KR20050045360A - 기판의 진공처리장치 - Google Patents
기판의 진공처리장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20050045360A KR20050045360A KR1020030079408A KR20030079408A KR20050045360A KR 20050045360 A KR20050045360 A KR 20050045360A KR 1020030079408 A KR1020030079408 A KR 1020030079408A KR 20030079408 A KR20030079408 A KR 20030079408A KR 20050045360 A KR20050045360 A KR 20050045360A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- chamber
- lid
- rail
- substrate
- cover
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
Abstract
Description
Claims (8)
- 기판을 처리하는 본체 및 상기 본체를 개폐할 수 있는 덮개로 이루어진 챔버와;상기 챔버의 덮개를 승하강시킴으로서 덮개를 상기 본체로부터/로 이탈/결합시키는 승하강수단과; 그리고상기 챔버의 덮개를 레일을 따라 측방향으로 이송시키는 이송수단을 포함하는 기판의 진공처리용 장치.
- 내부에서 기판을 처리하는 본체와, 상기 본체를 개폐할 수 있는 덮개로 이루어진 챔버와;상기 챔버의 본체에 측방향으로 에싱가스를 공급함으로써 기판을 처리하도록 하는 가스 공급부와;상기 챔버의 덮개를 승하강시킴으로서 덮개를 상기 본체로부터/로 이탈/결합시키는 승하강수단과; 그리고상기 챔버의 덮개를 상기 레일을 따라 측방향으로 이송시키는 이송수단을 포함하는 기판의 진공 처리용 장치.
- 제1 항 또는 제2 항에 있어서, 상기 레일은 상면에 배치되는 레일 플레이트와, 상기 레일 플레이트를 따라 배치되는 랙기어로 이루어지는 기판의 진공 처리용 장치.
- 제1 항 또는 제2 항에 있어서, 상기 승하강수단은 상기 덮개에 연결되는 상부 플레이트와, 상기 상부 플레이트에 구비되어 구동력을 발생시키는 리프팅 모터와, 상기 리프팅 모터와 기어치합 방식에 의하여 연결됨으로서 상기 리프팅 모터의 구동시 연동하고, 그 하부는 상기 레일상에 안착되는 하부 플레이트에 고정되는 기어잭을 포함하며,상기 리프팅 모터의 구동시, 상기 기어잭이 회전하여 상기 상부 플레이트를 승하강시킴으로써 상기 덮개도 승하강 시킬 수 있는 기판의 진공 처리용 장치.
- 제4 항에 있어서, 상기 상부 및 하부플레이트를 서로 연결함으로서, 상기 상부 플레이트의 승하강시 일정 방향으로 안내하는 가이드축을 추가로 포함하는 기판의 진공 처리용 장치.
- 제4 항에 있어서, 상기 하부 플레이트의 저면에는 V형 베어링이 부착되어 상기 레일플레이트에 활주가능하게 안착되는 기판의 진공처리용 장치.
- 제1항 또는 제2 항에 있어서, 상기 이송수단은 상기 하부 플레이트의 일측에 구비되는 하우징과, 상기 하우징에 구비되어 구동력을 발생시키는 슬라이딩 모터와, 상기 하우징의 일측에 회전가능하게 구비되어 상기 슬라이딩 모터와 연결되며, 상기 레일의 랙기어와 치합됨으로써 상기 슬라이딩 모터의 회전시 상기 레일을 따라 상기 덮개가 이송되도록 하는 피니언 기어를 포함하는 기판의 진공 처리용 장치.
