가동부(20)의 일 구성 요소일 수 있다. 어느 경우에나 상기 연결부(150, 151, 152)와 상기 가동부(20)는 함께 회전한다.
도 4는 본 실시 예에 따른 연결부와 그 내부 구성을 보여주는 도면이고, 도 5는 가동부에 암 기구를 구동시키기 위한 암 구동부가 연결되는 모습을 보여주는 사시도이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 상기 연결부(150, 151, 152)는 상기 감속기(142)의 회전부와 연결되는 회전판(150)과, 상기 회전판(150)의 상측에 구비되는 제 1 연결부 하우징(151) 및 제 2 연결부 하우징(152)이 포함된다.
상기 제 1 연결부 하우징(151)과 제 2 연결부 하우징(152) 사이 공간(또는 연결부 내측)에는 상기 각 암 기구(30, 31)를 구동시키기 위한 제 1 암 구동부(160)와 제 2 암 구동부(170)가 위치된다. 그리고, 상기 각 암 구동부(160, 170)의 일부는 상기 가동부(20)의 내부에 위치될 수 있다. 상기 각 암 구동부(160, 170)는 모터를 포함할 수 있다.
상기 각 연결부 하우징(151, 152)은 서로 대응되는 형상으로 형성될 수 있으며, 서로 이격되어 배치된다. 따라서, 상기 각 연결부 하우징(151, 152) 사이에는 상기 암 구동부(160, 170)의 교체를 위한 제 2 개구부(153, 154)가 형성된다.
위에서는 복수의 연결부 하우징(151, 152) 사이에 제 2 개구부(153, 154)가 형성되는 것으로 설명되나, 이와 달리 단일의 연결부 하우징에 암 구동부(160, 170)를 교체하기 위한 제 2 개구부(153, 154)가 형성되는 것으로 설명될 수 있다.
정리하면, 상기 제 2 개구부(153, 154)는 상기 연결부 하우징(151, 152)의 외측 공간과 상기 암 구동부(160, 170)가 위치한 공간(또는 연결부 하우징의 내측 공간)을 연통시키는 역할을 한다.
상기 가동부(20) 또는 상기 연결부 하우징(151, 152)에는 상기 암 구동부(160, 170)가 설치되는 설치부(230)가 형성될 수 있다.
상기 각 암 구동부(160, 170)의 동력은 동력전달부(210, 220)에 의해서 상기 각 암 기구(30, 31)에 독립적으로 전달될 수 있다.
한편, 상기 승강 기구(110)에는 상기 하우징(112, 113, 151, 152)과 개구부(114, 115, 153, 154)를 동시에 커버 또는 둘러싸는 커버 부재(180)가 더 포함된다. 상기 커버 부재(180)는 상호 결합되는 두 개 이상의 부재가 포함될 수 있다.
상기 커버 부재(180)는, 상기 승강 부재(111), 상기 제 1 및 제 2 하우징(112, 113), 상부 커버(116) 및 회전판(150) 중 하나 이상에 일 례로 스크류 등에 의해서 분리 가능하게 결합될 수 있다. 따라서, 상기 승강 기구(110)가 승강하는 경우 상기 커버 부재(180)는 승강하나, 상기 제 2 구동부(140)에 의해서 상기 가동부(20)가 회전하는 경우 상기 커버 부재(180)는 고정된 상태를 유지하게 된다.
본 실시 예에서는 커버 부재(180)는 하우징(112, 113, 151, 152)과 개구부(114, 115, 153, 154)를 동시에 커버하는 것으로 설명되나, 이와 달리 상기 커버 부재(180)는 상기 개구부(114, 115, 153, 154) 만을 커버하는 것도 가능하다. 따라서, 본 실시 예에서 상기 커버 부재(180)는 적어도 개구부(114, 115, 153, 154)를 커버하는 것으로 이해될 수 있다.
또한, 상기 커버 부재(180)는 제 1 개구부(114, 115)와 제 2 개구부(153, 154)를 동시에 커버하나, 이와 달리 상기 커버 부재(180)는 상기 제 1 개구부(114, 115)를 커버하는 제 1 커버 부재와 제 2 개구부(153, 154)를 커버하는 제 2 커버 부재로 구성될 수도 있다.
이와 같이 구성되는 경우, 상기 제 2 구동부(140)에 의해서 상기 가동부(20)가 회전하는 경우, 상기 제 1 커버 부재는 고정된 상태를 유지하게 되고, 상기 제 2 커버 부재는 상기 가동부(또는 연결부)와 함께 회전하게 된다.
