WO2015160090A1 - 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치 - Google Patents

슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치 Download PDF

Info

Publication number
WO2015160090A1
WO2015160090A1 PCT/KR2015/002553 KR2015002553W WO2015160090A1 WO 2015160090 A1 WO2015160090 A1 WO 2015160090A1 KR 2015002553 W KR2015002553 W KR 2015002553W WO 2015160090 A1 WO2015160090 A1 WO 2015160090A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
housing
door
opening
chamber
sliding
Prior art date
Application number
PCT/KR2015/002553
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
강성덕
Original Assignee
강성덕
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 강성덕 filed Critical 강성덕
Publication of WO2015160090A1 publication Critical patent/WO2015160090A1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2862—Chambers or ovens; Tanks

Definitions

  • the present invention relates to a hermetically closed chamber apparatus, and more particularly, to a sliding door type hermetically closed chamber apparatus that is opened and closed compactly to maximize space utilization and more effectively forms a stable hermetic structure.
  • Sealed chamber devices are used to manufacture semiconductor devices and the like and to test various electronic products.
  • the chamber device is sealed to separate the inside and the outside and forms an extreme physical environment therein, and physical conditions such as internal temperature and dryness may be formed differently according to the purpose.
  • Such chamber devices can be used to proceed with the manufacturing process or to test the finished product in a specific environment.
  • the chamber apparatus requires a door structure for opening and closing the chamber and maintaining airtightness.
  • the chamber device is generally formed in a chamber and various devices connected to the chamber are accommodated in the housing, so a swing type door structure is generally adopted to open and close the chamber more smoothly.
  • the swing-type door has a merit that it can be more usefully applied to various chamber devices because it can form a sealed structure more smoothly by applying pressure.
  • Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2013-0142364 or the like discloses a door structure of such a chamber.
  • the conventional chamber apparatus to which the door structure is applied has a disadvantage in that space is unnecessarily inhibited because the door is rotated and opened to the outside of the chamber or the housing.
  • space is unnecessarily inhibited because the door is rotated and opened to the outside of the chamber or the housing.
  • it is essential that efficient space utilization is required. Therefore, the selection of a space for device installation is very difficult because such a requirement is not satisfied.
  • unlike the swing-type door it is difficult to maintain the airtight, unlike the swing-type door, in order to apply the general sliding type door to solve this problem, it was difficult to solve the problem smoothly.
  • Patent Document 0001 Republic of Korea Patent Publication No. 10-2013-0142364, (2013.12.30), Figure 1
  • the present invention is to solve this problem is to provide a sliding door type sealed chamber device that is compactly opened and closed to maximize the space utilization, and more effectively to form a stable sealing structure.
  • a sliding door type closed chamber device including: a housing having an opening formed at a front portion thereof; A chamber housed in the housing and in communication with the opening; A pair of guide rails disposed side by side along the front portion with the opening interposed therebetween; A door unit which opens and closes the opening by sliding along the guide rail; And a support panel disposed adjacent to the door part in a sliding movement path of the door part and slidingly moved forward and backward.
  • the chamber apparatus may further include at least one first driving part coupled to the housing so that the pair of guide rails can move forward and backward, and installed in the housing to move the pair of guide rails forward and backward. have.
  • the support panel may be disposed below the door part and move forward to support the door part, or move backward to move away from the sliding movement path of the door part.
  • the chamber device may further include at least one second driving unit installed in the housing to move the support panel forward and backward.
  • the chamber device may further include at least one flexible wire having one end coupled to the door portion, and a traction device coupled with the other end of the flexible wire to pull the flexible wire.
  • the towing device may include a screw bar rotatably coupled to the housing and having a screw thread formed on an outer circumferential surface thereof, a motor for rotating the screw bar, and a screw nut portion coupled to the other end of the flexible wire and engaged with the screw bar.
  • the chamber apparatus further includes at least one guide bar installed in the housing in parallel with the screw bar, wherein the screw nut is slidably coupled to the guide bar to move along the guide bar.
  • the towing device is positioned above the chamber to tow the door part, and the door part is moved downward by its own weight to open the opening, and the opening may be closed when the towing device tow the flexible wire. .
  • the chamber device may further include a rotary wheel coupled to the housing and rotating together while being in contact with the flexible wire to change a moving direction of the flexible wire.
  • the chamber device may be installed at a lower portion of the chamber, and may further include at least one of a temperature control unit for controlling a temperature inside the chamber and a humidity control unit for controlling humidity in the chamber.
  • the chamber device may further include a grill unit formed through the support panel and serving as an air circulation passage between the inside and the outside of the housing.
  • the chamber device of the present invention can maximize the space utilization around the device with a compact and organically operated sliding door structure, and can form a more effective and stable sealing structure. Therefore, it is possible to apply the device to various places irrespective of the installation place, and it is possible to carry out various tasks such as manufacturing process or test work using the chamber more safely.
  • FIG. 1 is a perspective view of a sliding door type sealed chamber device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a perspective view of an open state of a door part of the chamber device of FIG. 1.
  • FIG. 2 is a perspective view of an open state of a door part of the chamber device of FIG. 1.
  • FIG. 3 is a longitudinal sectional view showing the internal structure of the chamber apparatus of FIG.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of the upper structure of the chamber device of FIG. 1 and an arrangement state of a door part and a guide rail.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a state in which the door part and the guide rail of the chamber device of FIG. 4 are moved.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line B-B 'illustrating the arrangement of the support panel of the chamber apparatus of FIG.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a state in which the support panel of FIG. 6 is moved.
  • FIG. 8 to 10 is an operation diagram showing the operation of the chamber device of FIG.
  • FIG. 1 is a perspective view of a sliding door type closed chamber device according to an embodiment of the present invention
  • Figure 2 is a perspective view of the door portion of the chamber device of Figure 1 open state
  • Figure 3 is an interior of the chamber device of Figure 1 It is a longitudinal cross-sectional view which shows a structure.
  • the sliding door type sealed chamber device 1 is accommodated in the housing 100, the housing 100 is formed with an opening 101 in the front portion and the opening Chamber 110 in communication with the 101, a pair of guide rails 210 arranged side by side along the front portion of the housing 100 with the opening 101 therebetween, as shown in Figures 1 and 2,
  • the door part 200 sliding and sliding along the guide rail 210 to open and close the opening 101, and the support part disposed adjacent to the door part 200 in the sliding movement path of the door part 200 and sliding forward and backward.
  • Panel 300
  • the front portion of the housing 100, the door portion 200 is formed on one surface of the housing 100 that can be opened and closed, as shown in Figure 2 has an opening 101 in communication with the chamber 110
  • the user may refer to a surface accessible to the chamber 110 through the opening 101.
  • the front is a direction toward the front of the housing 100 and the rear may be referred to as a front and rear in a direction opposite to the front, a straight line connecting the front and the rear.
  • the front part of the housing 100 may be the entire vertical surface of the left part in which the door part 200 and the support panel 300 are located, and the front and rear parts may face the front part or the opposite direction. It may be in the horizontal direction of FIG. 3 perpendicular to.
  • the door part 200 slides on the guide rail 210 extending along the front part of the housing 100, and the support panel 300 is On the sliding movement path of the door part 200, it slides toward the front part or toward the opposite direction (ie, forward and backward).
  • the door part 200 may operate very compact with the organic door structure, and together with the support panel 300, a more stable sealing structure may be formed.
  • the sliding door type sealed chamber device 1 may be coupled to the housing 100 so that the pair of guide rails 210 can also move forward and backward. Accordingly, the guide rail 210 may press the front part of the housing 100 together with the door part 200 to form a more effective sealing structure while operating compactly.
  • the guide rail 210 may press the front part of the housing 100 together with the door part 200 to form a more effective sealing structure while operating compactly.
  • the housing 100 has an accommodation space 102 formed therein and is formed in a box shape as shown in FIGS. 1 and 2 so that one surface thereof may be used as the front portion as described above. At least one wheel part 600 is formed under the housing 100, and the sliding door type sealed chamber device 1 may be configured to easily move.
  • the front part of the housing 100 may include a door part ( One side of the 200 may be provided with switches 104 and 203 for opening and closing the device.
  • the housing 100 is formed in a box shape according to an embodiment of the present invention, the shape of the housing 100 need not be limited as described above.
  • the housing 100 may be formed in various shapes including at least one surface usable as the front portion.
  • the front part is preferably formed in a vertical plane, and through this, the door part 200 may be more easily operated by using gravity. The operation of the door unit 200 will be described later in more detail.
  • the opening 101 is formed at the front side of the housing 100, and the chamber 110 is accommodated in the housing 100 to communicate with the opening 101. Therefore, as described above, when the door part 200 opens the opening 101, the user may access the chamber 110 through the opening 101.
  • the chamber 110 may be formed by opening an overlapping portion with the opening 101, but may be used in which an additional door is additionally installed in the open portion.
  • the shape of the chamber 110 as shown is illustrative, and the shape of the chamber 110 may also be modified into various shapes other than a box shape.
  • the chamber 110 may be formed in various forms without limitation as long as it has a relatively thick inner wall to effectively maintain airtightness.
  • the guide rails 210 are disposed in parallel with each other along the front portion of the housing 100 with a pair of openings 101 therebetween.
  • the guide rail 210 extends in a direction parallel to the front portion of the housing 100 as shown, and a rail portion (see 211 of FIGS. 3 and 4) is formed on a surface facing the door portion 200.
  • the guide 200 may be formed to easily slide.
  • the guide rail 210 may extend in a vertical direction along a front surface formed as a vertical surface as described above.
  • the guide rail 210 is coupled to the housing 100 to be moved forward and backward as described above. Therefore, the door part 200 coupled to the guide rail 210 not only slides along the guide rail 210 but moves toward the front part of the housing 100 to press the front part to form a more effective sealing structure.
  • the guide rail 210 may be installed in the housing 100 and connected to at least one first driving part 220 for moving the guide rail 210 forward and backward.
