KR101846005B1 - 슬릿 밸브 - Google Patents

슬릿 밸브 Download PDF

Info

Publication number
KR101846005B1
KR101846005B1 KR1020160089137A KR20160089137A KR101846005B1 KR 101846005 B1 KR101846005 B1 KR 101846005B1 KR 1020160089137 A KR1020160089137 A KR 1020160089137A KR 20160089137 A KR20160089137 A KR 20160089137A KR 101846005 B1 KR101846005 B1 KR 101846005B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
unit
housing
air
air line
plate
Prior art date
Application number
KR1020160089137A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20180008949A (ko
Inventor
장정환
Original Assignee
주식회사 토르
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 토르 filed Critical 주식회사 토르
Priority to KR1020160089137A priority Critical patent/KR101846005B1/ko
Publication of KR20180008949A publication Critical patent/KR20180008949A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101846005B1 publication Critical patent/KR101846005B1/ko

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/04—Construction of housing; Use of materials therefor of sliding valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/0254—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor being operated by particular means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
    • F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
    • F16K3/188—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members by means of hydraulic forces
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/30—Details
    • F16K3/314—Forms or constructions of slides; Attachment of the slide to the spindle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
    • F16K31/04—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a motor
    • F16K31/047—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a motor characterised by mechanical means between the motor and the valve, e.g. lost motion means reducing backlash, clutches, brakes or return means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Sliding Valves (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)

Abstract

본 발명은 슬릿 밸브에 관한 것으로, 챔버를 밀폐시키는 플레이트유닛, 상기 플레이트유닛을 수용하고 측면에 상기 챔버와 연통되는 게이트를 포함하는 하우징, 상기 하우징의 하부와 결합하며 상기 플레이트유닛을 상하로 이동시키는 구동유닛 및 상기 플레이트유닛과 구동유닛을 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.

