KR20050047677A - 상부 커버를 개폐할 수 있는 개폐장치가 구비된평판표시소자 제조장치의 공정챔버 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 평판표시소자 제조장치의 공정챔버에 관한 것으로, 보다 상세하게는 상부 커버를 개폐할 수 있는 상부커버개폐장치가 구비된 평판표시소자 제조장치의 공정챔버에 관한 것이다.
본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치의 공정챔버는, 챔버 본체와 상기 챔버 본체 상측에 개폐가 가능한 상부 커버가 구비되어 챔버 내부가 외부와 차단되어 진공형성이 가능한 공정 챔버가 형성되고, 상기 공정 챔버 내부에는 피처리 기판을 지지하기 위한 기판 지지대, 처리 가스를 공급하기 위한 처리가스 공급시스템 및 챔버 내의 배기를 위한 배기 시스템; 이 구비되며, 상기 공정 챔버 외부에는 상기 상부 커버를 상하로 승강할 수 있는 승강기구와 상기 승강기구에 의하여 상승된 상부 커버를 회전시킬 수 있는 회전기구를 포함하는 제1 상부커버개폐장치가 구비되는 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 평판표시소자 제조장치의 공정챔버에 관한 것으로, 보다 상세하게는 상부 커버를 개폐할 수 있는 상부커버개폐장치가 구비된 평판표시소자 제조장치의 공정챔버에 관한 것이다.
평판표시소자를 제조하기 위한 장치 중 진공처리용 장치는 일반적으로 로드락(Loadlock) 챔버, 반송 챔버 및 공정챔버의 3개의 진공 챔버로 구성된다. 이때, 상기 로드락 챔버는 외부로부터 처리되지 않은 기판을 받아 들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 하며, 상기 반송 챔버는 기판을 각 챔버들 간에 반송하기 위한 로봇이 구비되어 있어서 처리가 예정된 기판을 로드락 챔버에서 공정챔버로 전달하거나, 처리가 완료된 기판을 공정챔버에서 로드락 챔버로 전달하는 역할을 하며, 상기 공정 챔버는 진공 중에서 플라즈마를 이용하거나 열 에너지를 이용하여 기판상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 한다.
이때, 상기 공정 챔버내에서는 여러가지 가스나 플라즈마를 이용하므로 많은 수의 공정을 반복하는 경우에는 상기 공정 챔버내의 장비들이 손상되거나 오염되어서 그 교체나 보수가 주기적으로 필요한 실정이다. 따라서, 상기 공정 챔버는 상기 공정 챔버의 내부를 유지 보수할 수 있도록 상기 공정챔버의 상부 커버를 개폐 가능하게 구성되는 것이 일반적이다.
종래에 상기 상부 커버를 개폐하기 위해서는 도 1a에 도시된 바와 같이, 상기 공정 챔버의 외부에 상기 상부커버(200)를 개폐할 수 있는 개폐수단(10)을 구비하고, 상기 개폐수단(10)에 의하여 상기 상부커버(200)를 개폐한다.
상기 상부커버(200)의 개폐 과정을 살펴보면, 먼저 상기 개폐수단(10)에 구비되어 있는 수직 방향 구동기구(도면에 미도시)에 의하여 상기 상부커버(200)를 소정 간격 만큼 수직 방향으로 들어 올린 후(도 1b 참조), 상기 상부커버(200)가 들어 올려진 상태에서 수평 이동 가이드(20)를 이용하여 수평방향으로 이동한다(도 1c 참조). 그리고 상기 상부커버(200)가 완전히 수평방향으로 이동한 후 상기 상부커버(200)를 회전 기구(도면에 미도시)에 의하여 180°회전시킨다(도 1d, 도 1e). 이렇게 하여 상기 공정 챔버의 하부와 상부를 모두 개방시켜 상기 공정 챔버 내부의 각 장비를 교환하거나 보수하는 작업을 한다.
그러나, 상술한 상부커버 개폐장치(10)는 그 구성이 복잡하며, 상기 상부커버(200)의 개폐에 매우 오랜 시간이 필요한 문제점이 있다.