  • One end of the first driving unit 220 is fixed to the housing 100, the other end is connected to the guide rail 210 may be formed of a linear actuator such as a hydraulic cylinder that extends and contracts, the first driving unit 220
  • the guide rails 210 may be stably driven in parallel to different points of the guide rails 210.
  • the door part 200 is slidably coupled to the guide rail 210 and slides along the guide rail 210.
  • the door part 200 slides along the guide rail 210 to close the opening 101 as shown in FIG. 1, or to open the opening 101 as shown in FIG. 2, but simply as a guide rail. Instead of only moving along 210, as described above, when the guide rail 210 moves forward and backward, the guide rail 210 moves together to press the front part of the housing 100, or, on the contrary, easily deviates from the housing 100.
  • Sliders (see 201 of FIGS. 3 and 4) coupled with rails (see 211 of FIGS. 3 and 4) are formed on the surface facing the guide rails 210 of the door part 200 to facilitate a slidable coupling structure. Can be formed.
  • At least one packing part 103 may be formed between the door part 200 and the housing 100 to more easily maintain airtightness.
  • the packing part 103 may be formed adjacent to the opening 101 around the opening 101 as shown in FIG. 2,
  • one side of the door portion 200 may be formed with a window 204 that can be viewed through the inside, the display unit 205 for displaying the operating state of the chamber in the housing 100, etc. It is also possible to form.
  • the support panel 300 is disposed on a movement path of the door part 200 sliding along the guide rail 210.
  • the support panel 300 is disposed below the door part 200 and moves forward to support the door part 200 as shown in FIG. 1, or moves backward to the opposite direction, as shown in FIG. 2.
  • the sliding movement path of the door part 200 may be released in the retracted state. That is, the support panel 300 is organically operated to limit the movement path so that the door part 200 does not slide or to open the movement path so that the door part 200 easily slides, and the door part 200 moves. By limiting the path and supporting it, a more stable sealing structure can be formed. Support panel
  • the grill unit 310 may be formed at 300 to penetrate the support panel 300 to serve as an air circulation path between the inside and the outside of the housing 100.
  • the support panel 300 is installed in the housing 100 and connected to at least one second driving unit 320 for moving the support panel 300 forward and backward, and the second driving unit 320 is moved.
  • the second driving unit 320 may be connected to different points of the support panel 300 side by side to stably drive the support panel 300.
  • the sliding door type airtight chamber device 1 in which the door part 200, the guide rail 210, and the support panel 300 are organically combined with each other is one end of the door part 200 as shown in each drawing.
  • At least one flexible wire 401 coupled to the other end of the flexible wire 401 is coupled to this by using a traction device 400 to pull the flexible wire 401
  • Traction device 400 includes a screw bar 410, a screw nut 420, a motor 411 for rotating the screw bar 410, and a guide bar 430 to which the screw nut 420 is coupled; Is configured in a manner.
  • towing device 400 and the flexible wire 401 with reference to Figures 4 to 7
  • FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line AA ′ illustrating an upper structure of the chamber device of FIG. 1 and an arrangement state of a door part and a guide rail
  • FIG. 5 is a cross-sectional view showing a state in which the door part and the guide rail of the chamber device of FIG. 4 are moved
  • 6 is a cross-sectional view taken along line BB ′ illustrating an arrangement state of the support panel of the chamber apparatus of FIG. 1
  • FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a state in which the support panel of FIG. 6 is moved.
  • the traction device 400 is rotatably coupled to the housing 100, and a screw bar 410 having a thread formed on an outer circumferential surface thereof, a motor 411 for rotating the screw bar 410,
  • the other end of the flexible wire 401 having one end coupled to the door part 200 includes a screw nut 420 engaged with the screw bar 410.
  • the screw nut part 420 is slidably coupled to at least one guide bar 430 installed in the housing 100 in parallel with the screw bar 410 to move along the guide bar 430.
  • the screw bar 410 is coupled to the motor 411 and rotates, and a screw thread is formed on an outer circumferential surface thereof to move the screw nut part 420 engaged with the screw bar 410 in a straight line.
  • the screw nut part 420 has a fitting part 421 engaged with the thread of the screw bar 410 at a portion through which the screw bar 410 penetrates, thereby easily converting the rotational movement of the screw bar 410 into a linear motion. can do.
  • the engagement portion 421 may include, for example, a sphere such as a ball inserted into a thread of the screw bar 410 and rotating.
  • the screw bar 410 and the screw nut 420 meshed with each other may function as a ball screw, which is a mechanical element that converts rotational motion into linear motion.
  • the screw nut part 420 is engaged with the screw bar 410 and moves linearly along the screw bar 410.
  • the fitting part 421 may be formed integrally with the screw nut part 420, or the screw. It may be coupled to the nut part 420 and fixed.
  • the screw nut 420 is not limited by the shape or size thereof as long as the screw nut 420 may be engaged with the screw bar 410 to constitute the aforementioned ball screw.
  • the screw nut part 420 may be formed in an extended form at both ends thereof, such that the guide bar 430 parallel to the screw bar 410 penetrates through a part thereof. The 420 may move more stably along the guide bar 430 by the rotation of the screw bar 410.
  • the towing device 400 is located above the chamber (see 110 of FIGS. 1 to 3) to tow the door part 200 more easily, and adjust the traction force to lower or raise the door part 200. have. That is, when the door part 200 slides by its own weight and moves to the lower part of the chamber 110 to open the opening 101, and the towing apparatus 400 pulls the flexible wire 401 from the upper part of the chamber 110. The sliding movement may be formed to close the opening 101.
  • the traction device 400 may be positioned at an upper end of the housing 100 to form an upper structure of the housing 100.
  • the door 200 can be easily lowered by its own weight by adjusting the traction force.
  • the door 200 may be moved downward by using such a traction structure to be more easily mounted on the support panel (see 300 of FIGS. 1 to 3).
  • the flexible wire 401 has one end coupled to the door 200 and the other end coupled to the screw nut 420, and the direction of movement is changed at least once in contact with the rotating wheel (see 402 of FIG. 3).
  • the flexible wire 401 is not particularly limited as long as the flexible wire 401 extends between the door part 200 and the towing device 400, in particular, the screw nut part 420 of the towing device 400 to connect each other. .
  • the flexible wire 401 is, for example,
  • the rotating wheel 402 may also correspond at least in part to the implementation of the flexible wire 401.
  • the shape may be deformed.
  • the rotary wheel 402 may be formed in a gear shape that is engaged with the flexible wire 401 of the chain shape.
  • the structure using the flexible wire 401 may be moved even when the guide rail 210 moves forward and backward to closely contact the housing 100 or is spaced apart from the housing 100.
  • the flexible refraction has the advantage of being able to easily support the door unit 200. That is, even when the guide rail 210 is spaced apart from the housing 100 by parallel movement (see arrow), as shown in FIG. 5, the door part 200 may be pulled out due to the flexibility of the flexible wire 401. It is possible to easily maintain the connection state without a problem such as departure from 400).
  • the screw nut part 420 is also moved correspondingly, thereby preventing the tension on the flexible wire 401 from increasing rapidly and ensuring that the tension is appropriately sized. I can keep it.
  • the slider 200 is formed on the surface facing the guide rail 210, and the rail 200 is formed on the surface facing the door 200. It is coupled with the slider 201. Therefore, the door part 200 is a guide
  • the door part 200 may move forward and backward (as shown in the arrow direction and opposite direction) as shown in FIG. 5 by the extension of the first driving unit 220 coupled to the housing 100.
  • the packing parts 103 and 202 are formed between the door part 200 and the housing 100 so that the first driving part 220 contracts and the door part 200 moves toward the housing 100 again to be in close contact with each other.
  • a more effective sealing structure can be formed.
  • one or more packing parts 103 and 202 may be formed around the opening 101 and on the side of the door part 200.
  • the support panel 300 also moves forward and backward (in the arrow direction and the opposite direction) by the second driving unit 320.
  • the second driving unit 320 contracts and moves in the opposite direction (the arrow direction shown). Will be moved to).
  • the support panel 300 Due to the organic movement between the guide rail 210 and the support panel 300 as described above, the support panel 300 easily deviates from the sliding path of the door part (see 200 of FIGS. 4 and 5) and the door part 200. ) Can easily open the opening (see 101 in FIGS. 1 to 3).
  • the guide rail 210 and the support panel 300 are moved forward and backward as described above by the driving of the first driving unit 220 and the second driving unit 320, but organically in the opposite direction. Therefore, while minimizing mutual movement of the guide rail 210 and the support panel 300, the door part 200 is slid, or conversely, the support panel 300 is inserted into the movement path of the door part 200 so that the door part 200 is moved. ) Can be easily supported. Hereinafter, this will be described in more detail with reference to FIGS. 8 to 10.
  • FIG. 8 to 10 are views showing the operation of the chamber device of FIG.
  • the door part 200 closes the opening 101 of the front part of the housing 100 while supporting the guide rail 210 and the door part 200 in close contact with the housing 100.
  • the panel 300 is positioned below the door part 200 to support the door part 200.
  • the door part 200 is stably supported in a pressed state toward the front part of the housing 100, thereby forming a more effective and stable sealing structure.
  • the first driving unit 220 is maintained in the contracted state
  • the second driving unit 320 is maintained in the extended state.
  • the grill portion (see 310 of FIGS. 1 and 2) formed in the support panel 300 in this state prevents the temperature inside the housing 100 from rising sharply by circulating air to the outside of the housing 100.
  • the air circulation fan (not shown) may be further configured on one side of the housing 100 or the support panel 300. In this way the chamber apparatus can be used, for example, as a constant temperature and humidity bath.
  • the first driving unit 220 is extended and the second driving unit 320 is contracted so that the guide rail 210 and the support panel 300 are organically in front and rear (see arrows in the drawing).
  • the support panel 300 is off the sliding path of the door portion 200, the door portion 200 is separated from the housing 100 to release the pressure.
  • the guide rail 210 is enough to move only the door portion 200 can be separated from the front of the housing 100
  • the support panel 300 is the temperature control unit 510 and the humidity control unit 520 ) Can be moved as needed only in a limited space between the guide rail 210 and the like. In this way, the door part 200 is switched to the sliding state with only minimal movement.
  • the flexible wire 401 is formed between the guide rail 210 and the housing 100 while the direction of refraction is changed to be inclined according to the movement of the guide rail 210 and the door part 200 as shown. It can easily cope with play. As described above, when the guide rail 210 moves, the screw nut portion 420 of the traction device 400 moves together to adjust the tension of the flexible wire 401 so as not to increase rapidly.
  • the screw nut 420 of the traction device 400 moves rapidly along the guide bar 430, so that the door part 200 moves downward to open the opening 101.
  • the traction device 400 and the flexible wire 401 may have appropriate traction force so that the door part 200 does not descend too quickly. It may be sufficient to provide. In this way, while maximizing space utilization, it is possible to form a door structure that is easily opened and closed.
  • sliding door type closed chamber device 100 housing
  • rail portion 220 first driving portion

