CN103904004A - 一种具有柔性关节的容器 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种容器，包括：一个腔体，一个盖体，所述盖体包括第一部分通过铰链固定到腔体，第二部分随铰链转动而相对腔体移动一个支撑臂包括第一端连接到腔体，第二端通过一个柔性关节连接到所述盖体，其中所述柔性关节包括一个本体和一个中心旋转轴，本体上还包括一个离心旋转轴，所述中心旋转轴固定到盖体上，所述支撑臂的第二端固定到所述离心旋转轴上。

Description

一种具有柔性关节的容器
技术领域
本发明涉及低气压容器机械连接部件领域，尤其涉及一种用于低气压容器的连接关节。
背景技术
在半导体设备的制造过程中，反应器需要抽成低压，接近真空才能对基片进行处理形成所需要的基片结构，其它化工或者生物技术等需要低压环境的反应器或容器都需要在容器腔体和至少一个盖体实现开关。盖体通过铰链使盖体一端与腔体相固定，另一端围绕铰链旋转移动，使盖体与容器具有打开和关闭两种状态。在闭合时抽走容器内的空气或者充入需要进行处理的气体直到获得需要的气压。在打开时盖体移动，解除密闭状态。由于盖体较重很多容器都包括一个气缸支撑臂辅助盖体开启和关闭，并且在关闭时能够保持盖体和腔体间的气密性。但是所有这些盖体、腔体、铰链、气缸支撑臂在制造过程中都存在公差，特别是容器尺寸较大时，这些公差积累后导致的尺寸不匹配是不能忽略的。比如在盖合时支撑臂长度偏短，在开启盖体时受到盖体上下气压差和盖体本身重力的合力，原来用于辅助的气缸支撑臂由于气缸已经存在拉伸，所以向上的支撑力不够，操作人员很难靠手臂力量将盖体拉起。相反的在支撑臂长度偏长的情况下，在盖合过程中支撑臂的向上支撑力较大，可能会造成盖体与腔体间出现缝隙，影响气密效果。由于传统支撑臂的尺寸是固定的所以无法再做补充调整，所以除了更换尺寸更合适的部件，没有其它办法。上述尺寸偏差太大时甚至会发生盖体与腔体卡死等极端情况。
所以业内需要一种更好的盖体支撑装置，能够克服尺寸偏差带来的盖合不紧密或者，盖体打开困难的问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种柔性开关提供更好的盖体支撑装置，能够克服尺寸偏差带来的盖合不紧密或者，盖体打开困难的问题。
本发明的应用于一种容器包括：一个腔体，一个盖体，所述盖体包括第一部分通过铰链固定到腔体，第二部分随铰链转动而相对腔体移动一个支撑臂包括第一端连接到腔体，第二端通过一个柔性关节连接到所述盖体，其中所述柔性关节包括一个本体和一个中心旋转轴，本体上还包括一个离心旋转轴，所述中心旋转轴固定到盖体上，所述支撑臂的第二端固定到所述离心旋转轴上。柔性关节本体上包括一个限位槽，与盖体上的限位突出部配合限制本体的旋转角度，或者可以是柔性关节本体上包括一个限位突出部，与盖体上的限位槽配合限制本体的旋转角度。
其中柔性关节也可以设置在支撑臂第一端与腔体之间。
支撑臂包括一个气缸和一个支撑杆。
支撑臂的两端均可以通过一个柔性关节分别连接到腔体和盖体。
附图说明
图1a为本发明容器处于盖合状态整体示意图；
