KR20110095014A - 진공 챔버의 도어 장치 및 그것을 갖는 기판 처리 장치 - Google Patents

진공 챔버의 도어 장치 및 그것을 갖는 기판 처리 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 글라스 기판을 처리하는데 사용되는 진공 챔버의 도어 장치에 관한 것으로, 본 발명은 도어; 상기 출입구 전방에 해당되는 제1위치와 상기 출입구 측방에 해당되는 제2위치로 상기 도어를 상기 진공 챔버의 일면과 평행한 제1방향으로 슬라이드 이동시키는 제1이동유닛; 상기 제1위치로 이동되어진 상기 도어를 회동시켜 상기 출입구를 밀폐시키는 제2이동유닛을 포함한다.

Description

진공 챔버의 도어 장치 및 그것을 갖는 기판 처리 장치{DOOR APPARATUS OF VACUUM CHAMBER AND APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE HAVING THE APPARATUS}
본 발명은 글라스 기판을 처리하는데 사용되는 진공 챔버의 도어 장치 및 기판 처리 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시소자 및 태양전지소자는 글라스와 같은 기판에 증착 공정, 사진 공정, 식각 공정, 세정 공정 등의 단위 공정들을 반복적으로 수행하여 형성된다.
특히, 이러한 액정표시소자 및 태양전지소자 제조에 사용되는 글라스 기판의 대형화에 따라 진공 챔버 및 기판 출입구 역시 대형화되고 있다. 하지만, 진공 챔버의 기판 출입구를 개폐하는 도어가 힌지 방식이기 때문에 도어의 길이만큼 회전 반경이 요구되어 레이아웃이 증가되며, 회전 동작에 의한 개폐동작시 도어 자중에 의한 처짐 발생 등의 우려가 있으며, 이러한 처짐 현상은 기밀 유지 불량이라는 또 다른 문제를 유발시킨다.
본 발명의 목적은 도어의 오픈 동작시 동작 반경을 줄일 수 있는 도어 어셈블리를 갖는 진공 챔버의 도어 장치 및 그것을 갖는 기판 처리 장치를 제공하는데 있다.
또한, 본 발명의 목적은 도어가 챔버에 최대한 가깝게 지지되도록 하여 자중에 의한 처짐 발생을 최소화할 수 있는 진공 챔버의 도어 장치 및 그것을 갖는 기판 처리 장치를 제공하는데 있다.
상술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 도어 장치는 도어; 상기 출입구 전방에 해당되는 제1위치와 상기 출입구 측방에 해당되는 제2위치로 상기 도어를 상기 진공 챔버의 일면과 평행한 제1방향으로 슬라이드 이동시키는 제1이동유닛; 상기 제1위치로 이동되어진 상기 도어를 회동시켜 상기 출입구를 밀폐시키는 제2이동유닛을 포함한다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 제1이동 유닛은 상기 진공 챔버의 일면에 상기 출입구 상단와 하단에 위치하도록 제1방향으로 길게 설치되는 상단 가이드 레일과 하단 가이드 레일; 상기 상단 가이드 레일과 상기 하단 가이드 레일 각각에 이동가능하게 설치되는 상단 이동플레이트와 하단 이동 플레이트; 및 상기 진공 챔버의 일면에 설치되고, 상기 상단 이동 플레이트와 상기 하단 이동 플레이트 중 어느 하나를 슬라이드 이동시키는 개폐 구동부를 포함한다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 제2이동 유닛은 상기 상단 이동 플레이트와 상기 하단 이동 플레이트에 설치된다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 제2이동 유닛은 상기 상단 이동 플레이트와 상기 도어의 상단 그리고 상기 하단 이동 플레이트와 상기 도어의 하단을 각각 연결하는 제1힌지부; 및 상기 상단 이동 플레이트와 상기 하단 이동 플레이트에 각각 설치되고 상기 제1힌지부에 연결되어 상기 제1힌지부를 일정각도 회동시켜 상기 도어가 상기 출입구를 밀폐하도록 제2방향으로 스윙 이동시키는 밀폐 구동부를 포함한다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 밀폐 구동부는 실린더 몸체와, 실린더 로드를 포함하는 실린더이다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 제2이동 유닛은 상기 밀폐 구동부의 실린더 로드와 상기 제1힌지부의 연결부분은 힌지축 결합되며, 상기 밀폐 구동부의 실린더 몸체의 후단은 상기 이동 플레이트에 힌지축 결합된다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 제2이동 유닛은 상기 제1힌지부와 나란하게 위치되며 상기 이동 플레이트와 상기 도어의 상단을 연결하는 제2힌지부를 더 포함한다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 제2이동 유닛은 상기 제1힌지부의 회동시 상기 제2힌지부도 함께 회동되도록 상기 제1힌지부와 상기 제2힌지부를 연결하는 보조 링크를 더 포함한다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 제1힌지부는 상기 이동 플레이트에 연결되는 제1힌지축과 상기 도어에 연결되는 제2힌지축을 갖으며, 상기 제1힌지축과 상기 제2힌지축은 서로 다른 축상에 위치된다.
