KR102110244B1 - 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조 방법 - Google Patents

질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기존의 웨이퍼 이송 자동화모듈 구조에 순환부를 설치하여, 웨이퍼 이송 자동화모듈의 내부에 질소를 공급하면서 웨이퍼 이송 자동화모듈 내부 습기를 제거할 수 있도록 하는 방법이다. 이와 같은, 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법은 복수 개의 제1홀이 일정한 간격으로 형성된 고정판모듈과, 복수 개의 제2홀이 일정한 간격으로 형성되어 고정판모듈 상에서 슬라이딩 하고, 제1방향으로 이동하면 제2홀이 제1홀과 중첩되고 제2방향으로 이동하면 제2홀이 제1홀을 폐쇄하는 슬라이딩판모듈을 포함하는 공기셔터부를 제조하는 (A)단계; 일면에 공기셔터부가 설치되고 내부에 수용공간이 형성된 하우징모듈과, 상기 하우징모듈의 내부에 설치된 복수 개의 노즐모듈을 포함하는 질소공급부를 제조하는 (B)단계; 및 질소공급부를 웨이퍼 이송 자동화모듈(EFEM: Equipment Front End Module)에 설치된 팬 필터 유닛(FFU: Fan Filter Unit)의 공기순환구에 설치하는 (C)단계를 포함한다.

Description

질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조 방법{Equipment Front End Module Retrofit Method For Nitrogen Supply}
본 발명은 반도체 설비에 사용되는 웨이퍼 이송 자동화 모듈(Equipment Front End Module, 이하 EFEM)을 개조 하는 방법 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명은 EFEM에 질소를 공급시키면서 EFEM 내부의 습기를 제거하는 기술과 관련되어 있다.
반도체 제조 공정은 높은 수율을 내는데 초점에 맞춰 개발되고 있다. 웨이퍼(Wafer)는 그 크기가 점점 커지고 있으며 패터닝되는 회로 간격은 점차 미세화 되고 있다. 이와 같이 웨이퍼의 크기 및 웨이퍼를 패터닝하는 기술의 발전 외에도 웨이퍼가 먼지에 의해 오염되지 않도록 하는 클린 룸의 설비 또한 향상되고 있다.
클린 룸의 설비가 향상되더라도 클린 룸은 작업자가 작업할 수 있는 적정 환경을 이룬다. 이에, 클린 룸은 내부 온도 25℃ 그리고 습도 45%를 유지한다. 그러나, 웨이퍼는 이와 같은 환경에 노출될 시, 공기 중의 습기나 오존과 같은 각종 공기 중의 분사상 오염물질(AMC: Airborne Molecular Contamination)에 노출되는 거와 같다. 분자상 오염물질 특히 습기는 웨이퍼 표면에 산화 등을 일으켜 공정 수율을 낮춘다. 특히, 패터닝 되는 회로 간격이 20μm이하인 경우 큰 피해를 발생시키는 문제를 야기시키고 있다. 아울러, Metal(특히 Copper 공정), Oxide, Sputter 공정에서도 산화방지가 필요하며 수율 개선을 위해 습도를 억제할 필요성이 있다.
이에, 현재 팬 필터 유잇(FFU: Fan Filter Unit)과 일체형으로 형성된 필터(Filter)가 설치된 EFEM이 개발되고 있다. 그리고 질소를 공급하고 공급된 질소를 재순환시키는 구조의 EFEM이 개발되고 있다. 개발된 EFEM은 개발 목적을 달성하고 있으나, 기존의 EFEM에 비해 가격이 비싸다는 문제가 있다.
따라서, 기존 EFEM을 처분하고 개발된 EFEM으로 교체를 한다는 것은 엄청난 시설 투자 비용을 요한다. 현실적으로 기존의 EFEM을 모두 처분하고 개발된 EFEM을 구입한다는 것은 불가능하다. 그렇다고 기존의 EFEM이 갖는 문제를 해결하지 않고, 반도체 수율을 낮추는 EFEM을 그대로 사용할 수도 없는 실정이다.
대한민국 공개특허 제10-2004-0064326호 (공개일자: 2004.07.19)
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 기존의 EFEM에 간단한 장비를 추가하여, 기존의 EFEM이 갖는 문제 즉 EFEM의 내부 습기를 제거하여 EFEM에서 이동되는 웨이퍼가 습기에 의해 산화되는 문제를 해결하기 위한 것이다.