图1b为本发明容器处于打开状态整体示意图；
图2a为本发明图支撑臂柔性关节外侧示意图；
图2b为本发明图支撑臂柔性关节内侧示意图；
图3为本发明图2b中柔性关节剖面示意图。
具体实施方式
以下结合图1至3，详细说明本发明实施例。
如图1a所示，本发明容器包括腔体10盖体20，盖体20的一端通过铰链12固定到腔体，另一端随铰链旋转转动。一个支撑臂33包括一个气缸30和支撑杆31，气缸的第一端也就是支撑臂33的第一端通过一个固定关节连接到腔体10，气缸的另一端与支撑杆31的相连。支撑臂的第二端固定到一个柔性关节32，柔性关节连接到盖体20。如图1a中所示在腔体与盖体接触界面或者其附近包括一个卡固装置40，在盖体与腔体处于闭合状态时锁定盖体，在要进入图1b所述开启状态时解除锁定掀起盖体。
图2a为图1所示柔性关节32的外侧视角的局部放大图，柔性关节32包括一个关节本体320，在本体中心包括一个中心旋转轴321，在本体320外围包括一个离心旋转轴322。离心旋转轴与支撑臂第二端的支撑杆31相固定，离心旋转轴可以相对本体320转动。中心旋转轴321固定到盖体上，使本体320可以沿中心旋转轴321相对转动。中心旋转轴和离心旋转轴的配合转动可以实现支撑臂33第二端可以围绕中心旋转轴231作圆周运动。
如图1a和1b所示在盖体开启状态时离心旋转轴322也就是支撑臂33的第二端相对中心旋转轴具有第一位置。在盖体处于闭合状态时离心旋转轴322也就是支撑臂33的第二端相对中心旋转轴具有第二位置。在盖合过程中如果出现支撑臂尺寸不匹配状况，如支撑臂较长时，多余的长度可以通过离心旋转轴相对中心旋转轴转动实现抵消。如支撑臂较短时离心轴可以旋转到离气缸第一端更近的另一个位置。通过离心轴322相对中心旋转轴321的转动可以补偿尺寸的误差，从而保证在盖体相对腔体闭合时的气密性。在开启盖体时，操作人员在支撑臂提供的升力辅助下将盖体举起。
图2b所示为柔性关节内侧示意图，也就是从腔体侧看向柔性关节32的视角。图中本体320上包括一个限位槽323。限位槽323与固定在盖体上的限位突出部相匹配，可以限制本体320相对中心旋转轴的旋转角度，也就限制了支撑臂固定到柔性关节的一端的可移动范围。本发明限位功能也可以通过其它结构实现，比如本体320上包括一个限位突出部与位于盖体上的槽相匹配实现限位。
本发明的柔性关节32也可以是位于支撑臂33的第一端处，此时支撑臂33的第二端可以是柔性关节也可以是固定关节。
图3为图2b在X平面的剖面示意图，如图所示离心旋转轴322相对中心旋转轴处的本体320具有较小的厚度，便于外侧支撑杆固定安装到离心旋转轴上。中心旋转轴321包括一个延伸部伸入盖体或腔体的固定孔中，离心旋转322也包括一个延伸部向外侧突出，以安装支撑臂的第二端。
本发明通过可旋转的柔性关节的设计可以使得支撑部件在设计和制造时可以具有更大裕量，同时结构简单，能够保证盖体相对腔体的开关效果。
尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本发明的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。

