KR20240002883A - 슬릿밸브용 밀폐블레이드 - Google Patents

슬릿밸브용 밀폐블레이드 Download PDF

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KR20240002883A
KR20240002883A KR1020220135803A KR20220135803A KR20240002883A KR 20240002883 A KR20240002883 A KR 20240002883A KR 1020220135803 A KR1020220135803 A KR 1020220135803A KR 20220135803 A KR20220135803 A KR 20220135803A KR 20240002883 A KR20240002883 A KR 20240002883A
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손영만
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주식회사 에스알티
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Abstract

본 발명은 유체이동로 폐쇄시, 균일한 가압력 전달을 통한 긴밀한 밀폐환경을 유지시켜 주는 슬릿밸브용 밀폐블레이드를 제공하는 것이다.

Description

슬릿밸브용 밀폐블레이드{Sealing blade for slit valve}
본 발명은 슬릿밸브용 밀폐블레이드에 관한 것으로서, 길이방향으로 길게 형성되어 전면이 밸브하우징의 유체이동로와 접촉되되, 배면 양쪽에 제1 안착홈(110, 110`)이 각각 함몰형성되는 개폐블레이드(100);와, 구동부재의 샤프트(700)와 결합되고, 상기 개폐블레이드(100)의 배면측에 소정의 간격(D)을 두고 배치되되, 상기 제1 안착홈(110, 110`)과 대응되는 전면 양쪽 위치에 제2 안착홈(210, 210`)이 각각 함몰형성되고, 상기 제2 안착홈(210, 210`)을 관통하는 관통공(220, 220`)이 각각 타공형성되는 연결서포트(200);와, 상기 제1 안착홈(110, 110`)과 상기 제2 안착홈(210, 210`) 사이에 위치되어 전면은 상기 제1 안착홈(110, 110`)의 내면과 맞닿고, 후면은 상기 제2 안착홈(210, 210`)의 내면과 맞닿는 곡면구조의 커브드밸런싱가이드(300, 300`); 및 상기 관통공(220, 220`)을 통해 상기 개폐블레이드(100)와 상기 연결서포트(200)를 연결하는 체결부재(400, 400`);로 구성되는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브용 밀폐블레이드에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체는 공정밀도를 요구하므로 높은 청결도와 특수한 제조기술이 요구되고 있다.
이러한 이유로 반도체 소자는 공기 중에 포함된 이물질의 접촉을 가장 완벽하게 차단할 수 있는 진공상태에서 제조되며, 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 준다.
한편, 상기와 같은 반도체를 제조하기 위한 공정구간에는 공압 엑츄에이터에 의해 개폐되는 슬릿밸브가 설치된다.
예컨대, 반도체 제조장치는 진공상태로 공정이 수행되는 프로세스 챔버 외에 이 프로세스 챔버와 인접하여 설치된 기타 챔버를 구비하고 있다.
즉, 웨이퍼가공 공정이 수행되는 프로세스 챔버, 가공을 위한 웨이퍼를 로드 또는 언로드 하는 로드락 챔버, 그리고 프로세스 챔버와 로드락 챔버 사이에 설치되어 웨이퍼를 이송시키는 트랜스퍼 챔버 등으로 되어 있다.
한편, 상기 슬릿밸브는 주로 공압에 의해 작동되며, 슬릿밸브측에 연결되는 샤프트, 샤프트를 동작시키는 실린더/엑츄에이터, 실린더/엑츄에이터를 수용하는 하우징 등을 포함하는 형태로 이루어지고, 슬릿밸브는 공정 진행 중 챔버와 챔버 사이의 압력이 맞추어진 상태에서 일반적으로 동작한다.