상기한 과제를 달성하기 위한 기판 처리 장치는 다수의 기판들을 처리하기 위한 공간을 제공하는 공정 챔버; 상기 공정 챔버와 연결되며, 상기 기판들을 이송하기 위한 공간을 제공하는 그리고 일면에 기판들의 반입 및 반출을 위한 출입구를 갖는 로드락 챔버; 및 상기 출입구를 개폐하기 위한 도어 장치를 포함하되; 상기 도어 장치는 도어; 상기 출입구 전방에 해당되는 제1위치와 상기 출입구 측방에 해당되는 제2위치로 상기 도어를 상기 진공 챔버의 일면과 평행한 제1방향으로 슬라이드 이동시키는 제1이동유닛; 및 상기 제1위치로 이동되어진 상기 도어를 회동시켜 상기 출입구를 밀폐시키는 제2이동유닛을 포함한다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 제1이동 유닛은 상기 로드락 챔버의 일면에 상기 출입구 상단와 하단에 위치하도록 제1방향으로 길게 설치되는 상단 가이드 레일과 하단 가이드 레일; 상기 상단 가이드 레일과 상기 하단 가이드 레일 각각에 이동가능하게 설치되는 상단 이동플레이트와 하단 이동 플레이트; 및 상기 로드락 챔버의 일면에 설치되고, 상기 상단 이동 플레이트와 상기 하단 이동 플레이트 중 어느 하나를 슬라이드 이동시키는 개폐 실린더를 포함한다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 제2이동 유닛은 상기 상단 이동 플레이트와 상기 도어의 상단 그리고 상기 하단 이동 플레이트와 상기 도어의 하단을 각각 연결하는 제1힌지부; 및 상기 상단 이동 플레이트와 상기 하단 이동 플레이트에 각각 설치되고 상기 제1힌지부에 연결되어 상기 제1힌지부를 일정각도 회동시켜 상기 도어가 상기 출입구를 밀폐하도록 제2방향으로 스윙 이동시키는 밀폐 실린더를 포함하되; 상기 밀폐 실린더의 실린더 로드와 상기 제1힌지부의 연결부분은 힌지축 결합되며, 상기 밀폐 실린더의 실린더 몸체의 후단은 상기 이동 플레이트에 힌지축 결합된다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 제2이동 유닛은 상기 제1힌지부와 나란하게 위치되며 상기 상단 이동 플레이트와 상기 도어의 상단 그리고 상기 하단 이동 플레이트와 상기 도어의 하단을 각각 연결하는 제2힌지부; 및 상기 제1힌지부의 회동시 상기 제2힌지부도 함께 회동되도록 상기 제1힌지부와 상기 제2힌지부를 연결하는 보조 링크를 포함한다.
본 발명에 의하면, 도어를 챔버에 가깝게 설치하여 동작하는 미닫이 방식으로 오픈/클로즈 동작시 종래의 여닫이 방식보다 공간 활용면에서 큰 장점이 있다.
또한, 본 발명에 의하면 도어가 챔버에 가깝게 고정되어 도어를 상하에서 지지하는 구조이기 때문에 도어 오픈/클로즈 동작시 자중에 의한 도어의 틀어짐을 예방할 수 있어 챔버 기밀 유지 효과가 높다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 유닛을 설명하기 위한 사시도이다.