특히, 상기 상부커버(200)를 상기 챔버몸체(100)에서 개방시키는데에 매우 넓은 공간이 필요하여 평판표시소자 제조장치가 설치되는 클린 룸의 공간을 너무 많이 차지하는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 구성이 간단하면서도 짧은 시간에 상부커버를 개폐할 수 있는 상부커버 개폐장치가 구비된 평판표시소자 제조장치의 공정챔버를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 클린 룸 내의 공간을 많이 차지하지 않으면서도 상부 커버를 개폐할 수 있는 상부커버 개폐장치가 구비된 평판표시소자 제조장치의 공정챔버를 제공함에 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 관점에 따른 평판표시소자 제조장치의 공정챔버는, 챔버 본체와 상기 챔버 본체 상측에 개폐가 가능한 상부 커버가 구비되어 챔버 내부가 외부와 차단되어 진공형성이 가능한 공정 챔버가 형성되고, 상기 공정 챔버 내부에는 피처리 기판을 지지하기 위한 기판 지지대, 처리 가스를 공급하기 위한 처리가스 공급시스템 및 챔버 내의 배기를 위한 배기 시스템; 이 구비되며, 상기 공정 챔버 외부에는 상기 상부 커버를 상하로 승강할 수 있는 승강기구와 상기 승강기구에 의하여 상승된 상부 커버를 회전시킬 수 있는 회전기구를 포함하는 제1 상부커버개폐장치가 구비되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 관점에 따른 평판표시소자 제조장치의 공정챔버는, 챔버 본체와 상기 챔버 본체 상측에 개폐가 가능한 상부 커버가 구비되어 챔버 내부가 외부와 차단되어 진공형성이 가능한 공정 챔버가 형성되고, 상기 챔버 내부에는 피처리 기판을 지지하기 위한 기판 지지대, 처리 가스를 공급하기 위한 처리가스 공급시스템 및 챔버 내의 배기를 위한 배기 시스템; 이 구비되며, 상기 챔버 외부의 일 모서리에 상기 상부 커버를 상하로 승강시키고, 회전시킬 수 있는 제2 상부커버개폐장치가 구비되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 관점에 따른 평판표시소자 제조장치의 공정챔버는, 챔버 본체와 상기 챔버 본체 상측에 개폐가 가능한 상부 커버가 구비되어 챔버 내부가 외부와 차단되어 진공형성이 가능한 공정 챔버가 형성되고, 상기 챔버 내부에는 피처리 기판을 지지하기 위한 기판 지지대, 처리 가스를 공급하기 위한 처리가스 공급시스템 및 챔버 내의 배기를 위한 배기 시스템; 이 구비되며, 상기 챔버 외부의 마주보는 양면의 중앙에 각각 상기 상부 커버를 상하로 승강시키고, 회전시킬 수 있는 제3 상부커버개폐장치가 구비되는 것을 특징으로 한다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 각 관점에 따른 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. 후술하는 실시예에 의하면 본 발명의 구성 및 작용을 보다 명확하게 이해할 수 있을 것이다.
< 실시예 1 >
본 실시예에 의한 평판표시소자 제조장치의 공정챔버에는, 챔버 본체(100)와 상기 챔버 본체 상측에 개폐가 가능한 상부커버(200)가 구비되어 챔버 내부가 외부와 차단되어 진공형성이 가능한 공정 챔버가 형성되고, 기판 지지대(도면에 미도시), 처리가스 공급시스템(300) , 배기 시스템(도면에 미도시) 및 제1 상부커버 개폐장치(400)가 구비된다.
상기 제1 상부커버 개폐장치(400)는 승강기구(410)와 제1 회전기구(420)로 구성된다. 상기 승강기구(410)는 상기 챔버 외부에 설치되며, 특히 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 공정챔버의 각 모서리 부분에 설치되는 것이 바람직하다. 이때, 상기 승강기구(410)는 상기 공정 챔버의 각 모서리 부분에 4개의 제1 승강축(412)을 설치하고, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 승강축(412) 중 이웃하는 승강축끼리 그 상부를 가이드 레일(414)로 연결시킨다. 상기 제1 승강축(412)은 상하로 승강할 수 있도록 구비되므로 상기 제1 승강축(412)의 상단에 연결된 상기 가이드레일(414)도 상하로 승강하게 된다.
상기 제1 승강축(412)의 상하운동을 위해서 상기 제1 승강축(412)마다 상하 운동을 위한 상하운동 구동원이 구비된다. 그리고 상기 제1 승강축(412)에는 에어(air) 실린더나 오일(oil) 실린더 또는 체인 등이 설치되어 상기 상하운동 구동원의 동력을 이용하여 상기 가이드레일(414)을 승강시킬 수 있도록 한다.