이러한 슬릿밸브는 다양한 형태로 제작되어 공개되고 있으며, 그 중 하기특허문헌 1의 “슬릿밸브(대한민국 등록특허공보 제10-1846005호)”는, 챔버를 밀폐시키는 실플레이트부와, 상기 실플레이트부를 이동시키는 미들블럭부, 상기 미들블럭부의 상부에 탈부착 가능하게 결합하여 압력을 조절하는 에어라인부 및 상기 미들블럭부의 하부에 탈부착 가능하게 결합하는 벤트라인부를 포함하고 챔버를 밀폐시키는 플레이트유닛;과, 상기 플레이트유닛을 수용하고 측면에 상기 챔버와 연통되는 게이트를 포함하는 하우징;과, 상기 하우징의 하부와 결합하며 상기 플레이트유닛을 상하로 이동시키는 구동유닛; 및 상기 플레이트유닛과 구동유닛을 제어하는 제어부;를 포함하고, 상기 구동유닛은 모터부;와, 상기 모터부와 결합하며, 상기 모터부의 회전운동을 직선운동으로 변환시키는 볼스크류부;와, 상기 플레이트유닛의 에어라인부와 연결되어 공기가 흐르는 제3에어라인과, 상기 플레이트유닛의 벤트라인부와 연결되어 공기가 흐르는 제4에어라인을 포함하고, 상기 볼스크류부와 함께 작동하여 상기 플레이트유닛을 상하 로 왕복 운동시키는 메인샤프트부; 및 상기 메인샤프트와 결합하여 상기 하우징과 결합하는 제2벨로우즈로 이루어지는 것이 특징으로서, 이로 인하여, 플레이트유닛의 동작시간이 단축되고, 바이브레이션 현상을 완화하며, 파티클의 발생을 감소시킬 수 있다는 장점이 있었다.
그러나, 상기 특허문헌 1의 “슬릿밸브”는, 플레이트 유닛이 하우징의 유로이동로를 폐쇄시, 면과 면이 접촉되어 폐쇄되는 구조로서, 유로이동로의 개폐를 위해 수평방향으로 이동하는 플레이트 유닛은 실린더의 작동시키는 압축공기의 양, 피스톤의 상승출력, 플레이트 유닛에 가해지는 동압 및 모멘트, 각 구성요소의 연결지점 등의 힘 전달의 미세한 차이에 따라 유로이동로에 대하여 수평상태가 아닌 한쪽이 틀어져 이동됨으로써, 유로이동로 폐쇄시, 플레이트 유닛과 유로이동로가 만나는 면에 이격현상이 발생되어 긴밀한 밀폐가 이루어지지 않아 공정불량 등의 발생하여 밸브로서의 기능이 상실된다는 문제점이 있었다.
특허문헌 1: 대한민국 등록특허공보 제10-1846005호
본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 유체이동로 폐쇄시, 균일한 가압력 전달을 통한 긴밀한 밀폐환경을 유지시켜 주는 슬릿밸브용 밀폐블레이드를 제공하는 것이다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 슬릿밸브용 밀폐블레이드는, 길이방향으로 길게 형성되어 전면이 밸브하우징의 유체이동로와 접촉되되, 배면 양쪽에 제1 안착홈(110, 110`)이 각각 함몰형성되는 개폐블레이드(100);와, 구동부재의 샤프트(700)와 결합되고, 상기 개폐블레이드(100)의 배면측에 소정의 간격(D)을 두고 배치되되, 상기 제1 안착홈(110, 110`)과 대응되는 전면 양쪽 위치에 제2 안착홈(210, 210`)이 각각 함몰형성되고, 상기 제2 안착홈(210, 210`)을 관통하는 관통공(220, 220`)이 각각 타공형성되는 연결서포트(200);와, 상기 제1 안착홈(110, 110`)과 상기 제2 안착홈(210, 210`) 사이에 위치되어 전면은 상기 제1 안착홈(110, 110`)의 내면과 맞닿고, 후면은 상기 제2 안착홈(210, 210`)의 내면과 맞닿는 곡면구조의 커브드밸런싱가이드(300, 300`); 및 상기 관통공(220, 220`)을 통해 상기 개폐블레이드(100)와 상기 연결서포트(200)를 연결하는 체결부재(400, 400`);로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 커브드밸런싱가이드(300, 300`)는, 전, 후 대칭으로 배치되되, 표면이 곡면으로 이루어진 접시형태의 제1, 2 곡면플레이트(310, 320, 310`, 320`)가 각각 형성되고, 상기 제1, 2 곡면 플레이트(310, 320, 310`, 320`)의 사이에 내공간(S) 형성되며, 상기 제1, 2 곡면 플레이트(310, 320, 310`, 320`)의 중앙에 상기 관통공(220, 220`)과 연통되는 제1, 2 통과공(330, 330`)이 각각 