JP2010281446A - 処理チャンバの開口を封止するための方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】開口を封止するように適合され、かつ第1の壁と、該第1の壁に形成された第1の開口115と、第2の壁と、該第2の壁に形成された第2の開口117とを有するバルブハウジング105を含むスリットバルブ101aを基本とし、該スリットバルブかつ該第2の開口を封止するように適合された封止部107と、該封止部107に対して移動可能であり、かつ該第1の壁に接触するように適合された支持部材109とを有する閉鎖部材103を含むスリットバルブ。
【選択図】図2
Description
(1)図3Fに図示されたような長手方向後退位置に閉鎖部材103があるか否かを判断し;
(2)図3Fの長手方向後退位置にある閉鎖部材103に対応する第1の信号コンダクタ605に沿って電気信号を生成および送信し;
(3)図3Fの長手方向後退位置にある閉鎖部材103に対応するインジケータライト(例えば、緑L.E.D.)を照射し;
(4)図3Dに図示されたような長手方向展開位置に閉鎖部材103があるか否かを判断し;
(5)図3Dの長手方向展開位置にある閉鎖部材103に対応する第2の信号コンダクタ607に沿って電気信号を生成および送信し;
(6)図3Dの長手方向展開位置にある閉鎖部材103に対応するインジケータライト(例えば、赤L.E.D.)を照射し;
(7)図3Eに図示されたような横方向展開位置にブレース部材109があるか否かを判断し;
(8)図3Eの横方向展開位置にあるブレース部材109に対応する第3の信号コンダクタ609に沿って電気信号を生成および送信し;
(9)上記(7)のようにブレース部材109が横方向展開位置にあると判断されるまで、上記(5)の信号が生成および送信され、上記(6)のインジケータライトが照射されることを阻止し;
(10)例えば、図4を参照して上記のプロセス400を実行する(例えば、図3Eに図示されたようなチャンバ分離バルブ101aの第1の開口115を封止する)ために、スリットバルブコントロールモジュール601にチャンバ分離バルブ101aを動作させる、かつ/またはこれを許容するために、第4の信号コンダクタ611に沿って電気信号を受け取り;
(11)例えば、図5を参照して上記のプロセス500を実行する(例えば、図3Fに図示されたように閉鎖部材103の長手方向後退位置に閉鎖部材103を置く)ために、スリットバルブコントロールモジュール601にチャンバ分離バルブ101aを動作させる、かつ/またはこれを許容するために、第5の信号コンダクタ613に沿って電気信号を受け取り;
(12)スリットバルブコントロールモジュール601への接続を有する複数の空気圧導管、例えば
(a)減圧ソース導管615;
(b)加圧ガスソース導管617;
(c)環境(大気)排気導管619;
(d)ブレース作動導管621;
(e)クランプ作動導管623;
(f)閉鎖部材低下導管625;
(g)閉鎖部材上昇導管627;の間の、かつ/またはこれらのうちの接続を選択的に再構成するように適合されたスリットバルブコントロールモジュール601(図示せず)の1つ以上の空気圧スイッチをコントロールし、これらに電力を送り;
(13)ブレース作動導管621の上昇圧(例えば、加圧)の存在を検出し;
(14)上記(13)の機能によって少なくとも部分的に上記(7)の機能を実行し、および/または
(15)ブレース作動導管621の低下圧(例えば、減圧)の存在を検出するように適合されてもよい。
(16)例えば、各ブレースアクチュエータ173を作動させることによって、ブレース部材109を図3Eに図示された横方向展開位置に移動させるために、加圧ガスソース導管617をブレース作動導管621に選択的に接続すること;
(17)例えば、各ブレースアクチュエータ173を作動させることによって、ブレース部材109を図3Dに図示された横方向後退位置に移動させるために、減圧ソース導管615をブレース作動導管621に選択的に接続すること;
(18)上記(16)の空気圧接続が存在する間に上記(17)の機能が生じることを積極的に阻止すること;
(19)上記(17)の空気圧接続が存在する間に上記(16)の機能が生じることを積極的に阻止すること;
(20)例えば、展開機構134の各第2のアクチュエータ141を作動させることによって、(例えば閉鎖部材103を展開させることを意図するスプリングデフォルトを無効化することによって)図3Dに図示された横方向後退位置に閉鎖部材103を移動させるために、加圧ガスソース導管617をクランプ作動導管623に選択的に接続すること;
(21)例えば、展開機構134の各第2のアクチュエータ141の作動を停止させて、(例えば、各展開機構134に構築された)スプリングデフォルトやブレースアクチュエータ173の活動を優先させることによって、図3Eに図示された横方向展開位置に閉鎖部材103を移動させるために、環境排気導管619をクランプ作動導管623に選択的に接続すること;
(22)例えば、第1のアクチュエータ135(図3A)を作動させることによって、図3Fに図示された長手方向後退位置に閉鎖部材103を移動させるために、加圧ガスソース導管617を閉鎖部材低下導管625に選択的に接続すること;
