KR20180128744A - 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치 및 상기 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛 - Google Patents
반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치 및 상기 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛 Download PDFInfo
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Abstract
개시되는 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치가 회수 케이싱과, 개폐 도어와, 밀폐 부재를 포함함에 따라, 상기 밀폐 부재에 의해 상기 회수 케이싱 및 상기 개폐 도어의 연결 부분이 밀폐된 상태가 되어, 외부 공기가 상기 회수 케이싱 내부로 임의 유입되지 아니하게 됨으로써, 산업 폐기물 내에 함유된 제논 및 크립톤의 순도 저하를 방지하면서 제논 및 크립톤이 회수될 수 있게 되는 장점이 있다.
Description
본 발명은 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치 및 상기 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에는 많은 희귀 가스가 이용되는데, 그 희귀 가스에 포함되는 것이 제논 및 크립톤이다.
이러한 반도체 제조 공정에 사용되는 희귀 가스의 회수에 관한 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그 것이다.
상기 제논 및 크립톤과 같은 희귀 가스들은 그 양이 자연계 내에서 미량이기 때문에, 각종 산업 폐기물 중에 함유된 제논 및 크립톤의 회수가 요구되고 있고, 이러한 제논 및 크립톤의 회수를 위하여 이용되는 장치가 제논 및 크립톤 회수 장치이다.
종래에는, 제논 및 크립톤을 함유한 산업 폐기물을 회수 케이싱 내에 넣은 상태로 상기 회수 케이싱 내부를 진공 분위기로 형성한 다음, 그 산업 폐기물을 깨트려 그 산업 폐기물 내의 제논 및 크립톤이 상기 회수 케이싱에 연결된 회수 필터 유닛 내의 회수 필터에 걸려 회수되도록 한다.
그러나, 종래의 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤의 회수 시스템에서는, 제논 및 크립톤을 포함하고 있는 산업 폐기물을 회수 케이싱 내에 넣거나 빼기 위해 회수 케이싱을 개폐시키는 개폐 도어와 회수 케이싱 사이가 제대로 밀폐되지 못하였고, 그에 따라 회수 케이싱 내부가 진공 분위기가 되었을 때 외부 공기가 회수 케이싱 내부로 임의 유입되어 오염됨으로써, 회수되는 제논 및 크립톤의 순도가 저하되는 문제가 있었다.
또한, 종래의 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤의 회수 시스템에서는, 제논 및 크립톤과 같은 회수 대상체가 필터링되어 함유된 회수 필터가 내부에 구비된 회수 필터 유닛을 회수 케이싱에서 분리할 때, 외부 공기가 상기 회수 필터 유닛 내부로 임의 유입될 수 있고, 그에 따라 상기와 같이 회수되는 제논 및 크립톤이 오염되어, 그 순도가 저하되는 문제가 있었다.
본 발명은 산업 폐기물 내에 함유된 제논 및 크립톤의 순도 저하를 방지하면서 제논 및 크립톤이 회수될 수 있는 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적은 제논 및 크립톤과 같은 회수 대상체가 필터링되어 함유된 회수 필터가 내부에 구비된 회수 필터 유닛을 회수 케이싱에서 분리할 때 외부 공기가 회수 필터 유닛 내부로 임의 유입되는 현상이 방지될 수 있는 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치는 반도체 제조 공정에 사용되는 제논과 크립톤 중 적어도 하나인 회수 대상체가 함유된 산업 폐기물에서 상기 회수 대상체를 회수시킬 수 있는 것으로서,
상기 회수 대상체가 함유된 상태의 상기 산업 폐기물이 내부에 수용되는 회수 케이싱; 상기 회수 케이싱 내부로 상기 산업 폐기물 인입을 위해 상기 회수 케이싱을 열고, 상기 회수 케이싱 내부에 상기 산업 폐기물이 인입된 상태에서 상기 회수 케이싱을 닫을 수 있는 개폐 도어; 및 상기 회수 케이싱 내부로 외부 공기의 임의 유입이 방지될 수 있도록, 상기 회수 케이싱과 상기 개폐 도어 사이를 밀폐시키는 밀폐 부재;를 포함한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛은 반도체 제조 공정에 사용되는 제논과 크립톤 중 적어도 하나인 회수 대상체가 함유된 산업 폐기물에서 상기 회수 대상체를 회수시킬 수 있는 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치에 적용되고, 상기 회수 대상체가 함유된 상태의 상기 산업 폐기물이 내부에 수용되는 회수 케이싱과 연결되는 것으로서,
상기 회수 케이싱과 회수 필터 연결관에 의해 연결되는 회수 필터 케이싱; 상기 회수 필터 케이싱 내에 배치되고, 상기 회수 케이싱으로부터 상기 회수 필터 연결관을 통해 유입된 상기 회수 대상체를 필터링하여 함유할 수 있는 회수 필터; 및 상기 회수 필터 연결관을 개폐시킬 수 있는 회수 필터용 도어;를 포함한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치에 의하면, 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치가 회수 케이싱과, 개폐 도어와, 밀폐 부재를 포함함에 따라, 상기 밀폐 부재에 의해 상기 회수 케이싱 및 상기 개폐 도어의 연결 부분이 밀폐된 상태가 되어, 외부 공기가 상기 회수 케이싱 내부로 임의 유입되지 아니하게 됨으로써, 산업 폐기물 내에 함유된 제논 및 크립톤의 순도 저하를 방지하면서 제논 및 크립톤이 회수될 수 있게 되는 효과가 있다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛에 의하면, 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛이 회수 필터 케이싱과, 회수 필터와, 회수 필터용 도어를 포함함에 따라, 제논 및 크립톤과 같은 회수 대상체가 필터링되어 함유된 상기 회수 필터가 내부에 구비된 상기 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛을 상기 회수 케이싱에서 분리할 때 외부 공기가 상기 회수 필터 케이싱 내부로 임의 유입되는 현상이 방지될 수 있고, 그에 따라 그러한 외부 공기 임의 유입에 따라 회수되는 제논 및 크립톤이 오염되어 그 순도가 저하되는 현상이 방지될 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치에서 개폐 도어가 열린 모습을 보이는 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치에서 개폐 도어가 닫힌 모습을 보이는 도면.