본 발명의 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 해결하고자 하는 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법은,
복수 개의 제1홀이 일정한 간격으로 형성된 고정판모듈과, 복수 개의 제2홀이 일정한 간격으로 형성되어 상기 고정판모듈 상에서 슬라이딩하고, 제1방향으로 이동하면 상기 제2홀이 상기 제1홀과 중첩되고 제2방향으로 이동하면 상기 제2홀이 상기 제1홀을 폐쇄하는 슬라이딩판모듈을 포함하는 공기셔터부를 제조하는 (A)단계;
일면에 상기 공기셔터부가 설치되고 내부에 수용공간이 형성된 하우징모듈과, 상기 하우징모듈의 내부에 설치된 복수 개의 노즐모듈을 포함하는 질소공급부를 제조하는 (B)단계;
상기 질소공급부를 웨이퍼 이송 자동화모듈(EFEM: Equipment Front End Module)에 설치된 팬 필터 유닛(FFU: Fan Filter Unit)의 공기순환구에 설치하는 (C)단계; 및
내부에 가속팬모듈을 포함하는 순환부를 제조하여, 일단을 상기 노즐모듈에 연결시키고, 타단을 상기 웨이퍼 이송 자동화모듈의 일측면에 연결하여 상기 웨이퍼 이송 자동화모듈의 내부에 충진된 가스를 상기 노즐모듈로 공급시키는 (D)단계를 포함하고,
상기 (D)단계는,상기 순환부의 타단에, 수동밸브, 질소의 압력 조절이 가능한 레귤레이터, 기압의 압력이 설정치 이상이 되면 열리고, 미만이 되면 닫히는 압력스위치, 유체의 질량을 검출하는 질량유량계, 전기적 신호에 의해 작동하는 전자밸브를 설치하는 단계를 더 포함할 수 있다.
삭제
상기 (D)단계는,
상기 순환부의 타단을 상기 웨이퍼 이송 자동화모듈의 흡기박스에 연결시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 (C)단계 이후,
상기 웨이퍼 이송 자동화모듈의 내부에 상기 웨이퍼 이송 자동화모듈의 내부 습도를 측정하는 습도센서를 설치하는 단계를 더 포함할 수 있다.
삭제
삭제
본 발명은 기존의 사용하고 있는 EFEM에 간단한 장치를 설치하여 기존의 EFEM의 내부에 질소가 원활히 채워지도록 하며 EFEM의 내부 공간의 습기를 제거한다. 이를 통해, 본 발명은 EFEM에서 이동하는 웨이퍼가 습기에 의해 산화되지 않도록 함으로써 반도체 생산 수율이 향상되도록 한다.
도 1은 본 발명의 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법에 관한 순서도이다.
도 2는 종래의 웨이퍼 이송 자동화모듈의 팬 필터 유닛에 질소공급을 위해 질소공급부가 설치된 상태를 나타낸 도면이다.
도 3은 질소공급부의 공기셔터모듈의 작동 상태를 나타낸 도면이다.
도 4는 도 2의 질소공급부의 측면과 웨이퍼 이송 자동화모듈의 측면에 순환호스부가 설치된 상태를 나타낸 도면이다.
도 5는 도 3에서 공급된 질소가 순환호스부를 통해 웨이퍼 이송 자동화모듈과 질소공급부를 순환하는 상태를 나타낸 도면이다.
도 6은 도 3의 공기셔터모듈의 작동에 따른 모드 전환 상태를 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법을 통해 개조된 웨이퍼 이송 자동화모듈의 습도 상태를 실험한 결과값이다.
도 8 내지 도 11은 본 발명의 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법을 통해 개조된 웨이퍼 이송 자동화모듈의 습도 상태를 실험한 결과 그래프이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예들을 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시 예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다. 하기 실시 예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있어 본 발명의 청구범위가 하기 실시 예에 한정되지 않는다. 이러한 실시 예들은 본 발명의 게시를 단지 충실 및 완전하게 하여, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것일 뿐이다.