Description

슬릿 밸브{SLIT VALVE}
본 발명은 슬릿 밸브에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자는 웨이퍼 상에 전기적인 회로를 형성하는 패브리케이션(Fabrication) 공정, 웨이퍼의 전기적 특성을 검사하는 EDS(Electrical die sorting) 공정, 반도체 장치 등을 각각 에폭시 수지로 봉지하고 개별화시키기 위한 패키지(Package) 공정 등을 통해 제조된다. 이들 각 공정은 반도체를 제작하는데 필요한 특정 조건으로 설정되며, 다수의 공정은 진공상태에서 진행된다.
진공상태를 위해 일반적으로 고온 저압의 환경에서 기판에 대한 공정을 수행하는 복수개의 프로세스 챔버(Process chamber), 해당 프로세스 챔버로 기판이 진입되기 전에 기판이 프로세스 챔버로 진입될 수 있는 환경을 조성하는 로드락 챔버(loadlock chamber), 프로세스 챔버와 로드락 챔버를 연결하며 로드락 챔버 내의 기판을 해당 프로세스 챔버로 이송하거나 해당 프로세스 챔버 내의 기판을 로드락 챔버로 이송하는 로봇이 설치되는 트랜스퍼 챔버(transfer chamber)를 구비한다.
이러한 각각의 챔버들 사이에는 웨이퍼를 통과시키기 위한 슬릿이 형성되어 있고, 슬릿에는 슬릿 밸브가 설치되어 슬릿의 개폐가 이루어질 수 있도록 되어 있다. 슬릿 밸브는 트랜스퍼 챔버와 프로세스 챔버 사이에 위치하며, 트랜스퍼 로봇의 설정 동작 이후에 프로세스 챔버의 공정을 진행하기 위하여 완벽한 격리 기능의 목적을 가진 밸브를 말한다.
종래의 슬릿 밸브는 에어 실린더 및 기어 유니트의 업다운을 이용하여 내부 게이트 플레이트를 동작시켜 게이트(슬릿)의 개폐를 제어하는 방식으로 이루어져 업다운 속도 조절이 어렵고, 바이브레이션이 많고, 시간이 많이 소요된다는 문제가 있다.
또한 플레이트 내부에 에어홀을 직접 가공하여 대형 슬릿 밸브에는 부적합한 문제가 있다.
챔버 밀폐를 위해 O링 등을 사용하여 슬릿 밸브의 왕복 운동에 따른 마모로 파티클이 생겨 품질 불량을 유발하는 문제가 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로, 슬릿 밸브의 상하 운동 속도를 조절하고 파티클 등의 불순물 발생을 억제하는 슬릿 밸브를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 슬릿 밸브는, 챔버를 밀폐시키는 플레이트유닛, 상기 플레이트유닛을 수용하고 측면에 상기 챔버와 연통되는 게이트를 포함하는 하우징, 상기 하우징의 하부와 결합하며 상기 플레이트유닛을 상하로 이동시키는 구동유닛 및 상기 플레이트유닛과 구동유닛을 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.
상기 플레이트유닛은 상기 챔버를 밀폐시키는 실플레이트부, 상기 실플레이트부를 이동시키는 미들블럭부, 상기 미들블럭부의 상부에 탈부착 가능하게 결합하여 압력을 조절하는 에어라인부 및 상기 미들블럭부의 하부에 탈부착 가능하게 결합하는 벤트라인부를 포함할 수 있다.
상기 미들블럭부는 상기 실플레이트부를 가압하여 이동시키는 피스톤 및 상기 피스톤을 수용하며, 상기 벤트라인부에 의해 내부 압력이 조절되는 제1벨로우즈를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 슬릿 밸브는 상기 제1벨로우즈의 리크를 감지하는 리크감지부를 더 포함할 수 있다.
상기 에어라인부는 공기를 유입시켜 상기 실플레이트부를 상기 하우징과 결합시키는 제1에어라인 및 상기 제1에어라인과 별개로 형성되며 공기를 유출시켜 상기 실플레이트부를 상기 하우징과 이격시키는 제2에어라인을 포함할 수 있다.
상기 하우징은 측면에 상기 챔버와 연통되는 게이트가 위치하는 본체 및 상부에 위치하며 상기 본체와 분리되는 커버를 포함하며, 상기 구동유닛은 상기 하우징의 하부와 나사결합하여 분리 가능할 수 있다.
상기 구동유닛은 모터부, 상기 모터부와 결합하며, 상기 모터부의 회전운동을 직선운동으로 변환시키는 볼스크류부, 상기 플레이트유닛과 결합하며, 상기 볼스크류부와 함께 작동하여 상기 플레이트유닛을 상하로 왕복 운동시키는 메인샤프트부 및 상기 메인샤프트와 결합하여 상기 하우징과 결합하는 제2벨로우즈를 포함할 수 있다.
상기 메인샤프트부는 내부에 제3에어라인과 제4에어라인을 포함하며, 복수 개의 상기 제3에어라인들은 상기 플레이트유닛의 에어라인부와 연결되어 공기를 흐르게 하며, 복수 개의 상기 제4에어라인들은 상기 플레이트유닛의 벤트라인부와 연결되어 공기를 흐르게 할 수 있다.
본 발명은 플레이트유닛을 공기압으로 왕복운동시키는 것이 아니라 모터부를 통하여 플레이트유닛을 상하 운동하게 하여 동작시간이 단축된다.
서보모터를 조절하여 플레이트유닛의 승하강 속도를 변화시켜 바이브레이션 현상을 완화하고 불순물인 파티클을 감소시킬 수 있다.
모터부의 수명이 길어 종래 에어 실린더 방식에 비해 내구성이 향상된다.
모터부와 벨로우즈 리크감지부를 통해 챔버에 대한 플레이트유닛의 정확한 포지션이 가능하다.
플레이트유닛 상부에 탈부착 가능한 별개의 에어라인을 설치하여 대형 슬릿 밸브를 구성할 수 있다.
구동유닛 메인샤프트의 내부에 에어라인을 구비하여 플레이트유닛의 에어라인부나 벤트라인부와 공기 흐름을 조절할 수 있다.
