JP2019506578A - 2部分から成る弁ディスクを備えた、流路を閉鎖するための真空弁 - Google Patents
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Claims (15)
- 弁ケーシング(1)と、弁ディスク(8)と、少なくとも1つの駆動装置(12)とを備えた、流路(F)を実質的に気密に遮断するための真空弁であって、
前記弁ケーシング(1)は、
幾何学的な開口軸線(4)を備えた、前記流路(F)のための第1の開口(3)と、前記弁ケーシング(1)の第1の側(20)に設けられた、前記第1の開口(3)を取り囲む弁座(5)とを有する第1の壁(2)を備え、
前記弁ディスク(8)は、
外側の画定部(9a)を備えた、特に環状またはフレーム状の第1のディスク部分(9)と、
閉じている第2のディスク部分(11)であって、前記開口軸線(3)に対して平行な方向で前記第1のディスク部分(9)に対して相対的に引込位置(A)と進出位置(B)との間で線形に運動可能に密閉して前記外側の画定部(9a)内に支持されている、第2のディスク部分(11)とを備え、
前記駆動装置(12)は、前記第1のディスク部分(9)に接続されていて、かつ
前記弁ディスク(8)が前記第1の開口(3)の側方で隣に配置された滞留部分(13)に位置決めされていて、前記第1の開口(3)と前記流路(F)とが開放されている開放位置(O)と、
前記弁ディスク(8)が前記第1の開口(3)上に位置決めされており、前記第1の開口(3)の開口横断面を覆っている中間位置(I)と
の間で、前記開口軸線(4)を実質的に横切る方向に行われる横方向運動(x)によって前記弁ディスク(8)が旋回可能または移動可能に構成されており、かつ
前記中間位置(I)と、
前記第1のディスク部分(9)と前記弁座(5)との間で前記第1の開口(3)を気密に閉鎖し、前記流路(F)を遮断する気密な接触が形成されている閉鎖位置(C)と、
の間で、前記開口軸線(4)に対して平行に行われる長手方向運動(y)によって前記弁ディスク(8)が移動可能に構成されており、
前記閉鎖位置(C)では、差圧が、前記弁ディスク(8)において、実質的に、可動な前記第2のディスク部分(11)に作用し、かつ前記第2のディスク部分(11)は、前記開口軸線(4)に対して平行な方向で、前記第1のディスク部分(9)から実質的に切り離されて、直接的または間接的に前記弁ケーシング(1)に支持されている、
真空弁において、
前記弁座(5)は、軸方向で前記弁ディスクの方向に向けられた、前記開口軸線(4)を横切る方向に延びるシール面(14)を有しており、
前記第1のディスク部分(9)は、軸方向で前記弁座(5)の方向に向けられた、前記開口軸線(4)を横切る方向に延びる第1の載着面(15)を有しており、該載着面(15)は、前記閉鎖位置(C)において、該第1の載着面(15)と前記シール面(14)との間に位置する第1のシール(10)を介して、第1の接触領域において前記シール面(14)との軸方向で密閉した接触が形成されるように、配置され、かつ構成されており、
前記外側の画定部(9a)は、半径方向内方に向けられた、前記開口軸線(4)に対して平行に延びる内面(16)を有しており、
前記第2のディスク部分(11)は、半径方向外方に向けられた、前記開口軸線(4)に対して平行に延びる外面(17)を有しており、該外面(17)は、前記外面(17)と前記内面(16)との間に位置する第2のシール(18)を介して、前記引込位置(A)と前記進出位置(B)との間の第2の接触領域にわたって前記内面(16)との半径方向で密閉した接触が形成されるように、配置され、かつ形成されており、
前記弁ディスク(8)の中心(Z)の周囲の、特に中心(Z)の周囲に延びる少なくとも特定の半径方向の角度のために、前記中心(Z)から前記第1の載着面(15)に至るまでの第1の半径方向の間隔(d1)が、前記中心(Z)から前記第2の接触領域に至るまでの第2の半径方向の間隔(d2)よりも小さく形成されていることを特徴とする、流路(F)を実質的に気密に遮断するための真空弁。 - 前記第1のディスク部分(9)は、
支持面(22)であって、
軸方向で前記第2のディスク部分(11)に向けられ、前記開口軸線(4)を横切る方向に延び、かつ
前記外側の画定部に隣接する
支持面(22)を有しており、
前記閉鎖位置(C)において、前記第2のディスク部分(11)は、前記第1の開口(3)の前記第2の側(20)に相対的な負圧(23)が形成されている場合に、前記引込位置(A)にある状態で前記支持面(22)に載着しているように、前記支持面(22)と前記第2のディスク部分(11)とが配置されている、請求項1記載の弁。 - 少なくとも前記支持面(22)と、前記第2のディスク部分(11)の、前記支持面(22)に対向する下面と、特に前記内面(16)とが、中間領域(19)のための画定面を規定し、該中間領域(19)の容積は、
