KR100979688B1 - 게이트 밸브 - Google Patents

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KR100979688B1
KR100979688B1 KR1020100010015A KR20100010015A KR100979688B1 KR 100979688 B1 KR100979688 B1 KR 100979688B1 KR 1020100010015 A KR1020100010015 A KR 1020100010015A KR 20100010015 A KR20100010015 A KR 20100010015A KR 100979688 B1 KR100979688 B1 KR 100979688B1
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flange
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최상환
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주식회사 에스알티
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Abstract

본 발명에 의하면, 챔버에 연결되는 유입부와 진공펌프에 연결되는 유출부에 연결되는 유체통로와 상기 유체통로에 직교방향으로 관통하는 슬라이드공간을 가지는 하우징; 상기 슬라이드공간 내에 삽입되어 유체통로를 개폐하는 유체통로밀폐부재; 상기 유체통로밀폐부재를 슬라이드공간 내에 이동시키는 제1액츄에이터; 상기 유체통로의 하측부에 구비되어 상기 유체통로밀폐부재가 유체통로 밀폐시 상기 유체통로 공간을 수직 이동하여 유체통로밀폐부재가 유입부에 밀착되도록 승강시킴과 동시에 슬라이드공간을 개폐시키는 부식방지밀폐부재; 상기 부식방지밀폐부재를 상하로 구동시키는 제2액츄에이터; 상기 부식방지밀폐부재의 상측부에 부식방지밀폐부재의 외측으로부터 내측을 향해 경사지는 사선 방향으로 형성되어 상기 유체통로의 개폐시 상기 유체통로와 슬라이드공간의 유체가 진공펌프에 의해 펌핑되도록 하여 유체통로와 슬라이드공간 사이의 압력차 발생을 억제하는 압력조절공; 및 상기 유입부가 결합되는 유체통로의 플랜지에 구비되어 유체통로의 몸체를 가열시켜 상기 유체통로밀폐부재에 열이 전달되도록 하여 파티클의 침착을 억제하는 히팅부재를 포함하며, 상기 압력조절공은, 상기 부식방지밀폐부재의 몸체 상측에 몸체의 외측으로부터 내측을 향해 유체통로와 슬라이드공간을 연통하도록 경사지는 사선 방향으로 형성되고, 상기 히팅부재는, 상기 유체통로의 플랜지에 코일 형태로 일정 간격을 두고 설치되는 히터와, 상기 플랜지의 외측 하우징의 슬라이드공간 외부에 위치되어 상기 히터에 동작전원을 공급하는 전원공급수단을 포함하는 게이트 밸브가 제공된다.

