KR20100120460A

KR20100120460A - 게이트 밸브

Info

Publication number: KR20100120460A
Application number: KR1020090039278A
Authority: KR
Inventors: 손영만
Original assignee: 주식회사 에스알티
Priority date: 2009-05-06
Filing date: 2009-05-06
Publication date: 2010-11-16
Also published as: KR101071955B1

Abstract

본 발명에 의하면, 처리모듈측과 이송모듈측 사이에 구비되어 피처리물이 이동되는 통로인 진공하우징에 형성된 슬롯을 개폐하는 밀폐부재와; 상기 진공하우징의 일측에 연통되는 하우징브라켓에 구비되어 상기 밀폐부재를 'L'자로 구동시키는 밸브구동부를 포함하며, 상기 밸브구동부는, 상기 밀폐부재에 일단이 결합되는 메인샤프트; 상기 메인샤프트가 진공하우징을 향하여 상하/좌우 이동 가능하게 연결되며 상부 양측면에 가이드롤러가 형성되고 하부 양측면에 가이드링크가 형성되는 모션블록; 상기 하우징브라켓의 내부 양측면 상부에 수직 상하방향으로 형성되며 모션블록의 가이드롤러가 끼워져 가이드되는 제1 가이드홈; 상기 하우징브라켓의 단부에 형성되어 공기의 압력에 의해 구동되는 피스톤과 상기 피스톤에 연결된 피스톤샤프트를 가지는 에어실린더; 상기 하우징브라켓의 내부에 구비되어 상기 피스톤샤프트에 결합되며 양측면에 무빙링크가 형성되는 무빙유닛; 상기 무빙유닛과 모션블록의 일단을 연결시키는 연결링크; 상기 하우징브라켓의 내부 양측면에 형성되어 상기 모션블록의 가이드링크가 슬라이딩되도록 하여 상기 연결링크가 메인샤프트의 상하 좌우 운동패턴에 따라 수평하게 회동되도록 하는 제2 가이드홈; 및 상기 제2 가이드홈에 대향되도록 하우징브라켓에 형성되어 상기 무빙유닛의 무빙링크가 끼워져 가이드되는 제3 가이드홈을 포함하는 게이트 밸브가 제공된다.

반도체, 게이트, 앵글, 밸브, 슬롯, 피스톤, 챔버, 밀폐, 액츄에이터, 링크, 구동

Description

게이트 밸브{A gate valve}

본 발명은 게이트 밸브에 관한 것으로, 보다 상세하게는 처리모듈과 이송모듈 사이에 피처리물의 이동통로를 위한 슬롯이 형성된 진공하우징의 일측에 구비되는 하우징브라켓의 내부에 상기 슬롯을 개폐하도록 밀폐부재를 구동시키는 밸브구동부의 구동을 개선할 수 있는 게이트 밸브에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조장치에 있어서 복수개의 공정챔버들은 상호간 웨이퍼가 통과할 수 있도록 인접 배치된다. 여기서, 상기 공정챔버간의 웨이퍼 이송은 인접한 공정챔버들의 인접한 벽체에 형성된 슬롯이나 포트를 통해 웨이퍼를 이동시키는 이송모듈에 의해 이루어지게 된다. 이때, 상기 이송모듈과 공정챔버 즉, 처리모듈 사이에는 에어가 누출되어 공기압이 변화되는 것을 방지하거나 상기 처리모듈에서 처리 동작 중 상기 이송모듈을 밀폐시키도록 하기 위해서는 여러 형태의 게이트 밸브 즉, 슬롯밸브가 각종 모듈을 격리하도록 사용된다.

상기와 같은 슬롯밸브는, 특허출원 제10-2007-30924호의 "구동이 개선된 사각형 진공 게이트 밸브" 등에 개시된 바 있다.

도 1a 내지 도 1d는 각각 종래의 게이트 밸브(특허출원 제10-2007-30924호) 를 개략적으로 나타낸 정단면도와 동작 상태를 나타낸 측단면도이다.