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Specific Sealing Or Ventilating Devices For Doors And Windows (AREA)
  • Power-Operated Mechanisms For Wings (AREA)

Abstract

컴팩트하게 개폐되어 공간활용을 극대화하고, 보다 효과적으로 안정적인 밀폐구조를 형성하는 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치가 제공된다. 챔버장치는, 전면부에 개구부가 형성된 하우징, 하우징 내부에 수용되며 개구부와 연통된 챔버, 개구부를 사이에 두고 전면부를 따라 서로 나란히 배치된 한 쌍의 가이드레일, 가이드레일을 따라 슬라이딩 이동하여 개구부를 개폐하는 도어부, 및 도어부의 슬라이딩 이동경로에 도어부와 인접하게 배치되며, 전후방으로 슬라이딩 이동하는 지지패널을 포함한다.

Description

슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치
본 발명은 밀폐 챔버장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 컴팩트하게 개폐되어 공간활용을 극대화하고, 보다 효과적으로 안정적인 밀폐구조를 형성하는 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치에 관한 것이다.
반도체소자 등을 제조하거나 각종 전자기기 제품의 테스트를 실시하는 데 밀폐된 챔버장치가 사용된다. 챔버장치는 내부와 외부를 분리하여 밀폐하고 내부에 극한의 물리적 환경을 조성하도록 형성되며, 목적에 따라서 내부온도, 건조도 등의 물리적 조건이 서로 다르게 형성될 수 있다. 이러한 챔버장치를 이용하여 제조 공정을 진행하거나, 완성된 제품을 특정 환경에서 테스트 할 수 있다.
챔버장치는 챔버를 개폐하고 기밀을 유지하기 위한 도어구조를 필요로 한다. 챔버장치는 일반적으로 챔버와 챔버에 연결된 각종 장치들이 하우징 내부에 수용된 형태로 형성되는 경우가 많아 이를 보다 원활히 개폐하기 위해 대개 스윙타입의 도어구조가 채용되었다. 또한 스윙타입의 도어는 압력을 가하여 보다 원활히 밀폐구조를 형성할 수 있어 각종 챔버장치에 보다 유용하게 적용되는 장점이 있다. 대한민국 공개특허 제10-2013-0142364호 등에 이러한 챔버의 도어구조가 개시되어 있다.
그러나, 이러한 도어구조가 적용된 종래의 챔버장치는 도어가 챔버 또는 하우징의 외측으로 회전하여 열리므로 불필요하게 공간 활용이 저해되는 단점이 있었다. 특히, 각종의 제조장비 또는 테스트 장비가 다수 설치된 작업실이나 테스트 룸은 효율적인 공간 활용이 필수적인 바, 이러한 요구가 충족되지 못하여 장치 설치를 위한 공간의 선정 등이 매우 까다로운 문제가 있었다. 또한, 이를 해결하기 위해 일반적인 슬라이딩 형식의 도어를 적용하려는 경우 스윙타입 도어와 달리 구조상 기밀을 유지하기가 쉽지 않아 이러한 문제가 원만히 해결되기 어려웠다.
선행기술문헌
특허문헌
(특허문헌 0001) 대한민국 공개특허 제10-2013-0142364호,(2013.12.30), 도면 1
본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 컴팩트하게 개폐되어 공간활용을 극대화하고, 보다 효과적으로 안정적인 밀폐구조를 형성하는 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치를 제공하려는 것이다.
본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제는 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명에 의한 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치는, 전면부에 개구부가 형성된 하우징; 상기 하우징 내부에 수용되며 상기 개구부와 연통된 챔버; 상기 개구부를 사이에 두고 상기 전면부를 따라 서로 나란히 배치된 한 쌍의 가이드레일; 상기 가이드 레일을 따라 슬라이딩 이동하여 상기 개구부를 개폐하는 도어부; 및 상기 도어부의 슬라이딩 이동경로에 상기 도어부와 인접하게 배치되며, 전후방으로 슬라이딩 이동하는 지지패널을 포함한다.
상기 챔버장치는, 상기 한 쌍의 가이드레일은 전후방으로 이동 가능하게 상기 하우징에 결합되며, 상기 하우징에 설치되어 상기 한 쌍의 가이드레일을 전후방으로 이동시키는 적어도 하나의 제1 구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 지지패널은 상기 도어부의 하부에 배치되며 전방으로 이동하여 상기 도어부를 지지하거나, 후방으로 이동하여 상기 도어부의 슬라이딩 이동경로에서 벗어날 수 있다.
상기 챔버장치는 상기 하우징에 설치되어 상기 지지패널을 전후방으로 이동시키는 적어도 하나의 제2 구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 챔버장치는 일단부가 상기 도어부에 결합되는 적어도 하나의 가요성 와이어, 및 상기 가요성 와이어의 타단부가 결합되어 상기 가요성 와이어를 견인하는 견인장치를 더 포함할 수 있다.
상기 견인장치는, 상기 하우징에 회전 가능하게 결합되며 외주면에 나사산이 형성된 스크류바, 상기 스크류바를 회전시키는 모터, 및 상기 가요성 와이어의 타단부가 결합되고 상기 스크류바와 치합되는 스크류너트부를 포함할 수 있다.
상기 챔버장치는 상기 스크류바와 평행하게 상기 하우징에 설치되는 적어도 하나의 가이드바를 더 포함하며, 상기 스크류너트부가 상기 가이드바에 슬라이딩 가능하게 결합되어 상기 가이드바를 따라 이동할 수 있다.
상기 견인장치는 상기 챔버의 상부에 위치하여 상기 도어부를 견인하며, 상기 도어부는 자중에 의해 하부로 이동되어 상기 개구부를 개방하고 상기 견인장치가 상기 가요성 와이어를 견인하면 상기 개구부를 폐쇄할 수 있다.
상기 챔버장치는 상기 하우징에 결합되고 상기 가요성 와이어에 접한 채 함께 회전하여 상기 가요성 와이어의 이동방향을 전환하는 회전휠을 더 포함할 수 있다.
상기 챔버장치는 상기 챔버의 하부에 설치되며, 상기 챔버 내부의 온도을 조절하는 온도조절부와 상기 챔버 내부의 습도를 조절하는 습도조절부 중 적어도 하나를 더 포함할 수 있다.
상기 챔버장치는 상기 지지패널을 관통하여 형성되며 상기 하우징 내부와 외부 사이의 공기 순환통로가 되는 그릴부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 챔버장치는 컴팩트하고 유기적으로 작동되는 슬라이딩 도어구조로 장치 주변의 공간활용을 극대화할 수 있을 뿐만 아니라, 보다 효과적이고 안정적인 밀폐구조를 형성할 수 있다. 따라서 설치장소에 구애되지 않고 다양한 장소에 장치를 적용하는 것이 가능하며, 챔버를 이용한 제조공정이나 테스트 작업 등의 다양한 작업을 더욱 안전하게 진행하는 것이 가능하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 챔버장치의 도어부가 개방된 상태의 사시도이다.
도 3은 도 1의 챔버장치의 내부구조를 도시한 종단면도이다.
도 4는 도 1의 챔버장치의 상부구조 및 도어부와 가이드레일의 배치상태를 도시한 A-A' 단면도이다.
도 5는 도 4의 챔버장치의 도어부와 가이드레일이 이동한 상태를 도시한 단면도이다.
도 6은 도 1의 챔버장치의 지지패널의 배치상태를 도시한 B-B' 단면도이다.
도 7은 도 6의 지지패널이 이동한 상태를 도시한 단면도이다.
도 8 내지 도 10은 도 1의 챔버장치의 작동과정을 도시한 작동도이다.
본 발명의 이점 및 특징 그리고 그것들을 달성하기 위한 방법들은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 본 실시예들은 단지 본 발명의 개시가 완전하도록 하고 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며,