도 3 및 도 4는 도 1에 도시된 도어가 개방된 상태를 보여주는 로드락 챔버의 사시도 및 정면도이다.
도 5 및 도 6은 도 3 및 도 4에서 도어가 밀폐된 상태를 보여주는 로드락 챔버의 사시도 및 정면도이다.
도 7은 도어 장치의 요부 확대도이다.
도 8a 및 도 8b는 도어가 제1위치에서 밀폐 위치로 이동되는 과정을 설명하기 위한 요부 확대 평면도이다.
이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명한다. 상술한 본 발명이 해결하고자 하는 과제, 과제 해결 수단, 및 효과는 첨부된 도면과 관련된 실시 예들을 통해서 용이하게 이해될 것이다. 각 도면은 명확한 설명을 위해 일부가 간략하거나 과장되게 표현되었다. 각 도면의 구성 요소들에 참조 번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호를 가지도록 도시되었음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 단면도이다. 도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 유닛을 설명하기 위한 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 기판 처리 장치(1)는 다수의 기판(S)들에 대한 처리 공정을 수행하기 위한 것으로, 공정 챔버(300), 로드락 챔버(400), 기판 이송 유닛(430) 그리고 도어 장치(100)를 포함한다.
공정 챔버(300)는 진공 챔버로써, 기판에 대한 처리 공정을 수행하기 위한 공간을 제공한다. 공정 챔버(300)는 중공의 박스 형태를 가질 수 있다. 도시하지 않았지만, 가스 공급 유닛이 공정 챔버(300)와 연결될 수 있으며, 가스 공급 유닛은 공정 챔버(300)에서 수행되는 처리 공정의 종류에 따라 기판들을 처리하기 위한 가스를 공정 챔버(300)로 공급한다.
공정 챔버(300)는 기판(S)들을 지지하는 지지부재(312)를 갖는다. 지지부재(312)들은 다수의 쌍으로 이루어지며, 공정 챔버(300)의 일측 측벽에 구비된다. 지지부재(312)들은 공정 챔버(300)의 저면과 평행한 방향으로 연장하며, 일측 측벽의 상하 방향을 따라 일정 간격만큼 이격된다. 따라서, 기판(S)들은 지지부재(312)들에 의해 상하 방향으로 적층될 수 있다. 기판들이 상하 방향으로 적층된 상태에서 공정 챔버(300)에서 기판 처리 공정이 수행된다.
한편, 공정 챔버(300)는 기판의 출입을 위한 제1게이트(314)를 갖는다. 제1게이트(314)는 지지부재(312)들이 구비된 일측 측벽과 반대되는 공정 챔버(300)의 타측 측벽에 구비된다. 제1게이트(314)를 통해 기판들이 동시에 출입될 수 있다. 도시하지 않았지만, 제1게이트(314)는 도어에 의해 개폐된다.
로드락 챔버(400)는 진공 챔버로써, 공정 챔버(300)와 접촉하도록 배치된다. 예를 들면, 로드락 챔버(400)는 제1게이트(314)가 구비된 타측 측벽과 접촉하도록 배치된다. 로드락 챔버(400)는 공정 챔버(300)로 기판들을 이송하거나 공정챔버(300)로부터 기판들을 반송하기 위한 공간을 제공한다.
로드락 챔버(400)는 외부와 통하는 출입구(402)를 갖는다. 출입구(402)는 제1게이트(314)와 마주보도록 로드락 챔버(400)의 정면에 해당되는 측벽에 배치된다. 기판(S)들은 출입구(402)를 통해 로드락 챔버(400)로 출입된다.
기판 이송 유닛(430)은 로드락 챔버(400) 내부에 구비되며, 기판(S)들을 공정챔버(300)로 이송하고, 처리 공정이 완료된 기판들을 공정 챔버(300)로부터 반송한다.
