JP2012087923A - 真空チャンバーおよび真空保持方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本体11と蓋12より成り、本体11と蓋12の間をOリング15によって密閉している真空チャンバーであり、蓋12は、一端を開閉手段14によって本体11と接続し、他端に蓋12を持上げる取手13を位置させたものであり、開閉手段14は、蓋12を閉じた時点で本体11と蓋12の間で平行な面を確保するものであり、更に本体11内を真空引きした際には平行な面を確保しながらOリング15を圧縮した。
【選択図】図1
Description
真空容器1の真空吸引開始前または低真空度の時は、第1の突起片10bは、開閉扉6のシール面9に接触してそれをシールする。 真空容器1が高真空になると、本体リング10aが開閉扉6のシール面9によって押し潰されて弾性変形してシール面9をシールする技術が記載されている。
ここで、図1は、本願発明の真空チャンバーの正面図であり、図2は、本願発明の真空チャンバーの平面図であり、図3は、本願発明の配管と配線の系統図である。
11・・・・・・本体
11a・・・・・胴体
11b・・・・・フランジ
11c・・・・・吸気口
11d・・・・・排気口
11e・・・・・座
12・・・・・・蓋
13・・・・・・取手(持上手段)
14・・・・・・開閉手段
14a・・・・・第一ヒンジブロック
14b・・・・・ヒンジ中継板
14c・・・・・第二ヒンジブロック
14d・・・・・第一回転軸
14e・・・・・第二回転軸
15・・・・・・Oリング
16・・・・・・窓
17・・・・・・パッキン
18・・・・・・ゴム脚
21・・・・・・ボルト
22・・・・・・止ネジ
23・・・・・・ナット
24・・・・・・サラ小ネジ
25・・・・・・ボルト
30・・・・・・負圧センサー
40・・・・・・三方弁
41a・・・・・吸気口
50・・・・・・真空ポンプ
51a・・・・・排気口
60・・・・・・二方弁
70・・・・・・流量調整弁
71a・・・・・吸気口
111・・・・・吸気配管
112・・・・・吸気配管
121・・・・・排気配管
122・・・・・排気配管
123・・・・・排気配管
131・・・・・センサー配管
210・・・・・交流電源
220・・・・・直流電源
230・・・・・第一スイッチ
240・・・・・第二スイッチ
250・・・・・第三スイッチ
260・・・・・リレー
Claims (7)
- 本体と蓋より成り、前記本体と前記蓋の間をOリングによって密閉している真空チャンバーに於いて、前記蓋は、一端を開閉手段によって前記本体と接続し、他端に前記蓋を持上げる取手を位置させたものであり、前記開閉手段は、前記蓋を閉じた時点で前記本体と前記蓋の間で平行な面を確保するものであり、更に前記本体内を真空引きした際には平行な面を確保しながら前記Oリングを圧縮することを特徴とする真空チャンバー。
- 前記開閉手段は、第一ヒンジブロックと第二ヒンジブロックとヒンジ中継板によって構成され、前記第一ヒンジブロックは前記本体に固定され、前記第二ヒンジブロックは前記蓋に固定され、前記第一ヒンジブロックと前記第二ヒンジブロックはその間に前記ヒンジ中継板を位置させることで第一回転軸と第二回転軸を中心に回転可能に接続していることを特徴とする請求項1に記載の真空チャンバー。
- 前記第一ヒンジブロックと前記第二ヒンジブロックは、概ね90度の位置関係をもって固定されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の真空チャンバー。
- 前記本体に、または前記本体に接続している排気配管に、圧力を測定する負圧センサーを接続し、上限設定圧力になると真空ポンプの電源供給を停止し、下限設定圧力になると前記真空ポンプの電源供給を開始することを特徴とする請求項1ないし請求項3の何れか1項に記載の真空チャンバー。
- 前記本体には、真空状態にした後に、必要に応じて必要とする種類の気体を供給可能であることを特徴とする請求項1ないし請求項4の何れか1項に記載の真空チャンバー。
- 本体と蓋より成り、前記本体と前記蓋の間をOリングによって密閉している真空保持方法に於いて、前記蓋は、一端を開閉手段によって前記本体と接続し、他端に前記蓋を持上げる持上手段を位置させたものであり、前記開閉手段は、前記蓋を閉じた時点で前記本体と前記蓋の間で平行な面を確保するものであり、更に前記本体内を真空引きした際には平行な面を確保しながら前記Oリングを圧縮することを特徴とする真空保持方法。
- 前記開閉手段は、前記本体と前記蓋の間の面の関係を、1回の回転中心による場合の扇形となる関係に、もう1回の回転中心を含めた他の要素を加えることで、前記Oリングに接した時から圧縮を完了するまでの間、常に平行な面を保つようにしたことを特徴とする請求項6に記載の真空保持方法。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016011761A1 (zh) * | 2014-07-22 | 2016-01-28 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 反应腔室的上盖开启机构及反应腔室 |
US10043689B2 (en) | 2015-06-05 | 2018-08-07 | Hirata Corporation | Chamber apparatus and processing system |