하우징의 상부에 커버가 있어 플레이트유닛이 슬릿 밸브로부터 용이하게 분리 가능하고, 하우징과 구동유닛이 나사결합하여 용이하게 분리 가능하여 불순물 제거 등 슬릿 밸브의 유지관리에 편의성이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 슬릿 밸브의 일실시예의 사용상태도이다.
도 2는 도 1의 AA'부분의 개략적인 확대 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 슬릿 밸브의 일실시예의 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 슬릿 밸브의 일실시예의 분해 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 슬릿 밸브의 일실시예의 측면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 슬릿 밸브의 일실시예의 에어라인부와 벤트라인부에 대한 개략적인 사시도이다.
도 7은 본 발명에 따른 슬릿 밸브의 일실시예의 구동유닛의 분해 사시도이다.
도 8과 도 9는 본 발명에 따른 슬릿 밸브의 일실시예의 메인샤프트와 에어라인에 대한 개략도이다.
이하 설명되는 본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고, 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에서 상세하게 설명하고자 한다.
그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
또한 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 구분하여 설명하기 위해 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
이하에서는, 본 발명의 일실시예에 따른 슬릿 밸브(500)에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 슬릿 밸브(500)의 일실시예의 사용상태도이고, 도 2는 도 1의 AA'부분의 개략적인 확대 단면도이며, 도 3은 본 발명에 따른 슬릿 밸브(500)의 일실시예의 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 슬릿 밸브(500)의 일실시예의 분해 사시도이며, 도 5는 본 발명에 따른 슬릿 밸브(500)의 일실시예의 측면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 슬릿 밸브(500)의 일실시예의 에어라인부(130)와 벤트라인부(140)에 대한 개략적인 사시도이며, 도 7은 본 발명에 따른 슬릿 밸브(500)의 일실시예의 구동유닛(300)의 분해 사시도이고, 도 8과 도 9는 본 발명에 따른 슬릿 밸브(500)의 일실시예의 메인샤프트와 에어라인에 대한 개략도이다.
본 발명의 일례에 따른 슬릿 밸브(500)는 플레이트유닛(100), 하우징(200), 구동유닛(300), 제어부(400) 등을 포함할 수 있다.
도 1의 예시에서 알 수 있는 바와 같이, 플레이트유닛(100)은 후술하는 구동유닛(300)에 의해 상하로 왕복 운동가능하며, 상승하는 경우 프로세스 챔버(610)나 트랜스퍼 챔버(620), 로드락 챔버(630) 등을 밀폐시키는 역할을 할 수 있으며, 하강하는 경우 프로세스 챔버(610)나 트랜스퍼 챔버(620), 로드락 챔버(630) 등을 개방하여 기판 등이 이동하도록 하는 역할을 할 수 있다. 플레이트유닛(100)은 실플레이트부(110), 미들블럭부(120), 에어라인부(130), 및 벤트라인부(140)를 포함할 수 있다.
도 2의 예시에서 알 수 있는 바와 같이, 실플레이트부(110)는 후술하는 하우징(200)과 결합하여 챔버(600)의 개구부(650)를 밀폐시키는 역할을 할 수 있다.
도 2를 참조하면, 미들블럭부(120)는 실플레이트부(110)를 좌우로 이동시키는 역할을 하는 것으로, 피스톤과 제1벨로우즈(121)를 포함할 수 있다.
피스톤(미도시)은 공기압을 이용하여 실플레이트부(110)를 좌우로 이동시켜 챔버(600)의 개구부(650)를 밀폐시킬 수 있다.
제1벨로우즈(121)는 피스톤을 수용하는 것으로, 후술하는 벤트라인부(140)와 연결될 수 있다.
리크감지부(미도시)는 제1벨로우즈(121) 내부의 압력 변화를 감지하여 제1벨로우즈(121)의 리크를 감지하는 역할을 할 수 있다.
도 6의 예시에서 알 수 있는 바와 같이, 에어라인부(130)는 미들블럭부(120)의 상부에 위치되는 것으로, 탈부착 가능하게 결합하여 미들블럭부(120) 내부의 압력을 조절할 수 있다.
에어라인부(130)는 제1에어라인(131)과 제2에어라인(132)을 포함하며, 각각 별개로 대칭을 이루어 미들블럭부(120) 상부에 위치할 수 있다.
제1에어라인(131)은 공기를 유입시켜 실플레이트부(110)가 후술하는 하우징(200)과 결합하도록할 수 있다.
제2에어라인(132)은 공기를 유출시켜 실플레이트부(110)가 하우징(200)과 이격되도록 할 수 있다.
벤트라인부(140)는 미들블럭부(120) 하부에 탈부착 가능하게 결합하는 것으로, 제1벨로우즈(121) 내부의 압력을 조절하는 역할을 할 수 있다.