타공형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제1 곡면플레이트(310, 310`)는 챔버 내에서 발생하는 역압(逆壓)을 분산시켜 상기 개폐블레이드(100)의 휨현상을 방지하고, 상기 제2 곡면플레이트(320, 320`)는 구동부재로부터 발생하는 동압(動壓)을 분산시켜 상기 연결서포트(200)의 휨현상을 방지하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제2 안착홈(210, 210`)의 둘레에는 오형링(500, 500`)이 삽입되도록 링형상의 제3 안착홈(230, 230`)이 각각 함몰형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 연결서포트(200)의 전면 중앙에는 지지돌기(240)가 전면방향으로 돌출형성되어 슬릿밸브의 오픈(OPEN)상태에서는 상기 개폐블레이드(100)의 배면으로부터 상기 지지돌기(240)가 소정의 거리(L)만큼 이격되고, 상기 슬릿밸브의 클로즈(CLOSE)상태에서는 상기 지지돌기(240)가 상기 개폐블레이드(100)의 배면에 접촉되는 것을 특징으로 한다.
이상, 상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 유체이동로 폐쇄시, 수평방향으로의 힘 전달의 불균형한 조건이 발생하더라도 유체이동로와 맞닿는 개폐블레이드와 구동부재의 샤프트와 연결되는 연결서포트 사이에 구비되는 곡면구조의 커브드밸런싱가이드가 유동적으로 대응하여 정교한 밀착을 통한 긴밀한 밀폐상태를 유지할 수 있다는 장점이 있다.
또한, 연결서포트 중앙에 지지돌기를 더 형성하여 상황에 따라 개폐블레이드의 중앙에 추가적으로 가압력 전달이 이루지게 구성함으로써, 개폐블레이드 전체에 가압력이 고르게 분포되어 보다 긴밀한 밀폐상태를 유지할 수 있다는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 슬릿밸브용 밀폐블레이드의 전체 모습을 보인 사시도
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 슬릿밸브용 밀폐블레이드의 분해된 모습을 보인 분해사시도
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 슬릿밸브용 밀폐블레이드의 구성 중 연결서포트의 모습을 보인 사시도
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 슬릿밸브용 밀폐블레이드의 덩면모습을 보인 정면도
도 5는 도 4의 A-A`의 단면도
도 6은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 슬릿밸브용 밀폐블레이드의 분해된 모습을 보인 분해사시도
도 7은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 슬릿밸브용 밀폐블레이드의 구성 중 지지돌기의 보인 단면확대도
이하에서는 첨부된 도면을 참조로 하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿밸브용 밀폐블레이드(1)를 상세히 설명한다. 우선, 도면들 중, 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호로 나타내고 있음에 유의하여야 한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.
도 1, 도 2 또는 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿밸브용 밀폐블레이드(1)는 크게, 개폐블레이드(100), 연결서포트(200), 커브드밸런싱가이드(300, 300`) 및 체결부재(400, 400`)로 구성된다.
먼저, 개폐블레이드(100)에 대하여 설명한다. 상기 개폐블레이드(100)는 도 1, 도 2 또는 도 4에 나타낸 것과 같이, 밸브하우징의 내측에 위치되어 구동부재의 구동력에 의해 수직이동 및 수평이동되어 밸브하우징에 형성된 유체이동로를 개폐시키는 구성요소로서, 길이방향으로 길게 형성되고, 전면 둘레에는 유체이동로를 폐쇄시 긴밀한 밀폐를 위하여 탄성재질의 밀폐링이 구비된다.
한편, 상기 개폐블레이드(100)의 배면 양쪽에는 제1 안착홈(110, 110`)이 대칭으로 함몰형성된다.