그리고 상부커버(200) 외부 면 중 마주보는 양 면에는 각각 제1 회전기구(420)가 구비된다. 상기 제1 회전기구(420)는 상기 상부커버(200)를 회전시킬 수 있도록 회전 구동원을 구비하며, 상기 제1 회전기구(420)의 하부는 가이드레일 쉐프트(shaft, 422)에 의하여 상기 가이드레일(414)과 연결된다. 이때 상기 제1 회전기구(420)에는 수평운동 구동원도 함께 구비되어 있어서, 상기 가이드레일(414)을 따라서 수평방향으로 운동할 수 있다.
이하에서는 본 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치의 공정챔버에 있어서, 상기 제1 상부커버개폐장치(400)에 의하여 상부커버(200)를 개폐하는 과정을 상세히 설명한다.
우선 도 3a 내지 도 3c는 공정챔버의 상부커버(200) 내부만을 유지, 보수하는 경우에 상부커버(200) 개폐과정을 설명하는 도면이다.
먼저 도 3a에 도시된 바와 같이, 상기 제1 승강축(412)을 구동시켜 상기 상부커버(200)를 챔버몸체(100)에 걸리지 않고 회전할 수 있을 정도의 높이로 상승시킨다. 이때, 상기 4개의 제1 승강축(412)은 모두 동시에 구동되며 같은 높이로 상승되도록 제어된다.
그리고 상기 상부커버(200)가 회전할 수 있는 높이로 상승하면, 도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 제1 회전기구(420)의 회전 구동원을 구동시켜서 상기 상부커버(200)를 180° 회전시킨다.
마지막으로 상기 상부커버(200)가 완전히 회전하고 나면 도 3c에 도시된 바와 같이, 상기 제1 상승축(412)을 하강하도록 구동시켜서 상기 상부커버(200)를 상기 챔버몸체(100) 상으로 위치시킨다. 이때, 상기 챔버몸체(100) 상에는 상기 상부커버(200)의 모서리 부분을 지지할 수 있는 지그(430)를 별도로 준비하였다가 위치시키는 것이 바람직하다. 이는 상기 상부커버(200)에 의하여 상기 챔버몸체(100) 또는 챔버 내부에 설치되어 있는 설비가 손상되는 것을 방지하기 위함이다.
그리고 나서 상기 상부커버(200)에 설치되어 있는 샤워헤드 등의 구조물을 교환하거나, 오염물을 제거하는 보수 작업을 실시한다. 이러한 보수작업이 완료되면 상술한 과정의 역순으로 상기 상부커버(200)를 다시 원위치 시키면 된다.
다음으로 도 4a 내지 도 4c는 상기 공정챔버의 챔버몸체(100) 내부에 설비되어 있는 구조물을 교환하거나 청소하는 경우에 상부커버(200)를 개폐하는 과정을 나타내는 도면이다.
먼저 도 4a에 도시된 바와 같이, 상기 제1 승강축(412)을 구동시켜 상기 상부커버(200)를 상기 챔버몸체(100)에 걸리지 않고 회전할 수 있는 높이로 상승시킨다. 이때, 상기 제1 상부커버 개폐장치(400)의 구동방법은 상기 도 3a에 도시된 바와 마찬가지이다.
그리고 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 상부커버(200)가 회전할 수 있는 높이로 충분히 상승하면 상기 상부커버(200)를 상기 제1 회전기구(420)를 이용하여 90°정도 회전시킨다.
그 후 도 4c에 도시된 바와 같이, 상기 상부커버(200)가 90°정도 회전된 상태에서 상기 제1 회전기구(420)의 수평방향 구동원을 구동시켜서 상기 상부커버(200)를 수평방향으로 이동시킨다. 이때, 상기 상부커버(200)는 상기 가이드레일(414)의 말단까지 이동시킨다. 그리고 나서 상기 제1 승강축(412)을 하강시켜 상기 상부커버(200)를 안전한 하부 위치로 하강시킨 후 상기 챔버몸체(100) 내부의 보수 작업을 시작하는 것이 바람직하다. 이는 작업자의 안전을 위하여 상기 상부커버(200)를 안전한 위치에 위치시키는 것이다. 보수작업이 완료되면 상술한 과정의 역순으로 상부커버(200)를 원위치시키면 된다.
상술한 바와 같이 상기 상부커버(200)를 개폐하면 상기 상부커버를 개폐하기 위하여 별도의 클린 룸 공간이 필요하지 않아서 평판표시소자 제조장치를 설비하는 비용이 감소하고 따라서 제조되는 평판표시소자의 제조단가가 하락하는 효과가 있다. 또한, 상기 상부커버(200)를 개폐하는 과정이 간단하므로 그 개폐에 소요되는 시간이 짧아진다.