하우징(200)은 플레이트유닛(100)을 수용하는 것으로, 도 2의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 챔버(600)와 결합할 수 있다. 하우징(200)은 본체(210)와 커버(230) 등을 포함할 수 있다.
도 3 내지 도 5에서 알 수 있는 바와 같이, 본체(210)는 측면에 챔버(600)와 연통되는 게이트(220)를 포함할 수 있다.
커버(230)는 하우징(200)의 상부에 위치하는 것으로 본체(210)와 탈부착 가능하게 결합할 수 있다. 커버(230)는 탈부착되어 플레이트유닛(100)을 하우징(200)으로부터 용이하게 분리하는 역할을 할 수 있다.
구동유닛(300)은 하우징(200)의 하부와 결합하는 것으로 플레이트유닛(100)을 상하로 왕복 운동시키는 역할을 할 수 있다. 일례로, 구동유닛(300)은 하우징(200)의 하부와 나사결합하여 하우징(200)과 분리 가능하게 결합할 수 있다.
도 7의 예시에서 알 수 있는 바와 같이, 구동유닛(300)은 모터부(310), 볼스크류부(320), 메인샤프트부(330), 제2벨로우즈(340) 등을 포함할 수 있으며, 대칭되는 2개로 구성될 수 있다.
모터부(310)는 후술하는 볼스크류부(320)와 메인샤프트부(330) 등을 구동시키는 역할을 할 수 있다. 일례로 모터부(310)는 서보모터로 이루어질 수 있다.
볼스크류부(320)는 모터부(310)와 결합하여 모터부(310)의 회전운동을 직선운동으로 변환시키는 역할을 할 수 있다.
메인샤프트부(330)는 플레이트유닛(100)과 결합하는 것으로 볼스크류부(320)와 함께 작동하여 플레이트유닛(100)을 상하로 왕복 운동시키는 역할을 할 수 있다.
도 8과 도 9의 예시에서 알 수 있는 바와 같이, 메인샤프트부(330)는 내부에 각각 복수 개의 제3에어라인(331)과 제4에어라인(332)을 포함할 수 있다.
제3에어라인(331)들은 플레이트유닛(100)의 에어라인부(130)와 연결되어 공기의 흐름을 조절하는 역할을 할 수 있다.
제4에어라인(332)들은 플레이트유닛(100)의 벤트라인부(140)와 연결되어 제1벨로우즈(121) 내부의 압력을 조절하는 역할을 할 수 있다.
도 4와 도 7의 예시에서 알 수 있는 바와 같이, 제2벨로우즈(340)는 메인샤프트부(330)와 결합하는 것으로 하우징(200)과 결합하는 역할을 할 수 있다.
제어부(400)는 플레이트유닛(100)과 구동유닛(300) 등을 제어하는 역할을 하는 것으로, 도 5의 예시에서 알 수 있는 바와 같이, 하우징(200) 하부와 대칭되는 2개의 구동유닛(300) 사이에 위치할 수 있다.
제어부(400)는 구동유닛(300)을 제어하여 플레이트유닛(100)의 상하 이동시 이동 속도를 조절할 수 있다.
일례로 플레이트유닛(100)을 상승시켜 챔버(600)의 개구부(650)를 밀폐시키려는 경우, 제어부(400)는 구동유닛(300)의 속도를 저속으로 시작하여 고속으로 이동시킨 후 챔버(600)와 플레이트유닛(100)이 결합할 때는 다시 저속을 유지하게 하여 바이브레이션을 감소시키고 이동에 따른 불순물인 파티클을 감소시킬 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 일실시예에 따른 슬릿 밸브(500)의 작용에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 슬릿 밸브(500)는 모터부(310)를 이용하여 플레이트유닛(100)을 상하로 이동시키고, 실플레이트부(110)를 좌우로 이동시켜 챔버(600)를 밀폐시키거나 개방시킬 수 있다.
서보모터를 사용하여 플레이트유닛(100)의 상승이나 하강 속도를 변화시키는 것이 가능하여 바이브레이션을 완화시키고, 플레이트유닛(100)의 동작시간이 단축되고, 플레이트유닛(100)의 이동에 따른 파티클을 감소시킬 수 있다.
에어라인부(130)와 벤트라인부(140)를 미들블럭부(120)와 탈부착 가능하게 별개로 제작하여 대형의 슬릿 밸브(500) 제작이 가능하며, 공기 흐름이 효율적이다.
메인샤프트부(330) 내부에 에어라인(331, 332)을 형성하여 플레이트유닛(100)의 에어라인부(130) 및 벤트라인부(140)와 연결하여 공기의 흐름을 조절할 수 있다.
모터부(310)와 제1벨로우즈(121) 리크감지부를 통해 챔버(600)에 대한 플레이트유닛(100)의 정확한 포지션이 가능하다.
하우징(200)의 상부에 커버(230)가 있어 플레이트유닛(100)이 슬릿 밸브(500)로부터 용이하게 분리 가능하고, 하우징(200)과 구동유닛(300)이 나사결합하여 용이하게 분리 가능하여 불순물 제거 등 슬릿 밸브(500)의 유지관리에 편의성이 있다.
한편, 본 도면에 개시된 실시예는 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명한 것이다.
100 : 플레이트유닛 110 : 실플레이트부
120 : 미들블럭부 121 : 제1벨로우즈
130 : 에어라인부 131 : 제1에어라인
132 : 제2에어라인 140 : 벤트라인부
200 : 하우징 210 : 본체
220 : 게이트 230 : 커버
300 : 구동유닛 310 : 모터부
320 : 볼스크류부 330 : 메인샤프트부
331 : 제3에어라인 332 : 제4에어라인
340 : 제2벨로우즈 400 : 제어부
500 : 슬릿 밸브 600 : 챔버

