KR101236013B1 - 진공챔버 개폐장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 진공챔버 개폐장치에 관한 것으로, 구체적으로 본 발명은 게이트의 밀폐력이 향상되고, 오링의 말림현상이 없어 오링의 교체 주기 및 수명을 늘릴 수 있으며, 실린더에 공기가 공급되지 않는 상태에서 게이트의 밀폐 풀림 현상을 최대한 방지할 수 있는 진공챔버 개폐장치에 관한 것이다.

Description

진공챔버 개폐장치{APPARATUS FOR OPENING AND CLOSING OF VACUUM CHAMBER}
본 발명은 진공챔버 개폐장치에 관한 것으로, 구체적으로 본 발명은 게이트의 밀폐력이 향상되고, 오링의 말림현상이 없어 오링의 교체 주기 및 수명을 늘릴 수 있으며, 실린더에 공기가 공급되지 않는 상태에서 게이트의 밀폐 풀림 현상을 최대한 방지할 수 있는 진공챔버 개폐장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 공정에서 웨이퍼가 해당 공정 작업을 수행하기 위하여 로봇이나 캐리어 등의 운반수단에 의해 운반되어진 웨이퍼가 정상적으로 놓여 있는지 여부를 확인하고 가스를 제거하는 공정을 진공챔버에 의해 수행하고 있다.
상기 진공챔버(Degas Chamber)는 웨이퍼가 해당 공정 작업을 수행하기 전에공정 예비 환경을 조성시키기 위한 일종의 진공 예비실에 해당된다. 이러한 진공챔버에는 복수의 출입구가 나란히 구비되고 내부에는 웨이퍼를 반입 및 반출시킬 수 있도록 작동되는 로봇 핸들러(Robot Handler)가 각각 설치되어 있다. 즉, 상기 로봇 핸들러의 이송대 위에 웨이퍼를 올려놓고 핸들러의 작동에 따라 여러 공정 챔버 쪽으로 각 출입구를 통하여 이송대 위에 올려진 웨이퍼가 반입 및 반출될 수 있도록 이송된다.
그리고 반도체 처리장치는 웨이퍼 등을 각종 진공챔버를 통하여 출입시키는 것이 실행되고 있으며, 상기 통로에는 각각 진공챔버 개폐장치가 설치되어 있다. 상기 진공챔버에는 가능한 한 불순물이 혼입되지 않도록 할 필요가 있다.
한편, 대한민국 등록특허 제10-0338164호에는 밸브 상자와, 이 밸브 상자안에 설치한 밸브 시트에 마주 접하도록 상기 밸브 상자안에 배치한 밸브 데스크와, 이 밸브 데스크에 연결한, 상기 밸브 상자안으로부터 밸브 상자밖에 벨로즈를 통해 상하운동 및 경사운동 자유롭게 기밀하게 돌출하는 밸브 로드와, 이 밸브 로드를 통해 상기 밸브 데스크를 상기 밸브시트에 대향하는 위치와 대향하지 않는 위치로 이동 자유롭게 하고, 상기 밸브 데스크가 상기 밸브 시트에 이곳으로부터 이간하여 대향하는 위치가 된 후, 상기 밸브 로드를 경사운동하여 상기 밸브 데스크가 상기 밸브 시트에 눌려지도록 한, 밸브 상자 외부에 설치한 이동수단으로 구성되며, 상기 이동수단이 피스톤 실린더 장치와, 이 피스톤 실린더 장치의 피스톤 로드와 상기 밸브 로드를 서로 연결하기 위해 이들의 한쪽 및 다른쪽에 각각 설치한 롤러 및 이 롤러에 계합하는 경사진 긴 구멍과, 상기 피스톤 로드 및 밸브 로드를 축방향으로 서로 이간하도록 억제하는 스프링과, 상기 밸브 로드를 상하운동 및 경사운동 자유롭게 가이드하기 위해 상기 피스톤 실린더 장치의 실린더에 형성한 가이드로 구성되며, 상기 피스톤 실린더 장치에 의해 상기 피스톤 로드를 상기 밸브 로드에 대해 접근하도록 눌렀을 때, 상기 롤러 및 경사진 긴 구멍을 통해 상기 밸브 로드가 경사하고, 상기 밸브 데스크가 상기 밸브 시트에 눌러지게 되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브가 개시되어 있다.