- 제1 항 또는 제2 항에 있어서, 상기 덮개에는 상부전극이 구비되고, 상기 본체의 내부에는 기판이 얹혀지는 하부전극이 구비되어 전계를 형성함으로써, 상기 본체의 내부에 공급된 에슁가스에 의하여 에슁공정을 진행시키는 기판의 진공 처리용 장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020030079408A KR100544490B1 (ko) | 2003-11-11 | 2003-11-11 | 기판의 진공처리장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020030079408A KR100544490B1 (ko) | 2003-11-11 | 2003-11-11 | 기판의 진공처리장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20050045360A true KR20050045360A (ko) | 2005-05-17 |
KR100544490B1 KR100544490B1 (ko) | 2006-01-23 |
Family
ID=37245058
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020030079408A KR100544490B1 (ko) | 2003-11-11 | 2003-11-11 | 기판의 진공처리장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100544490B1 (ko) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100740453B1 (ko) * | 2005-10-17 | 2007-07-18 | 주식회사 에이디피엔지니어링 | 진공처리장치 |
KR100740451B1 (ko) * | 2005-10-17 | 2007-07-18 | 주식회사 에이디피엔지니어링 | 진공처리장치 |
KR100790795B1 (ko) * | 2007-02-09 | 2008-01-03 | 주식회사 아이피에스 | 진공처리장치 |
KR100853573B1 (ko) * | 2005-08-31 | 2008-08-21 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 시스템 |
KR100854803B1 (ko) * | 2005-12-14 | 2008-08-27 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 장치 및 덮개 지지 장치 |
KR100883210B1 (ko) * | 2007-08-22 | 2009-02-13 | 세메스 주식회사 | 포토레지스트 용제 건조 장치 |
KR100886030B1 (ko) * | 2006-03-13 | 2009-02-26 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 처리 장치 및 덮개의 개폐 기구 |
KR100925172B1 (ko) * | 2007-12-24 | 2009-11-05 | 주식회사 에이디피엔지니어링 | 리드 개폐장치 및 방법 |
KR101490451B1 (ko) * | 2008-07-29 | 2015-02-09 | 주성엔지니어링(주) | 기판처리장치용 지그 및 이를 이용한 유지보수 방법 |
-
2003
- 2003-11-11 KR KR1020030079408A patent/KR100544490B1/ko active IP Right Grant
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100853573B1 (ko) * | 2005-08-31 | 2008-08-21 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 시스템 |
KR100740453B1 (ko) * | 2005-10-17 | 2007-07-18 | 주식회사 에이디피엔지니어링 | 진공처리장치 |
KR100740451B1 (ko) * | 2005-10-17 | 2007-07-18 | 주식회사 에이디피엔지니어링 | 진공처리장치 |
KR100854803B1 (ko) * | 2005-12-14 | 2008-08-27 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 장치 및 덮개 지지 장치 |
KR100886030B1 (ko) * | 2006-03-13 | 2009-02-26 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 처리 장치 및 덮개의 개폐 기구 |
KR100790795B1 (ko) * | 2007-02-09 | 2008-01-03 | 주식회사 아이피에스 | 진공처리장치 |
KR100883210B1 (ko) * | 2007-08-22 | 2009-02-13 | 세메스 주식회사 | 포토레지스트 용제 건조 장치 |
KR100925172B1 (ko) * | 2007-12-24 | 2009-11-05 | 주식회사 에이디피엔지니어링 | 리드 개폐장치 및 방법 |
KR101490451B1 (ko) * | 2008-07-29 | 2015-02-09 | 주성엔지니어링(주) | 기판처리장치용 지그 및 이를 이용한 유지보수 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100544490B1 (ko) | 2006-01-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6035804A (en) | Process chamber apparatus | |
KR100544490B1 (ko) | 기판의 진공처리장치 | |
KR100497880B1 (ko) | 반도체 처리용 진공 처리 장치 | |
KR100853573B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 시스템 | |
EP2246875A1 (en) | Vacuum processing device, method for maintaining vacuum processing device and vacuum processing factory | |
KR100515955B1 (ko) | 상부 커버를 개폐할 수 있는 개폐장치가 구비된평판표시소자 제조장치의 공정챔버 | |
KR101519674B1 (ko) | 웨이퍼 무전해 도금을 위한 방법 및 장치 | |
TWI584356B (zh) | 晶圓無電電鍍系統及相關之方法 | |
JP5497114B2 (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
KR100790797B1 (ko) | 진공처리장치 | |
KR20130014310A (ko) | 기판처리장치 및 기판처리방법 | |
CN113614889A (zh) | 衬底处理方法及衬底处理装置 | |
KR100550803B1 (ko) | 플라즈마 식각장비 | |
JP6832108B2 (ja) | 基板処理方法 | |
JP2008209542A (ja) | レジスト剥離方法およびレジスト剥離装置 | |
KR101402875B1 (ko) | 리프트 핀, 리프트 핀용 가열장치 및 이를 갖춘평판표시소자 제조장치 | |
KR20020095845A (ko) | 반도체 장치 제조설비 및 웨이퍼 세정방법 | |
KR101039533B1 (ko) | 적층구조의 공정챔버를 포함하는 기판 제조장비 | |
CN205011343U (zh) | 一种样品架翻转装置 | |
KR20070002252A (ko) | 플라즈마를 사용하는 기판 가공 장치 | |
KR101057597B1 (ko) | 적층구조의 공정챔버를 포함하는 엘씨디 제조장비 | |
KR101362455B1 (ko) | 리프트 핀 구동장치 및 이를 구비한 평판표시소자 제조장치 | |
KR19990031191U (ko) | 반도체소자의 잔류물질 제거장치 | |
KR100706253B1 (ko) | 기판 처리 방법 | |
KR20050049728A (ko) | 다수의 서셉터 블럭을 포함하는 서셉터 어셈블리 및 이를이용한 기판의 로딩 또는 언로딩 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130102 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140102 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141229 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151127 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161206 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180109 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190102 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20191211 Year of fee payment: 15 |