도 3은 도 1에 도시된 A부분에 대한 확대도.
도 4는 도 2에 도시된 B부분에 대한 확대도.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛이 적용된 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치를 보이는 도면.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛이 열린 모습을 보이는 도면.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛이 닫힌 모습을 보이는 도면.
도 8은 도 7에 도시된 C부분에 대한 확대도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치에서 개폐 도어가 닫힌 모습을 보이는 도면.
도 3은 도 1에 도시된 A부분에 대한 확대도.
도 4는 도 2에 도시된 B부분에 대한 확대도.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛이 적용된 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치를 보이는 도면.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛이 열린 모습을 보이는 도면.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛이 닫힌 모습을 보이는 도면.
도 8은 도 7에 도시된 C부분에 대한 확대도.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치에서 개폐 도어가 열린 모습을 보이는 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치에서 개폐 도어가 닫힌 모습을 보이는 도면이고, 도 3은 도 1에 도시된 A부분에 대한 확대도이고, 도 4는 도 2에 도시된 B부분에 대한 확대도이다.
도 1 내지 도 4를 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치(100)는 반도체 제조 공정에 사용되는 제논과 크립톤 중 적어도 하나인 회수 대상체가 함유된 산업 폐기물(10)에서 상기 회수 대상체를 회수시킬 수 있는 것으로서, 회수 케이싱(110)과, 개폐 도어(120)와, 밀폐 부재(130)를 포함한다.
상기 회수 케이싱(110)은 상기 회수 대상체가 함유된 상태의 상기 산업 폐기물(10)이 내부에 수용되는 것이다.
상세히, 상기 회수 케이싱(110)은 직육면체 형태의 케이싱 몸체(111)와, 상기 케이싱 몸체(111) 상단에서 상기 밀폐 부재(130)가 접하도록 상기 케이싱 몸체(111) 내부로 돌출되는 케이싱측 돌출체(112)를 포함한다.
상기 케이싱 몸체(111)의 상단은 상기 산업 폐기물(10) 진출이 가능하도록 개방된 형태이고, 상기 케이싱 몸체(111) 내부 바닥면에 상기 회수 대상체가 함유된 산업 폐기물(10)이 놓인다.
상기 개폐 도어(120)는 상기 회수 케이싱(110) 내부로 상기 산업 폐기물(10) 인입을 위해 상기 회수 케이싱(110)을 열고, 상기 회수 케이싱(110) 내부에 상기 산업 폐기물(10)이 인입된 상태에서 상기 회수 케이싱(110)을 닫을 수 있는 것이다.
상세히, 상기 개폐 도어(120)는 상기 회수 케이싱(110)의 개방된 상단을 덮을 수 있도록 일정 면적으로 넓은 플레이트 형태로 형성되고 회전축(103)에 의해 상기 회수 케이싱(110)에 회전 가능하게 연결되는 도어 몸체(121)와, 상기 도어 몸체(121)의 저면에서 상기 밀폐 부재(130)가 접하도록 상기 도어 몸체(121)의 하방으로 돌출되는 도어측 돌출체(122)를 포함한다.
상기 케이싱측 돌출체(112)와 상기 도어측 돌출체(122)는 상기 밀폐 부재(130)의 상하에 근접되거나 접하게 된다.
도면 번호 102는 상기 회수 케이싱(110) 내부의 압력을 감지하는 압력 감지 센서이고, 도면 번호 104는 상기 케이싱 몸체(111)와 상기 도어 몸체(121)에서 각각 연장되는 플랜지들을 집어서 상기 회수 케이싱(110)과 상기 개폐 도어(120)를 외부에서 클램핑해주는 클램프이다.