본 발명은 단지 청구항에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조부호는 동일 구성요소를 지칭한다.
이하, 도 1 내지 도 10을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 의한 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치에 대해 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에의한 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 챔버장치의 도어부가 개방된 상태의 사시도이며, 도 3은 도 1의 챔버장치의 내부구조를 도시한 종단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치(1)는 전면부에 개구부(101)가 형성된 하우징(100), 하우징(100) 내부에 수용되며 개구부(101)와 연통된 챔버(110), 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 개구부(101)를 사이에 두고 하우징(100)의 전면부를 따라 서로 나란히 배치된 한 쌍의 가이드레일(210), 가이드레일(210)을 따라 슬라이딩 이동하여 개구부(101)를 개폐하는 도어부(200), 및 도어부(200)의 슬라이딩 이동경로에 도어부(200)와 인접하게 배치되며 전후방으로 슬라이딩 이동하는 지지패널(300)을 포함한다.
이 때, 하우징(100)의 전면부는, 도어부(200)가 형성되어 개폐가 가능한 하우징(100)의 일 면으로 도 2에 도시된 바와 같이 챔버(110)와 연통된 개구부(101)가 있어 도어부(200)가 개방되면 사용자가 개구부(101)를 통해 챔버(110)에 접근 가능한 면을 말한다. 또한 전방은 이러한 하우징(100)의 전면부를 향하는 방향이고 후방은 전방의 반대방향으로, 전방과 후방을 연결하는 일직선상의 방향을 전후방으로 포괄하여 지칭할 수 있다. 예를 들어,
하우징(100)의 전면부는 도 3에서 볼 때 도어부(200)와 지지패널(300)이 위치하는 좌측부분의 수직면 전체가 될수 있고 전후방은 이러한 전면부를 향하거나 그 반대방향으로 향하도록 형성된 전면부와 수직한 도 3의 수평방향이 될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의한 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치(1)는 도어부(200)가 하우징(100)의 전면부를 따라 연장된 가이드레일(210) 위에서 슬라이딩 이동하고, 지지패널(300)은 도어부(200)의 슬라이딩 이동경로 상에서 전면부를 향하거나 또는 그 반대방향을 향해서(즉, 전후방으로) 슬라이딩 이동한다. 이와 같이 유기적인 도어구조로 도어부(200)가 매우 컴팩트하게 작동하고, 지지패널(300)과 함께 보다 안정적인 밀폐구조를 형성할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의한 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치(1)는 상기 한 쌍의 가이드레일(210) 역시 전후방으로 이동 가능하게 하우징(100)에 결합될 수 있다. 따라서, 가이드레일(210)이 도어부(200)와 함께 하우징(100)의 전면부를 압박하여 컴팩트하게 작동하면서도 보다 효과적인 밀폐구조를 형성할 수 있다. 이하, 이러한 특징을 갖는 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치(1)의 각 구성부와 특징들에 대해 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.
하우징(100)은 내부에 수용공간(102)이 형성된 것으로 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 전체적으로 박스 형상으로 형성되어 그 중의 일 면이 전술한 바와 같은 전면부로 활용될 수 있다. 하우징(100)의 하부에는 적어도 하나의 바퀴부(600)가 형성되어 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치(1)가 용이하게 이동하도록 구성될 수 있으며, 하우징(100)의 전면부 일 측, 도어부(200)의 일 측에는 장치를 개폐할 수 있는 스위치(104, 203)가 제공될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따라 하우징(100)이 박스 형상으로 형성되었으나 하우징(100)의 형상이 이와 같이 한정될 필요는 없다. 하우징(100)은 전면부로 활용 가능한 적어도 하나의 면을 포함하는 다양한 형상으로 형성하는 것이 가능하다. 전면부는 전술한 바와 같이 수직한 면으로 형성되는 것이 바람직하며, 이를 통해 중력을 이용하는 방식으로 보다 용이하게 도어부(200)를 작동시킬 수 있다. 도어부(200)의 작동과정에 대해서는 후술하여 보다 상세히 설명한다.
개구부(101)는 하우징(100)의 전면부에 형성되며, 챔버(110)는 하우징(100) 내부에 수용되어 개구부(101)와 연통된다. 따라서, 전술한 바와 같이 도어부(200)가 개구부(101)를 개방하면 사용자가 개구부(101)를 통해 챔버(110)에 접근할 수 있다. 챔버(110)는 도 2에 도시된 바와 같이 개구부(101)와 중첩된 부분이 개방되어 형성될수 있으나, 개방된 부분에 별도의 도어가 추가적으로 장착된 것을 사용할 수도 있다. 또한 도시된 바와 같은 챔버(110)의 형상은 예시적인 것으로서 챔버(110)의 형상 역시 박스 형상이 아닌 다양한 형상으로 변형될 수 있다. 챔버(110)는 상대적으로 두꺼운 내벽을 가져 효과적으로 기밀을 유지할 수 있는 것인 한 제한 없이 다양한 형태로 형성될 수 있다.
가이드레일(210)은 한 쌍이 개구부(101)를 사이에 두고 하우징(100)의 전면부를 따라 서로 나란히 배치된다. 가이드레일(210)은 도시된 바와 같이 하우징(100)의 전면부와 평행한 방향으로 연장되며, 도어부(200)를 향하는 면에 레일부(도 3 및 도 4의 211 참조)가 형성되어 도어부(200)가 용이하게 슬라이딩 하도록 형성될 수 있다.가이드레일(210)은 전술한 바와 같이 수직한 면으로 형성되는 전면부를 따라 수직방향으로 연장되는 것이 바람직하다.
한편, 가이드레일(210)은 전술한 바와 같이 하우징(100)에 전후방으로 이동이 가능하게 결합된다. 따라서, 가이드레일(210)에 결합된 도어부(200)가 단순히 가이드레일(210)을 따라서만 슬라이딩하는 것이 아니라 하우징(100)의 전면부를 향해 움직여 전면부를 압박하고 보다 효과적인 밀폐구조를 형성하게 된다. 구체적으로 가이드레일(210)은 하우징(100)에 설치되어 가이드레일(210)을 전후방으로 이동시키는 적어도 하나의 제1구동부(220)에 연결될 수 있다. 제1구동부(220)는 일단부가 하우징(100)에 고정되고 타단부는 가이드레일(210)에 연결되어 신장 및 수축하는 유압 실린더와 같은 선형 액츄에이터로 형성될 수 있으며, 제1구동부(220)는 도 3에 도시된 바와 같이 가이드레일(210)의 서로 다른 지점에 나란히 연결되어 가이드레일(210)을 안정적으로 구동시킬 수 있다.
도어부(200)는 가이드레일(210)에 슬라이딩 가능하게 결합되어 가이드레일(210)을 따라서 슬라이딩 이동한다.
도어부(200)는 가이드레일(210)을 따라 슬라이딩 이동하여 도 1에 도시된 바와 같이 개구부(101)를 폐쇄하거나, 또는 도 2에 도시된 바와 같이 개구부(101)를 개방하되, 단순히 가이드레일(210)을 따라서만 이동하지 않고, 전술한 바와 같이 가이드레일(210)이 전후방으로 이동하는 때 함께 이동하여 하우징(100)의 전면부를 압박하거나, 반대로 하우징(100)으로부터 손쉽게 이탈된다. 도어부(200)의 가이드레일(210)을 향하는 면에는 레일부(도 3 및 도 4의 211 참조)와 결합되는 슬라이더(도 3 및 도 4의 201 참조)가 형성되어 슬라이딩 가능한 결합구조를 용이하게 형성할 수 있다.