상기 제1 안착홈(110, 110`)은 상기 개폐블레이드(100)와 후술할 연결서포트(200)가 연결된 상태에서, 후술할 제2 안착홈(210, 210`)와 제3 안착홈(230, 230`)과 마주보며 위치되고, 특히, 상기 제2 안착홈(210, 210`)과 함께 상기 제1 안착홈(110, 110`)과 상기 제2 안착홈(210, 210`) 사이에 구비되는 후술할 커브드밸런싱가이드(300, 300`)의 위치를 구속하여 상기 커브드밸런싱가이드(300, 300`)이 해당 범위 내에 위치되는 것을 가능하게 한다.
다음으로, 연결서포트(200)에 대하여 설명한다. 상기 연결서포트(200)는 도 1, 도 2 또는 도 3에 나타낸 것과 같이, 구동부재의 샤프트(700)와 결합되어 구동부재의 샤프트(700)와 결합되고(이때, 연결서포트(200)와 샤프트(700)는 강결구조로 결합되는 것이 바람직하다.), 상기 개폐블레이드(100)의 배면측에 소정의 간격(D)을 두고 배치되어 구동부재의 구동력을 상기 개폐블레이드(100)에 전달하는 구성요소로서, 제2 안착홈(210, 210`), 관통공(220, 220`) 및 제3 안착홈(230, 230`)을 포함한다.
상기 제2 안착홈(210, 210`)은 상기 연결서포트(200)의 전면 양쪽에 대칭으로 함몰형성되는 구성요소로서, 상기 제1 안착홈(110, 110`)과 대응되는 위치에 형성되어 상기 제1 안착홈(110, 110`)과 함께 상기 커브드밸런싱가이드(300, 300`)의 위치를 구속하는 역할을 한다.
상기 관통공(220, 220`)은 상기 제2 안착홈(210, 210`)의 중앙을 관통하는 일종의 구멍으로서, 상기 관통공(220, 220`)을 통해 상기 연결서포트(200)에 체결되는 후술할 체결부재(400, 400`)가 상기 개폐블레이드(100)와 체결되어 상기 개폐블레이드(100)와 상기 연결서포트(200)가 연결되는 것을 가능하게 한다.
상기 제3 안착홈(230, 230`)은 상기 제2 안착홈(210, 210`)의 둘레에 링형상으로 형성되어 오형링(500, 500`)이 삽입되는 구성요소이다.
이때, 오형링(500, 500`)은 상기 개폐블레이드(100)가 유체이동로를 폐쇄하는 경우, 상기 커브드밸런싱가이드(300, 300`)가 위치된 공간으로 공정가스, 파티클 등의 유입을 방지하는 역할을 한다.
한편, 본 발명의 다른 실시예로, 도 6 또는 도 7에 나타낸 것과 같이, 상기 연결서포트(200)의 전면 중앙에는 지지돌기(240)가 전면방향으로 돌출형성된다.
이때, 상기 지지돌기(240)는 슬릿밸브의 오픈(OPEN)상태에서는 상기 개폐블레이드(100)의 배면으로부터 소정의 거리(L)만큼 이격된 상태가 되고, 상기 슬릿밸브의 클로즈(CLOSE)상태에서는 상기 지지돌기(240)가 상기 개폐블레이드(100)의 배면에 접촉됨으로써, 본 발명의 구조상 상기 개폐블레이드(100)의 양측에 전달되는 가압력 외에 상기 개폐블레이드(100)의 중앙에 추가적으로 가압력 전달이 이루지게 됨으로써, 상기 개폐블레이드(100) 전체에 가압력이 고르게 분포되어 유체이동로를 보다 긴밀하게 밀폐시킬 수 있게 해 준다.
한편, 상기 지지돌기(240)의 선단과 상기 개폐블레이드(100) 배면 사이의 거리는 0.6㎜∼1.0㎜로 형성되는 것이 바람직하다.
0.6㎜ 이하로 설정하게 되면, 상기 개폐블레이드(100)의 중앙측에 설계범위 밖의 가압력이 전달되어 쏠림현상, 휨현상 등이 발생할 수 있고, 상기 개폐블레이드(100)의 양측에 들뜸현상이 일어나 밀폐력이 현저하게 줄어들 수 있다.
또한, 1.0㎜ 이상으로 설정하게 되면, 설계상 상기 지지돌기(240)와 상기 개폐블레이드(100)의 접촉이 이루어지지 않아 가압력 전달이 이루어지지 않게 된다.