상기 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치(100)는 상기 회수 케이싱(110) 내부를 미리 설정된 일정 압력 이하의 저압(진공 분위기)으로 형성시키는 케이싱 부압 펌프(101)를 더 포함한다.
도면 번호 114는 상기 케이싱 몸체(111)를 관통하여 상기 케이싱 부압 펌프(101)와 상기 케이싱 몸체(111) 내부를 연통시키는 펌프 케이싱 연통관이다.
상기 밀폐 부재(130)는 상기 회수 케이싱(110) 내부로 외부 공기의 임의 유입이 방지될 수 있도록, 상기 회수 케이싱(110)과 상기 개폐 도어(120) 사이를 밀폐시키는 것이다.
상기 밀폐 부재(130)는 상기 케이싱 부압 펌프(101)와 연결되어, 상기 케이싱 부압 펌프(101)에 의해 상기 회수 케이싱(110) 및 상기 개폐 도어(120)와 상기 밀폐 부재(130) 사이에 부압이 형성됨으로써, 상기 회수 케이싱(110) 및 상기 개폐 도어(120) 표면에 상기 밀폐 부재(130)가 흡착되면서 상기 회수 케이싱(110) 및 상기 개폐 도어(120) 사이의 틈이 상기 밀폐 부재(130)에 의해 밀폐된다.
상기 케이싱 부압 펌프(101)에 의해 상기 밀폐 부재(130)에 부압이 형성될 수 있도록, 상기 케이싱 몸체(111) 벽면 내부를 따라 상기 케이싱 부압 펌프(101)와 상기 밀폐 부재(130)를 연결시키는 부압 형성관(113)이 형성된다.
상기 부압 형성관(113)은 상기 펌프 케이싱 연통관(114)과 연통되되, 상기 부압 형성관(113)과 상기 펌프 케이싱 연통관(114)에는 펌프 조절 밸브(115)가 설치되고, 상기 펌프 조절 밸브(115)에 의해 상기 부압 형성관(113)과 상기 펌프 케이싱 연통관(114) 중 어느 하나가 선택적으로 열릴 수 있게 된다.
상기 밀폐 부재(130)는 상기 부압 형성관(113)과 연결되는 연결 몸체(131)와, 상기 연결 몸체(131)와 연결되되 상기 회수 케이싱(110) 및 상기 개폐 도어(120)의 각 표면으로부터 일정 간격 이격되도록 상기 회수 케이싱(110) 내부에 배치되되 상기 회수 케이싱(110) 및 상기 개폐 도어(120)의 연결 지점을 덮을 수 있는 일정 면적으로 형성되는 흡착 몸체(132)와, 상기 연결 몸체(131) 내부를 관통하여 상기 부압 형성관(113)과 연통되는 부압 형성 연결관(133)과, 상기 회수 케이싱(110) 및 상기 개폐 도어(120)의 각 표면과 상기 흡착 몸체(132) 사이 부분에 개방 형성되되 상기 부압 형성 연결관(133)과 연통되는 부압 형성 노즐(134)을 포함한다.
상기 밀폐 부재(130)는 실리콘 고무 등 탄성을 가진 물질로 이루어져서, 상기 회수 케이싱(110) 및 상기 개폐 도어(120)의 각 표면에 탄력있게 흡착될 수 있다.
상기 흡착 몸체(132)는 상기 연결 몸체(131)에 비해 상대적으로 넓은 면적으로 형성된다. 바람직하게는, 상기 흡착 몸체(132)는 상기 회수 케이싱(110) 및 상기 개폐 도어(120)의 연결 지점, 즉 상기 케이싱측 돌출체(112)와 상기 도어측 돌출체(122)를 함께 일정 면적 덮을 수 있는 면적으로 형성되고, 상기 연결 몸체(131)에서 외측으로 갈수록 점차 상기 케이싱측 돌출체(112)와 상기 도어측 돌출체(122)를 향해 하향되는 형태, 예를 들어 전체적으로 버섯 형태로 형성될 수 있다.
상기 케이싱 부압 펌프(101)가 작동되면, 상기 부압 형성관(113), 상기 부압 형성 연결관(133) 및 상기 부압 형성 노즐(134)에 순차적으로 부압(negative pressure)이 걸리고, 그에 따라 상기 회수 케이싱(110) 및 상기 개폐 도어(120)와 상기 흡착 몸체(132) 사이의 공기가 상기 부압 형성 노즐(134)을 통해 유출됨으로써, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 회수 케이싱(110) 및 상기 개폐 도어(120)의 각 표면에 상기 흡착 몸체(132)가 흡착되어, 상기 회수 케이싱(110) 및 상기 개폐 도어(120)의 연결 지점이 상기 밀폐 부재(130)에 의해 밀폐될 수 있게 된다.