도 2를 참조하면, 기판 이송 유닛(430)은 베이스(431), 한쌍의 포스트(433) 및 다수의 지지바(435)들을 포함한다. 베이스(431)는 로드락 챔버(400)의 내부 바닥면에 배치된다. 베이스(431)는 사각 평판 형태를 갖는다. 제1가이드 레일(432)은 베이스(431) 상에 구비된다. 한 쌍의 포스트(433)들은 출입구(402)와 인접하는 베이스(431)의 상면 양측에 각각 배치된다. 포스트(433)들 사이의 간격은 기판의 폭보다 넓다. 따라서, 기판(S)들이 포스트(433)들 사이를 통과할 수 있다.
연결부재(434)는 베이스(431) 상에 구비되어 포스트(433)들을 연결한다. 또한, 연결부재(434)는 제1가이드 레일(432)을 따라서 베이스(431) 상에서 이동할 수 있으며, 포스트(433)들도 베이스(431)의 상면과 평행하도록 이동할 수 있다.
포스트(433)들은 각각 제1포스트(433a), 제2가이드레일(433b) 및 제2포스트(433c)를 포함한다. 제1포스트(433a)는 베이스(431)상에 배치되고, 제2가이드레일(433b)은 제1포스트(433a)들이 마주보는 내측 측면에 제1포스트(433a)의 상하 방향을 따라 배치된다. 제2포스트(433c)는 제1포스트(433a)의 내측면과 연결되며, 상기 제2가이드 레일(433b)을 따라 상하 방향으로 이동할 수 있다.
지지바(435)들은 포스트(433)들이 마주보는 면, 구체적으로 제2포스트(433c)들이 마주보는 면에 고정된다. 지지바(435)들은 다수의 쌍으로 이루어지며, 베이스(431)의 상면과 평행한 방향으로 연장하며, 제2포스트(433c)의 상하 방향을 따라 일정 간격만큼 이격된다. 지지바(435)들은 기판들의 저면 양측을 지지한다. 따라서, 지지바(435)들은 기판들을 상하 방향으로 적층하여 지지할 수 있다. 한편, 지지바(435)들은 높은 마찰력을 갖는 물질로 코팅될 수 있다. 상기 물질의 예로는 테프론, 고무 등을 들 수 있다. 따라서, 기판들이 지지바(435)들로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
포스트(433)들이 베이스(431)의 상면과 평행하게 이동함에 따라 지지바(435)들에 지지된 기판들도 공정 챔버(300)를 향해 이동하거나 공정 챔버(300)로부터 반송될 수 있다.
제2포스트(433c)들이 상하 방향으로 이동함에 따라 지지바(435)들에 지지된 기판들도 상하 방향으로 이동되며, 기판 이송 유닛(430)은 기판들을 공정 챔버(300)의 지지부재(312)들에 로딩하거나 기판들을 공정챔버(300)의 지지부재(312)들로부터 언로딩할 수 있다.
지지바(435)들의 상하 간격은 지지부재(312)들의 상하 간격과 실질적으로 동일하다. 또한, 지지바(435)들의 수평 간격은 지지부재(312)들의 수평 간격과 다를 수 있다. 예를 들면, 지지바(435)들의 수평 간격은 지지부재(312)들의 수평 간격보다 넓을 수 있다. 따라서 기판들의 로딩 및 언로딩을 위해 지지바(435)들이 상하 이동할 때 지지바(435)들이 지지부재(312)와 충돌하는 것을 방지할 수 있다.
이처럼, 기판 처리 장치(1)는 기판들이 대기하는 공간을 제공하는 로드락 챔버와 기판을 반송하는 반송 챔버를 하나로 통합 운영할 수 있는 것으로, 반송 챔버 없이 공정챔버와 로드락 챔버로만으로 레이 아웃을 구성할 수 있다.
도 3 및 도 4는 도 1에 도시된 도어가 개방된 상태를 보여주는 로드락 챔버의 사시도 및 정면도이다. 도 5 및 도 6은 도 3 및 도 4에서 도어가 밀폐된 상태를 보여주는 로드락 챔버의 사시도 및 정면도이다. 도 7은 도어 장치의 요부 확대도이다.