상기와 같은 종래의 게이트 밸브는, 도 1a 내지 도 1d에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 이동통로를 개폐하는 밀폐부재(10)와, 상기 밀폐부재(10)가 상측에 결합되며, 양측면에 가이드부재(41)가 돌출형성되는 메인샤프트(40)와, 상기 메인샤프트(40)의 가이드부재(41)가 끼워지며 수직 상하방향으로 제1 가이드홈(21)이 형성된 하우징브라켓(20)과, 상기 하우징브라켓(20)의 내부에 형성되며, 공기의 압력에 의해 구동되는 에어실린더(31), 상기 에어실린더(31) 내부에 형성된 피스톤(32), 상기 피스톤(32)에 결합되는 피스톤샤프트(33), 상기 피스톤샤프트(33)에 결합되는 무빙유닛(34), 상기 무빙유닛(34)과 메인샤프트(40)에 연결되는 연결링크(35)를 포함하는 밸브구동부(30)와, 상기 하우징브라켓(20)의 하측면에서부터 수직 하방향으로 연장형성되는 2개의 상하브라켓(51), 상기 2개의 상하브라켓(51)의 길이방향의 각 대변에 '

'형상으로 형성된 제2 가이드홈(53), 상기 2개의 상하브라켓(51)의 하측 끝단을 연결하는 수평브라켓(52)이 형성된 가이드브라켓(50) 및 상기 메인샤프트(40)의 외부면에 일측이 연결되며, 타측은 상기 제2 가이드홈(53)에 끼워진 상태로 메인샤프트(40)의 수직 상하 운동 패턴에 따라 회동되는 가이드링크(60)를 포함한다.

상기와 같은 게이트 밸브는, 외부 압축 공기의 압력 변화에 따라 하우징브라켓(20)의 에어실린더(31)와 피스톤(32)이 상하 회동하게 되고, 이에 따라 무빙유닛(34)이 상기 피스톤(32)과 동시에 상하 회동되며 상기 무빙유닛(34)에 연결링크(35)를 통해 매개로 연결된 메인샤프트(40)가 회동되어 밀폐부재(10)가 웨이퍼의 이동통로를 개폐하도록 하는데, 이때, 상기 메인샤프트(40)를 구동시키는 밸브구동부(30)는 메인샤프트(40)를 수직 상하회동시키고, 상기 메인샤프트(40)가 수직 전후방으로 회동되어 밀폐부재(10)가 웨이퍼 이동통로를 개폐시키도록 하기 위하여 '

'형상으로 절곡된 제2 가이드홈(53)에 가이드링크(60)가 끼워진 상태로 회동되도록 하고 이때, 연결링크(35)가 가이드링크(60)의 회동방향에 반대방향으로 회동되면서 상기 메인샤프트(40)에 연결된 밀폐부재(10)가 이동통로 측으로 향하도록 하고 있다.

그러나 상기와 같이, '

'형상으로 절곡된 제2 가이드홈(53)에 가이드링크(60)가 가이드되는 경우 상기 가이드링크(60)가 제2 가이드홈(53)의 곡선 궤적을 따라 회전운동 해야 하기 때문에, 가이드링크(60)의 가이드롤러(61)와 상기 제2 가이드홈(53)의 곡선 부분의 반복적인 마찰로 인하여 상호간 응력집중이 발생하게 되고, 이로 인하여 가이드롤러(61)의 내구성이 저하되거나 제2 가이드홈(53)과 가이드롤러(61) 상호간 미세한 유격이 발생하게 되어 상기 밀폐부재(10)가 웨이퍼 이동통로를 정확하게 개폐시킬 수 없는 문제점이 발생하게 된다.

따라서 본 발명의 목적은 밀폐부재에 메인샤프트를 매개로 연결되는 연결링크를 가이드하는 가이드링크가 '

'형상으로 형성된 제2 가이드홈에 가이드되는 동작을 통하여 상기 밀폐부재가 웨이퍼 이동통로 개폐를 위한 'L-모션'을 가능하게 하여 밀폐부재를 구동시키는 밸브구동부의 구동을 개선할 수 있는 게이트 밸브를 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 상기 가이드링크가 '

'형상으로 형성된 제2 가이드홈을 따라 슬라이딩되도록 하여 상기 가이드링크와 제2 가이드홈 상호간 응력집중 발생을 억제할 수 있는 게이트 밸브를 제공하는 것이다.