한편, 상기 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치(100)는 상기 회수 케이싱(110)에 근접 배치되는 회수 필터 유닛(140)과, 상기 회수 필터 유닛(140) 내부를 미리 설정된 일정 압력 이하의 저압(진공 분위기)로 형성시켜 주는 필터 부압 펌프(143)를 더 포함한다.
상기 회수 필터 유닛(140)은 외부에 대하여 밀폐되고, 그 내부에 상기 회수 대상체가 필터링되어 함유될 수 있는 회수 필터(150)가 구비된 것이다.
도면 번호 141은 상기 회수 케이싱(110)과 상기 회수 필터 유닛(140)을 서로 연통시키는 회수 필터 연결관이고, 도면 번호 142는 상기 회수 필터 연결관(141)을 개폐시키는 회수 필터 개폐 밸브이다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 실시예에 따른 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치(100)의 작동에 대하여 설명한다.
먼저, 상기 개폐 도어(120)가 열린 상태에서 작업자에 의해 상기 회수 케이싱(110) 내부에 상기 회수 대상체가 함유된 상기 산업 폐기물(10)이 수용된다.
그런 다음, 상기 개폐 도어(120)가 작업자에 의해 닫히고, 상기 클램프(104)가 설치된다.
그런 다음, 상기 펌프 조절 밸브(115)가 상기 펌프 케이싱 연통관(114)에서 상기 회수 케이싱(110) 내부 쪽은 닫고 상기 부압 형성관(113)은 연 상태에서, 상기 케이싱 부압 펌프(101)가 작동된다. 그러면, 상기 부압 형성 노즐(134)을 통해 상기 회수 케이싱(110) 및 상기 개폐 도어(120)의 각 표면과 상기 흡착 몸체(132) 사이 부분의 공기가 유출되고, 그에 따라 상기 회수 케이싱(110) 및 상기 개폐 도어(120)의 각 표면과 상기 흡착 몸체(132) 사이에 부압이 형성되면서, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 회수 케이싱(110) 및 상기 개폐 도어(120)의 각 표면에 상기 흡착 몸체(132)가 흡착되어, 상기 회수 케이싱(110) 및 상기 개폐 도어(120)의 연결 부분이 상기 밀폐 부재(130)에 의해 밀폐된다. 이러한 밀폐 과정에서, 상기 회수 필터 연결관(141)은 상기 회수 필터 개폐 밸브(142)에 의해 닫힌 상태를 유지한다.
이러한 밀폐 상태에서, 상기 펌프 조절 밸브(115)가 상기 펌프 케이싱 연통관(114)에서 상기 회수 케이싱(110) 내부 쪽을 열고 상기 부압 형성관(113)은 닫게 되면, 상기 회수 케이싱(110) 내부가 진공 분위기가 되고, 이 상태에서 상기 회수 케이싱(110) 내부에 배치된 상기 산업 폐기물(10)이 별도 도구(미도시) 등에 의해 깨어지면서 상기 산업 폐기물(10) 내부의 상기 회수 대상체가 상기 회수 케이싱(110) 내부로 퍼지게 된다.
이 때, 상기 밀폐 부재(130)에 의해 상기 회수 케이싱(110) 및 상기 개폐 도어(120)의 연결 부분이 밀폐된 상태이므로, 외부 공기가 상기 회수 케이싱(110) 내부로 임의 유입되지 아니한다.
이러한 상태에서, 상기 필터 부압 펌프(143)가 작동되어 상기 회수 필터 유닛(140) 내부가 진공 분위기로 됨과 함께, 상기 회수 필터 연결관(141)이 상기 회수 필터 개폐 밸브(142)에 의해 열리게 되면, 상기 회수 케이싱(110) 내부에 퍼져있던 상기 회수 대상체가 상기 회수 필터 유닛(140) 내부로 유입되어, 상기 회수 필터(150)에 필터링되면서 함유됨으로써, 상기 회수 대상체가 회수될 수 있게 된다.
상기와 같이, 상기 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치(100)가 상기 회수 케이싱(110)과, 상기 개폐 도어(120)와, 상기 밀폐 부재(130)를 포함함에 따라, 상기 밀폐 부재(130)에 의해 상기 회수 케이싱(110) 및 상기 개폐 도어(120)의 연결 부분이 밀폐된 상태가 되어, 외부 공기가 상기 회수 케이싱(110) 내부로 임의 유입되지 아니하게 됨으로써, 상기 산업 폐기물(10) 내에 함유된 제논 및 크립톤의 순도 저하를 방지하면서 제논 및 크립톤이 회수될 수 있게 된다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치 및 상기 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛에 대하여 설명한다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛이 적용된 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치를 보이는 도면이고, 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛이 열린 모습을 보이는 도면이고, 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛이 닫힌 모습을 보이는 도면이고, 도 8은 도 7에 도시된 C부분에 대한 확대도이다.