이하에서 제 1 방향(Ⅰ)은 후술할 제1이동 유닛에 의해 도어가 좌우로 슬라이드 이동하는 직선 이동 방향이고, 제 2 방향(Ⅱ)은 후술할 제2이동 유닛에 의해 도어가 회동하여 출입구를 밀폐하는 이동 방향이다.
도 3 내지 도 7을 참조하면, 도어 장치(100)는 도어(110), 제1이동 유닛(130) 그리고 제2이동 유닛(150)을 포함한다.
도어(110)는 직사각형의 패널 형태로 출입구(402)보다 넓은 면적을 갖으며, 도어(110)의 상단과 하단에는 각각 제2이동 유닛의 제1힌지부와 제2힌지부가 연결되는 연결부분(112)을 갖는다.
제1이동 유닛(130)은 출입구(402) 전방에 해당되는 제1위치와 출입구 측방에 해당되는 제2위치로 도어(110)를 로드락 챔버(400)의 일면과 평행한 제1방향으로 슬라이드 이동시킨다. 제1위치는 도 5에서와 같이 출입구(402)가 도어(110)에 의해 가로막혀진 상태의 도어 위치이고, 제2위치는 도 3에서와 같이 출입구(402)가 완전 개방된 상태의 도어 위치이다.
제1이동 유닛(130)은 상단 가이드 레일(132)과 하단 가이드 레일(134), 상단 이동 플레이트(136), 하단 이동 플레이트(138) 그리고 개폐 구동부(140)를 포함한다. 상단 가이드 레일(132)은 출입구(402) 바로 위에 위치하도록 로드락 챔버(400)의 전면 상단에 제1방향으로 길게 설치된다. 하단 가이드 레일(134)은 상단 가이드 레일(132)과 마찬가지로 출입구(402)의 바로 아래에 위치되도록 로드락 챔버(400)의 전면 하단에 제1방향으로 길게 설치된다. 상단 이동 플레이트(136)는 상단 가이드 레일(132)을 따라 제1방향으로 이동 가능하게 설치되며, 하단 이동 플레이트(138)는 하단 가이드 레일(134)을 따라 제1방향으로 이동 가능하게 설치된다. 한편, 개폐 구동부(140)는 로드락 챔버(400)의 전면 하단에 하단 가이드 레일(134) 바로 아래에 위치되도록 설치되며, 하단 이동 플레이트(138)와 연결되어 하단 이동 플레이트(138)를 슬라이드 이동시킨다. 개폐 구동부(140)는 유압에 의해 작동되는 실린더 유닛, 리드 스크류와 같은 직선 이동 장치가 사용될 수 있다.
한편, 제1이동 유닛(130)은 상단 가이드 레일(132) 및 하단 가이드 레일(134)과 인접한 위치에 제1스톱퍼(180)와 제2스톱퍼(182)가 설치된다. 제1스톱퍼(180)는 상단 이동 플레이트(136) 및 하단 이동 플레이트(138)가 우측으로 이동되었을때 정위치 되도록 이동 거리를 제한하며, 제2스톱퍼(182)는 상단 이동 플레이트(136) 및 하단 이동 플레이트(138)가 좌측으로 이동되었을때 정위치 되도록 이동 거리를 제한하게 된다. 상단 이동 플레이트(136) 및 하단 이동 플레이트(138)에는 제1,2스톱퍼(180,182)에 걸리는 걸림편(139)을 갖는다. 한편, 제1,2스톱퍼(180,182)는 충격 완화를 위한 완충 부재를 구비할 수 있다.
제2이동 유닛(150)은 제1이동 유닛(130)보다는 좀 더 복잡한 구성으로 이루어진다. 제2이동 유닛(150)은 제1위치로 이동된 도어(110)가 출입구(402)를 밀폐하도록 도어(110)를 제2방향으로 회동시키기 위한 것이다.
제2이동 유닛(150)은 상단 이동 플레이트(136)와 하단 이동 플레이트(138)에 각각 설치되는 것으로, 제1힌지부(152)와 제2힌지부(154), 연결링크(170) 그리고 밀폐 구동부(160)를 포함한다.