(23)例えば、上記(22)の機能を容易にするために、環境排気導管619を閉鎖部材上昇導管627に選択的に接続すること;
(24)例えば、第1のアクチュエータ135(図3A)を作動させることによって、図3Dに図示された長手方向展開位置に閉鎖部材103を移動させるために、加圧ガスソース導管617を閉鎖部材上昇導管627に選択的に接続すること;
(25)例えば、上記(24)の機能を容易にするために、環境排気導管619を閉鎖部材低下導管625に選択的に接続すること;
(26)上記(22)および(23)を同時に実行すること;
(27)上記(24)および(25)を同時に実行すること;
(28)上記(26)から上記(27)に選択的に切り替えること;
(29)上記(27)から上記(26)に選択的に切り替えること;
(30)上記(17)および(20)を同時に実行すること;
(31)上記(16)および(21)を同時に実行すること;
(32)上記(30)から上記(31)に選択的に切り替えること;
(33)上記(31)から上記(30)に選択的に切り替えること;
(34)(22)の空気圧接続が存在する間に(16)および(21)が生じることを積極的に阻止すること;
(35)閉鎖部材103が図3Dに図示された縦方向展開位置にない場合に(16)および(21)が生じることを積極的に阻止すること;
(36)上記(17)の空気圧接続が存在しない場合に上記(28)および(29)が生じることを積極的に阻止すること;
(37)スリットバルブコントロールモジュール601への電力の損失の際に(31)をデフォルト設定すること;
(38)上記(28)、(27)、(35)、(16)、(21)および(36)を実行することによって図4のプロセス400を実行すること;
(39)上記(28)、(27)、(35)、(16)、(21)、(36)、(32)および(31)を実行することによって図4のプロセス400を実行すること;
(40)上記(36)、(20)、(17)、(29)、(22)、(23)、(26)および(34)を実行することによって図5のプロセス500を実行すること;および/または
(41)上記(36)、(33)、(20)、(17)、(29)、(23)、(26)、(34)および(30)を実行することによって図5のプロセス500を実行すること。
Claims (5)
- 開口を封止するように適合されたスリットバルブであって、
第1の壁、前記第1の壁に形成された第1の開口、第2の壁、前記第2の壁に形成された第2の開口を有するバルブハウジングと、
前記第2の壁に接触して、かつ前記第2の開口を封止するように適合された封止部と、前記封止部に対して移動可能であり、かつ前記第1の壁に接触するように適合された支持部材(bracing member)とを有する閉鎖部材と、
前記封止部を前記第2の壁に向かって、かつ前記第2の壁と接触して移動させるように、また前記封止部を前記第2の壁に対して支持するために、前記支持部材を前記封止部から離して、かつ前記第1の壁に接触して移動させるように適合された少なくとも1つの作動機構と、
を備え、
前記少なくとも1つの作動機構がベローズを有し、前記ベローズが、前記封止部から離れる前記支持部材の移動が前記ベローズの収縮を発生させるように方向付けられており、
前記第1の壁に面する前記封止部の側面に凹部が形成されており、
前記封止部は、前記凹部の周縁部に結合されるフランジを含み、
前記支持部材は、前記凹部内に配置されるプレートを含み、
前記フランジと前記プレートとの間に前記ベローズが配置されている、
スリットバルブ。 - 前記少なくとも1つの作動機構が、前記閉鎖部材の一部を備えており、かつ前記支持部材と前記封止部の間に配置されているアクチュエータを含む、請求項1に記載のスリットバルブ。
- スリットバルブハウジングの開口を封止するための方法であって、
第1の壁、前記第1の壁に形成された第1の開口、第2の壁、前記第2の壁に形成された第2の開口を有するバルブハウジングを提供するステップと、
前記第2の壁に接触して、かつ前記第2の開口を封止するように適合された封止部と、前記封止部に対して移動可能であり、かつ前記第1の壁に接触するように適合された支持部材とを有しており、前記第1の壁に面する前記封止部の側面に凹部が形成されており、前記封止部は前記凹部の周縁部に結合されるフランジを含み、前記支持部材は、前記凹部内に配置されるプレートを含み、前記フランジと前記プレートとの間にベローズが配置されている、閉鎖部材を提供するステップと、
前記封止部を前記第2の壁に向かって、かつ前記第2の壁に接触して移動させるステップと、
前記封止部を前記第2の壁に対して支持するために、前記支持部材を前記封止部から離して、かつ前記第1の壁に接触して移動させるステップと、
を備え、
前記支持部材を前記封止部から離して移動させるステップが、前記ベローズを圧縮する工程を備える、
る方法。 - 前記第1および第2の開口が横方向に整列されている、請求項3に記載の方法。
- 前記封止部を移動させるステップが、前記閉鎖部材を横方向に移動させる工程を備える、請求項4に記載の方法。
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