도 5 내지 도 8을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치(200)는 반도체 제조 공정에 사용되는 제논과 크립톤 중 적어도 하나인 회수 대상체가 함유된 산업 폐기물(10)에서 상기 회수 대상체를 회수시킬 수 있는 것으로서, 회수 케이싱(210)과, 개폐 도어(220)와, 밀폐 부재(230)와, 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛(240)을 포함한다.
상기 회수 케이싱(210)은 상기 회수 대상체가 함유된 상태의 상기 산업 폐기물(10)이 내부에 수용되는 것으로, 상기 회수 케이싱(210)은 직육면체 형태의 케이싱 몸체(211)를 포함한다.
상기 케이싱 몸체(211) 내부 바닥면에 상기 회수 대상체가 함유된 산업 폐기물(10)이 놓인다.
도면 번호 202는 상기 회수 케이싱(210) 내부의 압력을 감지하는 압력 감지 센서이다.
상기 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치(200)는 상기 회수 케이싱(210) 내부를 미리 설정된 일정 압력 이하의 저압(진공 분위기)으로 형성시키는 케이싱 부압 펌프(201)를 더 포함한다.
도면 번호 214는 상기 케이싱 몸체(211)를 관통하여 상기 케이싱 부압 펌프(201)와 상기 케이싱 몸체(211) 내부를 연통시키는 펌프 케이싱 연통관이고, 도면 번호 215는 상기 펌프 케이싱 연통관(214)을 개폐시킬 수 있는 펌프 조절 밸브이다.
도면 번호 206은 상기 회수 케이싱(210)과 상기 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛(240)을 서로 연통시키는 회수 필터 연결관이고, 도면 번호 207는 상기 회수 필터 연결관(206)을 개폐시키는 회수 필터 개폐 밸브이다.
한편, 상기 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치(200)는 상기 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛(240) 내부를 미리 설정된 일정 압력 이하의 저압(진공 분위기)로 형성시켜 주는 필터 부압 펌프(205)를 더 포함한다.
본 실시예에 따른 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛(240)은 상기 회수 케이싱(210)에 근접 배치되는 형태로 상기 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치(200)에 적용되고, 상기 회수 케이싱(210)과 연결되는 것으로서, 회수 필터 케이싱(241)과, 회수 필터(250)와, 회수 필터용 도어(270)를 포함한다.
상기 회수 필터 케이싱(241)은 상기 회수 케이싱(210)과 상기 회수 필터 연결관(206)에 의해 연결되는 것이다.
상기 회수 필터(250)는 상기 회수 필터 케이싱(241) 내에 배치되고, 상기 회수 케이싱(210)으로부터 상기 회수 필터 연결관(206)을 통해 유입된 상기 회수 대상체를 필터링하여 함유할 수 있는 것이다.
상기 회수 필터용 도어(270)는 상기 회수 필터 연결관(206), 상세히는 상기 회수 필터 연결관(206)과 상기 회수 필터 케이싱(241) 내부를 연통시키는 회수 필터 연결홀(242)을 개폐시킬 수 있는 것이다.
한편, 상기 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛(240)은 승강 손잡이(260)와, 연결관측 연결 부재(280)를 더 포함한다.
상기 승강 손잡이(260)는 상기 회수 필터 케이싱(241) 상부에서 작업자가 손으로 잡고 가하는 외력에 의해 승강될 수 있는 것이다.
상기 연결관측 연결 부재(280)는 상기 승강 손잡이(260)와 상기 회수 필터용 도어(270)를 연결하여, 상기 승강 손잡이(260)의 승강에 따라 상기 회수 필터용 도어(270)가 승강되도록 하는 것으로, 와이어가 그 예로 제시될 수 있다.
상기 회수 필터 케이싱(241) 벽체 내에서 상기 회수 필터 연결홀(242)과 상기 승강 손잡이(260)까지의 부분에는 회수 필터측 연통홀(244)이 형성되고, 상기 회수 필터측 연통홀(244)을 통해 상기 연결관측 연결 부재(280)가 상기 회수 필터용 도어(270)와 상기 승강 손잡이(260)가 연동되도록 연결한다.
상기 회수 필터측 연통홀(244)은 상기 회수 필터 연결홀(242)의 하측으로 일정 깊이까지 함몰되도록 형성되어, 상기 회수 필터용 도어(270)가 승강될 수 있는 공간을 제공한다.
도면 번호 271은 상기 회수 필터용 도어(270) 외측을 따라 설치되어 상기 회수 필터측 연통홀(244) 내벽과 밀접되는 밀폐링으로, 오 링이 그 예로 제시될 수 있다.
상기 승강 손잡이(260)가 상승되면, 상기 연결관측 연결 부재(280)에 의해 상기 회수 필터용 도어(270)가 상승되면서 상기 회수 필터 연결관(242)이 닫히게 되고, 상기 승강 손잡이(260)가 하강되면, 상기 연결관측 연결 부재(280)에 의해 상기 회수 필터용 도어(270)가 하강되면서 상기 회수 필터 연결관(242)이 열리게 된다.