제1힌지부(152)와 제2힌지부(154)는 상단 이동 플레이트(136)와 도어(110)의 상단 연결부분(112) 그리고 하단 이동 플레이트(138)와 도어(110)의 하단 연결부분(112)에 각각 연결되며, 제1힌지부(152)와 제2힌지부(154)는 서로 나란히 배치된다.
제1힌지부(152)는 상단 이동 플레이트(136)에 연결되는 제1힌지축(a1)과 도어(110)의 연결부분(112)에 연결되는 제2힌지축(a2)을 갖으며, 제1힌지축(a1)과 제2힌지축(a2)은 서로 다른 축상에 위치된다. 그리고, 제2힌지부(154) 역시 제1힌지부(152)와 마찬가지로 하단 이동 플레이트(138)에 연결되는 제1힌지축(a1)과 도어(110)의 연결부분(112)에 연결되는 제2힌지축(a2)을 갖으며, 제1힌지축(a1)과 제2힌지축(a2)은 서로 다른 축상에 위치된다.
밀폐 구동부(160)는 유압에 의해 작동되는 실린더 장치로, 상단 이동 플레이트(136)와 하단 이동 플레이트(138)에 각각 설치되며, 제1힌지부(152)의 제1힌지축(a1)과 인접하게 연결되어 제1힌지부(152)를 일정각도 회동시켜 도어(100)가 출입구를 밀폐하도록 제2방향으로 스윙 이동시킨다. 밀폐 구동부(160)는 실린더 몸체(162)와 실린더 로드(164)를 포함하는데, 실린더 몸체(162)의 후단은 이동 플레이트(136,138)와 힌지축(168) 결합되며, 실린더 로드(164)의 끝단은 제1힌지부(152)와 힌지축(166) 결합된다. 즉, 밀폐 구동부(160)는 도어(110)의 스윙 이동이 원할하도록 양단이 힌지 결합되는 링크 방식으로 설치된다.
한편, 보조 링크(170)는 제1힌지부(152)가 밀폐 구동부(160)에 의해 회동시 제2힌지부(154)도 함께 회동되도록 제1힌지부(152)와 제2힌지부(154)를 연결한다. 보조 링크(170)는 도어(110) 아래에 위치되는 제1힌지부(152)와 제2힌지부(154)에만 설치되어 있으나, 필요에 따라서는 도어(110) 위에 위치하는 제1힌지부(152)와 제2힌지부(154)에도 설치될 수 있다.
도 8a 및 도 8b는 도어가 제1위치에서 밀폐 위치로 이동되는 과정을 설명하기 위한 요부 확대 평면도이다.
우선, 제1이동 유닛(130)에 의해 도어(110)는 제2위치(도 3 참조)에서 제1위치(도 5 참조)로 슬라이드 직선 이동된다. 이때, 도어(110) 로드락 챔버(400)의 일면으로부터 소정 거리 이격된 상태에서 이동된다. 이렇게 제1위치로 이동된 상태를 평면에서 바라본 도면이 도 8a이다.
도어(110)는 제2이동 유닛(150)에서 의해 밀폐 위치로 스윙 이동된다. 그 과정을 살펴보면, 유압에 의해 밀폐 구동부(160)가 푸시 동작하면 실린더 로드가 제1힌지부를 밀어낸다. 이때 힌지부는 제1힌지축과 제2힌지축이 다른 축선상에서 도어와 이동 플레이트에 연결된 구조이기 때문에, 제1힌지부의 제1힌지축 부분이 밀어지고 제2힌지축이 안쪽(제2방향)으로 틸트된다. 이렇게 제1힌지부와 제2힌지부가 동일하게 틸트되면서 도어가 스윙 이동되어 출입구를 밀폐하는 제2방향으로 이동되는 것이다(도 8b 참조).