그러나, 상기 등록특허는 밸브로드가 수직축을 중심으로 밸브데스크 쪽으로 기울어져 밀폐시키기 때문에, 밸브데스크가 평행하게 이동하지 않아 밀폐가 완벽하게 이루어지지 않는 구조를 가지게 된다. 그리고 밸브데스크에 조립된 오링의 말림현상이 일어날 수 있다.
또한, 실린더에 공급되는 공기가 차단되었을 때 밸브데스크의 밀폐가 풀리기 쉬운 구조라는 문제가 있었다.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 수직하게 형성되는 두개의 롤러가 평행하게 이동하고, 밀폐부재가 수직 및 수평 방향으로 이동하는 구조이기 때문에 밀폐력이 향상되는 진공챔버 개폐장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 오링의 말림현상이 없어 오링의 교체 주기를 늘릴 수 있는 진공챔버 개폐장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 실린더에 공기가 공급되지 않는 상태에서 게이트의 밀폐 풀림 현상을 최대한 방지할 수 있는 진공챔버 개폐장치를 제공하는 것이다.
이러한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 수단으로서, 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치는 진공챔버의 개구부에 장착되고 게이트가 형성되는 챔버; 상기 챔버에 수용되고 샤프트에 이동에 의해 상기 게이트를 개폐하는 밀폐부재; 및 상단은 상기 샤프트에 결합하고, 하단은 실린더장치와 결합하여 상기 밀폐부재를 수직 및 수평 방향으로 이동시키는 가이드블럭부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치의 가이드블럭부는 상기 샤프트와 결합하고, 양 측면의 상부에는 한 쌍의 제1결합편이 형성되며, 그 하부에는 한 쌍의 제2결합편이 형성되는 제1블럭; 상기 제1블럭의 제1결합편과 결합하는 제1롤러와, 상기 제1롤러의 이동범위를 안내하는 가이드홈과, 상기 제2결합편이 삽입되어 그 이동범위를 안내하는 가이드홀을 포함하는 수직부; 및 상기 수직부 사이에 위치하고 상기 실린더장치와 연결되도록 실린더 고정홀이 형성되는 수평부를 포함하는 제2블럭; 및 상기 제2결합편과 결합하는 제2결합편 및 상기 제2결합편의 이동범위를 안내하는 수직가이드홈이 형성되는 제3블럭;을 포함하되, 상기 수직가이드홈의 상단부에는 상기 밀폐부재가 상기 진공챔버의 개구부 쪽으로 압착되도록 압착홈부가 더 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치의 수직가이드홈의 내측으로 요입되는 유동방지홈이 더 형성되고, 상기 제2결합편은 상기 가이드홀에 끼워지는 롤러부와, 상기 롤러부의 외측으로 돌출되어 제2롤러가 끼워지는 결합부로 이루어지며, 상기 제2롤러는 외측으로 돌출되는 유동방지롤러부가 형성되어 상기 유동방지홈에 끼워지는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치의 가이드홈 및 가이드홀은 동일한 각도로 경사지는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치의 수직부의 후방에는 상기 제2블럭이 수직방향으로 원활하게 이동할 수 있도록 상기 제3블럭의 일측면과 인접하게 설치되는 고정롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치의 수직부에는 캠가이드부가 더 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치의 밀폐부재와 샤프트는 일체로 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치의 챔버의 하단부에는 상기 샤프트가 끼워지는 샤프트 삽입홀이 형성되되, 상기 샤프트 삽입홀은 상기 밀폐부재가 수평방향으로 이동하여 상기 게이트를 밀폐할 수 있는 직경으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이상과 같은 구성의 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치에 의하면, 밀폐부재가 수직 및 수평 방향으로 이동하는 구조이기 때문에 밀폐력이 향상되는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치에 의하면, 오링의 말림현상이 없어 오링의 교체 주기를 늘릴 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치에 의하면, 실린더에 공기가 공급되지 않는 상태에서 게이트의 밀폐 풀림 현상을 최대한 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치의 바람직한 일실시예를 도시하는 사시도이다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치의 전면부, 후면부 및 가이드블럭부를 각각 도시하는 분해사시도이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치의 게이트가 개방된 모습을 도시하는 A-A 방향의 종단면도 및 B-B 방향의 종단면도이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치의 게이트가 개방된 모습을 도시하는 C-C 방향의 종단면도 및 D-D 방향의 종단면도이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치의 게이트가 일부 폐쇄된 모습을 도시하는 A-A 방향의 종단면도 및 B-B 방향의 종단면도이다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치의 밀폐부재가 상승한 모습을 도시하는 C-C 방향의 종단면도 및 D-D 방향의 종단면도이다.