한편, 상기 필터 부압 펌프(205)와 상기 회수 필터 유닛(240) 내부는 필터 부압 연결홀(243)을 통해 연통되고, 상기 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛(240)은 필터 부압 연결 개폐용 도어(275)와, 필터 부압 연결측 연결 부재(285)를 포함한다.
상기 필터 부압 연결 개폐용 도어(275)는 상기 필터 부압 연결홀(243)을 개폐시킬 수 있는 것이다.
상기 필터 부압 연결측 연결 부재(285)는 상기 승강 손잡이(260)와 상기 필터 부압 연결 개폐용 도어(275)를 연결하여, 상기 승강 손잡이(260)의 승강에 따라 상기 필터 부압 연결 개폐용 도어(275)가 승강되도록 하는 것으로, 와이어가 그 예로 제시될 수 있다.
상기 회수 필터 케이싱(241) 벽체 내에서 상기 필터 부압 연결홀(243)과 상기 승강 손잡이(260)까지의 부분에는 필터 부압측 연통홀(245)이 형성되고, 상기 필터 부압측 연통홀(245)을 통해 상기 필터 부압 연결측 연결 부재(285)가 상기 필터 부압 연결 개폐용 도어(275)와 상기 승강 손잡이(260)가 연동되도록 연결한다.
상기 필터 부압측 연통홀(245)은 상기 필터 부압 연결홀(243)의 하측으로 일정 깊이까지 함몰되도록 형성되어, 상기 필터 부압 연결 개폐용 도어(275)가 승강될 수 있는 공간을 제공한다.
도면 번호 276은 상기 필터 부압 연결 개폐용 도어(275) 외측을 따라 설치되어 상기 필터 부압측 연통홀(245) 내벽과 밀접되는 밀폐링으로, 오 링이 그 예로 제시될 수 있다.
상기 승강 손잡이(260)가 상승되면, 상기 필터 부압 연결측 연결 부재(285)에 의해 상기 필터 부압 연결 개폐용 도어(275)가 상승되면서 상기 필터 부압 연결홀(243)이 닫히게 되고, 상기 승강 손잡이(260)가 하강되면, 상기 필터 부압 연결측 연결 부재(285)에 의해 상기 필터 부압 연결 개폐용 도어(275)가 하강되면서 상기 필터 부압 연결홀(243)이 열리게 된다.
상기 승강 손잡이(260)가 하강되면, 상기 회수 필터용 도어(270)와 상기 필터 부압 연결 개폐용 도어(275)는 각각 자중에 의해 하강될 수 있다.
상기 승강 손잡이(260)는 그 상부는 작업자가 손으로 잡을 수 있고 그 하부는 상기 회수 필터 케이싱(241)에 삽입되는 승강 몸체(261)와, 상기 승강 몸체(261)의 하부에서 서로 마주보도록 일정 길이로 돌출되는 한 쌍의 걸림 돌기(262, 163)을 포함한다.
상기 회수 필터 케이싱(241)의 상부에는 상기 승강 몸체(261)와 상기 각 걸림 돌기(262, 163)가 승강될 수 있는 승강홀(247, 148)이 형성되고, 상기 승강홀(247, 148)의 각 상단은 상기 각 걸림 돌기(262, 163)가 걸려 상기 승강 손잡이(260)의 상승 범위를 제한하는 걸림턱이 된다.
상기와 같이 형성되면, 상기 승강 손잡이(260)가 작업자에 의해 들려지더라도, 상기 걸림 돌기(262, 163)가 상기 걸림턱에 걸림으로써, 상기 승강 손잡이(260)가 상기 회수 필터 케이싱(241)으로부터 임의 이탈되지 아니할 수 있다.
도면 번호 246은 상기 회수 필터측 연통홀(244)과 상기 필터 부압측 연통홀(245) 내에 각각 서로 이격되도록 복수 개 설치되어, 상기 연결관측 연결 부재(280)과 상기 필터 부압 연결측 연결 부재(285)가 매끄럽게 이동되도록 하는 도르래 형태의 풀리이다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 실시예에 따른 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛(240)을 포함하는 상기 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치(200)의 작동에 대하여 설명한다.
먼저, 상기 회수 케이싱(210) 내부에 상기 회수 대상체가 함유된 상기 산업 폐기물(10)이 수용된 밀폐 상태에서, 상기 케이싱 부압 펌프(201)가 작동되면, 상기 회수 케이싱(210) 내부가 진공 분위기가 되고, 이 상태에서 상기 회수 케이싱(210) 내부에 배치된 상기 산업 폐기물(10)이 별도 도구(미도시) 등에 의해 깨어지면서 상기 산업 폐기물(10) 내부의 상기 회수 대상체가 상기 회수 케이싱(210) 내부로 퍼지게 된다.
이 때, 상기 회수 필터 연결관(206)은 상기 회수 필터 개폐 밸브(207)에 의해 닫힌 상태이다.