먼저, 본 발명에 대한 설명이 간결하고 명확할 수 있도록, 본 명세서 상에서 기술되는 웨이퍼 이송 자동화모듈(EFEM: Equipment Front End Module)즉, EFEM(A)은 다양한 반도체 공정장비와 연결되어 웨이퍼를 반송하여 주는 장치로 웨이퍼 반송장치, 로드포트, 팬 필터 유닛(Fan Filter Unit, B), 제어부 및 내부에 복수 개의 흡기홀이 형성된 흡기박스(D)가 설치된 모듈로 정의한다.
위와 같은 EFEM을 개조하는 방법에 대한 구체적인 설명을 하기 앞서, 본 발명의 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조 방법은 일반적인 웨이퍼 이송 자동화모듈에 구비된 장치만으로 EFEM내부에 질소를 적절히 충진시키지 못하는 문제 그리고 EFEM 내부에 충진된 질소를 재사용 시키지 못하는 문제를 해소하기 위한 방법임을 밝힌다. 아울러, 본 발명은 이러한 문제를 해결함으로써, 양품의 웨이퍼가 EFEM의 후단에 있는 공정챔버모듈(미도시)로 이송되도록 함으로써, 반도체의 수율이 향상되도록 하는 점을 밝힌다.
본 발명의 출원인은 전술한 문제를 해결하면서 전술한 효과를 나타내기 위해 현재 보급되어 사용되고 있는 고가의 웨이퍼 이송 자동화모듈을 교체하지 않고, 현재 사용되고 있는 웨이퍼 이송 자동화모듈(A)에 본 출원인이 개발한 공기셔터부(10), 질소공급부(20) 및 순환부(30) 등을 설치하였다. 즉, 본 출원인은 기존의 웨이퍼 이송 자동화모듈의 팬 필터 유닛(FFU: Fan Filter Unit)에 공기셔터부(10), 질소공급부(20) 및 순환부(30)를 설치하여 팬 필터 유닛을 이용해 EFEM(A)의 내부가 질소로 채워질 수 있도록 하였다. 그리고 EFEM 내부의 충진 되는 다시 재활용 할 수 있도록 하였다. 나아가, 반도체 수율이 향상될 수 있도록 하였다.
이하, 도 1을 참조하여, 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법에 대해 구체적으로 설명한다.
도 1은 본 발명의 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법에 관한 순서도이다.
질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법은 도 1에 도시된 바와 같이 간략하게, 공기셔터부(10)를 제조하는 (A)단계(S110), 질소공급부(20)를 제조하는 (B)단계(S120), 팬 필터 유닛(FFU: Fan Filter Unit, 이하 FFU)의 공기순환구에 질소공급부(20)를 설치하는 (C)단계(S130)로 진행된다. (C)단계 이후, 질소공급부(20)와 EFEM의 일측에 순환부(30)를 설치하는 (D)단계(S140)로 진행된다.
질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법은 (A)단계 내지 (C)단계를 일련의 단계로 진행하며 웨이퍼 이송 자동화모듈(A)의 내부를 FFU의 풍속에 기반해 원활하게 질소로 채워지도록 한다. 또한, 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법은 (C)단계 이후, 진행되는 (D)단계를 통해, 웨이퍼 이송 자동화모듈 내부에 충진된 질소를 재사용 할 수 있도록 한다.
아울러, 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법은 (C)단계 이후, 웨이퍼 이송 자동화모듈의 내부에 습도센서(230)를 설치하여, 작업자가 웨이퍼 이송 자동화모듈의 내부 습도변화를 정확하게 측정할 수 있도록 한다.
이하, 도 2 내지 도 6을 참조하여, 본 발명의 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법의 각 단계 및 각 단계에서 제조되는 부(部)에 대해 구체적으로 설명한다.
질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법의 (A)단계(S110)는 고정판모듈(110)과 슬라이딩판모듈(120)을 포함하는 공기셔터부(10)를 제조하는 단계이다. 이때, 공기셔터부(10)는 도 3에 도시된 바와 같은 구조로 형성될 수 있다. 여기서, 고정판모듈(110)은 복수 개의 제1홀(111)이 일정한 간격으로 형성된 판으로 형성된다. 그리고, 슬라이딩판모듈(120)은 복수 개의 제2홀(121)이 일정한 간격으로 형성되고 일단이 실린더모듈(15)에 연결되어 슬라이딩 작동하는 판으로 형성된다.