Claims (8)

  1. 챔버를 밀폐시키는 실플레이트부와, 상기 실플레이트부를 이동시키는 미들블럭부, 상기 미들블럭부의 상부에 탈부착 가능하게 결합하여 압력을 조절하는 에어라인부 및 상기 미들블럭부의 하부에 탈부착 가능하게 결합하는 벤트라인부를 포함하고 챔버를 밀폐시키는 플레이트유닛;
    상기 플레이트유닛을 수용하고 측면에 상기 챔버와 연통되는 게이트를 포함하는 하우징;
    상기 하우징의 하부와 결합하며 상기 플레이트유닛을 상하로 이동시키는 구동유닛; 및
    상기 플레이트유닛과 구동유닛을 제어하는 제어부;
    를 포함하고,
    상기 구동유닛은
    모터부;
    상기 모터부와 결합하며, 상기 모터부의 회전운동을 직선운동으로 변환시키는 볼스크류부;
    상기 플레이트유닛의 에어라인부와 연결되어 공기가 흐르는 제3에어라인과, 상기 플레이트유닛의 벤트라인부와 연결되어 공기가 흐르는 제4에어라인을 포함하고, 상기 볼스크류부와 함께 작동하여 상기 플레이트유닛을 상하로 왕복 운동시키는 메인샤프트부; 및
    상기 메인샤프트와 결합하여 상기 하우징과 결합하는 제2벨로우즈;
    를 포함하는 슬릿 밸브.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 미들블럭부는:
    상기 실플레이트부를 가압하여 이동시키는 피스톤; 및
    상기 피스톤을 수용하며, 상기 벤트라인부에 의해 내부 압력이 조절되는 제1벨로우즈;를 포함하는 슬릿 밸브.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1벨로우즈의 리크를 감지하는 리크감지부를 더 포함하는 슬릿 밸브.
  5. 제1항에 있어서, 상기 에어라인부는:
    공기를 유입시켜 상기 실플레이트부를 상기 하우징과 결합시키는 제1에어라인; 및
    상기 제1에어라인과 별개로 형성되며 공기를 유출시켜 상기 실플레이트부를 상기 하우징과 이격시키는 제2에어라인;을 포함하는 슬릿 밸브.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 하우징은:
    측면에 상기 챔버와 연통되는 게이트가 위치하는 본체; 및
    상부에 위치하며 상기 본체와 분리되는 커버;를 포함하며,
    상기 구동유닛은 상기 하우징의 하부와 나사결합하여 분리 가능한 슬릿 밸브.
  7. 삭제
  8. 삭제
KR1020160089137A 2016-07-14 2016-07-14 슬릿 밸브 KR101846005B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160089137A KR101846005B1 (ko) 2016-07-14 2016-07-14 슬릿 밸브