< 실시예 2 >
본 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치의 공정챔버에는 챔버 본체(100)와 상기 챔버 본체 상측에 개폐가 가능한 상부 커버(200)가 구비되어 챔버 내부가 외부와 차단되어 진공형성이 가능한 공정 챔버가 형성되고, 기판 지지대(도면에 미도시), 처리가스 공급시스템(300), 배기 시스템(도면에 미도시) 및 제2 상부커버 개폐장치(500)가 구비된다.
상기 제2 상부커버 개폐장치(500)는 도 5에 도시된 바와 같이, 제2 승강축(510)과 상기 제2 승강축(510)의 상부에 설치되는 제2 회전기구(520)를 포함하여 구성된다. 이때 상기 제2 상부커버 개폐장치(500)는 상기 공정챔버의 외부에 설치되되, 상기 공정챔버 모서리 중 한 모서리 부분에 설치되는 것이 바람직하다. 상기 제2 승강축(510)의 하부에는 상기 제2 승강축(510)을 승강시킬 수 있는 상하운동 구동원이 구비된다. 그리고 상기 제2 승강축(510)에는 에어(air) 실린더나 오일(oil) 실린더 또는 체인 등이 설치되어 상기 상하운동 구동원의 동력을 이용하여 승강운동을 할 수 있도록 구비된다.
상기 제2 승강축(510)의 상부에는 제2 회전기구(520)가 설치되되, 상기 제2 회전기구(520)의 일 측면은 상기 상부커버(200)의 일 모서리에 연결된다. 이때 상기 제2 회전기구(520)에는 상기 상부커버(200)를 회전시킬 수 있는 회전 구동원이 구비된다.
또한 상기 제2 승강축(510)이 형성된 모서리의 대각선 방향 모서리에는 보조 승강축(530)이 더 설치되는 것이 바람직하다. 상기 보조승강축(530)에는 그 하부에 상기 보조 승강축(530)을 승강시킬 수 있는 상하운동 구동원이 구비되고, 상기 보조 승강축(530)의 상부에는 상기 상부커버(200)의 일 모서리와 연결되는 상부커버 연결부(532)가 구비된다. 이때 상기 상부커버 연결부(532)는 상기 상부커버(200)와 탈착이 가능하게 구비되는 것이 바람직하다. 즉, 상기 상부커버(200)를 상기 제2 승강축(510)과 함께 승강시키는 경우에는 상기 상부커버(200)와 연결되어 상기 상부커버(200)를 승강시키고, 상기 상부커버(200)를 회전시키는 경우에는 상기 상부커버(200)와 분리되어 상기 상부커버가 회전할 수 있도록 한다.
상기 보조 승강축(930)에는 에어실린더, 오일 실린더 또는 체인 등이 설치되어 상기 상하운동 구동원의 동력을 이용하여 상기 보조 승강축(530)의 상부에 연결된 상부커버(200)를 승강할 수 있도록 구비된다.
그리고 상기 제2 상부커버개폐장치(500)에는 상기 제2 승강축(510)이 상기 상부커버(200)를 승강시키는 동안에는 상기 상부커버연결부(532)가 상기 상부커버(200)와 연결되어 있어서, 상기 보조 승강축(530)이 상기 제2 승강축(510)과 함께 상기 상부커버(200)를 승강시키고, 상기 제2 회전기구(520)가 구동하는 경우에는 상기 상부커버연결부(532)가 상기 상부커버(200)와 분리되어 상기 상부커버(200)가 회전할 수 있도록 제어하는 제1 제어부(도면에 미도시)가 더 구비되는 것이 바람직하다.
또한 상기 제2 회전기구(520)에는 상기 상부커버(200)를 180°회전시켜 상부커버(200)의 내부가 지면 반대 방향을 향하도록 구동시킬 수 있는 보조회전기구(도면에 미도시)가 더 구비될 수 있다. 이는 상기 상부커버(200) 내부의 설비 및 부품에 대한 보수 작업을 용이하게 하기 위함이다.
이하에서는 본 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치의 공정챔버에 있어서, 상기 제2 상부커버 개폐장치(500)에 의하여 상부커버(200)를 개폐하는 과정을 상세히 설명한다.