도 7a 및 도 7b는 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치의 게이트가 밀폐된 모습을 도시하는 A-A 방향의 종단면도 및 B-B 방향의 종단면도이다.
도 8a 및 도 8b는 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치의 게이트가 밀폐된 모습을 도시하는 C-C 방향의 종단면도 및 D-D 방향의 종단면도이다.
도 9는 본 발명에 따른 가이드홈 및 가이드홀을 도시하는 도면이다.
이하 본 발명의 실시예에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 보다 구체적으로 설명한다.
다만, 본 발명의 설명에서 동일 또는 유사한 구성요소는 동일 또는 유사한 도면번호를 부여하고, 그 자세한 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치의 바람직한 일실시예를 도시하는 사시도이고, 도 2a 내지 도 2c는 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치의 전면부, 후면부 및 가이드블럭부를 각각 도시하는 분해사시도이다.
도 1 내지 도 2c에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치는 크게 진공챔버의 개구부에 장착되고 게이트(11)가 형성되는 챔버(10)와, 상기 챔버(10)에 수용되고 샤프트(25)에 이동에 의해 상기 게이트(11)를 개폐하는 밀폐부재(20) 및 상단은 상기 샤프트(25)에 결합하고, 하단은 실린더장치(80)와 결합하여 상기 밀폐부재(20)를 수직 및 수평 방향으로 이동시키는 가이드블럭부(30)를 포함하여 이루어진다.
먼저, 본 발명에 따른 진공챔버는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼가 해당 공정 작업을 수행하기 위해 로봇이나 캐리어 등의 운반수단에 의해 운반되어진 웨이퍼가 정상적으로 놓여 있는지 여부를 확인하고 가스를 제거하는 공정을 수행하는 역할을 한다.
본 발명에 따른 챔버(10)는 밀폐부재(20)를 수용하도록 내부공간이 형성되고 상기 밀폐부재(20)의 수직 및 수평 방향의 이동으로 게이트(11)의 개폐가 이루어진다.
상기 챔버(10)의 하단부에는 탈부착이 가능한 베이스 플레이트(13)가 형성되고, 상기 베이스 플레이트(13)에는 샤프트(25)가 삽입되는 샤프트 삽입홀(14)이 형성된다.
상기 샤프트 삽입홀(14)은 상기 밀폐부재(20)가 수평방향으로 이동하여 상기 게이트를 밀폐하거나 개방할 수 있는 직경으로 이루어진다. 즉, 샤프트 삽입홀(14)의 직경은 적어도 샤프트(25)가 수평방향으로 이동하는 밀폐부재(20)의 작동에 방해받지 않는 크기로 형성되는 것이 바람직하다.
상기 밀폐부재(20)는 샤프트(25)의 상단에 고정되어 샤프트(25)와 함께 움직이게 된다. 그리고 상기 밀폐부재(20)에는 상기 게이트(11)를 밀폐시키도록 오링(21)(O-ring)이 부착될 수 있다.
상기 샤프트(25)는 상단에 상기 밀폐부재(20)를 고정하는 밀폐부재 고정부(27)가 별도로 형성되어 밀접하게 결합시킬 수도 있으나, 밀폐부재 고정부와 밀폐부재가 일체로 형성될 수도 있다.