도어부(200)와 하우징(100)의 사이에는 적어도 하나의 패킹부(103)가 형성되어 보다 용이하게 기밀을 유지할 수 있다. 패킹부(103)는 도 2에 도시된 바와 같이 개구부(101) 둘레에 개구부(101)와 인접하게 형성될 수 있으며,
필요한 경우 개구부(101)를 향하는 도어부(200)의 일 면에도 형성될 수 있다(도 5의 202 참조) 이와 같은 방식으로 이중의 또는 삼중의 패킹부를 형성하여 용이하게 기밀을 유지할 수 있다. 한편, 도어부(200) 일 측에는 내부를 투시하여 관찰할 수 있는 윈도우(204)가 형성될 수 있으며, 하우징(100) 내 챔버의 작동상태 등을 외부로표시할 수 있는 표시부(205) 등이 형성되는 것도 가능하다.
지지패널(300)은 가이드레일(210)을 따라 슬라이딩 이동하는 도어부(200)의 이동경로 상에 배치된다. 지지패널(300)은 특히 도어부(200)의 하부에 배치되며 전방으로 이동하여 도 1에 도시된 바와 같이 도어부(200)를 지지하거나, 그 반대방향인 후방으로 이동하여 도 2에 도시된 바와 같이 후퇴된 상태로 도어부(200)의 슬라이딩 이동경로에서 벗어날 수 있다. 즉, 지지패널(300)은 도어부(200)가 슬라이딩되지 못하도록 이동경로를 제한하거나, 이동경로를 개방하여 도어부(200)가 용이하게 슬라이딩되도록 유기적으로 작동되고, 도어부(200)의 이동경로를 제한하는 동시에 이를 지지함으로써 보다 안정적인 밀폐구조가 형성되도록 할 수 있다. 지지패널
(300)에는 지지패널(300)을 관통하여 하우징(100) 내부와 외부 사이의 공기 순환통로가 되는 그릴부(310)가 형성될 수 있다.
구체적으로 지지패널(300)은 하우징(100)에 설치되어 지지패널(300)을 전후방으로 이동시키는 적어도 하나의 제2구동부(320)에 연결되어 이동할 수 있으며, 제2구동부(320)는 전술한 제1구동부(220)와 마찬가지로 일단부는 하우징(100)에 고정되고 타단부는 지지패널(300)에 연결되어 신장 및 수축하는 유압 실린더와 같은 선형 액츄에이터로 형성될 수 있다. 제2구동부(320) 역시 도 3에 도시된 바와 같이 지지패널(300)의 서로 다른 지점에 나란히 연결되어 지지패널(300)을 안정적으로 구동시킬 수 있다.
이와 같이 도어부(200), 가이드레일(210), 및 지지패널(300)이 서로 유기적으로 조합된 슬라이딩 도어형 밀폐챔버장치(1)는 각 도면에 도시된 바와 같이 일단부가 도어부(200)에 결합되는 적어도 하나의 가요성와이어(401)와, 가요성와이어(401)의 타단부가 결합되어 가요성와이어(401)를 견인하는 견인장치(400)를 이용하여 이에
최적화된 방식으로 보다 용이하게 도어부(200)를 작동시킬 수 있다. 견인장치(400)는 스크류바(410), 스크류너트부(420), 스크류바(410)를 회전시키는 모터(411), 및 스크류너트부(420)가 결합되는 가이드바(430)를 포함하는 방식으로 구성된다. 이하 도 4 내지 도 7을 참조하여 견인장치(400) 및 가요성와이어(401)의 구체적인 구조
와 각 구성부의 작동과정에 대해 보다 상세히 설명한다.
도 4는 도 1의 챔버장치의 상부구조 및 도어부와 가이드레일의 배치상태를 도시한 A-A' 단면도이고, 도 5는 도4의 챔버장치의 도어부와 가이드레일이 이동한 상태를 도시한 단면도이며, 도 6은 도 1의 챔버장치의 지지패널의 배치상태를 도시한 B-B' 단면도이고, 도 7은 도 6의 지지패널이 이동한 상태를 도시한 단면도이다.
먼저 도 4 및 도 5를 참조하면, 견인장치(400)는 하우징(100)에 회전 가능하게 결합되며 외주면에 나사산이 형성된 스크류바(410), 스크류바(410)를 회전시키는 모터(411), 전술한 바와 같이 일단부가 도어부(200)에 결합된 가요성와이어(401)의 타단부가 결합되고 스크류바(410)와 치합되는 스크류너트부(420)를 포함한다. 스크류너트부(420)는 스크류바(410)와 평행하게 하우징(100)에 설치되는 적어도 하나의 가이드바(430)에 슬라이딩 가능하게 결합되어 가이드바(430)를 따라 이동할 수 있다.
스크류바(410)는 모터(411)에 결합되어 회전되며, 외주면에 나사산이 형성되어 스크류바(410)와 치합된 스크류너트부(420)를 직선상으로 이동시킬 수 있다. 스크류너트부(420)는 스크류바(410)가 관통하는 부분에 스크류바(410)의 나사산과 치합되는 치합부(421)가 형성되어 스크류바(410)의 회전운동을 직선운동으로 용이하게 변환할수 있다. 상기 치합부(421)는 예를 들어, 스크류바(410)의 나사산에 삽입되어 회전하는 볼과 같은 구체를 포함하는 것일 수 있다. 서로 치합되는 스크류바(410) 및 스크류너트부(420)는 회전운동을 직선운동으로 변환하는 기계요소인 볼 스크류(Ball screw)로 기능할 수 있다.
스크류너트부(420)는 스크류바(410)에 치합되어 스크류바(410)를 따라 직선상으로 운동하는 것으로 상기 치합부(421)는 스크류너트부(420)와 일체로 형성될 수도 있고, 스크류너트부(420)에 결합되어 고정된 것일 수도 있다.
즉, 스크류너트부(420)는 스크류바(410)에 치합되어 전술한 볼 스크류를 구성할 수 있는 것인 한 그 형상이나 크기 등에 제약을 받지 않는다. 스크류너트부(420)는 도시된 바와 같이 양 단부가 확장된 형태로 형성되어 스크류바(410)와 평행한 가이드바(430)가 그 일부를 관통하도록 형성될 수 있으며, 이를 통해 스크류너트부(420)는 스크류바(410)의 회전에 의해, 가이드바(430)를 따라 보다 안정적으로 슬라이딩 이동할 수 있다.
이러한 견인장치(400)는 챔버(도 1 내지 도 3의 110 참조)의 상부에 위치하여 도어부(200)를 보다 용이하게 견인하고, 견인력을 조절하여 도어부(200)를 하강 또는 상승시킬 수 있다. 즉 도어부(200)는 자중에 의해 슬라이딩 이동하여 챔버(110)의 하부로 이동되어 개구부(101)를 개방하고 챔버(110) 상부에서 견인장치(400)가 가요성와이어(401)를 견인하면 슬라이딩 이동하여 개구부(101)를 폐쇄하도록 형성될 수 있다.
견인장치(400)는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 예를 들어, 하우징(100)의 상단부에 위치하여 하우징(100)의 상부구조를 형성할 수 있다. 이와 같이 상부에서 작동하여 상부로부터 하부로 연결된 가요성와이어(401)를 견인하면, 견인력을 조절하여 도어부(200)가 자중에 의해 용이하게 하강하도록 할 수 있는 것이다. 또한, 이와 같은 견인구조를 이용하여 도어부(200)가 하방으로 이동하여 지지패널(도 1 내지 도 3의 300 참조)에 보다 손쉽게 안착되도록 할 수 있다.
한편, 가요성와이어(401)는 일단부가 도어부(200)에 결합되고 타단부는 스크류너트부(420)에 결합되며, 회전휠(도 3의 402 참조)에 접하여 적어도 한번 이동방향이 전환될 수 있다. 즉, 하우징(100)에 결합되고 가요성와이어(401)에 접한 채 함께 회전하여 가요성와이어(401)의 이동방향을 전환하는 회전휠(402)을 이용하여, 견인장치(400)의 견인방향과 가요성와이어(401)의 이동방향이 일치하지 않더라도 장치가 원활하게 작동하도록 할 수 있다.
가요성와이어(401)는 도어부(200)와 견인장치(400) 특히, 견인장치(400)의 스크류너트부(420)와의 사이로 연장되어 서로를 연결 가능한 굴절 가능한 기계요소인 한 특별히 제한되지 않는다. 가요성와이어(401)는 예를 들어,
금속선과 같은 충분한 강성을 갖는 강선으로 이루어질 수도 있고, 체인이나 벨트와 같은 기계적인 동력전달요소로 이루어질 수도 있다. 회전휠(402) 역시 가요성와이어(401)의 구현 형태에 따라 그에 대응하여 적어도 일부