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
100 : 도어 장치
110 : 도어
130 : 제1이동 유닛
150 : 제2이동 유닛

Claims (13)

  1. 진공 챔버의 일면에 형성된 출입구를 개폐하는 도어 장치에 있어서:
    도어;
    상기 출입구 전방에 해당되는 제1위치와 상기 출입구 측방에 해당되는 제2위치로 상기 도어를 상기 진공 챔버의 일면과 평행한 제1방향으로 슬라이드 이동시키는 제1이동유닛;
    상기 제1위치로 이동되어진 상기 도어를 회동시켜 상기 출입구를 밀폐시키는 제2이동유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버의 도어 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1이동 유닛은
    상기 진공 챔버의 일면에 상기 출입구 상단와 하단에 위치하도록 제1방향으로 길게 설치되는 상단 가이드 레일과 하단 가이드 레일;
    상기 상단 가이드 레일과 상기 하단 가이드 레일 각각에 이동가능하게 설치되는 상단 이동플레이트와 하단 이동 플레이트; 및
    상기 진공 챔버의 일면에 설치되고, 상기 상단 이동 플레이트와 상기 하단 이동 플레이트 중 어느 하나를 슬라이드 이동시키는 개폐 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버의 도어 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제2이동 유닛은
    상기 상단 이동 플레이트와 상기 하단 이동 플레이트에 설치되는 것을 특징으로 하는 진공 챔버의 도어 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 제2이동 유닛은
    상기 상단 이동 플레이트와 상기 도어의 상단 그리고 상기 하단 이동 플레이트와 상기 도어의 하단을 각각 연결하는 제1힌지부; 및
    상기 상단 이동 플레이트와 상기 하단 이동 플레이트에 각각 설치되고 상기 제1힌지부에 연결되어 상기 제1힌지부를 일정각도 회동시켜 상기 도어가 상기 출입구를 밀폐하도록 제2방향으로 스윙 이동시키는 밀폐 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버의 도어 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 밀폐 구동부는
    실린더 몸체와, 실린더 로드를 포함하는 실린더인 것을 특징으로 하는 진공 챔버의 도어 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제2이동 유닛은
    상기 밀폐 구동부의 실린더 로드와 상기 제1힌지부의 연결부분은 힌지축 결합되며, 상기 밀폐 구동부의 실린더 몸체의 후단은 상기 이동 플레이트에 힌지축 결합되는 것을 특징으로 하는 진공 챔버의 도어 장치.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 제2이동 유닛은
    상기 제1힌지부와 나란하게 위치되며 상기 이동 플레이트와 상기 도어의 상단을 연결하는 제2힌지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버의 도어 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제2이동 유닛은
    상기 제1힌지부의 회동시 상기 제2힌지부도 함께 회동되도록 상기 제1힌지부와 상기 제2힌지부를 연결하는 보조 링크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버의 도어 장치.
  9. 제 4 항에 있어서,
    상기 제1힌지부는 상기 이동 플레이트에 연결되는 제1힌지축과 상기 도어에 연결되는 제2힌지축을 갖으며, 상기 제1힌지축과 상기 제2힌지축은 서로 다른 축상에 위치되는 것을 특징으로 하는 진공 챔버의 도어 장치.
  10. 기판 처리 장치에 있어서
    다수의 기판들을 처리하기 위한 공간을 제공하는 공정 챔버;
    상기 공정 챔버와 연결되며, 상기 기판들을 이송하기 위한 공간을 제공하는 그리고 일면에 기판들의 반입 및 반출을 위한 출입구를 갖는 로드락 챔버; 및
    상기 출입구를 개폐하기 위한 도어 장치를 포함하되;
    상기 도어 장치는
    도어;
    상기 출입구 전방에 해당되는 제1위치와 상기 출입구 측방에 해당되는 제2위치로 상기 도어를 상기 진공 챔버의 일면과 평행한 제1방향으로 슬라이드 이동시키는 제1이동유닛; 및
    상기 제1위치로 이동되어진 상기 도어를 회동시켜 상기 출입구를 밀폐시키는 제2이동유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제1이동 유닛은
    상기 로드락 챔버의 일면에 상기 출입구 상단와 하단에 위치하도록 제1방향으로 길게 설치되는 상단 가이드 레일과 하단 가이드 레일;
    상기 상단 가이드 레일과 상기 하단 가이드 레일 각각에 이동가능하게 설치되는 상단 이동플레이트와 하단 이동 플레이트; 및
    상기 로드락 챔버의 일면에 설치되고, 상기 상단 이동 플레이트와 상기 하단 이동 플레이트 중 어느 하나를 슬라이드 이동시키는 개폐 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 제2이동 유닛은