본 발명에 따른 가이드블럭부(30)는 실린더장치(80)에서 공급되는 수직 방향의 힘을 수직 및 수평 방향으로 전환하여 상기 샤프트(25)에 전달하는 역할을 한다.
본 발명에 따른 가이드블럭부(30)는 크게 상기 샤프트(25)와 결합하는 제1블럭(40)과, 상기 제1블럭(40)의 양 측면에 결합하는 제2블럭(50)과, 상기 제2블럭(50)의 외측에 결합하는 제3블럭(60)을 포함한다.
구체적으로, 상기 가이드블럭부(30)는 상기 샤프트(25)와 결합하고, 양 측면의 상부에는 한 쌍의 제1결합편(43)이 형성되며, 그 하부에는 한 쌍의 제2결합편(520)이 형성되는 제1블럭(40)과, 상기 제1블럭(40)의 제1결합편(43)과 결합하는 제1롤러(510)와, 상기 제1롤러(510)의 이동범위를 안내하는 가이드홈(511)과, 상기 제2결합편(520)이 삽입되어 그 이동범위를 안내하는 가이드홀(512)을 포함하는 한 쌍의 수직부(51); 및 상기 한 쌍의 수직부(51) 사이에 위치하고 상기 실린더장치(80)와 연결되도록 실린더 고정홀(57)이 형성되는 수평부(55)를 포함하는 제2블럭(50) 및 상기 제2결합편(520)과 결합하는 제2롤러(64) 및 상기 제2결합편(520)의 이동범위를 안내하는 수직가이드홈(61)이 형성되는 제3블럭(60)을 포함한다.
본 발명에 따른 제1블럭(40)에는 샤프트 끼움홈(41)이 형성되어 샤프트(25)가 샤프트 끼움홈(41)에 밀접하게 끼워져 결합하게 된다. 따라서 상기 샤프트(25) 및 샤프트에 고정된 밀폐부재(20)는 상기 제1블럭(40)의 움직임에 따라 이동하게 된다. 한편, 밀폐부재 고정부(27)와 샤프트 끼움홈(41)에 형성되는 단턱(42) 사이에는 벨로즈(47)(bellows)가 위치하여 샤프트(25)의 외주면을 감싸게 된다.
상기 제1블럭(40)의 상부에는 양 측면에 각각 제1결합편(43)이 돌출형성되어 제2블럭(50)의 제1롤러(510)와 결합한다. 그리고 상기 제1블럭(40)의 하부에는 양 측면에 각각 제2결합편(520)이 형성되어 제2블럭(50)의 가이드홀(512)에 삽입된다.
본 명세서에서는 제1결합편 및 제2결합편이 제1블럭에 일체로 성형되는 것을 중심으로 설명하지만, 이는 하나의 예시에 불과하고, 제1결합편 및 제2결합편이 제1블럭과 별개로 제작되어 끼워지도록 구성하는 것도 가능함을 밝혀둔다.
상기 제2결합편(520)은 상기 가이드홀(512)에 끼워지는 롤러부(521)와, 상기 롤러부(521)의 외측으로 돌출되어 상기 제2롤러(64)가 끼워지는 결합부(523)로 이루어진다.
이때, 상기 제1롤러(510) 및 제2결합편(520)는 각각 사선 방향으로 경사진 가이드홈(511) 및 가이드홀(512)을 따라 수직 방향은 물론, 수평 방향으로 이동하게 되므로, 상기 제1블럭(40)도 제1롤러(510) 및 제2결합편(520)의 움직임에 따라 수직 및 수평 방향으로 이동하게 된다.
본 발명에 따른 제2블럭(50)은 상기 제1블럭(40)의 양 측면에 위치하도록 한 쌍이 형성되는 수직부(51)와, 상기 수직부(51)의 하부에 위치하는 수평부(55)로 이루어진다.
상기 수직부(51)는 상기 제1블럭(40)의 제1결합편(43)과 결합하는 제1롤러(510)와, 상기 제1롤러(510)의 이동범위를 안내하는 가이드홈(511)과, 상기 제2결합편(520)이 삽입되어 이동범위를 안내하는 가이드홀(512)을 포함한다.