前記第2のディスク部分(11)の位置に応じて決定されていて、前記容積は、前記引込位置(A)では最小であり、特にゼロであり、かつ前記容積は、前記進出位置(B)では最大であり、
閉鎖位置(C)では、前記第1の開口(3)に接続されている、請求項2記載の弁。 - 前記支持面(22)は、半径方向で前記第1のシール(10)と前記第2のシール(18)との間に形成されている、請求項2または3記載の弁。
- 前記支持面(22)と前記外側の画定部とは、互いに対して相対的に直角に配置されている、請求項2から4までのいずれか1項記載の弁。
- 前記第2のディスク部分(11)は、軸方向で前記弁座(5)に向けられた下面に切欠き(26)を有していて、該切欠き(26)は、半径方向で少なくとも部分的に前記支持面(22)に重畳し、かつ閉鎖位置(C)においても前記第1の開口(3)の前記開口横断面に重畳するように、半径方向に延びて形成されており、特に前記切欠き(26)は、前記第2のディスク部分(11)において環状に延びるように形成されている、請求項1から5までのいずれか1項記載の弁。
- 前記第1のディスク部分(9)が環状に形成されていて、前記第1のディスク部分(9)の前記外側の画定部(9a)の直径が、前記第1のディスク部分(9)の前記第1の載着面(15)の直径よりも大きく形成されている、請求項1から6までのいずれか1項記載の弁。
- 前記弁ケーシング(1)は、第2の側(21)において第2の壁(6)を有しており、該第2の壁(6)は、前記第1の壁(2)および前記第1の開口(3)に対して離間した、実質的に平行な対向位置において、前記流路(F)のための第2の開口(7)を有しており、
前記第2の壁(2)は、特に前記第2の開口(7)を取り囲む第2の載着面(24)を有しており、
前記第2の載着面(24)と前記第2のディスク部分(11)とは、前記第2の側(21)および前記第2の開口(7)に向かう方向で前記第2のディスク部分(11)の相対的な線形の可動性を制限するために、前記閉鎖位置(C)において、前記第2のディスク部分(11)は、前記第2の開口(7)の前記第2の側(21)に相対的な負圧(25)が形成されている場合に、前記進出位置(B)にある状態でストッパ面(27)により、前記第2の側(21)に向かう方向で前記第2の載着面(24)に載着するように、配置され、かつ形成されている、請求項1から7までのいずれか1項記載の弁。 - 前記弁ディスク(8)は、
前記開放位置(O)と、
前記中間位置(I)と
の間で前記横方向運動(x)により旋回可能または移動可能であり、かつ
前記中間位置(I)と、
前記閉鎖位置(C)と、
初期化位置(N)であって、前記第2のディスク部分(11)の前記ストッパ面(27)が前記第2の載着面(24)に載着し、完全に前記引込位置(A)に移動されているように、前記第1のディスク部分(9)の、前記第2の壁(6)に対する間隔が減じられている初期化位置(N)と
の間で、前記長手方向運動(y)により移動可能であり、前記中間位置(I)は、前記閉鎖位置(C)と前記初期化位置(N)との間にあるように、
前記少なくとも1つの駆動装置(12)が構成されている、
請求項1から8までのいずれか1項記載の弁。 - 前記弁ディスク(8)は、
前記流路(F)の気密な遮断のために、
前記駆動装置(12)の前記横方向運動(x)により、
前記開放位置(O)から、
前記中間位置(I)へ
と位置調節可能であり、かつ
前記駆動装置(12)の前記長手方向運動(y)により、
前記中間位置(I)から、
前記閉鎖位置(C)へ
と位置調節可能であり、かつ
前記流路(F)の完全な開放のために、
前記駆動装置(12)の前記長手方向運動(y)により、
前記閉鎖位置(C)であって、前記第2のディスク部分(11)が前記引込位置(A)と前記進出位置(B)との間の任意の位置にある、前記閉鎖位置(C)から、
前記第2のディスク部分(11)を前記引込位置(B)に完全に移動させるための前記初期化位置(N)を介して、
前記中間位置(I)へ
と位置調節可能であり、かつ
前記駆動装置(12)の前記横方向運動(x)により、
前記中間位置(I)から
前記開放位置(O)へ
と位置調節可能に、
制御装置が構成されていて、かつ前記駆動装置(12)に接続されている、
請求項1から9までのいずれか1項記載の弁。 - 前記第1のシール(10)は、前記弁座(5)の前記シール面(14)と軸方向で密閉した接触を形成するために、前記第1のディスク部分(9)の前記第1の載着面(15)上に位置固定されている、請求項1から10までのいずれか1項記載の弁。
- 前記第2のシール(18)は、
前記第2のディスク部分(11)の前記外面(17)と半径方向で密閉した接触を形成するために前記第1のディスク部分(9)の前記内面(16)上に位置固定されているか、または