다음으로, 커브드밸런싱가이드(300, 300`)에 대하여 설명한다. 상기 커브드밸런싱가이드(300, 300`)는 도 2, 도 3 또는 도 5에 나타낸 것과 같이, 상기 제1 안착홈(110, 110`)과 상기 제2 안착홈(210, 210`) 사이에 위치되어 전면은 상기 제1 안착홈(110, 110`)의 내면과 맞닿고, 후면은 상기 제2 안착홈(210, 210`)의 내면과 맞닿아 상기 개폐블레이드(100)의 수평이동시, 구동부재-상기 연결서포트(200)로부터 전달되는 가압력을 균일하게 상기 개폐블레이드(100)로 전달하는 구성요소로서, 제1 곡면플레이트(310, 310`), 제2 곡면플레이트(320, 320`)으로 형성된다.
상기 제1 곡면플레이트(310, 310`)은 전방 표면이 곡면으로 이루어진 접시형태의 구성요소로서, 상기 제1 안착홈(110, 110`)의 내면과 맞닿아 챔버 내에서 발생하는 역압(逆壓)을 분산시켜 상기 개폐블레이드(100)의 휨현상을 방지하고, 가압력을 균일하게 상기 개폐블레이드(100) 측으로 전달하는 역할을 한다.
상기 제2 곡면플레이트(320, 320`)는 상기 제1 곡면플레이트(310, 310`)의 후면측에 위치된 상태에서 후면 표면이 곡면으로 이루어진 접시형태의 구성요소로서, 상기 제2 안착홈(210, 210`)의 내면과 맞닿아 구동부재-상기 연결서포트(200)로부터 발생하는 동압(動壓)을 분산시켜 상기 연결서포트(200)의 휨현상을 방지하고, 가압력을 균일하게 제1 곡면플레이트(310, 310`) 측으로 전달하는 역할을 한다.
즉, 상기 제1 곡면플레이트(310, 310`) 또는 상기 제2 곡면플레이트(320, 320`)는, 곡면으로 이루어진 표면으로 인하여, 가압력의 작동되는 위치에 따라 표면 전체가 상기 제1 안착홈(110, 110`)의 내면 또는 상기 제2 안착홈(210, 210`)의 내면과 맞닿을 수 있도록 구성함으로써, 구동부재-상기 연결서포트(200)로부터 전달되는 가압력이 상기 제1 곡면플레이트(310, 310`) 또는 상기 제2 곡면플레이트(320, 320`)의 중심으로부터 상, 하, 좌, 우, 대각선 어느 한 방향으로 작용하더라도 상기 제1 곡면플레이트(310, 310`) 또는 상기 제2 곡면플레이트(320, 320`)가 미세하게 이동하여 표면 전체 가압력을 밸런싱하게 분산함으로써, 상기 개폐블레이드(100)가 수평방향으로 이동시, 유체이동로의 가장자리 전체를 정확하고 균일하게 가압하여 긴밀하고 신뢰성 높은 밀폐가 이루어지는 것을 가능하게 한다.
한편, 상기 제1 곡면플레이트(310, 310`) 또는 상기 제2 곡면플레이트(320, 320`)는 역압(逆壓) 또는 동압(動壓)에 대응하기 위하여 탄성변형이 가능한 재질로 이루어지는 것이 바람직하고, 상기 제1, 2 곡면 플레이트(310, 320, 310`, 320`)의 사이에 내공간(S) 형성되어 변형발생 또는 미세한 이동시, 원활한 변형 또는 이동이 가능하게 된다.
한편, 상기 제1, 2 곡면 플레이트(310, 320, 310`, 320`)의 중앙에는 상기 관통공(220, 220`)과 연통되는 제1, 2 통과공(330, 330`)이 각각 타공형성됨으로써, 상기 체결부재(400, 400`)가 통과하여 상기 개폐블레이드(100)에 체결되는 것을 가능하게 한다.