형상이 변형될 수 있다. 특히, 가요성와이어(401)가 체인 형태로 형성되는 경우, 회전휠(402)은 체인 형태의 가요성와이어(401)에 치합되는 기어형태로 형성될 수 있다.
이와 같이 가요성와이어(401)를 이용한 구조는 가이드레일(210)이 전술한 전후방으로 이동하여 하우징(100)에 밀착되거나 하우징(100)으로부터 이격되는 경우에도 가요성와이어(401)가 그에 대응하여 유연하게 굴절되면서 도어부(200)를 용이하게 지지할 수 있는 장점을 갖는다. 즉, 도 5에 도시된 바와 같이 가이드레일(210)이 평행이동(화살표 참조)하여 하우징(100)으로부터 이격되는 경우에도 가요성와이어(401)의 유연성으로 인해 도어부(200)가 견인장치(400)로부터 이탈되는 등의 문제없이 연결상태를 용이하게 유지할 수 있는 것이다. 도 5에 도시된 바와 같이 가이드레일(210)이 이동하면 스크류너트부(420) 역시 그에 대응하는 만큼 이동하여 가요성와이어(401)에 걸리는 장력이 급격히 증가하는 것을 방지하고 장력이 적절한 크기가 되도록 유지할 수 있다.
도어부(200)는 전술한 바와 같이 가이드레일(210)을 향하는 면에 슬라이더(201)가 형성되고, 가이드레일(210)은 도어부(200)를 향하는 면에 레일부(211)가 형성되어 슬라이더(201)와 결합된다. 따라서, 도어부(200)는 가이드
레일(210)을 따라 용이하게 슬라이딩하되 가이드레일(210)로부터 쉽게 분리되지 않는 견고한 결합구조를 형성한다. 도어부(200)는 하우징(100)에 결합된 제1구동부(220)의 신장에 의해 도 5에 도시된 바와 같이 전후방(도시된 화살표 방향 및 그 반대방향)으로 이동할 수 있다. 도어부(200)와 하우징(100)의 사이에는 패킹부(103, 202)가 형성되어 제1구동부(220)가 수축하고 도어부(200)가 다시 하우징(100)을 향해 이동하여 밀착되는 때 보다 효과적인 밀폐구조를 형성할 수 있다. 패킹부(103, 202)는 전술한 바와 같이 개구부(101) 둘레와 도어부(200)측에 하나 이상이 형성될 수 있다.
한편, 도 6 및 도 7을 참조하면, 지지패널(300) 역시 제2구동부(320)에 의해 전후방(도시된 화살표 방향 및 그 반대방향)으로 이동한다. 특히, 제1구동부(220)가 신장되어 가이드레일(210)이 하우징(100)으로부터 이격되는 때, 제2구동부(320)는 수축하여 가이드레일(210)이 이동하는 반대방향(도시된 화살표 방향)으로 이동하게 된다.
이와 같은 가이드레일(210)과 지지패널(300) 상호간의 유기적인 움직임으로 인해 지지패널(300)이 도어부(도 4및 도 5의 200 참조)의 슬라이딩 경로에서 용이하게 벗어나게 되고 도어부(200)가 손쉽게 개구부(도 1 내지 도3의 101 참조)를 개방할 수 있다.
즉, 가이드레일(210)과 지지패널(300)은 제1구동부(220) 및 제2구동부(320)의 구동에 의해 전술한 전후방으로 이동하되 서로 반대방향으로 유기적으로 움직인다. 따라서, 가이드레일(210) 및 지지패널(300)의 상호 움직임을 최소화하면서도 도어부(200)가 슬라이딩 되도록 하거나 반대로 지지패널(300)이 도어부(200)의 이동경로에 삽입되어 도어부(200)를 용이하게 지지하도록 할 수 있는 것이다. 이하, 도 8 내지 도 10을 참조하여 이에 대해 좀더 상세히 설명한다.
도 8 내지 도 10은 도 1의 챔버장치의 작동과정을 도시한 도면이다.
먼저, 도 8을 참조하면, 가이드레일(210)과 도어부(200)가 하우징(100)에 밀착된 상태로 도어부(200)가 하우징(100) 전면부의 개구부(101)를 폐쇄하고, 지지패널(300)은 도어부(200)의 하부에 위치하여 도어부(200)를 지지한다. 이를 통해 도어부(200)가 하우징(100)의 전면부를 향해 압박된 상태로 안정적으로 지지되어 보다 효과적이고 안정적인 밀폐구조를 형성할 수 있다. 상기와 같은 상태에서 제1구동부(220)는 수축된 상태로 유지되고, 제2구동부(320)는 신장된 상태로 유지된다.
또한, 이러한 상태에서 지지패널(300)에 형성된 그릴부(도 1 및 도 2의 310 참조)는 하우징(100) 내 외부로 공기를 순환시켜 하우징(100) 내측의 온도가 급격히 상승하지 않도록 방지할 수 있다. 즉, 하우징(100) 내측의 수용공간(102)에는 챔버(110)의 하부에 설치되고 챔버(110)와 연결되어 챔버(110) 내부의 온도를 조절하는 온도조절부(510), 및 챔버(110) 내부의 습도를 조절하는 습도조절부(520) 중 적어도 하나를 포함하는 장치들이 설치될 수 있는 바, 그릴부(310)를 이용하여 이러한 장치들이 발열되어 온도가 급격히 상승하는 것을 막을 수 있다. 필요한 경우, 공기순환용 팬(미도시) 등을 하우징(100)이나 지지패널(300) 일 측에 추가로 구성할 수 있음은 물론이다. 이와 같은 방식으로 챔버장치는, 이를 테면, 항온항습조로 이용될 수 있다.
도 9를 참조하면, 전술한 바와 같이 제1구동부(220)가 신장되고, 제2구동부(320)가 수축되어 가이드레일(210) 및 지지패널(300)이 전후방(도면상의 화살표 참조)으로 유기적으로 이동하면, 지지패널(300)은 도어부(200)의 슬라이딩 경로 상에서 벗어나고, 도어부(200)는 하우징(100)으로부터 이탈되어 압박이 해제된다. 이 때, 가이드레일(210)은 도어부(200)가 하우징(100) 전면부에서 분리될 수 있는 정도만 움직이는 것으로 충분하며, 지지패널(300)은 온도조절부(510) 및 습도조절부(520) 등의 장치와 가이드레일(210) 사이의 한정된 공간 상에서만 필요한 만큼 움직일 수 있다. 이와 같이 하여 최소한의 움직임만으로 도어부(200)가 슬라이딩 가능한 상태로 전환된다.
또한, 가요성와이어(401)는 도시된 바와 같이 가이드레일(210) 및 도어부(200)의 이동에 따라 경사진 상태로 굴절방향이 변화되면서 가이드레일(210)과 하우징(100) 사이에 생긴 유격에 용이하게 대응할 수 있다. 전술한 바와 같이, 가이드레일(210)이 이동할 때 견인장치(400)의 스크류너트부(420)가 함께 이동하여 가요성와이어(401)에 걸리는 장력이 급격히 증가하지 않도록 조절할 수 있다.
도 10을 참조하면, 이와 같이 배치상태가 변화된 후, 견인장치(400)의 스크류너트부(420)가 가이드바(430)를 따라 신속히 이동함으로써 도어부(200)가 하부로 이동되어 개구부(101)가 개방되고 사용자가 개구부(101)를 통해 챔버(110)에 접근할 수 있다. 도어부(200)는 자중에 의해 하방으로 움직여 손쉽게 개구부(101)가 개방될 수 있으므로, 견인장치(400) 및 가요성와이어(401)는 도어부(200)가 너무 빠르게 하강하지 않도록 적절한 견인력을 제공하는 것으로 충분할 수 있다. 이와 같은 방식으로 공간활용을 극대화 하면서도, 매우 용이하게 개폐되는 도어구조를 형성할 수 있는 것이다. 도 8 내지 도 10의 과정을 역순으로 진행하면, 도어부(200)가 견인되어 상승하고, 가이드레일(210)과 함께 다시 개구부(101)가 형성된 하우징(100)의 전면부에 밀착되어, 하우징(100)의 전면부를 압박하는 효과적인 밀폐구조를 형성할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이면 한정적이 아닌 것으로 이해해야 한다.
*부호의 설명
1: 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치 100: 하우징
104, 203: 스위치 101: 개구부
102: 수용공간 110: 챔버
103, 202: 패킹부 200: 도어부
201: 슬라이더 204: 윈도우
205: 표시부 210: 가이드레일
211: 레일부 220: 제1구동부
300: 지지패널 310: 그릴부
320: 제2구동부 400: 견인장치
401: 가요성와이어 402: 회전휠
410: 스크류바 411: 모터
420: 스크류너트부 421: 치합부
430: 가이드바 510: 온도조절부
520: 습도조절부 600: 바퀴부