한편, 본 발명의 목적은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

이를 위하여, 본 발명에 의하면, 처리모듈측과 이송모듈측 사이에 구비되어 피처리물이 이동되는 통로인 진공하우징에 형성된 슬롯을 개폐하는 밀폐부재와; 상기 진공하우징의 일측에 연통되는 하우징브라켓에 구비되어 상기 밀폐부재를 'L'자로 구동시키는 밸브구동부를 포함하며, 상기 밸브구동부는, 상기 밀폐부재에 일단이 결합되는 메인샤프트; 상기 메인샤프트가 진공하우징을 향하여 상하/좌우 이동 가능하게 연결되며 상부 양측면에 가이드롤러가 형성되고 하부 양측면에 가이드링크가 형성되는 모션블록; 상기 하우징브라켓의 내부 양측면 상부에 수직 상하방향으로 형성되며 모션블록의 가이드롤러가 끼워져 가이드되는 제1 가이드홈; 상기 하우징브라켓의 단부에 형성되어 공기의 압력에 의해 구동되는 피스톤과 상기 피스톤에 연결된 피스톤샤프트를 가지는 에어실린더; 상기 하우징브라켓의 내부에 구비되어 상기 피스톤샤프트에 결합되며 양측면에 무빙링크가 형성되는 무빙유닛; 상기 무빙유닛과 모션블록의 일단을 연결시키는 연결링크; 상기 하우징브라켓의 내부 양측면에 형성되어 상기 모션블록의 가이드링크가 슬라이딩되도록 하여 상기 연결링크가 메인샤프트의 상하 좌우 운동패턴에 따라 수평하게 회동되도록 하는 제2 가이드홈; 및 상기 제2 가이드홈에 대향되도록 하우징브라켓에 형성되어 상기 무빙유닛의 무빙링크가 끼워져 가이드되는 제3 가이드홈을 포함하는 게이트 밸브가 제공된다.

여기서, 상기 제2 가이드홈은, '

'형상을 가지는 것이 바람직하다.

따라서 본 발명에 의하면, 밀폐부재에 메인샤프트를 매개로 연결되는 연결링크를 가이드하는 모션블록의 가이드링크가 '

'형상으로 형성된 제2 가이드홈에 가이드됨으로써, 상기 밀폐부재가 웨이퍼 이동통로 개폐를 위한 'L-모션'을 가능하게 하여 밀폐부재를 구동시키는 밸브구동부의 구동을 개선할 수 있다.

또한, 상기 가이드링크가 '

'형상으로 형성된 제2 가이드홈을 따라 승월 또는 하강 슬라이딩되도록 하여 상기 가이드링크와 제2 가이드홈 상호간 응력집중 발생을 억제할 수 있고 이를 통하여 내구성을 향상시킬 수 있다.

한편, 본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 게이트 밸브를 나타낸 정면도이고, 도 3은 도 2의 게이트 밸브를 나타낸 분해 사시도이며, 도 4a와 도 4b는 각각 도 2의 게이트 밸브를 나타낸 정단면도와 측단면도이고, 도 5a 내지 도 5c는 각각 도 2의 게이트 밸브의 개폐동작을 나타낸 측단면도이다.

도 2 내지 도 5c에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 게이트 밸브는, 처리모듈(미도시)측과 이송모듈(미도시)측 사이에 구비되어 피처리물 즉, 웨이퍼 등이 이동되는 통로인 진공하우징(H)에 형성된 슬롯(S)을 개폐하는 밀폐부재(110)와, 상기 진공하우징(H)의 일측에 연통되는 하우징브라켓(B)에 구비되어 상기 밀폐부재(110)를 'L'자로 구동시키는 밸브구동부(120)를 포함하며, 상기 밸브구동부(120)는, 상기 밀폐부재(110)에 일단이 결합되는 메인샤프트(121), 상기 메인샤프트(121)가 진공하우징(H)을 향하여 상하/좌우 이동 가능하게 연결되며 상부 양측면에 가이드롤러(122a)가 형성되고 하부 양측면에 가이드링크(122b)가 형성되는 모션블록(122), 상기 하우징브라켓(B)의 내부 양측면 상부에 수직 상하방향으로 형성되며 모션블록(122)의 가이드롤러(122a)가 끼워져 가이드되는 제1 가이드홈(123), 상기 하우징브라켓(B)의 단부 즉, 하측부에 형성되어 공기의 압력에 의해 구동되는 피스톤(124a)과 상기 피스톤(124a)에 연결된 피스톤샤프트(124b)를 가지는 에어실린더(124), 상기 하우징브라켓(B)의 내부에 구비되어 상기 피스톤샤프트(124b)에 결합되며 양측면에 무빙링크(125a)가 형성되는 무빙유닛(125), 상기 무 빙유닛(125)과 모션블록(122)의 일단을 연결시키는 연결링크(126), 상기 하우징브라켓(B)의 내부 양측면 하부에 '