KR20180128744A (ko) * | 2017-05-24 | 2018-12-04 | 주식회사 에프알디 | 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치 및 상기 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛 |
KR102276236B1 (ko) * | 2020-02-27 | 2021-07-12 | 주식회사 오에스티투 | 단결정 잉곳 성장장치의 팝업 밸브 장치 |
WO2023166653A1 (ja) * | 2022-03-03 | 2023-09-07 | キヤノンアネルバ株式会社 | 真空処理装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05213317A (ja) * | 1992-01-27 | 1993-08-24 | Toyo Jidoki Co Ltd | 自動包装機の真空圧制御装置 |
JPH0595102U (ja) * | 1992-05-29 | 1993-12-24 | 三菱自動車工業株式会社 | 電気自動車用電動機のブースタ負圧源確認制御 |
JP2003307389A (ja) * | 2002-04-16 | 2003-10-31 | Fuji Electric Co Ltd | 真空誘導加熱装置 |
JP2004200257A (ja) * | 2002-12-17 | 2004-07-15 | Tokyo Electron Ltd | 開閉機構及び真空容器 |
JP2005012174A (ja) * | 2003-06-19 | 2005-01-13 | Samsung Electronics Co Ltd | 反応装置 |
JP2009298007A (ja) * | 2008-06-13 | 2009-12-24 | Meiki Co Ltd | 真空チャンバの真空度制御機構及び真空度制御方法 |
-
2010
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05213317A (ja) * | 1992-01-27 | 1993-08-24 | Toyo Jidoki Co Ltd | 自動包装機の真空圧制御装置 |
JPH0595102U (ja) * | 1992-05-29 | 1993-12-24 | 三菱自動車工業株式会社 | 電気自動車用電動機のブースタ負圧源確認制御 |
JP2003307389A (ja) * | 2002-04-16 | 2003-10-31 | Fuji Electric Co Ltd | 真空誘導加熱装置 |
JP2004200257A (ja) * | 2002-12-17 | 2004-07-15 | Tokyo Electron Ltd | 開閉機構及び真空容器 |
JP2005012174A (ja) * | 2003-06-19 | 2005-01-13 | Samsung Electronics Co Ltd | 反応装置 |
JP2009298007A (ja) * | 2008-06-13 | 2009-12-24 | Meiki Co Ltd | 真空チャンバの真空度制御機構及び真空度制御方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016011761A1 (zh) * | 2014-07-22 | 2016-01-28 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 反应腔室的上盖开启机构及反应腔室 |
US10043689B2 (en) | 2015-06-05 | 2018-08-07 | Hirata Corporation | Chamber apparatus and processing system |
KR20180128744A (ko) * | 2017-05-24 | 2018-12-04 | 주식회사 에프알디 | 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치 및 상기 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛 |
KR102304980B1 (ko) | 2017-05-24 | 2021-09-27 | 주식회사 에프알디 | 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치 및 상기 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛 |
KR102276236B1 (ko) * | 2020-02-27 | 2021-07-12 | 주식회사 오에스티투 | 단결정 잉곳 성장장치의 팝업 밸브 장치 |
WO2023166653A1 (ja) * | 2022-03-03 | 2023-09-07 | キヤノンアネルバ株式会社 | 真空処理装置 |
JP7450119B2 (ja) | 2022-03-03 | 2024-03-14 | キヤノンアネルバ株式会社 | 真空処理装置 |
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