前記第1のディスク部分(9)の前記内面(16)と半径方向で密閉した接触を形成するために前記第2のディスク部分(11)の前記外面(17)上に位置固定されている、請求項1から11までのいずれか1項記載の弁。 - 前記第1のディスク部分(9)は、前記少なくとも1つの駆動装置(12)に、前記開口軸線(4)に対して垂直方向に延びるアーム(28)を介して接続されており、該アーム(28)は、前記閉鎖位置(C)において、前記第1の開口(3)の、前記開口軸線(4)に沿って幾何学的に投影された開口横断面の外側に位置しているように、前記第1のディスク部分(9)に側方で配置されている、請求項1から12までのいずれか1項記載の弁。
- 前記第1のディスク部分(9)は、環状に形成されており、
前記第2のディスク部分(11)は、閉じた円板形状を有しており、
前記内面(16)および前記外面(17)は、幾何学的な円筒周面であり、
前記シール面(14)および前記第1の載着面(15)は、幾何学的な環状面である、請求項1から13までのいずれか1項記載の弁。 - 前記弁は、シャトル弁として形成されており、
前記駆動装置(12)は、前記弁ディスク(8)が前記横方向運動(x)により、実質的に平行に前記第1の開口(3)の横断面上に、かつ前記開口軸線(4)に対して垂直方向に旋回可能に、構成されている、請求項1から14までのいずれか1項記載の弁。
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Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3372881A1 (de) * | 2017-03-07 | 2018-09-12 | VAT Holding AG | Optimierte druckregelung für und mit einem vakuumventil |
KR102352717B1 (ko) * | 2018-03-12 | 2022-01-18 | 가부시키가이샤 아루박 | 게이트 밸브 |
DE102018113748B3 (de) * | 2018-06-08 | 2019-07-11 | Leinemann Gmbh & Co. Kg | Tankventil und Tank mit einem derartigen Ventil |
TWI711781B (zh) * | 2020-01-14 | 2020-12-01 | 日揚科技股份有限公司 | 鐘擺閥 |
CN112268141A (zh) * | 2020-10-23 | 2021-01-26 | 中国科学院上海高等研究院 | 用于真空封合之密封碟盘 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007170666A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Vat Holding Ag | 振り子とスライドゲート真空バルブ |
JP2007170662A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Vat Holding Ag | 流路の気密封止バルブ |
JP2007271080A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Vat Holding Ag | 真空バルブ |
JP2010281446A (ja) * | 2003-05-13 | 2010-12-16 | Applied Materials Inc | 処理チャンバの開口を封止するための方法および装置 |
JP2013032840A (ja) * | 2011-07-28 | 2013-02-14 | Vat Holding Ag | 流路を実質的に気密的に遮断するための弁 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3145969A (en) | 1961-07-03 | 1964-08-25 | High Voltage Engineering Corp | Gate valve having fluid pressure seal and limit stop means |
DE1264191B (de) | 1963-01-15 | 1968-03-21 | Hochvakuum Appbau Emil Kammere | Absperrschieber |
DE7731993U1 (de) | 1977-10-15 | 1978-01-26 | Emil Kammerer Kg, 5060 Bergisch Gladbach | Absperrschieber |
JPS60136671A (ja) | 1983-12-26 | 1985-07-20 | Fuji Seikou Kk | ゲ−トバルブのシ−ル構造 |
DE3720001A1 (de) | 1987-06-15 | 1989-01-05 | Hubert Boesch | Vakuumventil |