'형상으로 형성되어 상기 모션블록(122)의 가이드링크(122b)가 끼워져 가이드되도록 하여 상기 연결링크(126)가 메인샤프트(121)의 상하 좌우 운동패턴에 따라 수평하게 회동되도록 하는 제2 가이드홈(127) 및 상기 제2 가이드홈(127)에 대향되도록 하우징브라켓(B)에 형성되어 상기 무빙유닛(125)의 무빙링크(125a)가 끼워져 가이드되는 제3 가이드홈(128)을 포함한다.

상기 진공하우징(H)은, 처리모듈(미도시)과 이송모듈(미도시) 사이를 연결하여 웨이퍼나 반도체기판 등과 같은 피처리물이 상호간을 이동되도록 하는 진공상태의 이동 통로이며, 처리모듈측과 이송모듈측에 각각 슬롯(S)이 형성되는 것이 바람직하다.

상기 하우징브라켓(B)은, 상기 진공하우징(H)의 슬롯(S)을 통한 피처리물의 이동 통로에 대해 수직한 방향으로 진공하우징(H)에 연통되고, 상기 슬롯(S)을 개폐하기 위한 밀폐부재(110)를 진공하우징(H)에 이동시키는 밸브구동부(120)가 구비되는 공간을 제공하며, 상기 밀폐부재(110)와 별도로 형성된다.

여기서, 상기 진공하우징(H)과 하우징브라켓(B)은 진공 상태를 유지하도록 상호간 연결되는 것이 바람직하며, 진공하우징(H)에 연결되는 하우징브라켓(B)의 일단에는 상호간 연결과 지지를 용이하게 하기 위한 플랜지(미부호)가 형성된다.

상기 밀폐부재(110)는, 후술된 메인샤프트(121)의 상측에 결합되어 상기 메인샤프트(121)의 수직 상하 및 좌우 방향의 회동에 따라 'L'자 형상의 운동 패턴을 가지면서 웨이퍼 이동통로를 개방 또는 폐쇄한다.

여기서, 상기 밀폐부재(110)에는 히팅부재(미도시)가 더 구비되어, 상기 처리모듈(미도시)과 이송모듈(미도시)의 밀폐시 상기 모듈의 챔버 내부와 동일한 온도로 발열되도록 하여 상기 밀폐부재(110)에 낮은 온도로 인해 발생되는 파티클(Particle)이 증착되는 것을 방지하는 것이 바람직하다.

상기 밸브구동부(120)의 메인샤프트(121)는, 상기 밀폐부재(110)에 일단이 결합되어 진공하우징(H)의 하우징브라켓(B)측에 위치된다.

상기 밸브구동부(120)의 모션블록(122)은, 하우징브라켓(B)의 내부에 구비되고 상기 메인샤프트(121)의 타단이 끼워지도록 삽입되며 메인샤프트(121)가 진공하우징(H)을 향하여 수직 상하 이동하고 진공하우징(H)의 슬롯(S)을 향하여 수직 좌우 이동 가능하게 즉, 'L'자 형상의 운동 패턴을 가지도록 한다.

이를 위하여, 상기 모션블록(122)은, 하우징브라켓(B)의 상부 양측면에 형성되는 제1 가이드홈(123)에 끼워져 메인샤프트(121)가 진공하우징(H)을 향하여 수직 상하 이동하도록 하는 가이드롤러(122a)와, 하우징브라켓(B)의 하부 양측면에 '

'형상으로 형성되는 제2 가이드홈(127)에 끼워져 메인샤프트(121)가 진공하우징(H)의 슬롯(S)을 향하여 수직 좌우 이동하도록 하는 가이드링크(122b)를 포함한다.

따라서 상기와 같은 모션블록(122)에 의하면, 모션블록(122)의 가이드롤러(122a)가 제1 가이드홈(123)을 따라 수직 상하 이동시 가이드링크(122b)가 제2 가이드홈(127)의 경사면을 승월 또는 하강하는 경우 메인샤프트(121)가 진공하우징(H)의 슬롯(S)을 향하여 수직 좌우 이동하게 되어 슬롯(S)이 밀폐되도록 할 수 있다.