먼저 도 6a에 도시된 바와 같이, 상기 제2 승강축(510)과 상기 보조 승강축(530)이 동시에 작동하여 상기 상부커버(200)를 상승시킨다. 이때 상기 상부커버(200)를 상승시키는 높이는 상기 상부커버(200)가 상기 챔버본체(100) 내부의 설비와 충돌하지 않고 회전할 수 있는 높이면 된다. 따라서 실시예 1에서 처럼 상기 상부커버(200)가 회전가능한 높이까지 상승할 필요는 없다.
그리고 상기 상부커버(200)를 상승시키는 동안에는 상기 상부커버연결부(532)는 상기 상부커버(200)에 연결되어 상기 제2 승강축(510)과 함께 상기 상부커버(200)를 승강시킨다. 이는 상기 상부커버(200)를 지면과 평행하게 상승시킴으로써 상기 제2 승강축(510)에 가해지는 힘을 분산시키기 위함이다.
그리고 나서, 도 6b에 도시된 바와 같이 상기 상부커버연결부(532)를 상기 상부커버(200)와 분리시킨 후 상기 제2 승강축(510) 상부에 설치된 제2 회전기구(520)를 가동시켜서 상기 상부커버(200)를 90회전시킨다. 그러면 상기 상부커버(200)는 상기 챔버본체(100)에서 분리되어 그 내부의 유지 보수 작업이 가능해진다. 따라서 본 실시예에서는 상기 챔버본체(100)의 유지 보수작업시나 상기 상부커버(200) 내부의 유지 보수작업시에 상기 상부커버(200)를 개폐하는 방법은 동일하다.
다만, 상부커버(200) 내부의 유지 보수 작업시에는 상기 상부커버(200)의 하부에 별도의 지그(도면에 미도시)를 지지함으로써 상기 상부커버(200)가 하강하는 것을 방지하는 것이 바람직하다. 이는 상기 제2 승강축에 가해지는 힘을 분산시키는 것과 동시에 상기 상부커버(200) 하부에서 작업하는 작업자의 안전을 강구하는 한편 상기 상부커버(200) 내부의 설비 및 부품의 교체 또는 분해 작업시 이들을 지지하는 장소로서의 역할도 하게 된다. 보수작업이 완료되면 상술한 과정의 역순으로 상부커버(200)를 원위치시키면 된다.
또한 도 6c에 도시된 바와 같이, 상기 보조회전기구(도면에 미도시)를 구동시켜 상기 상부커버(200)를 양 모서리를 이은 대각선을 중심으로 180°회전시키는 공정을 더 포함할 수 있다. 이는 상부커버(200) 내부의 보수 작업을 용이하게 하기 위함이다.
상술한 제2 상부커버 개폐장치(500)를 이용하여 상기 상부커버(200)를 개폐하면 그 과정이 매우 간단하고, 그 구성이 간단하여 공정챔버의 유지 보수 작업 및 그에 따른 상부커버의 개폐작업이 매우 용이하며, 작업시간이 단축되는 장점이 있다.
< 실시예 3 >
본 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치의 공정챔버에는, 챔버 본체(100)와 상기 챔버 본체(100) 상측에 개폐가 가능한 상부 커버(200)가 구비되어 챔버 내부가 외부와 차단되어 진공형성이 가능한 공정 챔버가 형성되고, 기판 지지대(도면에 미도시), 처리가스 공급시스템(300), 배기 시스템(도면에 미도시) 및 제3 상부커버개폐장치(600)가 구비된다.
상기 제3 상부커버개폐장치(600)는 제3 회전기구(610), 제4 회전기구(620) 및 제3 승강축(630)으로 구성된다. 이때, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 제3 회전기구(610)는 상기 챔버본체(100) 외부에 설치되고, 상기 제4 회전기구(620)는 상기 상부커버(200) 외부에 설치되며, 상기 제3 승강축(630)은 상기 제3 회전기구(610)와 상기 제4 회전기구(620)를 연결시킨다. 그리고 상기 제3 상부커버 개폐장치(600)는 상기 공정챔버 외부의 마주보는 면에 2세트가 대칭되게 설치되는 것이 바람직하다. 따라서 상기 상부커버(200)를 공정챔버의 양측에서 동시에 승강시켜서 개폐하는 것이다.
상기 제3 회전기구(610)는 도 7에 도시된 바와 같이 상기 챔버본체(100)의 외부에 설치되며, 상기 제3 승강축(630)의 하단이 연결되어 있다. 따라서 상기 제3 회전기구(610)는 상기 제3 승강축(630)을 좌우로 회전시킬 수 있도록 구비되는 것이다. 그러므로 상기 제3 회전기구(610)에는 회전 구동원이 구비되어 있다.