Claims (11)

  1. 전면부에 개구부가 형성된 하우징;
    상기 하우징 내부에 수용되며 상기 개구부와 연통된 챔버;
    상기 개구부를 사이에 두고 상기 전면부를 따라 서로 나란히 배치된 한 쌍의 가이드레일;
    상기 가이드레일을 따라 슬라이딩 이동하여 상기 개구부를 개폐하는 도어부;
    상기 도어부의 슬라이딩 이동경로에 상기 도어부와 인접하게 배치되며, 전후방으로 슬라이딩 이동하는 지지패널; 및
    상기 하우징에 설치되어 상기 한 쌍의 가이드레일을 전후방으로 이동시키는 적어도 하나의 제1구동부를 포함하고,
    상기 한 쌍의 가이드레일은 전후방으로 이동 가능하게 상기 하우징에 결합되며,
    상기 지지패널은 상기 도어부의 하부에 배치되며 전방으로 이동하여 상기 도어부를 지지하거나, 후방으로 이동하여 상기 도어부의 슬라이딩 이동경로에서 벗어나는 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 하우징에 설치되어 상기 지지패널을 전후방으로 이동시키는 적어도하나의 제2구동부를 더 포함하는 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치.
  5. 전면부에 개구부가 형성된 하우징;
    상기 하우징 내부에 수용되며 상기 개구부와 연통된 챔버;
    상기 개구부를 사이에 두고 상기 전면부를 따라 서로 나란히 배치된 한 쌍의 가이드레일;
    상기 가이드레일을 따라 슬라이딩 이동하여 상기 개구부를 개폐하는 도어부;
    상기 도어부의 슬라이딩 이동경로에 상기 도어부와 인접하게 배치되며, 전후방으로 슬라이딩 이동하는 지지패널;
    상기 하우징에 설치되어 상기 한 쌍의 가이드레일을 전후방으로 이동시키는 적어도 하나의 제1구동부;
    일단부가 상기 도어부에 결합되는 적어도 하나의 가요성와이어; 및
    상기 가요성와이어의 타단부가 결합되어 상기 가요성와이어를 견인하는 견인장치를 포함하며,
    상기 한 쌍의 가이드레일은 전후방으로 이동 가능하게 상기 하우징에 결합되는 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치.
  6. 제5항에있어서,
    상기 견인장치는,
    상기 하우징에 회전 가능하게 결합되며 외주면에 나사산이 형성된 스크류바,
    상기 스크류바를 회전시키는 모터, 및
    상기 가요성와이어의 타단부가 결합되고 상기 스크류바와 치합되는 스크류너트부를 포함하는 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 스크류바와 평행하게 상기 하우징에 설치되는 적어도 하나의 가이드바를 더 포함하며,
    상기 스크류너트부가 상기 가이드바에 슬라이딩 가능하게 결합되어 상기 가이드바를 따라 이동하는 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 견인장치는 상기 챔버의 상부에 위치하여 상기 도어부를 견인하며,
    상기 도어부는 자중에 의해 하부로 이동되어 상기 개구부를 개방하고 상기 견인장치가 상기 가요성와이어를 견인하면 상기 개구부를 폐쇄하는 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치.
  9. 제5항에 있어서,
    상기 하우징에 결합되고 상기 가요성와이어에 접한 채 함께 회전하여 상기 가요성와이어의 이동방향을 전환하는 회전휠을 더 포함하는 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치.
  10. 전면부에 개구부가 형성된 하우징;
    상기 하우징 내부에 수용되며 상기 개구부와 연통된 챔버;
    상기 개구부를 사이에 두고 상기 전면부를 따라 서로 나란히 배치된 한 쌍의 가이드레일;
    상기 가이드레일을 따라 슬라이딩 이동하여 상기 개구부를 개폐하는 도어부;
    상기 도어부의 슬라이딩 이동경로에 상기 도어부와 인접하게 배치되며, 전후방으로 슬라이딩 이동하는 지지패널; 및
    상기 챔버의 하부에 설치되며, 상기 챔버 내부의 온도을 조절하는 온도조절부와 상기 챔버 내부의 습도를 조절하는 습도조절부 중 적어도 하나를 포함하는 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 지지패널을 관통하여 형성되며 상기 하우징 내부와 외부 사이의 공기 순환통로가 되는 그릴부를 더 포함하는 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치.
PCT/KR2015/002553 2014-04-15 2015-03-17 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치 WO2015160090A1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2014-0044774 2014-04-15
KR1020140044774A KR101443256B1 (ko) 2014-04-15 2014-04-15 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2015160090A1 true WO2015160090A1 (ko) 2015-10-22