이때, 실린더모듈(15)은 유압실린더로 형성될 수 있다. 이러한 실린더모듈의 피스톤은 슬라이딩판모듈의 상단과 연결되어, 슬라이딩판모듈의 제1방향 및 제2방향으로 슬라이딩 시킬 수 있다. 일례로, 피스톤이 실린더에서 돌출되면 슬라이딩판모듈은 제1방향으로 이동하고, 피스톤이 실린더로 삽입되면 슬라이딩판모듈은 제2방향으로 이동될 수 있다. 이때, 슬라이딩판모듈(120)이 제1방향 즉, 하방으로 이동하면 슬라이딩판모듈(120)은 제2홀(121)이 제1홀(111)과 중첩되어 유체가 공기셔터부(10)를 통과할 수 있도록 한다.
반면, 슬라이딩판모듈(120)이 제2방향 즉, 상방으로 이동하면 제1홀(111)과 중첩되지 않지 않고, 제1홀(111)을 폐쇄하며 슬라이딩판모듈(120)은 유체가 공기셔터부(10)를 통과할 수 없도록 한다. (A)단계는 위와 같은 특징을 갖는 고정판모듈(110)과 슬라이딩판모듈(120)을 제작하는 단계를 포함한다. 이와 같은 (A)단계(S110) 이후, (B)단계(S120)가 진행된다. (B)단계(S120)는 (A)단계(S110)에서 제작된 공기셔터부(10)를 포함하는 하우징모듈(210)을 제작하고, 하우징모듈(210)의 내부에 노즐모듈(220)을 제작하는 단계가 된다. 이때, 공기셔터부(10)는 유입된 공기 하강의 용이성을 위해 하우징모듈(210)의 상단에 설치된다. 그리고 노즐모듈(220)은 질소가스 분사의 용이성을 위해 하우징모듈(210)의 상단 또는 측면에 설치된다.
(B)단계를 통해, 공기셔터부(10)가 설치된 질소공급부(20)가 제조될 수 있다. (C)단계는 (B)단계를 통해 제조된 질소공급부(20)를 현재 사용되고 있는 웨이퍼 이송 자동화모듈(A)에 설치하는 단계가 된다. 이때, 질소공급부의 하단이 가스킷(Gasket)으로 패킹되어 FFU의 공기순환구(C)에 연결될 수 있다. FFU에 설치된 팬은 구동하며 질소공급부(20)에서 분사되는 질소를 하강시킬 수 있다. 이때, 질소공급부(20)는 공기셔터부(10)가 개방되어 외부에서 공기가 흡입되도록 하고, FFU는 팬의 구동에 따라 공기와 함께 유입되는 질소를 EFEM 내부에 0.2m/s 이상의 속도로 공급시킬 수 있다.
(D)단계는 내부에 가속팬모듈(310)을 포함하는 순환부(30)를 제조하는 단계로 시작된다. 이때, 순환부(30)는 질소를 순환시킬 수 있는 배관 그리고 배관 내부에 가속팬모듈(310)을 순환시키는 구조로 형성될 수 있다. 그리고 순환부(30)를 제조하는 단계 이후, 제작된 순환부(30)의 일단을 노즐모듈(220)에 연결시키고, 타단을 웨이퍼 이송 자동화모듈의 일측면에 연결하는 단계로 진행된다. 이때, 노즐모듈(220)의 타단이 웨이퍼 이송자동화모듈의 흡기박스(D)에 연결되어 흡기박스(D)의 하단으로 내려온 질소가 유입되도록 한다.
아울러, (D)단계는 도 2에 도시된 바와 같이, 노즐모듈의 타단에 작업자가 수동으로 개폐량을 조절할 수 있는 수동밸브(301), 질소의 압력을 조절 가능한 레귤레이터(302), 압력이 설정치 이상이 되면 열리고 설정치 미만이 되면 닫히는 압력스위치(303), 유체의 질량을 검출하는 질량유량계(304), 전기적 신호에 의해 작동하는 전자밸브(305)를 순차적으로 연결하는 단계가 진행될 수 있다. 이때, 수동밸브(301), 레귤레이터(302), 압력스위치(303), 질량유량계(304), 전자밸브(305) 그리고 가속팬모듈(310)의 구동을 통해, 질소공급부(20)로 순환되는 질소량을 정밀하게 제어할 수 있다. 또한, EFEM의 습도를 낮추고 습도를 낮춘 질소를 다시 질소공급부(20)로 순환시키며, EFEM의 습도를 연속적으로 낮춘다. 아울러, 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법은 (D)단계를 통해, EFEM의 내부에 질소가 일정하게 충진되도록 한다.