그리고 상기 제4 회전기구(620)는 도 7에 도시된 바와 같이 상기 상부커버(200)의 외부에 설치되며, 상기 제3 승강축(630)의 상단이 연결되어 있다. 상기 제4 회전기구(620)는 상기 상부커버(200)를 회전시키는 역할을 하며, 상기 제3 승강축(630)에 의하여 승강이 가능하다. 따라서 상기 제4 회전기구(620)에는 회전 구동원이 구비되어 있다.
마지막으로 상기 제3 승강축(630)은 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 제3 회전기구(610) 및 제4 회전기구(620)에 연결되어 있으면서, 상기 제4 회전기구(620) 및 상기 제4 회전기구(620)에 연결되어 있는 상기 상부커버(200)를 승강시키는 역할을 한다. 이때, 상기 제3 승강축(630)에는 상하운동 구동원이 구비되어 있다. 또한, 상기 제3 승강축(630)에는 에어(air) 실린더나 오일(oil) 실린더 또는 체인 등이 설치되어 상기 상하운동 구동원의 동력을 이용하여 상기 제4 회전기구(630) 및 상기 상부커버(200)를 승강시킬 수 있다.
또한 상기 제3 상부커버개폐장치(600)에는 상기 제3 승강축(630)이 먼저 구동하기 시작하여 상기 제4 회전기구(620)와 상기 상부커버(200)를 소정 높이 만큼 상승시킨 후, 상기 제3 승강축(630)이 계속하여 상승하는 동안 제3 회전기구(610)가 구동하여 상기 제3 승강축(630)을 90°회전 시켜 기울어지게 하며, 상기 제4 회전기구(620)는 상기 상부커버(200)를 180°회전시켜 뒤집어지도록 하되, 상기 상부 커버(200)가 회전하는 경우 상기 챔버본체(100)와 충돌하지 않도록 상기 제3, 제4 회전기구(610, 620) 및 제3 승강축(630)의 구동이 제어되도록 하는 제2 제어부(도면에 미도시)가 더 구비되는 것이 바람직하다.
이하에서는 본 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치의 공정챔버에 있어서, 상기 제3 상부커버 개폐장치(600)에 의하여 상부커버(200)를 개폐하는 과정을 상세히 설명한다.
본 실시예에 따른 제3 상부커버 개폐장치(600)의 동작과정은 그 세부 과정을 나누어서 살피면 상기 제3 승강축(630)에 의한 상부커버(200) 상승과정, 상기 제3 회전기구(610)에 의한 상기 제3 승강축(630)의 회전과정 및 상기 제4 회전기구(620)에 의한 상부커버(200)의 회전과정의 3가지 과정이다.
먼저 도 8a에 도시된 바와 같이, 상기 제3 승강축(630)을 구동시켜 상기 상부커버(200)를 제1 높이 만큼 들어올린다. 이때 상기 제1 높이는 상기 상부커버(200)가 상기 챔버본체(100) 내부에 설치되어 있는 부품 및 설비에 충돌하지 않고 우측으로 이동할 수 있는 최소한의 높이면 충분하다. 물론 상기 제3 승강축(630)은 상기 높이 이상으로 계속하여 상기 상부커버(200)를 승강시킨다.
그리고 도 8b에 도시된 바와 같이 상기 상부커버(200)가 상기 제1 높이 이상으로 상승하면 상기 제3 회전기구(610)가 구동하여 상기 제3 승강축(630)을 좌측으로 90°회전시킨다. 또한 상기 제4 회전기구(620)도 이때 상기 상부커버(200)를 180°회전시킨다. 이렇게 해서 각 과정이 완료되면 도 8c에 도시된 바와 같이, 상기 상부커버(200)가 완전히 개방된다.
그러나, 상기 제3 승강축(630)의 구동과정과 제3, 4 회전기구(610, 620)의 구동과정은 각각 순서대로 진행되는 것이 아니라 상기 제어부(도면에 미도시)에 의하여 제어됨으로써 각 구동과정이 유기적으로 결합되어 수행된다. 즉, 상기 제3 승강축(630)의 상승과정이 계속되는 동안 상기 제3, 4 회전기구(610, 620)의 회전 과정이 동시에 진행된다. 이때 상기 제3 상부커버 개폐장치(600) 구동과정의 제어에서 가장 중요한 것은 상기 상부커버(200)를 회전시키는 과정에서 상기 상부커버(200)가 상기 챔버본체(100)와 충돌하지 않게 제어하는 것이다. 즉, 상기 제3 승강축(630)의 승강속도와 상기 제4 회전기구(620)의 회전 속도가 적합하게 제어되어야 하는 것이다.