여기서, 상기 가이드링크(122b)는 상기 제2 가이드홈(127)의 경사면을 따라 슬라이딩 이동하기 때문에, 종래에서와 같이, 가이드링크(122b)의 회전운동으로 인해 가이드링크(122b)와 제2 가이드홈(127)에 발생되는 반복적인 마찰을 방지할 수 있고 이를 통하여 가이드링크(122b)와 제2 가이드홈(127)의 상호간 응력집중이 발생되지 않도록 하여 내구성을 향상시킬 수 있다.

상기 밸브구동부(120)의 에어실린더(124)는, 공지의 액츄에이터로써, 상기 하우징브라켓(B)의 하측부에 위치되고 내부에 구비된 피스톤(124a)을 에어실린더(124)의 공기 압력을 통해 구동되도록 하여 상기 피스톤(124a)에 결합되는 피스톤샤프트(124b)가 무빙유닛(125)을 수직 상하 방향으로 이동되도록 한다.

상기 밸브구동부(120)의 무빙유닛(125)은, 연결부재 예를 들면, 피스톤샤프트(124b)에 끼워지는 보조샤프트(125b)와 상기 보조샤프트(125b)의 일단에 지지되고 무빙유닛(125)이 연결되는 연결프레임(125c) 등을 통하여 상기 피스톤샤프트(124b)에 결합되어 상기 피스톤샤프트(124b)와 동일한 방향 즉, 수직 상하 방향으로 왕복운동하며, 이때, 무빙유닛(125)의 무빙링크(125a)가 상기 하우징브라켓(B)의 제3 가이드홈(128)에 끼워져 가이드된다.

여기서, 상기 무빙유닛(125)의 외주에는 센서(미도시)가 형성되어 무빙유닛(125)의 수직 상하 이동을 외부에서 확인 가능하도록 예를 들면, 자석 등을 이용하여 상기 자석에서 발산되는 자기장에 의해 외부에서 무빙유닛(125)의 위치를 확인하도록 하는 것이 바람직하다.

상기 밸브구동부(120)의 연결링크(126)는, 상기 무빙유닛(125)과 모션블 록(122)의 일단을 연결되도록 하며, 상기 무빙유닛(125)이 에어실린더(124)에 의해 수직하게 상측 방향으로 구동되는 경우 상기 모션블록(122)이 제1 및 제2 가이드홈(123,127)을 따라 가이드 되도록 모션블록(122)에 구동력을 전달함과 동시에, 상기 모션블록(122)의 가이드링크(122b)가 '

'형상의 제2 가이드홈(127)의 경사면 승월시 시계 방향으로 수평하게 회동된다.

따라서 모션블록(122)의 가이드링크(122b)가 위치된 부분이 상기 경사면 높이에 대응되도록 우측으로 상향 이동되고, 모션블록(122)에 연결된 메인샤프트(121)가 진공하우징(H)의 좌측에 형성된 슬롯(S)을 향해 이동되도록 하여 밀폐부재(110)에 의해 상기 슬롯(S)이 밀폐되도록 하고 이어서, 상기 밀폐상태가 록킹(Locking)되도록 한다.

또한, 상기 연결링크(126)는, 상기 무빙유닛(125)이 에어실린더(124)에 의해 수직하게 하측 방향으로 구동되는 경우 모션블록(122)이 제1 및 제2 가이드홈(123,127)을 따라 가이드 되도록 모션블록(122)에 구동력을 전달함과 동시에, 상기 모션블록(122)의 가이드링크(122b)가 '

'형상의 제2 가이드홈(127)의 경사면 하강시 반시계 방향으로 비스듬하게 회동된다.

따라서 모션블록(122)의 가이드링크(122b)가 위치된 부분이 상기 경사면 높이에 대응되도록 좌측으로 하향 이동되고, 모션블록(122)에 연결된 메인샤프트(121)가 진공하우징(H)의 좌측에 형성된 슬롯(S)으로부터 이격되어 상기 슬롯(S)이 밀폐부재(110)로부터 개방되도록 하고 이어서, 상기 개방상태가 유지되도록 한 다.

따라서 상기와 같은 밸브구동부(120)에 의하면, 밀폐부재(110)에 메인샤프트(121)를 매개로 연결되는 연결링크(126)를 가이드하는 모션블록(122)의 가이드링크(122b)가 '

'형상으로 형성된 제2 가이드홈(127)에 가이드됨으로써, 상기 밀폐부재(110)가 웨이퍼 이동통로 개폐를 위한 'L-모션'을 가능하게 하여 밀폐부재를 구동시키는 밸브구동부의 구동을 개선할 수 있다.