JP2655576B2 (ja) | 1992-09-30 | 1997-09-24 | 信越半導体株式会社 | 単結晶引上装置におけるアイソレーションバルブ |
US5577707A (en) | 1995-12-18 | 1996-11-26 | Vat Holding Ag | Slide valve |
DE19746241C2 (de) | 1997-10-20 | 2000-05-31 | Vat Holding Ag Haag | Einrichtung zum Verschließen einer Öffnung |
US6089537A (en) | 1999-06-23 | 2000-07-18 | Mks Instruments, Inc. | Pendulum valve assembly |
US6873159B2 (en) | 2000-03-14 | 2005-03-29 | Siemens Aktiengesellschaft | Device and method for monitoring a capacitor bushing |
US6629682B2 (en) | 2001-01-11 | 2003-10-07 | Vat Holding Ag | Vacuum valve |
US6416037B1 (en) | 2001-01-11 | 2002-07-09 | Vat Holding Ag | Vacuum pipe |
US7032882B2 (en) * | 2003-09-29 | 2006-04-25 | Mks Instruments, Inc. | Valve assembly having novel flow characteristics |
US7011294B1 (en) | 2004-09-08 | 2006-03-14 | Vat Holding Ag | Vacuum valve |
US7828267B2 (en) * | 2005-07-29 | 2010-11-09 | Kitz Sct Corporation | Slide valve |
US7802772B2 (en) * | 2005-12-20 | 2010-09-28 | Vat Holding Ag | Pendulum and slide gate vacuum valve |
TWI388754B (zh) * | 2006-06-16 | 2013-03-11 | Vat Holding Ag | 真空閥 |
US8434511B2 (en) * | 2009-07-08 | 2013-05-07 | Gt Advanced Cz Llc | Retractable and expandable water cooled valve gate useful for sealing a hot processing chamber |
EP2287501A1 (de) * | 2009-08-19 | 2011-02-23 | VAT Holding AG | Ventil zum im Wesentlichen gasdichten Unterbrechen eines Fliesswegs |
TW201124655A (en) * | 2009-09-03 | 2011-07-16 | Ulvac Inc | Gate valve |
TWI666401B (zh) * | 2016-10-04 | 2019-07-21 | 日商愛發科股份有限公司 | 閘閥 |
-
2016
- 2016-02-24 EP EP16157098.1A patent/EP3211281A1/de not_active Withdrawn
-
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010281446A (ja) * | 2003-05-13 | 2010-12-16 | Applied Materials Inc | 処理チャンバの開口を封止するための方法および装置 |
JP2007170666A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Vat Holding Ag | 振り子とスライドゲート真空バルブ |
JP2007170662A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Vat Holding Ag | 流路の気密封止バルブ |
JP2007271080A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Vat Holding Ag | 真空バルブ |
JP2013032840A (ja) * | 2011-07-28 | 2013-02-14 | Vat Holding Ag | 流路を実質的に気密的に遮断するための弁 |
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