이하에서는 상기 제 2 구동부 및 암 구동부의 교체 방법에 대해서 설명하기로 한다.
도 6은 승강 기구가 소정 높이로 상승한 모습을 보여주는 사시도이고, 도 7은 제 2 구동부 또는 암 구동부를 교체하기 위하여 커버가 분리된 상태를 보여주는 사시도이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 상기 제 2 구동부(140) 또는 암 구동부(160, 170)의 교체 또는 수리가 필요한 경우, 상기 승강 기구가 소정 높이(일 례로 최고 높이)로 상승하도록 한다. 그러면, 도 6과 같이 상기 커버 부재(180)가 상기 바디(10)의 외측으로 완전하게 인출된다. 물론, 상기 커버 부재(180)의 높이를 조절하는 경우에는, 상기 커버 부재(180)를 상기 바디(10)의 외측으로 완전하게 인출시켜야 하는 높이가 줄어들 수 있다.
이와 같이 커버 부재(180)가 상기 바디(10)의 외측으로 완전하게 인출된 상태에서 상기 커버 부재(180)를 상기 승강 기구(110)에서 분리시키게 된다. 그러면, 상기 제 1 개구부(114, 115) 및 제 2 개구부(153, 154)에 의해서 상기 제 2 구동부(140) 및 암 구동부(160, 170)가 외부로 노출된다. 그리고, 작업자는 상기 개구부(114, 115, 153, 154)를 통하여 상기 제 2 구동부(140) 또는 암 구동부(160, 170)를 교체하거나 수리할 수 있게 된다.
이와 같은 본 실시 예에 의하면, 제 2 구동부 또는 암 구동부를 교체하기 위하여 상기 승강 기구를 상승시킨 상태에서 상기 커버 부재 만을 분리시키면 되므로, 작업자의 편의성이 증진되는 장점이 있다.
즉, 본 실시 예에 의하면, 구동부의 교체 또는 수리를 위하여 분해되어야 할 구성 요소가 최소화되므로, 작업자의 작업 효율이 증가되는 장점이 있다.
10: 바디 20: 가동부
30: 제 1 암 기구 31: 제 2 암 기구
110: 승강 기구 160: 커버 부재

Claims (6)

  1. 바디;
    상기 바디의 내부에서 승강되기 위한 승강 기구; 및
    상기 승강 기구와 연결되고, 상기 승강 기구에 대해서 상대 운동 가능하며, 기판을 이송할 수 있는 가동부를 포함하고,
    상기 승강 기구는,
    상기 가동부를 구동시키기 위한 구동부와,
    상기 구동부의 외측에 구비되는 하우징과,
    상기 하우징의 외측 공간과 상기 구동부가 위치하는 공간을 연통시키는 개구부와,
    상기 개구부를 커버하는 커버 부재가 포함되고,
    상기 승강 기구가 특정 위치로 상승되면, 상기 커버 부재는 상기 바디의 외부로 인출되는 기판 이송 장치.
  2. 바디;
    상기 바디의 내부에서 승강되기 위한 승강 기구;
    상기 승강 기구에 대해서 상대 운동 가능하며, 기판을 이송할 수 있는 가동부;
    상기 승강 기구와 상기 가동부를 연결하며, 상기 승강 기구에 회전 가능하게 연결되는 연결부가 포함되고,
    상기 연결부는,
    상기 가동부를 구동시키기 위한 구동부와,
    상기 구동부의 외측에 구비되는 하우징과,
    상기 하우징의 외측 공간과 상기 구동부가 위치하는 공간을 연통시키는 개구부와,
    상기 개구부를 커버하는 커버 부재가 포함되고,
    상기 승강 기구가 특정 위치로 상승되면, 상기 커버 부재는 상기 바디의 외부로 인출되는 기판 이송 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 하우징은, 제 1 하우징과, 상기 제 1 하우징과 이격되는 제 2 하우징이 포함되고,
    상기 제 1 하우징과 제 2 하우징 사이에 상기 개구부가 위치되는 기판 이송 장치.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 하우징에는 상기 개구부가 관통 형성되는 기판 이송 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 가동부에는 상기 기판을 이송하기 위한 핸드를 가지는 암 기구를 포함하고,
    상기 구동부는 상기 가동부를 구동시키며,
    상기 암 기구는 별도의 암 구동부에 의해서 구동되는 기판 이송 장치.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 가동부는, 상기 기판을 지지하는 핸드를 가지는 암 기구를 포함하고,
    상기 구동부는 상기 암 기구를 구동시키는 기판 이송 장치.
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