또한, 상기 가이드링크(122b)가 '

'형상으로 형성된 제2 가이드홈(127)을 따라 승월 또는 하강 슬라이딩되도록 하여 상기 가이드링크(122b)와 제2 가이드홈(127) 상호간 응력집중 발생을 억제할 수 있고 이를 통하여 내구성을 향상시킬 수 있다.

이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 게이트 밸브의 작용과 효과에 대해 설명하기로 한다.

먼저, 게이트 밸브가 닫힐 때의 과정을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 도 5a와 도 5b에 도시된 바와 같이, 에어실린더(124)에 압축 공기가 유입되면 피스톤(124a)과 피스톤샤프트(124b)는 상승하게 되고, 이에 따라 피스톤샤프트(124b)에 연결된 무빙유닛(125)의 무빙링크(125a)가 제3 가이드홈(128)을 따라 상승하게 된다.

이와 동시에, 무빙유닛(125)에 연결링크(126)를 매개로 연결된 모션블록(122)의 가이드롤러(122a)와 가이드링크(122b)가 각각 제1 가이드홈(123)과 제2 가이드홈(127)을 따라 상승 동작하게 된다.

이때, 모션블록(122)에 연결된 메인샤프트(121)는 하우징브라켓(B)으로부터 진공하우징(H)측으로 상승하게 되고 이에 따라 메인샤프트(121)에 연결된 밀폐부재(110)가 진공하우징(H)의 슬롯(S)에 대응되는 위치를 가지게 된다.

이후, 도 5c에 도시된 바와 같이, 무빙유닛(125)의 무빙링크(125a)와 모션블록(122)의 가이드롤러(122a)가 각각 제3 가이드홈(128)과 제1 가이드홈(123)의 상측부에 위치하게(다다르게) 되면, 모션블록(122)의 가이드링크(122b)가 '

'형상의 제2 가이드홈(127)의 경사면을 따라 승월하게 된다.

이와 동시에, 무빙유닛(125)과 모션블록(122)을 연결하는 연결링크(126)가 시계방향으로 수평하게 회동하게 되어 모션블록(122)의 가이드링크(122b)가 위치된 부분이 상기 경사면 높이에 대응되도록 우측으로 상향 이동되고, 모션블록(122)에 연결된 메인샤프트(121)가 진공하우징(H)의 좌측에 형성된 슬롯(S)을 향해 이동하여 밀폐부재(110)가 상기 슬롯(S)을 밀폐하게 된다.

다음으로, 게이트 밸브가 열릴 때의 과정을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 도 5c와 도 5b에 도시된 바와 같이, 에어실린더(124)에 압축 공기가 배출되면 피스톤(124a)과 피스톤샤프트(124b)는 하강하게 되고, 이에 따라 피스톤샤프트(124b)에 연결된 무빙유닛(125)의 무빙링크(125a)가 제3 가이드홈(128)을 따라 하강하게 된다.

이와 동시에, 무빙유닛(125)에 연결링크(126)를 매개로 연결된 모션블록(122)의 가이드롤러(122a)와 가이드링크(122b)가 각각 제1 가이드홈(123)과 제2 가이드홈(127)을 따라 하강 동작하게 된다.

이때, 무빙유닛(125)의 무빙링크(125a)와 모션블록(122)의 가이드롤러(122a)가 각각 제3 가이드홈(128)과 제1 가이드홈(123)의 상측부로부터 일정거리 하측을 향하여 위치하게 되면, 모션블록(122)의 가이드링크(122b)가 '

'형상의 제2 가이드홈(127)의 경사면을 따라 하강하게 되고, 이와 동시에, 무빙유닛(125)과 모션블록(122)을 연결하는 연결링크(126)가 반시계방향으로 비스듬하게 회동하게 되어 모션블록(122)의 가이드링크(122b)가 위치된 부분이 상기 경사면 높이에 대응되도록 좌측으로 하향 이동되고, 모션블록(122)에 연결된 메인샤프트(121)가 진공하우징(H)의 좌측에 형성된 슬롯(S)의 우측으로 이동하게 되어 밀폐부재(110)가 상기 슬롯(S)으로부터 이격되게 된다.