상기 가이드홈(511) 및 가이드홀(512)은 서로 동일한 각도로 경사지고, 동일 수직선 상에 형성되는 것이 바람직하다.
왜냐하면, 서로 동일한 각도로 경사진 가이드홈(511) 및 가이드홀(512)은 제1롤러(510) 및 제2결합편(520)이 동일한 방향으로 이동하도록 해주고, 상기 제1블럭(40)이 안정적으로 이동할 수 있는 구조를 형성하기 때문이다.
상기 수직부(51)의 후방에는 상기 제2블럭(50)이 수직방향으로 원활하게 이동할 수 있도록 상기 제3블럭(60)의 일측면, 구체적으로 롤러 지지대(65)와 인접하게 설치되는 고정롤러(530)를 더 포함할 수 있다. 상기 제2블럭(50)이 수직방향으로 상승할 때에는 상기 롤러 지지대(65)에 접한 고정롤러(530)의 회전에 의해 마찰력을 감소시켜 원활한 이동을 할 수 있다.
상기 수직부(51)의 내측에는 금속으로 이루어지는 제1블럭(40) 및 제2블럭(50)이 서로 접하면서 발생하는 마찰 및 마모를 방지하지 위해 합성수지 소재의 윤활부재(517)가 형성되는 것이 바람직하다. 상기 윤활부재(517)는 상기 수직부(51)의 내면과 제1블럭(40)의 이격된 공간으로 돌출되도록 구성하게 된다.
한편, 상기 수평부(55)는 상기 수직부(51)의 하단 및 상기 실린더장치(80)에 고정되어 실린더(81)의 동력을 전달하는 역할을 한다.
본 발명에 따른 제3블럭(60)은 상기 제2블럭(50)의 양 측면에 고정되도록 한 쌍으로 이루어지고, 상단은 상기 챔버(10)의 베이스 플레이트(13)에 고정되고 하단은 실린더 블럭(85)에 고정된다. 상기 수직가이드홈(61)은 상기 제2결합편(520) 및 제1블럭(40)의 수직 상승과 수평 이동을 조절하는 역할을 한다.
상기 수직가이드홈(61)의 상단부에는 상기 밀폐부재(20)가 상기 챔버의 게이트(11) 쪽으로 압착될 수 있도록 압착홈부(63)가 더 형성된다.
상기 수직가이드홈(61)에서 이동하는 상기 제2롤러(64)는 상기 제2결합편(520)의 결합부(523)에 결합한다. 그리고 제2롤러(64)는 그 외측으로 돌출되는 유동방지롤러부(641)가 형성되어 유동방지홈(67)에 끼워진다.
그리고 상기 수직가이드홈(61)에는 외측으로 요입되는 유동방지홈(67)이 더 형성되되, 상기 유동방지롤러부(641)와 유동방지홈(67) 사이의 간격은 제2롤러(64)와 수직가이드홈(61)의 간격보다 좁게 형성되어 제2롤러(64)가 상승시 좌우로 유동되는 것을 방지하게 된다.
상기 수직가이드홈(61)의 제2롤러(64)에 고정된 상기 제2결합편(520)은 물론, 제1롤러(510) 및 제1블럭(40)도 수직가이드홈(61)의 상단부까지 상승할 때까지는 수평방향으로 이동하지 못한다. 그리고 상기 제2롤러(64)가 상기 압착홈부(63)로 들어가게 되면서 상기 제1롤러(510), 제2결합편(520) 및 제1블럭(40)은 전방으로 수직이동하게 된다.
본 발명에 따른 실린더장치(80)는 상기 제2블럭(50)의 수평부(55)와 결합하여 수직방향으로 상승시키는 동력을 제공한다.
상기 실린더장치(80)는 유압, 공기압 등에 의해 동력을 생성하는 공지의 실린더(81)와, 상기 실린더(81)의 동력을 전달하는 실린더 샤프트(83)와, 실린더(81) 및 상기 제2블럭(50)의 수평부(55)를 결합시키는 실린더블럭(85)으로 이루어진다.