이러한 상태에서, 상기 필터 부압 펌프(205)가 작동되어 상기 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛(240) 내부가 진공 분위기로 됨과 함께, 상기 회수 필터 연결관(206)이 상기 회수 필터 개폐 밸브(207)에 의해 열리게 되면, 상기 회수 케이싱(210) 내부에 퍼져있던 상기 회수 대상체가 상기 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛(240) 내부로 유입되어, 상기 회수 필터(250)에 필터링되면서 함유됨으로써, 상기 회수 대상체가 회수될 수 있게 된다.
이 때, 상기 회수 필터용 도어(270)와 상기 필터 부압 연결 개폐용 도어(275)는 하강된 상태이고, 그에 따라 상기 회수 필터 연결홀(242)과 상기 필터 부압 연결홀(243)은 열린 상태이다.
그런 다음, 작업자가 상기 승강 손잡이(260)를 잡고 들어올리면, 상기 걸림 돌기(262, 163)가 상기 걸림턱에 걸릴 때까지 상기 회수 필터 케이싱(241)은 상승되지 아니하고 상기 승강 손잡이(260)만 상승되고, 그에 따라 상기 연결관측 연결 부재(280)와 상기 필터 부압 연결측 연결 부재(285)가 당겨지면서, 상기 회수 필터용 도어(270)와 상기 필터 부압 연결 개폐용 도어(275)가 상승됨으로써, 상기 회수 필터 연결홀(242)과 상기 필터 부압 연결홀(243)이 닫히게 된다.
그런 다음, 상기 걸림 돌기(262, 163)가 상기 걸림턱에 걸리면, 상기 승강 손잡이(260)와 상기 회수 필터 케이싱(241)의 상대 승강 운동은 중지되고, 작업자에 의해 상기 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛(240) 전체가 들려질 수 있게 되고, 별도 공간에서 상기 회수 필터(250)에 함유된 상기 회수 대상체가 정제될 수 있게 된다.
상기와 같이, 상기 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛(240)이 상기 회수 필터 케이싱(241)과, 상기 회수 필터(250)와, 상기 회수 필터용 도어(270)를 포함함에 따라, 제논 및 크립톤과 같은 회수 대상체가 필터링되어 함유된 상기 회수 필터(250)가 내부에 구비된 상기 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛(240)을 상기 회수 케이싱(210)에서 분리할 때 외부 공기가 상기 회수 필터 케이싱(241) 내부로 임의 유입되는 현상이 방지될 수 있고, 그에 따라 그러한 외부 공기 임의 유입에 따라 회수되는 제논 및 크립톤이 오염되어 그 순도가 저하되는 현상이 방지될 수 있다.
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치에 의하면, 산업 폐기물 내에 함유된 제논 및 크립톤의 순도 저하를 방지하면서 제논 및 크립톤이 회수될 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.
100 : 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치
110 : 회수 케이싱
120 : 개폐 도어
130 : 밀폐 부재
110 : 회수 케이싱
120 : 개폐 도어
130 : 밀폐 부재
Claims (11)
- 반도체 제조 공정에 사용되는 제논과 크립톤 중 적어도 하나인 회수 대상체가 함유된 산업 폐기물에서 상기 회수 대상체를 회수시킬 수 있는 것으로서,
상기 회수 대상체가 함유된 상태의 상기 산업 폐기물이 내부에 수용되는 회수 케이싱;
상기 회수 케이싱 내부로 상기 산업 폐기물 인입을 위해 상기 회수 케이싱을 열고, 상기 회수 케이싱 내부에 상기 산업 폐기물이 인입된 상태에서 상기 회수 케이싱을 닫을 수 있는 개폐 도어; 및
상기 회수 케이싱 내부로 외부 공기의 임의 유입이 방지될 수 있도록, 상기 회수 케이싱과 상기 개폐 도어 사이를 밀폐시키는 밀폐 부재;를 포함하는 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치는
상기 회수 케이싱 내부를 미리 설정된 일정 압력 이하의 저압으로 형성시키는 케이싱 부압 펌프;를 포함하고,
상기 밀폐 부재는 상기 케이싱 부압 펌프와 연결되어, 상기 케이싱 부압 펌프에 의해 상기 회수 케이싱 및 상기 개폐 도어와 상기 밀폐 부재 사이에 부압이 형성됨으로써, 상기 회수 케이싱 및 상기 개폐 도어 표면에 상기 밀폐 부재가 흡착되면서 상기 회수 케이싱 및 상기 개폐 도어 사이의 틈이 상기 밀폐 부재에 의해 밀폐되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치. - 제 2 항에 있어서,
상기 케이싱 부압 펌프에 의해 상기 밀폐 부재에 부압이 형성될 수 있도록, 상기 회수 케이싱 벽면 내부를 따라 상기 케이싱 부압 펌프와 상기 밀폐 부재를 연결시키는 부압 형성관이 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치. - 제 3 항에 있어서,
상기 밀폐 부재는
상기 부압 형성관과 연결되는 연결 몸체와,