이후, 모션블록(122)에 연결된 메인샤프트(121)는 진공하우징(H)측으로부터 하우징브라켓(B)측으로 하강하게 되고 이에 따라 메인샤프트(121)에 연결된 밀폐부재(110)가 진공하우징(H)의 슬롯(S)을 개방하게 된다.

따라서 본 발명에 의하면, 밀폐부재(110)에 메인샤프트(121)를 매개로 연결되는 연결링크(126)를 가이드하는 모션블록(122)의 가이드링크(122b)가 '

또한, 상기 가이드링크(122b)가 '

'형상으로 형성된 제2 가이드홈(127)을 따라 승월 또는 하강 슬라이딩되도록 하여 상기 가이드링크(122b)와 제2 가이드 홈(127) 상호간 응력집중 발생을 억제할 수 있고 이를 통하여 내구성을 향상시킬 수 있다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

도 1a 내지 도 1d는 각각 종래의 게이트 밸브를 개략적으로 나타낸 정단면도와 동작 상태를 나타낸 측단면도;

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 게이트 밸브를 나타낸 정면도;

도 3은 도 2의 게이트 밸브를 나타낸 분해 사시도;

도 4a와 도 4b는 각각 도 2의 게이트 밸브를 나타낸 정단면도와 측단면도; 및

도 5a 내지 도 5c는 각각 도 2의 게이트 밸브의 개폐동작을 나타낸 측단면도이다.

*도면부호설명*

H : 진공하우징 S : 슬롯

B : 하우징브라켓 110 : 밀폐부재

120 : 밸브구동부 121 : 메인샤프트

122 : 모션블록 123 : 제1 가이드홈

124 : 에어실린더 125 : 무빙유닛

126 : 연결링크 127 : 제2 가이드홈

128 : 제3 가이드홈

Claims

처리모듈(미도시)측과 이송모듈(미도시)측 사이에 구비되어 피처리물이 이동되는 통로인 진공하우징(H)에 형성된 슬롯(S)을 개폐하는 밀폐부재(110)와;

상기 진공하우징(H)의 일측에 연통되는 하우징브라켓(B)에 구비되어 상기 밀폐부재(110)를 'L'자로 구동시키는 밸브구동부(120)를 포함하며,

상기 밸브구동부(120)는,

상기 밀폐부재(110)에 일단이 결합되는 메인샤프트(121);

상기 메인샤프트(121)가 진공하우징(H)을 향하여 상하/좌우 이동 가능하게 연결되며 상부 양측면에 가이드롤러(122a)가 형성되고 하부 양측면에 가이드링크(122b)가 형성되는 모션블록(122);

상기 하우징브라켓(B)의 내부 양측면 상부에 수직 상하방향으로 형성되며 모션블록(122)의 가이드롤러(122a)가 끼워져 가이드되는 제1 가이드홈(123);

상기 하우징브라켓(B)의 단부에 형성되어 공기의 압력에 의해 구동되는 피스톤(124a)과 상기 피스톤(124a)에 연결된 피스톤샤프트(124b)를 가지는 에어실린더(124);

상기 하우징브라켓(B)의 내부에 구비되어 상기 피스톤샤프트(124b)에 결합되며 양측면에 무빙링크(125a)가 형성되는 무빙유닛(125);

상기 무빙유닛(125)과 모션블록(122)의 일단을 연결시키는 연결링크(126);

상기 하우징브라켓(B)의 내부 양측면에 형성되어 상기 모션블록(122)의 가이 드링크(122b)가 슬라이딩되도록 하여 상기 연결링크(126)가 메인샤프트(121)의 상하 좌우 운동패턴에 따라 수평하게 회동되도록 하는 제2 가이드홈(127); 및

상기 제2 가이드홈(127)에 대향되도록 하우징브라켓(B)에 형성되어 상기 무빙유닛(125)의 무빙링크(125a)가 끼워져 가이드되는 제3 가이드홈(128)을 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
제1항에 있어서, 상기 제2 가이드홈(127)은, '
'형상을 가지는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
제2항에 있어서, 상기 가이드링크(122b)는 상기 제2 가이드홈(127)의 경사면을 따라 승월 또는 하강 슬라이딩하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
제1항에 있어서, 상기 밀폐부재(110)에는 상기 처리모듈(미도시)과 이송모듈(미도시)의 밀폐시 상기 모듈의 챔버 내부와 동일한 온도로 발열되는 히팅부재(미도시)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.