이와 같은 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법은 EFEM 내부에 0.2m/s이상의 속도로 질소를 충진시키며 EFEM의 내부습도가 5%이하가 되도록 한다.
질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법은 웨이퍼 이송 자동화모듈의 내부에 복수 개의 습도센서(230)를 설치하는 단계를 더 포함한다. 이때, 습도센서(230)는 EFEM의 베이스플레이트(F)의 상측면의 중앙, 중앙으로부터 일측 그리고 중앙으로부터 타측에 설치될 수 있다. 또는 EFEM의 내부 측벽에 설치될 수 있다.
작업자는 EFEM의 내부에 설치된 습도센서(230) 그리고 습도센서로부터 데이터를 수신하여 표시하는 디스플레이로부터 EFEM외부에서 EFEM의 습도 상태를 확인할 수 있게 된다. 일례로, 습도센서(230)를 통해, 작업자는 EFEM 내부의 습도가 5% 이하로 낮아지는 것을 파악할 수 있다.
공기셔터부(10)는 고정판모듈(110) 상에서 슬라이딩판모듈(120)이 슬라이딩 하며 유체가 공기셔터부(10)의 제1홀(111)과 슬라이딩판모듈(120)의 제2홀(121)을 통과하도록 하거나 유체의 통과를 차단한다. 그러면서 공기셔터부(10)는 EFEM이 습도 제어모드 또는 일반 상태모드 중 어느 하나의 모드로 용이하게 전환 작동될 수 있도록 한다. 일례로, 도 6의 (a)에 도시된 바와 같이, EFEM의 내부에 질소가 공급되지 않을 때, 고정판모듈(10)의 제1홀(111)과 슬라이딩판모듈(120)의 제2홀(121)이 중첩되도록 하며 EFEM의 외부에서 공기가 유입되도록 한다. 반면 도 6의 (b)에 도시된 바와 같이, EFEM의 내부에 질소가 공급될 때, 고정판모듈(10)의 제1홀(111)과 슬라이딩판모듈(120)의 제2홀(121)이 중첩되지 않도록 작동되며 EFEM의 외부에서 공기가 유입되지 않도록 한다.
이와 같이, 공기셔터부(10)는 필요에 따라 원활하게 공기의 유입을 유도하거나 공기의 유입을 차단하며 EFEM의 내부 환경을 조절할 수 있다. 특히, 공기셔터부(10)는 이러한 특징에 따라 질소공급 장치를 개조한 설비에 유용하게 사용될 수 있다.
이하, 도 7 내지 도 11을 참조하여 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법을 통해 EFEM의 내부 습도 변화에 대해 설명한다.
도 7은 본 발명의 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법을 통해 개조된 웨이퍼 이송 자동화모듈의 습도 상태를 실험한 결과값이고, 도 8 내지 도 11은 본 발명의 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법을 통해 개조된 웨이퍼 이송 자동화모듈의 습도 상태를 실험한 결과 그래프이다.
질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법을 통해 개조된 EFEM의 내부 습도 변화의 실험은 아래와 같은 조건 하에서 진행되었다.
[조건]
1. EFEM 내부에 복수 개의 습도센서(230)를 설치.
2. 팬 필터 유닛의 팬을 200RPM으로 작동.
3. EFEM 내부에 1000L/M(liter/Minute) 및 600L/M(liter/Minute)으로 질소를 15분간 분사.
4. EFEM의 내부 습도를 측정.
이와 같은 조건 하에서 진행된 습도 변화 실험은 Point 1의 습도, Point 2의 습도 및 Point 3의 습도는 모두 5% 이하의 값으로 나타났다.