다음으로, 체결부재(400, 400`)에 대하여 설명한다. 상기 체결부재(400, 400`)는 도 2에 나타낸 것과 같이, 상기 개폐블레이드(100)와 상기 연결서포트(200)를 연결하는 구성요소로서, 상기 연결서포트(200)를 통해 상기 관통공(220, 220`), 상기 제1, 2 통과공(330, 330`)을 통과하여 상기 개폐블레이드(100)에 체결된다. 이때, 상기 체결부재(400, 400`)는 스트리퍼볼트로 이루어지는 것이 바람직하다.
도면과 명세서에서 최적 실시 예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
1: 슬릿밸브용 밀폐블레이드
100: 개폐블레이드
110, 110`: 제1 안착홈
200: 연결서포트
210, 210`: 제2 안착홈 220, 220`: 관통공
230, 230`: 제3 안착홈 240: 지지돌기
300, 300`: 커브드밸런싱가이드
310, 310`: 제1 곡면플레이트 320, 320`: 제2 곡면플레이트
330: 제1 통과공 330`: 제2 통과공
400, 400`: 체결부재
500, 500`: 오형링

Claims (5)

  1. 길이방향으로 길게 형성되어 전면이 밸브하우징의 유체이동로와 접촉되되, 배면 양쪽에 제1 안착홈(110, 110`)이 각각 함몰형성되는 개폐블레이드(100);
    구동부재의 샤프트(700)와 결합되고, 상기 개폐블레이드(100)의 배면측에 소정의 간격(D)을 두고 배치되되, 상기 제1 안착홈(110, 110`)과 대응되는 전면 양쪽 위치에 제2 안착홈(210, 210`)이 각각 함몰형성되고, 상기 제2 안착홈(210, 210`)을 관통하는 관통공(220, 220`)이 각각 타공형성되는 연결서포트(200);
    상기 제1 안착홈(110, 110`)과 상기 제2 안착홈(210, 210`) 사이에 위치되어 전면은 상기 제1 안착홈(110, 110`)의 내면과 맞닿고, 후면은 상기 제2 안착홈(210, 210`)의 내면과 맞닿는 곡면구조의 커브드밸런싱가이드(300, 300`); 및
    상기 관통공(220, 220`)을 통해 상기 개폐블레이드(100)와 상기 연결서포트(200)를 연결하는 체결부재(400, 400`);로 구성되는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브용 밀폐블레이드(1).
  2. 제1항에 있어서,
    상기 커브드밸런싱가이드(300, 300`)는,
    전, 후 대칭으로 배치되되, 표면이 곡면으로 이루어진 접시형태의 제1, 2 곡면플레이트(310, 320, 310`, 320`)가 각각 형성되고,
    상기 제1, 2 곡면 플레이트(310, 320, 310`, 320`)의 사이에 내공간(S) 형성되며,
    상기 제1, 2 곡면 플레이트(310, 320, 310`, 320`)의 중앙에 상기 관통공(220, 220`)과 연통되는 제1, 2 통과공(330, 330`)이 각각 타공형성되는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브용 밀폐블레이드(1).
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 곡면플레이트(310, 310`)는 챔버 내에서 발생하는 역압(逆壓)을 분산시켜 상기 개폐블레이드(100)의 휨현상을 방지하고,
    상기 제2 곡면플레이트(320, 320`)는 구동부재로부터 발생하는 동압(動壓)을 분산시켜 상기 연결서포트(200)의 휨현상을 방지하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브용 밀폐블레이드(1).
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제2 안착홈(210, 210`)의 둘레에는 오형링(500, 500`)이 삽입되도록 링형상의 제3 안착홈(230, 230`)이 각각 함몰형성되는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브용 밀폐블레이드(1).
  5. 제1항에 있어서,
    상기 연결서포트(200)의 전면 중앙에는 지지돌기(240)가 전면방향으로 돌출형성되어 슬릿밸브의 오픈(OPEN)상태에서는 상기 개폐블레이드(100)의 배면으로부터 상기 지지돌기(240)가 소정의 거리(L)만큼 이격되고, 상기 슬릿밸브의 클로즈(CLOSE)상태에서는 상기 지지돌기(240)가 상기 개폐블레이드(100)의 배면에 접촉되는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브용 밀폐블레이드(1).
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