상기 실린더 샤프트(83)의 일단은 상기 실린더블럭(85)을 관통하여 상기 실린더 고정홀(57)에 고정되고, 타단은 실린더(81)에 고정된다.
이하에서는 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치의 작동되는 과정을 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치의 게이트가 개방된 모습을 도시하는 A-A 방향의 종단면도 및 B-B 방향의 종단면도이고, 도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치의 게이트가 개방된 모습을 도시하는 C-C 방향의 종단면도 및 D-D 방향의 종단면도이다.
도 3a 내지 도 4b에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치는 실린더(81)의 구동을 위해 공급되는 공기(air)가 공급되지 않는 상태에서는 제1롤러(510) 및 제2결합편(520)은 각각 가이드홈(511) 및 가이드홀(512)의 상단부에 위치하고, 상기 제2결합편(520)에 연결된 제2롤러(64)는 수직가이드홈(61)의 하단에 위치에 위치하게 된다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치의 게이트가 일부 폐쇄된 모습을 도시하는 A-A 방향의 종단면도 및 B-B 방향의 종단면도이고, 도 6a 및 도 6b는 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치의 밀폐부재가 상승한 모습을 도시하는 C-C 방향의 종단면도 및 D-D 방향의 종단면도이다.
도 5a 내지 도 6b에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치는 실린더(81)에 공기가 공급되면서 제2롤러(64)가 수직가이드홈(61)을 따라 수직방향으로 상승하게 된다. 그리고 상기 제2롤러(64)와 연결된 제2블럭(50), 제1블럭(40)이 동시에 상승하게 된다. 이때, 제1롤러(510), 제2결합편(520) 및 제1블럭(40)은 하부로 내려오지 않는데, 이는 제2롤러(64)가 수직가이드홈(61)에 결합되어 이동범위를 제한하고 있기 때문이다. 따라서 이동가능한 제1롤러(510), 제2결합편(520)과 일체로 결합된 제1블럭(40)은 중력에 의해 아래로 내려오려는 힘(반발탄성)이 작용하게 된다. 이러한 반발탄성은 밀폐부재(20)가 수평방향으로 움직일 수 있는 동력이 된다.
도 7a 및 도 7b는 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치의 게이트가 밀폐된 모습을 도시하는 A-A 방향의 종단면도 및 B-B 방향의 종단면도이고, 도 8a 및 도 8b는 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치의 게이트가 밀폐된 모습을 도시하는 C-C 방향의 종단면도 및 D-D 방향의 종단면도이다.
도 7a 내지 도 8b에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 진공챔버 개폐장치는 제2롤러(64)가 수직가이드홈(61)의 압착홈부(63)로 수평이동하면서 밀폐부재(20)는 수평방향으로 이동하여 챔버(10)의 게이트(11)를 밀폐시키게 된다.
상기한 바와 같이, 제2롤러(64)가 압착홈부(63) 영역까지 상승하게 되면, 상기 제1블럭(40)에 의해 작용하는 반발탄성에 의해 압착홈부(63)로 순간적으로 수평이동하게 된다. 이와 같이, 상기 압착홈부(63)에 순간적으로 수평이동하는 제2롤러(64)에 의해 보다 효율적인 밀폐가 이루어지게 된다.
또한, 제1롤러(510) 및 제2결합편(520)의 롤러부(521)가 쌍을 이루어 평행하게 이동하기 때문에 보다 안정적이고 강력한 압착력을 발휘할 수 있게 된다.
도 9는 본 발명에 따른 가이드홈 및 가이드홀을 도시하는 도면으로서, 도 8에 도시된 바와 같이 가이드홈(511) 및 가이드홀(512)은 동일한 형상으로 이루어져 있다. 그리고 가이드홈(511)에는 수직방향으로 형성되는 직선구간(X,X')이 형성되고, 상기 가이드홀에도 상기 직선구간(X,X')과 대응되는 위치에 직선구간(Y,Y')이 형성되어 있다.