도 8 내지 도 11은 Point1에 설치된 제1습도센서를 통해 시간에 따라 EFEM의 내부 습도 변화를 나타낸 그래프이다. 먼저, 개조된 EFEM에 1000L/M(liter/Minute)로 질소를 공급하면 EFEM의 내부 습도는 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이 청정 룸의 습도와 비슷한 45% ~ 48%에서 2.7 ~ 3.5%로 떨어지는 경향을 보인다. 아울러, 개조된 EFEM에 600L/M(liter/Minute)로 질소를 공급하면 EFEM의 내부 습도는 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이 청정 룸의 습도와 비슷한 51% ~ 47%에서 3.5 ~ 3.7%로 떨어지는 경향을 보이고 있다.
이와 같이 EFEM의 내부 습도는 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조 방법을 통해 청정 룸의 습도에서 2.7 ~ 3.7%로 떨어지게 된다.
이와 같은 실험을 통해, 알 수 있는 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조 방법을 통해 개조된 EFEM은 내부의 습도를 낮춰, EFEM에서 이송되는 웨이퍼가 습기나 오존과 같은 각종 공기 중의 분사상 오염물질에 의해 오염되지 않도록 한다. 나아가, 손상되지 않은 웨이퍼 상에서 반도체 가 제조되도록 하며 반도체 수율이 향상되도록 한다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야 한다.
10: 공기셔터부 15: 실린더모듈
110: 고정판모듈 111: 제1홀
120: 슬라이딩판모듈 121: 제2홀
20: 질소공급부 210: 하우징모듈
220: 노즐모듈 230: 습도센서
30: 순환부 301: 수동밸브
302: 레귤레이터 303: 압력스위치
304: 질량유량계 305: 전자밸브
310: 가속팬모듈
A: 웨이퍼 이송 자동화모듈 B: 팬 필터 유닛
C: 공기순환구 D: 흡기박스
F: 베이스플레이트

Claims (5)

  1. 복수 개의 제1홀(111)이 일정한 간격으로 형성된 고정판모듈(110)과, 복수 개의 제2홀(121)이 일정한 간격으로 형성되어 상기 고정판모듈(110) 상에서 슬라이딩하고, 제1방향으로 이동하면 상기 제2홀(121)이 상기 제1홀(111)과 중첩되고 제2방향으로 이동하면 상기 제2홀(121)이 상기 제1홀(111)을 폐쇄하는 슬라이딩판모듈(120)을 포함하는 공기셔터부(10)를 제조하는 (A)단계;
    일면에 상기 공기셔터부(10)가 설치되고 내부에 수용공간이 형성된 하우징모듈(210)과, 상기 하우징모듈(210)의 내부에 설치된 복수 개의 노즐모듈(220)을 포함하는 질소공급부(20)를 제조하는 (B)단계;
    상기 질소공급부(20)를 웨이퍼 이송 자동화모듈(EFEM: Equipment Front End Module)에 설치된 팬 필터 유닛(FFU: Fan Filter Unit)의 공기순환구(C)에 설치하는 (C)단계; 및
    내부에 가속팬모듈(310)을 포함하는 순환부(30)를 제조하여, 일단을 상기 노즐모듈(220)에 연결시키고, 타단을 상기 웨이퍼 이송 자동화모듈의 일측면에 연결하여 상기 웨이퍼 이송 자동화모듈의 내부에 충진된 가스를 상기 노즐모듈(220)로 공급시키는 (D)단계를 포함하고,
    상기 (D)단계는,상기 순환부(30)의 타단에, 수동밸브(301), 질소의 압력 조절이 가능한 레귤레이터(302), 압력이 설정치 이상이 되면 열리고 미만이 되면 닫히는 압력스위치(303), 유체의 질량을 검출하는 질량유량계(304), 전기적 신호에 의해 작동하는 전자밸브(305)를 설치하는 단계를 더 포함하는, 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 (D)단계는,
    상기 순환부의 타단을 상기 웨이퍼 이송 자동화모듈의 흡기박스(D)에 연결시키는 단계를 더 포함하는, 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 (C)단계 이후,
    상기 웨이퍼 이송 자동화모듈의 내부에 상기 웨이퍼 이송 자동화모듈의 내부 습도를 측정하는 습도센서(230)를 설치하는 단계를 더 포함하는, 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법.
  5. 삭제
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