상기 제3 상부커버 개폐장치(600)에 의하여 상기 상부커버(200)를 개폐하면 그 과정이 마치 하나의 연속된 과정처럼 제어되기 때문에 그 개폐작업에 소요되는 시간이 단축되며 상부커버(200)의 개폐 공정이 용이한 장점이 있다.
본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치의 공정챔버에 의하면 구성이 간단하면서도 짧은 시간에 상부 커버를 개폐할 수 있는 장점이 있다.
또한 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치의 공정챔버에 의하면 클린 룸 내의 공간을 많이 차지하지 않으면서도 상부 커버를 개폐할 수 있는 장점이 있다.
도 1a, 1b, 1c, 1d, 1e는 종래에 공정챔버 상부커버를 개폐하는 개폐장치 및 개폐과정을 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 개폐장치가 구비된 평판표시소자 제조장치의 공정챔버를 나타내는 사시도이다.
도 3a, 3b, 3c는 제1 실시예에 따른 개페장치의 작동과정 및 방법을 나타내는 공정도이다.
도 4a, 4b, 4c는 제1 실시예에 따른 개폐장치의 다른 작동과정 및 방법을 나타내는 공정도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 개폐장치가 구비된 평판표시소자 제조장치의 공정챔버를 나타내는 사시도이다.
도 6a, 6b는 제2 실시예에 따른 개폐장치의 작동과정 및 방법을 나타내는 공정도이다.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 개폐장치가 구비된 평판표시소자 제조장치의 공정챔버를 나타내는 사시도이다.
도 8a, 8b, 8c는 제3 실시예에 따른 개폐장치의 작동과정 및 방법을 나타내는 공정도이다.
< 도면의 주요부분에 대한 부호 설명 >
10 : 개폐수단 20 : 수평이동 가이드
100 : 챔버몸체 200 : 상부커버
300 : 처리가스 공급시스템 400 : 제1 상부커버 개폐장치
410 : 승강기구 420 : 제1 회전기구
500 : 제2 상부커버 개폐장치 510 : 제2 승강축
520 : 제2 회전기구 530 : 보조승강축
600 : 제3 상부커버 개폐장치 610 : 제3 회전기구
620 : 제4 회전기구 630 : 제3 승강축
Claims (22)
- 챔버 본체와 상기 챔버 본체 상측에 개폐가 가능한 상부 커버가 구비되어 챔버 내부가 외부와 차단되어 진공형성이 가능한 공정 챔버가 형성되고,상기 공정 챔버 내부에는 피처리 기판을 지지하기 위한 기판 지지대, 처리 가스를 공급하기 위한 처리가스 공급시스템 및 챔버 내의 배기를 위한 배기 시스템; 이 구비되며,상기 공정 챔버 외부에는 상기 상부 커버를 상하로 승강시킬 수 있는 승강기구와 상기 승강기구에 의하여 상승된 상부 커버를 회전시킬 수 있는 제1 회전기구를 포함하는 제1 상부커버개폐장치가 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 공정챔버.
- 제1항에 있어서, 상기 승강기구에는,승강이 가능한 제1 승강축이 상기 공정 챔버 외부 모서리 부분에 각각 1개씩 4개가 형성되고, 상기 제1 승강축 중 인접한 승강축의 상부를 연결시키는 가이드 레일이 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 공정챔버.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 회전기구는,상기 상부 커버의 측면에 설치되고, 가이드 레일에 연결되어 수평 방향으로 구동이 가능하게 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 공정챔버.
- 제2항에 있어서, 상기 제1 승강축에는,상기 가이드레일 및 상기 상부커버를 승강시킬 수 있는 상하운동 구동원이 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 공정챔버.
- 제3항에 있어서, 상기 제1 회전기구에는,상기 상부커버를 회전시킬 수 있는 회전 구동원 및 상기 가이드레일을 따라서 수평방향으로 구동시킬 수 있는 수평 구동원이 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 공정챔버.
- 제2항에 있어서, 상기 제1 승강축은,에어(air) 실린더 또는 오일(oil) 실린더에 의하여 구동되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 공정챔버.