이러한 상기 수직 직선구간(X,X')(Y,Y')은 실린더에 공급되는 공기가 차단되는 상황에서 밀폐부재(20)가 후방으로 밀려 게이트(11)의 밀폐가 풀리는 현상을 최대한 방지할 수 있게 된다.
이상에서 설명된 본 발명은 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속한 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 잘 알 수 있을 것이다. 그러므로 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 형태로만 한정되는 것은 아님을 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다. 또한, 본 발명은 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신 그 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
10 : 챔버 11 : 게이트
13 : 베이스 플레이트 14 : 샤프트 삽입홀
20 : 밀폐부재 21 : 오링
25 : 샤프트 27 : 밀폐부재 고정부
29 : 걸림턱 30 : 가이드블럭부
40 : 제1블럭 41 : 샤프트 끼움홈
42 : 단턱 43 : 제1결합편
47 : 벨로즈
50 : 제2블럭 51 : 수직부
510 : 제1롤러 511 : 가이드홈
515 : 연결바 517 : 윤활부재
55 : 수평부 520 : 제2결합편
521 : 롤러부 523 : 결합부
57 : 실린더 고정홀 60 : 제3블럭
61 : 수직가이드홈 63 : 압착홈부
64 : 제2롤러 641 : 유동방지롤러부
65 : 롤러 지지대 67 : 유동방지홈
80 : 실린더장치 81 : 실린더
83 : 실린더샤프트 85 : 실린더블럭

Claims (8)

  1. 진공챔버의 개구부에 장착되고 게이트가 형성되는 챔버; 상기 챔버에 수용되고 샤프트에 이동에 의해 상기 게이트를 개폐하는 밀폐부재; 및 상단은 상기 샤프트에 결합하고, 하단은 실린더장치와 결합하여 상기 밀폐부재를 수직 및 수평 방향으로 이동시키는 가이드블럭부;를 포함하되,
    상기 가이드블럭부는, 상기 샤프트와 결합하고, 양 측면의 상부에는 한 쌍의 제1결합편이 형성되며, 그 하부에는 한 쌍의 제2결합편이 형성되는 제1블럭; 상기 제1블럭의 제1결합편과 결합하는 제1롤러와, 상기 제1롤러의 이동범위를 안내하는 가이드홈과, 상기 제2결합편이 삽입되어 그 이동범위를 안내하는 가이드홀을 포함하는 수직부; 및 상기 수직부 사이에 위치하고 상기 실린더장치와 연결되도록 실린더 고정홀이 형성되는 수평부를 포함하는 제2블럭; 및 상기 제2결합편과 결합하는 제2결합편 및 상기 제2결합편의 이동범위를 안내하는 수직가이드홈이 형성되는 제3블럭;을 포함하고, 상기 수직가이드홈의 상단부에는 상기 밀폐부재가 상기 진공챔버의 개구부 쪽으로 압착되도록 압착홈부가 더 형성되며,
    상기 챔버의 하단부에는 상기 샤프트가 끼워지고, 상기 밀폐부재가 수평방향으로 이동하여 상기 게이트를 밀폐할 수 있는 직경으로 이루어지는 샤프트 삽입홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 진공챔버 개폐장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 수직가이드홈의 내측으로 요입되는 유동방지홈이 더 형성되고,
    상기 제2결합편은 상기 가이드홀에 끼워지는 롤러부와, 상기 롤러부의 외측으로 돌출되어 제2롤러가 끼워지는 결합부로 이루어지며,
    상기 제2롤러는 외측으로 돌출되는 유동방지롤러부가 형성되어 상기 유동방지홈에 끼워지는 것을 특징으로 하는 진공챔버 개폐장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 가이드홈 및 가이드홀은 동일한 각도로 경사지는 것을 특징으로 하는 진공챔버 개폐장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 수직부의 후방에는 상기 제2블럭이 수직방향으로 원활하게 이동할 수 있도록 상기 제3블럭의 일측면과 인접하게 설치되는 고정롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공챔버 개폐장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 수직부에는 캠가이드부가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 진공챔버 개폐장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 밀폐부재와 샤프트는 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공챔버 개폐장치.
  8. 삭제
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