상기 연결 몸체와 연결되되 상기 회수 케이싱 및 상기 개폐 도어의 각 표면으로부터 일정 간격 이격되도록 상기 회수 케이싱 내부에 배치되되 상기 회수 케이싱 및 상기 개폐 도어의 연결 지점을 덮을 수 있는 일정 면적으로 형성되는 흡착 몸체와,
상기 연결 몸체 내부를 관통하여 상기 부압 형성관과 연통되는 부압 형성 연결관과,
상기 회수 케이싱 및 상기 개폐 도어의 각 표면과 상기 흡착 몸체 사이 부분에 개방 형성되되 상기 부압 형성 연결관과 연통되는 부압 형성 노즐을 포함하고,
상기 케이싱 부압 펌프가 작동되면, 상기 부압 형성관, 상기 부압 형성 연결관 및 상기 부압 형성 노즐에 순차적으로 부압이 걸리고, 그에 따라 상기 회수 케이싱 및 상기 개폐 도어와 상기 흡착 몸체 사이의 공기가 상기 부압 형성 노즐을 통해 유출됨으로써, 상기 회수 케이싱 및 상기 개폐 도어의 각 표면에 상기 흡착 몸체가 흡착되어, 상기 회수 케이싱 및 상기 개폐 도어의 연결 지점이 상기 밀폐 부재에 의해 밀폐될 수 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치. - 반도체 제조 공정에 사용되는 제논과 크립톤 중 적어도 하나인 회수 대상체가 함유된 산업 폐기물에서 상기 회수 대상체를 회수시킬 수 있는 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치에 적용되고, 상기 회수 대상체가 함유된 상태의 상기 산업 폐기물이 내부에 수용되는 회수 케이싱과 연결되는 것으로서,
상기 회수 케이싱과 회수 필터 연결관에 의해 연결되는 회수 필터 케이싱;
상기 회수 필터 케이싱 내에 배치되고, 상기 회수 케이싱으로부터 상기 회수 필터 연결관을 통해 유입된 상기 회수 대상체를 필터링하여 함유할 수 있는 회수 필터; 및
상기 회수 필터 연결관을 개폐시킬 수 있는 회수 필터용 도어;를 포함하는 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛. - 제 5 항에 있어서,
상기 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛은
상기 회수 필터 케이싱 상부에서 외력에 의해 승강될 수 있는 승강 손잡이; 및
상기 승강 손잡이와 상기 회수 필터용 도어를 연결하여, 상기 승강 손잡이의 승강에 따라 상기 회수 필터용 도어가 승강되도록 하는 연결관측 연결 부재;를 포함하고,
상기 승강 손잡이가 상승되면, 상기 연결관측 연결 부재에 의해 상기 회수 필터용 도어가 상승되면서 상기 회수 필터 연결관이 닫히게 되고,
상기 승강 손잡이가 하강되면, 상기 연결관측 연결 부재에 의해 상기 회수 필터용 도어가 하강되면서 상기 회수 필터 연결관이 열리게 되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛. - 제 6 항에 있어서,
상기 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치는
상기 회수 필터 유닛 내부를 미리 설정된 일정 압력 이하의 저압로 형성시켜 주는 필터 부압 펌프를 포함하고,
상기 필터 부압 펌프와 상기 회수 필터 유닛 내부는 필터 부압 연결홀을 통해 연통되고,
상기 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛은
상기 필터 부압 연결홀을 개폐시킬 수 있는 필터 부압 연결 개폐용 도어;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛. - 제 7 항에 있어서,
상기 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛은
상기 승강 손잡이와 상기 필터 부압 연결 개폐용 도어를 연결하여, 상기 승강 손잡이의 승강에 따라 상기 필터 부압 연결 개폐용 도어가 승강되도록 하는 필터 부압 연결측 연결 부재;를 포함하고,
상기 승강 손잡이가 상승되면, 상기 필터 부압 연결측 연결 부재에 의해 상기 필터 부압 연결 개폐용 도어가 상승되면서 상기 필터 부압 연결홀이 닫히게 되고,
상기 승강 손잡이가 하강되면, 상기 필터 부압 연결측 연결 부재에 의해 상기 필터 부압 연결 개폐용 도어가 하강되면서 상기 필터 부압 연결홀이 열리게 되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛. - 제 8 항에 있어서,
상기 연결관측 연결 부재와 상기 필터 부압 연결측 연결 부재는 와이어인 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛. - 제 9 항에 있어서,
상기 승강 손잡이가 하강되면, 상기 회수 필터용 도어와 상기 필터 부압 연결 개폐용 도어는 각각 자중에 의해 하강되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛. - 제 10 항에 있어서,
상기 승강 손잡이에서는 걸림 돌기가 돌출되고,
상기 회수 필터 케이싱에는 상기 걸림 돌기가 걸려 상기 승강 손잡이의 상승 범위를 제한하는 걸림턱이 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛.
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