- 챔버 본체와 상기 챔버 본체 상측에 개폐가 가능한 상부 커버가 구비되어 챔버 내부가 외부와 차단되어 진공형성이 가능한 공정 챔버가 형성되고,상기 챔버 내부에는 피처리 기판을 지지하기 위한 기판 지지대, 처리 가스를 공급하기 위한 처리가스 공급시스템 및 챔버 내의 배기를 위한 배기 시스템; 이 구비되며,상기 챔버 외부의 일 모서리에 상기 상부 커버를 상하로 승강시키고, 회전시킬 수 있는 제2 상부커버개폐장치가 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 공정챔버.
- 제7항에 있어서, 상기 제2 상부커버개폐장치는,상하로 구동할 수 있는 제2 승강축과 상기 제2 승강축 상부에 설치되어 상기 상부 커버를 회전시킬 수 있는 제2 회전기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 공정챔버.
- 제8항에 있어서,상기 제2 승강축의 대각선 방향 모서리에 보조 승강축이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 공정챔버.
- 제8항에 있어서, 상기 제2 승강축은,에어(air) 실린더 또는 오일(oil) 실린더에 의하여 구동되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 공정챔버.
- 제9항에 있어서, 상기 보조 승강축은,에어(air) 실린더 또는 오일(oil) 실린더에 의하여 구동되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 공정챔버.
- 제8항에 있어서, 상기 제2 승강축에는,상하운동 구동원이 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 공정챔버.
- 제9항에 있어서, 상기 보조 승강축에는,상하운동 구동원이 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 공정챔버.
- 제8항에 있어서, 상기 제2 회전기구에는,회전 구동원이 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 공정챔버.
- 제8항에 있어서, 상기 제2 상부커버개폐장치에는,상기 제2 승강축이 상기 상부커버를 승강시키는 동안에는 상기 상부커버연결부가 상기 상부커버와 연결되어 있어서, 상기 보조 승강축이 상기 제2 승강축과 함께 상기 상부커버를 승강시키고, 상기 제2 회전기구가 구동하는 경우에는 상기 상부커버연결부가 상기 상부커버와 분리되어 상기 상부커버가 회전할 수 있도록 제어하는 제1 제어부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 공정챔버.
- 챔버 본체와 상기 챔버 본체 상측에 개폐가 가능한 상부 커버가 구비되어 챔버 내부가 외부와 차단되어 진공형성이 가능한 공정 챔버가 형성되고,상기 챔버 내부에는 피처리 기판을 지지하기 위한 기판 지지대, 처리 가스를 공급하기 위한 처리가스 공급시스템 및 챔버 내의 배기를 위한 배기 시스템; 이 구비되며,상기 챔버 외부의 마주보는 양면의 중앙에 각각 상기 상부 커버를 상하로 승강시키고, 회전시킬 수 있는 제3 상부커버개폐장치가 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 공정챔버.
- 제16항에 있어서, 상기 제3 상부커버개폐장치는,상기 챔버 본체에 설치되는 제3 회전 기구, 상기 상부 커버에 설치되는 제4 회전 기구 및 상기 제3 회전 기구와 상기 제4 회전 기구를 연결하며, 승강이 가능한 제3 승강축을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 공정챔버.
- 제17항에 있어서, 상기 제3 회전기구는,상기 제4 회전 기구 및 상기 상부 커버가 연결된 상기 제3 승강축을 회전시킬 수 있도록 회전 구동원을 구비하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 공정챔버.
- 제17항에 있어서, 상기 제4 회전기구는,상기 상부커버를 회전시킬 수 있도록 회전 구동원을 구비하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 공정챔버.
- 제17항에 있어서, 상기 제3 승강축은,상기 제4 회전기구 및 상기 제4 회전기구와 연결된 상기 상부커버를 승강할 수 있도록 상하운동 구동원이 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 공정챔버.
- 제17항에 있어서, 상기 제3 승강축은,에어(air) 실린더 또는 오일(oil) 실린더에 의하여 구동되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 공정챔버.
- 제17항에 있어서, 상기 제3 상부커버개폐장치에는,상기 승강축이 먼저 구동하기 시작하여 상기 제4 회전기구와 상기 상부커버를 소정 거리 만큼 상승시킨 후, 상기 제3 승강축이 계속하여 상승하는 동안 제3 회전기구가 구동하여 상기 제3 승강축을 90°회전시켜 기울어지게 하며, 상기 제4 회전기구는 상기 상부커버를 180°회전시켜 뒤집어지도록 하되, 상기 상부커버가 회전하는 경우 상기 챔버본체와 충돌하지 않도록 상기 제3, 제4 회전기구 및 제3 승강축의 구동을 제어하는 제2 제어부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 공정챔버.
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| A302 | Request for accelerated examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20120829 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130916 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |