CN100437878C - 具有上盖开/关设备的平板显示器制造装置的加工室 - Google Patents

Abstract

一种平板显示器制造装置的加工室，其包括打开或者关闭所述室体上盖的开/关设备。所述加工室包括：室体，以及放置在所述室体上的上盖，使得打开远离或者关闭接近所述室体。在所述上盖的关闭状态下，所述上盖使所述室体的内部与外部隔离，从而在所述室体的内部产生真空。在所述室体内安装有：衬底支承装置，用于支承待处理衬底；处理气体供给系统；排气系统，用于排空所述室体；以及第一上盖开/关设备。所述第一上盖开/关设备包括：升降装置，用来竖直提升所述上盖，以及旋转器，用于旋转通过所述升降装置所提升的所述上盖。

Description

具有上盖开/关设备的平板显示器制造装置的加工室

技术领域

本发明涉及平板显示器制造装置的加工室，特别涉及具有用于打开或者关闭加工室上盖的开/关设备的平板显示器制造装置的加工室。

背景技术

在各种平板显示器制造装置中，某些适合在真空中实施预定处理的装置一般具有三个室，包括：一个负载锁定室(loadlock chamber)、一个转移室(carrier chamber)以及一个加工室。这里，负载锁定室用来接收外部的待处理衬底，以及在处理结束后使衬底从加工室返回外部。转移室配置有在各个室之间传送衬底的自动装置，用于从负载锁定室向加工室转移待处理衬底，或者在处理结束后将衬底从加工室转移到负载锁定室。加工室用来实施预定处理，例如在真空中通过等离子体或者热能在衬底上实施沉积或者蚀刻加工。

此时，因为在加工室中使用等离子体或者各种气体，所以，安装在加工室内的器材经过多次重复处理有可能被损坏或者污染，从而，不得不定期对其进行更换或者维修。因此，通常加工室配置有可打开的上盖，用于对安装在加工室内的器材进行维护或者维修处理。

图1a是现有技术中具有上盖开/关设备的加工室的立体图。如图1a所示，开/关设备10安装在加工室主体100的外部，以便能够使盖200打开远离或者关闭接近室主体100。

分析上盖200的打开过程，首先，使用附加在开/关设备10(见图1b)上的竖直驱动装置(未示出)将上盖200竖直提升至预定高度，然后，以这种被提升的状态沿着水平移动导轨20水平移动(见图1c)。在结束水平移动后，上盖200通过未示出的旋转部件旋转180度(见图1d和1e)。这样一来，加工室主体100的内部被完全打开，从而能够对配置在内部的器材进行更换或者维修处理。

然而，上述的传统上盖开/关设备10的结构复杂，且需要花费过长时间来完成上盖200的打开或者关闭过程。

尤其是需要相当大的空间用来将上盖200打开远离室体100，结果会产生下述问题：普通的开/关设备10占据过大的用于放置平板显示器制造装置的清洁空间。

发明内容

因此，鉴于上述问题做出了本发明，其一个目的在于提供一种具有上盖开/关设备的平板显示器制造装置的加工室，其具有简化的结构并可以在短时间内打开或者关闭加工室的上盖。

本发明的另一目的在于提供一种具有上盖开/关设备的平板显示器制造装置的加工室，其不需占用过多清洁空间就可以打开或者关闭加工室的上盖。

根据本发明的第一方面，上述和其他目的可以通过提供这样一种平板显示器制造装置的加工室实现，所述加工室包括：室体；上盖，放置在所述室体上，以便打开远离或者关闭接近所述室体，在关闭状态下，所述上盖将所述室体的内部与外部隔离，从而在所述室体内产生真空；衬底支承装置，配置在所述室体内，用于支承待处理衬底；处理气体供给系统，配置在所述室体内；排气系统，被配置在所述室体内，用于排空所述室体；以及第一上盖开/关设备，安装在所述室体的外部，其中，所述设备包括：升降装置，用来竖直提升所述上盖，以及第一旋转器，用于旋转由所述升降装置所提升的所述上盖。

所述升降装置最好能够包括：四个第一提升杆，配置在所述室体相应拐角的外侧；以及两条导轨，分别连接在相邻的两个所述第一提升杆的上端之间。

所述第一旋转器最好被安装在所述上盖侧面的相应外侧，并且以能够水平移动方式分别与所述导轨连接。

每个所述第一提升杆最好都具有竖直移动驱动单元，用于提升相关的一个所述导轨和所述上盖。

每个所述第一旋转器最好都具有旋转所述上盖的旋转驱动单元以及沿着相关的一个所述导轨来水平移动所述上盖的水平移动驱动单元。

每个所述第一提升杆最好都由气缸或者油缸来驱动。

根据本发明第二方面，上述和其他目的可以通过提供这样一种平板显示器制造装置的加工室实现，所述加工室包括：室体；上盖，被放置在所述室体上，以便打开远离或者关闭接近所述室体，在关闭状态下，所述上盖将所述室体的内部与外部隔离，从而在所述室体内产生真空；衬底支承装置，被配置在所述室体内，用于支承待处理衬底；处理气体供给系统，被配置在所述室体内；排气系统，被配置在所述室体内，用于排空所述室体；以及第二上盖开/关设备，被安装在所述室体外部的角落，用于竖直升起并旋转所述上盖。

所述第二上盖开/关设备最好包括：可竖直移动的第二提升杆；以及第二旋转器，被安装在所述第二提升杆的上端，用于旋转所述上盖。

所述第二上盖开/关设备最好还包括辅助提升杆，被安装在与所述第二提升杆对角相对的一侧。

所述第二提升杆最好是由气缸或者油缸驱动的。

所述辅助提升杆最好是由气缸或者油缸驱动的。

所述第二提升杆最好具有竖直移动驱动单元。

所述辅助提升杆最好具有竖直移动驱动单元。

所述第二旋转器最好具有旋转驱动单元。

所述第二上盖开/关设备最好还包括第一控制单元，因此，在所述第一控制单元的控制下，当所述第二提升杆提升所述上盖时，一上盖连接器与上盖连接使所述辅助提升杆与所述第二提升杆配合提升所述上盖，并且，当所述第二旋转器运转时，所述上盖连接器与所述上盖分离，从而能够使所述上盖枢轴旋转。

根据本发明第三方面，上述和其他目的可以通过提供这样一种平板显示器制造装置的加工室实现，所述加工室包括：室体；上盖，被放置在所述室体上，以便打开远离或者关闭接近所述室体，在关闭状态下，所述上盖将所述室体的内部与外部隔离，从而在所述室体内产生真空；衬底支承装置，被配置在所述室体内，用于支承待处理衬底；处理气体供给系统，被配置在所述室体内；排气系统，被配置在所述室体内，用于排空所述室体；以及一对第三上盖开/关设备，被安装在所述室体相对侧面外侧的正中央，用于竖直升起并旋转所述上盖。

每个所述第三上盖开/关设备最好包括：第三旋转器，被安装在所述室体上；第四旋转器，被安装在所述上盖上；以及可竖直移动的第三提升杆，与第三以及第四旋转器分别连接。

所述第三旋转器最好具有旋转所述第三提升杆的旋转驱动单元，其与所述第四旋转器以及所述上盖连接。

所述第四旋转器最好具有旋转所述上盖的旋转驱动单元。

所述第三提升杆最好具有竖直移动驱动单元，用于提升所述第四旋转器以及与所述第四旋转器连接的所述上盖。

所述第三提升杆最好由气缸或者油缸驱动。

所述第三上盖开/关设备最好还包括第二控制单元，其用于控制所述第三以及第四旋转器和第三提升杆的驱动，因此，在所述第二控制单元的控制下，当所述第三提升杆被驱动并提升所述第四旋转器和所述上盖至预定高度后，开始驱动所述第三旋转器，使得所述第三提升杆枢轴旋转并倾斜90度，当所述第三提升杆持续提升时，操作所述第四旋转器来使所述上盖翻转180度，并且，在所述上盖的旋转过程中，所述上盖和所述室体并不碰撞。

附图说明

通过以下结合附图对具体实施方式进行的详细描述，本发明上述和其他优点将更为清楚。

图1a、1b、1c、1d以及1e分别图示了打开或者关闭加工室上盖的传统设备以及顺序打开过程的立体图。

图2是具有根据本发明第一实施方式的上盖开/关设备的平板显示器制造装置的加工室的立体图。

图3a、3b以及3c是本发明第一实施方式的上盖开/关设备的顺序打开过程的简略截面图。

图4a、4b以及4c是本发明第一实施方式的上盖开/关设备的另一顺序打开过程的简略截面图。

图5是具有根据本发明第二实施方式的上盖开/关设备的平板显示器制造装置的加工室的立体图。

图6a、6b以及6c是本发明第二实施方式的上盖开/关设备的顺序打开过程的简略截面图。

图7是具有根据本发明第三实施方式的上盖开/关设备的平板显示器制造装置的加工室的立体图。

图8a、8b以及8c是本发明第三实施方式的上盖开/关设备的顺序打开过程的简略截面图。

具体实施方式

现在，参照附图，按照本发明的不同阶段来对优选实施方式进行详细说明。通过下述说明，本发明的配置以及操作将会更加清楚。

第一实施方式

图2是具有根据本发明第一实施方式的上盖开/关设备的平板显示器制造装置的加工室的立体图。如图2所示，该实施方式的平板显示器制造装置的加工室包括：室体100，和放置在室体100上的上盖200，以便打开远离或者关闭接近室体100。在上盖200处于关闭的状态下，加工室的内部与外界隔离，从而在其内部产生真空。加工室还包括衬底支承装置(未示出)、处理气体供给系统300、排气系统(未示出)以及第一上盖开/关设备400。

参照图3a，第一上盖开/关设备400包括升降装置410以及第一旋转器420。最好如图2所示将升降装置410安装在室体100外侧，靠近室体100的拐角。这里，升降装置410包括：四个配置在室体100的相应拐角外侧的第一提升杆412，以及两条分别在相邻两个第一提升杆412的上端之间连接的导轨414。因为第一提升杆412可以竖直移动，所以连接第一提升杆412上端的导轨414也可以竖直移动。

第一提升杆412具有相应的能够使其竖直延伸的竖直移动驱动单元。另外，第一提升杆412还配置有气泵、油泵或者链条等，通过使用竖直移动驱动单元的动力来提升导轨414。

第一旋转器420被配置与上盖200相对侧面的外侧，具有相应的旋转上盖200的旋转驱动单元。第一旋转器420在其下端分别通过导轨杆422连接至导轨414。此时，第一旋转器420还具有允许其沿着导轨414水平移动的水平移动驱动单元。

现在，对在上述本实施方式的平板显示器制造装置的加工室内、通过第一上盖开/关设备400实现的上盖200的开/关过程进行详细说明。

图3a至3c示出了为维护或者维修上盖200内部而顺序打开上盖200的过程。

首先，如图3a所示，驱动第一提升杆412来提升上盖200至足够的高度，允许上盖200不被室体100阻挡地旋转。此时，对四个第一提升杆412进行控制使得他们被同时驱动且彼此上升到相同高度。

如果上盖200达到可旋转高度，如图3b所示，驱动第一旋转器420的旋转驱动单元，将上盖200旋转180度。

最后，在上盖200处于完全旋转的状态下，如图3c所示，使第一提升杆412驱动并收缩直至上盖200置于室体100的上端。此时，在室体100的上端最好放置有夹具(jig)430，使得上盖200的各个角落由夹具430直接支承。这样可以防止因上盖200而损坏安装在室体100内的器材。

这样一来，如果上盖200如上述那样被完全打开，则可以施行与上盖200内部相关的任意维修操作，例如，更换安装在上盖200上的淋浴头或者移去杂质。当完成该维修操作后，以相反的顺序进行上述过程，则上盖200返回到其起始关闭位置。

图4a至4c图示了更换安装在室体100内的器材或者清洁室体100内部时，上盖200的另一顺序打开过程。

如图4a所示，首先，驱动第一提升杆412将上盖200提升到足够高度，以使上盖200不被室体100阻挡地旋转。此时，第一上盖开/关设备400的驱动方法与如图3a所示的相同。

如果上盖200被提升到可旋转高度，如图4b所示，使用第一旋转器420将上盖200旋转90度。

然后，如图4c所示，上盖200在保持在这种旋转90度的状态下，在包括于第一旋转器420的水平移动驱动单元的操作下水平移动。此时，将上盖200移动到导轨414的末端。紧接着，为了操作人员的安全，优选地，当上盖200处于通过收缩第一提升杆412而被置于安全地面的状态时，对室体100执行各种维修操作。当结束维修操作后，以相反的顺序执行上述过程，则上盖200返回到起始关闭位置。

因为不需要占用太多的清洁空间来执行上述上盖200的打开过程，所以，可以减少平板显示器制造装置的构造成本，并且降低平板显示器的制造价格。而且，由于其简化的打开操作，因此，可以花费更短的时间来打开或者关闭上盖200。

第二实施方式

图5是具有根据本发明第二实施方式的上盖开/关设备的平板显示器制造装置的加工室的立体图。如图5所示，本实施方式的加工室包括：室体100；放置在室体100上的上盖200，将室体100的内部与外部隔离以便在其内部产生真空；衬底支承装置(未示出)；处理气体供给系统300；排气系统(未示出)；以及第二上盖开/关设备500。

参照图5，第二上盖开/关设备500包括第二提升杆510以及安装在第二提升杆510上端的第二旋转器520。此时，第二上盖开/关设备500最好安装在室体100的外部并接近室体100的一拐角。在第二提升轴510的下部配置有可使第二提升杆510竖直伸长或者缩短的竖直移动驱动单元。另外，第二提升杆510配置有气泵、油缸或者链条等，以便通过使用竖直移动驱动单元的动力而能够竖直移动。

第二旋转器520被安装在第二提升杆510的上端，在其一外周位置与上盖200的一个拐角连接。此时，第二旋转器520具有旋转上盖200的旋转器驱动单元。

优选地，在第二提升杆510的对角线上的相对位置还配置有辅助提升杆530。在辅助提升杆530的下部配置有可使辅助提升杆530竖直伸长或者缩短的竖直移动驱动单元，并且在其上端安装有配置成可与上盖200一拐角相连的上盖连接器532。此时，上盖连接器532最好与上盖200可分离地连接。也就是说，当操作辅助提升杆530与第二提升杆510配合提升上盖200时，上盖连接器532与上盖200连接。不过，随着上盖200以第二提升杆510为中心旋转，上盖连接器532将与上盖200分离。

辅助提升杆530同样也配置有气缸、油缸或者链条等，通过利用竖直移动驱动单元的动力来提升与上端连接的上盖200。

上述第二上盖开/关设备500优选地还包括第一控制单元(未示出)。在第一控制单元的控制下，当第二提升杆510提升上盖200时，上盖连接器532连接上盖200，使得辅助提升杆530与第二提升杆510配合用于提升上盖200。另外，当第二旋转器520运转时，上盖连接器532与上盖200分离，以允许上盖200的枢转。

虽然未示出，但是第二旋转器520可以包括辅助旋转器。辅助旋转器用于使上盖200翻转180度，使上盖200的内部朝上。从而易于维修安装在上盖200内部的器材。

参照图6a至图6b来详细说明在上述平板显示器制造装置的加工室内、由第二上盖开/关设备500完成的上盖200的开/关过程。

首先，如图6a所示，第二提升杆510和辅助提升杆530同时运转来提升上盖200。此时，上盖200的提升高度要足以满足可使上盖200能够不与室体100内部的任何器材相碰撞而旋转。这就意味着没有必要将上盖200提升到与第一实施方式相同的高度。

在上盖200的提升过程中，上盖连接器532与上盖200连接，因而辅助提升杆530与第二提升杆510一起提升上盖200。在两个杆510和530的共同配合下，上盖200可以平行于地面地提升，并且允许分配施加到第二提升杆510上的作用力。

紧接着，如图6b所示，当上盖连接器532与上盖200分离后，安装在第二提升杆510上端的第二旋转器520运转，使上盖200旋转90度。结果，上盖200与室体100分离，从而可以对加工室的内部进行维护或者维修。在本实施方式中，对室体100和上盖200进行维护或者维修时，上盖200以相同的方式打开。

不过，对于上盖200来说，最好配置有夹具(未示出)来支承上盖200的下端，用以将上盖200保持在适当高度。夹具也用来分配施加到第二提升杆510上的作用力，以及保护在上盖200下面的操作人员的安全，并且在更换或者拆分时用于支承上盖200内部的器材。

另外，如图6c所示，在辅助旋转器(未示出)的驱动下，上盖200可以绕连接上盖200相对拐角的对角线旋转180度。这样易于简化在上盖200内部的维修。

上述第二上盖开/关设备500不仅简化了上盖200的开/关过程，而且还因其简化的结构而简化了加工室的维护以及维修，从而减少了操作时间。

第三实施方式

图7是具有根据本发明第三实施方式的上盖开/关设备的平板显示器制造装置的加工室的立体图。如图7所示，本实施方式的加工室包括：室体100、放置在室体100上的用于把室体100的内部与外部隔离以便在其内部产生真空的上盖200、衬底支承装置(未示出)、处理气体供给系统300、排气系统(未图示)以及第三上盖开/关设备600。

参照图8a，第三上盖开/关设备600包括第三旋转器610、第四旋转器620以及第三提升杆630。此时，如图7所示，第三旋转器610安装在室体100的外侧，第四旋转器620安装在上盖200的外侧，而且第三提升杆630分别与第三以及第四旋转器610和620连接。应该理解，两个第三上盖开/关设备600完全对称地安装在室体100相对的侧面。在两个第三开/关设备600的作用下，上盖200的相对侧被同时提升以便打开远离室体100。

图8a中的第三旋转器610被安装在室体100的外侧，如图7所示那样与第三提升杆630的下端连接。因此，第三提升杆610用于向左或者向右枢轴旋转第三提升杆630。因此，第三旋转器610具有旋转驱动单元。

图8a中的第四旋转器620被安装在上盖200的外侧，如图7所示，其与第三提升杆630的上端连接。第四旋转器630在第三提升杆630的操作下可以提升，并用于旋转上盖200。因此，第四旋转器620具有旋转驱动单元。图8a中的第三提升杆630同时与第三以及第四旋转器610和620连接，并且用于提升第四旋转器620，以及与第四旋转器620连接的上盖200，如图7所示。而且，第三提升杆630具有竖直移动驱动单元。而且，第三提升杆630可以配置有气缸、油缸或者链条等，用于通过使用竖直移动驱动单元的动力来提升第四旋转器620和上盖200。

分析上述第三上盖开/关设备600的打开过程，首先，驱动第三提升杆630将第四旋转器620和上盖200提升至预定高度。当第三提升杆630被持续提升时，开始驱动第三旋转器610使第三提升杆630枢轴旋转且倾斜90度。在第三提升杆630枢轴旋转的同时，第四旋转器620开始运转并使上盖200翻转180度。在上盖200的旋转过程中，为了防止上盖200和室体100碰撞，最好为第三上盖开/关设备600配置有第二控制单元(未示出)，用于控制第三以及第四旋转器610和620以及第三提升杆630的驱动。

现在，对在本发明的平板显示器制造装置的加工室中、通过第三上盖开/关设备600实现的上盖200的开/关过程进行详细说明。

本实施方式的第三上盖开/关设备600的操作基本上分为：由第三提升杆630实施的提升上盖的步骤，由第三旋转器610实施的第三提升杆旋转步骤，以及由第四旋转器620实施的上盖旋转步骤。

如图8a所示，首先，驱动第三提升杆630来提升上盖200至第一高度。此时，第一高度要足以满足上盖200能刚好不碰撞室体100内的任何器材地横向移动。当然，第三提升杆630可以将上盖200提升到超过第一高度的位置。

紧接着，如图8b所示，当将上盖200提升到超过第一高度后，驱动第三旋转器610来使第三提升杆630枢轴旋转90度，同时，驱动第四旋转器620使上盖200翻转180度。这样，如图8c所示，上盖200被完全打开。

这里，驱动第三提升杆630和第三以及第四旋转器610和620的过程并非依次进行，其通常都是在控制单元(未示出)的控制下有机联系的。即，当第三提升杆630持续提升时，第三以及第四旋转器610和620同时旋转。此时，在第三上盖开/关设备600的驱动过程中的最重要的控制原则是：防止上盖200和室体100在上盖200的旋转期间互相碰撞。因此，应该正确控制第三提升杆630的提升速度和第四旋转器620的旋转速度。

当通过第三上盖开/关设备600打开上盖200时，持续对上盖200的打开过程进行控制，从而减少了打开或者关闭上盖200所需的操作时间，并且简化整个上盖200的开/关过程。

如上所述，本发明提供一种具有开/关设备的平板显示器制造装置的加工室，其配置简单且能够减少打开或者关闭加工室上盖的所需时间。

而且，根据本发明能够不占用大量清洁空间来打开或者关闭加工室。

虽然为了说明的目的而对本发明的优选实施方式进行了描述，但是，本领域普通技术人员可以理解各种不脱离所附权利要求中揭示的本发明的范围和宗旨的变型、附加及替换。

Claims (20)

1.一种平板显示器制造装置的加工室，包括：

室体；

上盖，放置在所述室体上，以便远离所述室体而打开或者关闭于所述室体，在关闭状态下，所述上盖将所述室体的内部与外部隔离从而在所述室体内产生真空；

衬底支撑装置，配置在所述室体内，用于支撑待处理衬底；

处理气体供给系统，配置在所述室体内；

排气系统，配置在所述室体内，用于排空所述室体；以及

第一上盖开/关设备，安装在所述室体的外部，其中，所述第一上盖开/关设备包括：升降装置，用来竖直提升所述上盖；以及

第一旋转器，用于旋转由所述升降装置所提升的所述上盖。

2.如权利要求1所述的加工室，其中，所述升降装置包括：

四个第一提升杆，配置在所述室体各个拐角的外侧；以及

两条导轨，所述两条导轨位于所述上盖的彼此相对的两个侧部旁，并且所述两条导轨分别连接在两个相邻的所述第一提升杆的上端之间。

3.如权利要求1所述的加工室，其中：

所述第一旋转器被安装在所述上盖的彼此相对的外侧面，并且以能够水平移动的方式分别与所述导轨连接。

4.如权利要求2所述的加工室，其中：

所述第一提升杆中的每一个都具有竖直移动驱动单元，用于提升与所述第一提升杆连接的所述导轨和所述上盖。

5.如权利要求3所述的加工室，其中：

所述第一旋转器中的每一个都具有用于旋转所述上盖的旋转驱动单元，还具有沿着与所述第一旋转器连接的所述导轨来水平移动所述上盖的水平移动驱动单元。

6.如权利要求2所述的加工室，其中：

每个所述第一提升杆都由气缸或者油缸来驱动。

7.一种平板显示器制造装置的加工室，包括：

室体；

上盖，放置在所述室体上，以便远离所述室体而打开或者关闭于所述室体，在关闭状态下，所述上盖将所述室体的内部与外部隔离从而在所述室体内产生真空；

衬底支撑装置，配置在所述室体内，用于支撑待处理衬底；

处理气体供给系统，配置在所述室体内；

排气系统，配置在所述室体内，用于排空所述室体；以及

第二上盖开/关设备，安装在所述室体一拐角的外部，用于竖直升起并旋转所述上盖。

8.如权利要求7所述的加工室，其中，所述第二上盖开/关设备包括：

可竖直移动的第二提升杆；以及

第二旋转器，安装在所述第二提升杆的上端用于旋转所述上盖。

9.如权利要求8所述的加工室，其中：

所述第二上盖开/关设备还包括辅助提升杆，安装在与所述第二提升杆对角相对的一侧。

10.如权利要求9所述的加工室，其中：

所述第二提升杆和所述辅助提升杆分别由气缸或者油缸驱动。

11.如权利要求9所述的加工室，其中：

所述第二提升杆和所述辅助提升杆都分别具有竖直移动驱动单元。

12.如权利要求8所述的加工室，其中：

所述第二旋转器具有旋转驱动单元。

13.如权利要求9所述的加工室，其中：

所述第二上盖开/关设备还包括第一控制单元，并且所述辅助提升杆的上端处安装有上盖连接器，

由此，在所述第一控制单元的控制下，当所述第二提升杆提升所述上盖时，所述上盖连接器与上盖连接使所述辅助提升杆与所述第二提升杆配合提升所述上盖，并且，当所述第二旋转器运转时，所述上盖连接器与所述上盖分离，从而能够使所述上盖枢转。

14.一种平板显示器制造装置的加工室，包括：

室体：

上盖，放置在所述室体上，以便远离所述室体而打开或者关闭于所述室体，在关闭状态下，所述上盖将所述室体的内部与外部隔离，从而在所述室体内产生真空；

衬底支撑装置，配置在所述室体内，用于支撑待处理衬底；

处理气体供给系统，配置在所述室体内；

排气系统，配置在所述室体内，用于排空所述室体；以及

一对第三上盖开/关设备，安装在所述室体的彼此相对的外侧面的中央处，用于竖直提升并旋转所述上盖。

15.如权利要求14所述的加工室，其中，每个所述第三上盖开/关设备包括：

第三旋转器，安装在所述室体上；

第四旋转器，安装在所述上盖上；以及

可竖直移动的第三提升杆，所述第三提升杆的下端与所述第三旋转器连接，所述第三提升杆的上端与所述第四旋转器连接。

16.如权利要求15所述的加工室，其中：

所述第三旋转器具有旋转所述第三提升杆的旋转驱动单元，第三提升杆与所述第四旋转器以及所述上盖连接。

17.如权利要求15所述的加工室，其中：

所述第四旋转器具有用于旋转所述上盖的旋转驱动单元。

18.如权利要求15所述的加工室，其中：

所述第三提升杆具有竖直移动驱动单元，用于提升所述第四旋转器以及与所述第四旋转器连接的所述上盖。

19.如权利要求15所述的加工室，其中：

所述第三提升杆由气缸或者油缸驱动。

20.如权利要求15所述的加工室，其中，所述第三上盖开/关设备还包括第二控制单元，用于控制所述第三旋转器和第四旋转器以及第三提升杆的驱动，

由此，在所述第二控制单元的控制下，当所述第三提升杆被驱动而将所述第四旋转器和所述上盖提升至预定高度后，在所述第三提升杆被持续提升时，开始驱动所述第三旋转器以使得所述第三提升杆枢转并倾斜90度，并且操作所述第四旋转器使所述上盖翻转180度，在所述上盖的旋转过程中，在所述上盖和所述室体之间并不碰撞。

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