    상기 상단 이동 플레이트와 상기 도어의 상단 그리고 상기 하단 이동 플레이트와 상기 도어의 하단을 각각 연결하는 제1힌지부; 및
    상기 상단 이동 플레이트와 상기 하단 이동 플레이트에 각각 설치되고 상기 제1힌지부에 연결되어 상기 제1힌지부를 일정각도 회동시켜 상기 도어가 상기 출입구를 밀폐하도록 제2방향으로 스윙 이동시키는 밀폐 실린더를 포함하되;
    상기 밀폐 실린더의 실린더 로드와 상기 제1힌지부의 연결부분은 힌지축 결합되며, 상기 밀폐 실린더의 실린더 몸체의 후단은 상기 이동 플레이트에 힌지축 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 제2이동 유닛은
    상기 제1힌지부와 나란하게 위치되며 상기 상단 이동 플레이트와 상기 도어의 상단 그리고 상기 하단 이동 플레이트와 상기 도어의 하단을 각각 연결하는 제2힌지부; 및
    상기 제1힌지부의 회동시 상기 제2힌지부도 함께 회동되도록 상기 제1힌지부와 상기 제2힌지부를 연결하는 보조 링크를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101443256B1 (ko) * 2014-04-15 2014-09-22 강성덕 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치
KR101452332B1 (ko) * 2013-05-28 2014-10-23 주식회사 테라세미콘 기판처리장치
KR101452341B1 (ko) * 2013-05-28 2014-10-23 주식회사 테라세미콘 기판처리장치
KR101479933B1 (ko) * 2012-12-27 2015-01-12 주식회사 에스에프에이 게이트 밸브
CN105336656A (zh) * 2014-06-18 2016-02-17 上海华力微电子有限公司 一种单晶圆承载腔室结构
EP3725391A1 (en) 2019-04-18 2020-10-21 Climeworks AG High troughput direct air capture device for capturing co2 from air and method of its operation
KR102310343B1 (ko) * 2020-06-08 2021-10-07 주식회사 에스엔씨솔루션 반도체장치용 도어 어셈블리
KR20210137814A (ko) * 2020-05-11 2021-11-18 한전원자력연료 주식회사 핵연료봉 장 튜브 세척 장치의 슬라이딩 도어 체결 시스템

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101356209B1 (ko) * 2012-04-27 2014-01-29 주식회사 테라세미콘 기판 처리 장치

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI390102B (zh) 2004-08-13 2013-03-21 Oc Oerlikon Balzers Ag 真空閘

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101479933B1 (ko) * 2012-12-27 2015-01-12 주식회사 에스에프에이 게이트 밸브
KR101452332B1 (ko) * 2013-05-28 2014-10-23 주식회사 테라세미콘 기판처리장치
KR101452341B1 (ko) * 2013-05-28 2014-10-23 주식회사 테라세미콘 기판처리장치
KR101443256B1 (ko) * 2014-04-15 2014-09-22 강성덕 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치
WO2015160090A1 (ko) * 2014-04-15 2015-10-22 강성덕 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치
CN105336656A (zh) * 2014-06-18 2016-02-17 上海华力微电子有限公司 一种单晶圆承载腔室结构
CN105336656B (zh) * 2014-06-18 2020-01-21 上海华力微电子有限公司 一种单晶圆承载腔室结构
EP3725391A1 (en) 2019-04-18 2020-10-21 Climeworks AG High troughput direct air capture device for capturing co2 from air and method of its operation
WO2020212146A1 (en) 2019-04-18 2020-10-22 Climeworks Ag High troughput direct air capture device for capturing co2 from air and method of its operation
US11944932B2 (en) 2019-04-18 2024-04-02 Climeworks Ag High throughput direct air capture device and method of its operation
KR20210137814A (ko) * 2020-05-11 2021-11-18 한전원자력연료 주식회사 핵연료봉 장 튜브 세척 장치의 슬라이딩 도어 체결 시스템
KR102310343B1 (ko) * 2020-06-08 2021-10-07 주식회사 에스엔씨솔루션 반도체장치용 도어 어셈블리

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