Claims (9)

1.一种容器，包括：
一个腔体，一个盖体，所述盖体包括第一部分通过铰链固定到腔体，第二部分随铰链转动而相对腔体移动
一个支撑臂包括第一端连接到腔体，第二端通过一个柔性关节连接到所述盖体，其中所述柔性关节包括一个本体和一个中心旋转轴，本体上还包括
一个离心旋转轴，所述中心旋转轴固定到盖体上，所述支撑臂的第二端固定到所述离心旋转轴上。
2.如权利要求1所述的容器，其特征在于：所述柔性关节本体上包括一个限位槽，与盖体上的限位突出部配合限制本体的旋转角度。
3.如权利要求1所述的容器，其特征在于：所述柔性关节本体上包括一个限位突出部，与盖体上的限位槽配合限制本体的旋转角度。
4.如权利要求1所述容器，其特征在于：所述支撑臂包括一个气缸和一个支撑杆。
5.一种容器，包括：
一个腔体，一个盖体，所述盖体包括第一部分通过铰链固定到腔体，第二部分随铰链转动而相对腔体移动
一个支撑臂包括第二端连接到盖体，第一端通过一个柔性关节连接到所述腔体，其中所述柔性关节包括本体和位于本体中心的中心旋转轴，本体上
还包括一个离心旋转轴，所述中心旋转轴固定到腔上，所述支撑臂的第一端固定到所述离心旋转轴上。
6.如权利要求5所述的容器，其特征在于：所述柔性关节本体上包括一个限位槽，与腔体上的限位突出部配合限制本体的旋转角度。
7.如权利要求5所述的容器，其特征在于：所述柔性关节本体上包括一个限位突出部，与腔体上的限位槽配合限制本体的旋转角度。
8.如权利要求5所述容器，其特征在于：所述支撑臂包括一个气缸和一个支撑杆。
9.如权利要求5所述的容器，其特征在于：所述支撑臂的第二端也通过一个柔性关节连接到盖体。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105280520A (zh) * 2014-07-22 2016-01-27 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 一种反应腔室的上盖开启机构
CN106939746A (zh) * 2015-12-31 2017-07-11 中微半导体设备(上海)有限公司 避免真空腔腔门过冲的启闭装置及真空腔室
CN108109947A (zh) * 2016-11-25 2018-06-01 沈阳芯源微电子设备有限公司 可保持气密性的载片装置
CN113802109A (zh) * 2021-09-14 2021-12-17 陛通半导体设备(苏州)有限公司 可自动开合的半导体设备
CN116487288A (zh) * 2022-01-24 2023-07-25 株式会社斯库林集团 处理腔室及基板处理装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1215130A1 (de) * 2000-12-15 2002-06-19 Hakle-Kimberly Deutschland GmbH Spender für Hygienepapier oder dergleichen
CN2538473Y (zh) * 2002-05-08 2003-03-05 张海涛 一种电子器件拆焊作业箱
CN1548878A (zh) * 2003-05-22 2004-11-24 乐金电子(天津)电器有限公司 泡菜电冰箱
CN1590233A (zh) * 2003-08-01 2005-03-09 达特工业股份有限公司 带有弹性体盖弹簧的容器
CN1806121A (zh) * 2004-07-08 2006-07-19 松下电器产业株式会社 压缩机
CN101374733A (zh) * 2005-09-20 2009-02-25 项目来源有限公司 具有易于打开的锁合装置的可反复开合容器
CN101654816A (zh) * 2009-04-24 2010-02-24 上海一纺机械有限公司 一种精梳机钳板的传动结构

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1215130A1 (de) * 2000-12-15 2002-06-19 Hakle-Kimberly Deutschland GmbH Spender für Hygienepapier oder dergleichen
CN2538473Y (zh) * 2002-05-08 2003-03-05 张海涛 一种电子器件拆焊作业箱
CN1548878A (zh) * 2003-05-22 2004-11-24 乐金电子(天津)电器有限公司 泡菜电冰箱
CN1590233A (zh) * 2003-08-01 2005-03-09 达特工业股份有限公司 带有弹性体盖弹簧的容器
CN1806121A (zh) * 2004-07-08 2006-07-19 松下电器产业株式会社 压缩机
CN101374733A (zh) * 2005-09-20 2009-02-25 项目来源有限公司 具有易于打开的锁合装置的可反复开合容器
CN101654816A (zh) * 2009-04-24 2010-02-24 上海一纺机械有限公司 一种精梳机钳板的传动结构

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105280520A (zh) * 2014-07-22 2016-01-27 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 一种反应腔室的上盖开启机构
CN105280520B (zh) * 2014-07-22 2019-01-18 北京北方华创微电子装备有限公司 一种反应腔室的上盖开启机构
CN106939746A (zh) * 2015-12-31 2017-07-11 中微半导体设备(上海)有限公司 避免真空腔腔门过冲的启闭装置及真空腔室
CN108109947A (zh) * 2016-11-25 2018-06-01 沈阳芯源微电子设备有限公司 可保持气密性的载片装置
CN108109947B (zh) * 2016-11-25 2020-03-10 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 可保持气密性的载片装置
CN113802109A (zh) * 2021-09-14 2021-12-17 陛通半导体设备(苏州)有限公司 可自动开合的半导体设备
CN116487288A (zh) * 2022-01-24 2023-07-25 株式会社斯库林集团 处理腔室及基板处理装置
CN116487288B (zh) * 2022-01-24 2024-06-18 株式会社斯库林集团 处理腔室及基板处理装置

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