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160089137A KR101846005B1 (ko) 2016-07-14 2016-07-14 슬릿 밸브

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20180008949A KR20180008949A (ko) 2018-01-25
KR101846005B1 true KR101846005B1 (ko) 2018-05-21

Family

ID=61093819

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160089137A KR101846005B1 (ko) 2016-07-14 2016-07-14 슬릿 밸브

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101846005B1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102092949B1 (ko) 2019-11-18 2020-03-24 주식회사 이젠테크 반도체 공정용 슬릿 밸브를 위한 이중 벨로우즈 및 이를 이용한 슬릿 밸브 리크 감시 시스템
KR102519677B1 (ko) 2022-10-24 2023-04-11 (주)사이언스프로버 슬릿밸브
KR20240002883A (ko) 2022-06-30 2024-01-08 주식회사 에스알티 슬릿밸브용 밀폐블레이드

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102092949B1 (ko) 2019-11-18 2020-03-24 주식회사 이젠테크 반도체 공정용 슬릿 밸브를 위한 이중 벨로우즈 및 이를 이용한 슬릿 밸브 리크 감시 시스템
KR20240002883A (ko) 2022-06-30 2024-01-08 주식회사 에스알티 슬릿밸브용 밀폐블레이드
KR102519677B1 (ko) 2022-10-24 2023-04-11 (주)사이언스프로버 슬릿밸브

Also Published As

Publication number Publication date
KR20180008949A (ko) 2018-01-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101846005B1 (ko) 슬릿 밸브
KR101092896B1 (ko) 진공밸브
US7828504B2 (en) Combination load lock for handling workpieces
KR102210994B1 (ko) 절단 장치 및 절단품의 제조 방법
US20120247564A1 (en) Shockless slit valve control
KR20190024851A (ko) 진공 조정 디바이스
KR101099571B1 (ko) 진공 게이트밸브
CN111164730B (zh) 关闭机构真空腔室隔离装置和子系统
JP4772095B2 (ja) パーティクル排出ユニット及びこれを含む基板移送装置
CN115428136A (zh) 双闸门及单一致动器系统
US20230094622A1 (en) Gate valve, substrate processing system, and method of operating gate valve
KR100932121B1 (ko) 반도체 제조설비의 슬릿 도어 밸브
CN107611054B (zh) 反应腔室
WO2020255803A1 (ja) 工作機械
KR100520726B1 (ko) 유량조절밸브
CN111834276A (zh) 裸芯顶出器及包含其的裸芯拾取装置
KR102110244B1 (ko) 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조 방법
JP2001012649A (ja) スロー排気バルブ
KR101815517B1 (ko) 내부 압력제어설비를 갖는 3방밸브
CN219151811U (zh) 一种集成电路焊接工装
KR101399654B1 (ko) 챔버와 진공차단장치의 진공 밸런싱 장치
JPS61266884A (ja) 液体引戻し弁
JP6799280B2 (ja) ロードポート装置
KR19980068002U (ko) 반도체 제조장비의 웨이퍼 푸셔 승강속도 자동제어장치
US7316240B2 (en) Exhaust system and mini-exhaust static pressure controlling apparatus thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right