Family

ID=51760852

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KR2015/002553 WO2015160090A1 (ko) 2014-04-15 2015-03-17 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR101443256B1 (ko)
WO (1) WO2015160090A1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107448086A (zh) * 2017-08-24 2017-12-08 苏州优备精密智能装备股份有限公司 液晶面板老化全自动开闭门装置
CN110987781A (zh) * 2019-12-18 2020-04-10 广东虹勤通讯技术有限公司 盐雾试验装置

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101703469B1 (ko) * 2016-02-02 2017-02-09 한동희 오토클레이브 및 이를 이용한 패널 조립체 처리 장치
KR101834133B1 (ko) 2017-10-12 2018-02-28 장인재 챔버용 도어 장치
KR102195150B1 (ko) * 2019-03-21 2020-12-24 국방과학연구소 이중 챔버형 고온시험장치
KR102228618B1 (ko) * 2020-01-23 2021-03-16 엘아이지넥스원 주식회사 안테나 시험장치 및 방법
KR102340726B1 (ko) * 2020-02-21 2021-12-17 주식회사 두오텍 듀얼 테스트 챔버를 구비한 번인 테스트 장치
KR102419841B1 (ko) * 2020-10-20 2022-07-12 한국생산기술연구원 반도체 테스트 챔버

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0978965A (ja) * 1995-09-18 1997-03-25 Emoto Kogyo Kk 電動シャッターにおける安全装置
KR200411339Y1 (ko) * 2005-07-21 2006-03-15 한국기계연구원 챔버의 도어개폐구조
KR20110095014A (ko) * 2010-02-18 2011-08-24 세메스 주식회사 진공 챔버의 도어 장치 및 그것을 갖는 기판 처리 장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0978965A (ja) * 1995-09-18 1997-03-25 Emoto Kogyo Kk 電動シャッターにおける安全装置
KR200411339Y1 (ko) * 2005-07-21 2006-03-15 한국기계연구원 챔버의 도어개폐구조
KR20110095014A (ko) * 2010-02-18 2011-08-24 세메스 주식회사 진공 챔버의 도어 장치 및 그것을 갖는 기판 처리 장치

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107448086A (zh) * 2017-08-24 2017-12-08 苏州优备精密智能装备股份有限公司 液晶面板老化全自动开闭门装置
CN107448086B (zh) * 2017-08-24 2022-09-27 苏州优备精密智能装备股份有限公司 液晶面板老化全自动开闭门装置
CN110987781A (zh) * 2019-12-18 2020-04-10 广东虹勤通讯技术有限公司 盐雾试验装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR101443256B1 (ko) 2014-09-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2015160090A1 (ko) 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치
WO2011040674A1 (ko) 리프트장치
WO2010131813A1 (ko) 냉장고
WO2018084582A1 (ko) 냉장고
WO2015142055A1 (en) Automatic window opening and closing device using driving roller and window including same
WO2018084654A1 (ko) 냉장고
WO2013039281A1 (en) Manipulator with weight compensation mechanism and face robot using the same
WO2018139717A1 (ko) 기어 구조를 채용한 천장형 디스플레이 위치 조절장치링크
CN109659250A (zh) 用于腔室的门装置
AU2019423410B2 (en) Refrigerator
CN213125116U (zh) 一种设有红外测温窗口的智能开关柜
WO2019074271A1 (ko) 슬라이딩 장치
CN111934209A (zh) 一种设有红外测温窗口的智能开关柜
KR101312821B1 (ko) 기판 이송 장치
WO2018084656A1 (ko) 냉장고
WO2017026592A1 (en) Opening assistant apparatus for sliding windows
CN111980449B (zh) 活动板房安装设备
WO2017126846A2 (ko) 냉장고
WO2019177292A1 (ko) 액추에이터
CN109149400B (zh) 一种具有便于工作的节能灯具和安全防护结构的电力柜
WO2022103161A1 (ko) 디스플레이 장치
WO2014146320A1 (zh) 开合模机构
CN218603035U (zh) 一种常压密封空气绝缘金属封闭开关柜
CN221862172U (zh) 一种低压联络柜
CN220631544U (zh) 一种投影机收纳柜

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 15779574

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 15779574

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1