Description

게이트 밸브{A gate valve}
본 발명은 게이트 밸브에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유체통로 내부에서 유체통로를 개폐시키는 유체통로밀폐부재의 슬라이드공간을 밀폐시키는 부식방지밀폐부재에 압력조절공을 형성하여 유체통로와 슬라이드공간 사이의 압력차 발생을 억제시켜 슬라이드공간에 파티클이 유입되는 것을 억제하고, 상기 유체통로밀폐부재에 의해 밀폐되는 유체통로의 플랜지에 히팅부재를 구비하여 유체통로밀폐부재에 생성되는 파티클을 억제할 수 있는 게이트 밸브에 관한 것이다.
일반적으로 반도체는 고정밀도를 요구하므로 높은 청결도와 특수한 제조기술이 요구되고 있다. 이러한 이유로 반도체 소자는 공기 중에 포함된 이물질의 접촉을 가장 완벽하게 차단할 수 있는 진공상태에서 제조되며, 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 준다.
따라서 반도체 소자의 집적공정이 이루어지는 챔버와 상기 챔버내의 공기를 흡입하는 진공펌프와의 사이에 설치되어, 진공펌프의 흡입력이 챔버로 전달되는 것을 개폐하는 게이트 밸브가 중요한 역할을 담당하게 되므로, 그 수명을 유지하기 위한 노력 또한 중요한 문제점으로 대두되고 있으며, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 '게이트 밸브'등이 개시되고 있다.
이하, 도면을 참조하여 종래의 게이트 밸브에 대해 설명하면 다음과 같다.
도 1a 내지 도 1c는 종래의 게이트 밸브를 나타낸 도면이다.
도 1a 내지 도 1c에 도시된 바와 같이, 종래의 게이트 밸브는, 챔버와 진공펌프 사이에 연결되는 유체통로(10)가 형성되고, 상기 유체통로(10)를 직교방향으로 관통하는 슬라이드공간(20)이 형성된 하우징(30), 상기 슬라이드공간(20) 내에 삽입되어 유체통로(10)를 개폐하는 유체통로밀폐부재(40), 상기 유체통로밀폐부재(40)를 구동시키는 제1 액츄에이터(50), 상기 유체통로(10)와 평행한 방향으로 수직이동을 하며 상기 슬라이드공간(20)을 개폐시키는 부식방지밀폐부재(60), 상기 부식방지밀폐부재(60)를 상하방향으로 이동시키는 제2 액츄에이터(70)를 포함하며, 상기 유체통로밀폐부재(40)는 제1 액츄에이터(50)에 링크 결합되어 슬라이드공간(20)을 이동하는 프레임(41)의 상단에 결합되어 유체통로(10)를 개폐하는 밀폐판(42) 등으로 이루어지며, 상기 부식방지밀폐부재(60)의 수직이동에 따라 상기 밀폐판(42)이 일정거리 승강하여 유체통로(10)를 완전히 밀폐하도록 하고 있다.
그러나 상기와 같은 종래의 게이트 밸브는, 상기 부식방지밀폐부재(60)를 통하여 슬라이드공간(20)을 개폐시 즉, 상기 진공펌프에 의한 펌핑 동작시 상기 유체통로(10)는 진공상태의 공기압력을 가지게 되고 상기 슬라이드공간(20)은 대기상태의 공기압력을 가지게 되기 때문에, 상기 부식방지밀폐부재(60)가 슬라이드공간(20)을 개방할 때 압력의 차이로 인하여 슬라이드공간(20)에 챔버측으로 반응 생성물 즉, 파티클이 유입되게 되는 문제점이 발생하게 된다.
또한, 상기와 같이, 반도체 제조 공정 중 재료가스가 유체통로밀폐부재에 의해 조절되어 공급되거나 배출되는 동안 가스내의 반응 생성물 또는 이물질이 상기 슬라이드공간(20)과 밀폐부재에 퇴적되거나 침착되는 경우 구성부들의 리크(Leak)가 초래됨은 물론, 구성부들의 동작 불량을 초래하여 가스공급을 정확하게 제어할 수 없고 이는, 결국 반도체 소자 또는 웨이퍼의 제품성을 저하시키게 되는 문제점이 있다. 또한, 상기 밀폐부재에 부착되거나 침착된 가스 반응 생성물을 수시로 제거하려면 반도체 제조 장치의 동작을 정지시켜야 하므로 생산성이 저하되는 문제점이 있다.
따라서 본 발명의 목적은 유체통로 내부에서 유체통로를 개폐시키는 유체통로밀폐부재의 슬라이드공간을 밀폐시키는 부식방지밀폐부재에 압력조절공을 형성하여 유체통로의 개방시 유체통로와 슬라이드공간 사이의 압력차이가 발생하는 것을 방지하고 이를 통하여 슬라이드공간에 파티클이 유입되는 것을 방지할 수 있는 게이트 밸브를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 상기 유체통로밀폐부재에 의해 밀폐되는 유체통로의 플랜지에 히팅부재를 구비하여 유체통로밀폐부재에 제공되는 열에 의해 밀폐부재에 파티클이 침착되는 것을 방지하여 밸브의 성능을 최적화할 수 있는 게이트 밸브를 제공하는 것이다.
한편, 본 발명의 목적은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명에 의하면, 챔버에 연결되는 유입부와 진공펌프에 연결되는 유출부에 연결되는 유체통로와 상기 유체통로에 직교방향으로 관통하는 슬라이드공간을 가지는 하우징; 상기 슬라이드공간 내에 삽입되어 유체통로를 개폐하는 유체통로밀폐부재; 상기 유체통로밀폐부재를 슬라이드공간 내에 이동시키는 제1액츄에이터; 상기 유체통로의 하측부에 구비되어 상기 유체통로밀폐부재가 유체통로 밀폐시 상기 유체통로 공간을 수직 이동하여 유체통로밀폐부재가 유입부에 밀착되도록 승강시킴과 동시에 슬라이드공간을 개폐시키는 부식방지밀폐부재; 상기 부식방지밀폐부재를 상하로 구동시키는 제2액츄에이터; 상기 부식방지밀폐부재의 상측부에 부식방지밀폐부재의 외측으로부터 내측을 향해 경사지는 사선 방향으로 형성되어 상기 유체통로의 개폐시 상기 유체통로와 슬라이드공간의 유체가 진공펌프에 의해 펌핑되도록 하여 유체통로와 슬라이드공간 사이의 압력차 발생을 억제하는 압력조절공; 및 상기 유입부가 결합되는 유체통로의 플랜지에 구비되어 유체통로의 몸체를 가열시켜 상기 유체통로밀폐부재에 열이 전달되도록 하여 파티클의 침착을 억제하는 히팅부재를 포함하며, 상기 압력조절공은, 상기 부식방지밀폐부재의 몸체 상측에 몸체의 외측으로부터 내측을 향해 유체통로와 슬라이드공간을 연통하도록 경사지는 사선 방향으로 형성되고, 상기 히팅부재는, 상기 유체통로의 플랜지에 코일 형태로 일정 간격을 두고 설치되는 히터와, 상기 플랜지의 외측 하우징의 슬라이드공간 외부에 위치되어 상기 히터에 동작전원을 공급하는 전원공급수단을 포함하는 게이트 밸브가 제공된다.
여기서, 상기 히터는, 상기 플랜지에 형성된 장착홈에 코일 형태로 구비되는 히팅코일; 상기 히팅코일에 일체로 연결되며 상기 플랜지의 장착홈으로부터 연장되는 통공을 통하여 플랜지의 외측까지 연장되는 연결케이블; 및 상기 연결케이블의 단부에 연결되는 커넥터를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 전원공급수단은, 상기 히터의 커넥터에 접속되는 플러그; 상기 플러그에 일단이 연결되는 와이어; 및 상기 와이어의 종단에 구비되는 콘센트를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 히터의 히팅코일을 제외한 히팅부재의 다른 구성부들은 모두 상기 슬라이드공간의 외부에 밀폐부재에 의해 실링되는 것이 바람직하다.
따라서 본 발명에 의하면, 유체통로 내부에서 유체통로를 개폐시키는 유체통로밀폐부재의 슬라이드공간을 밀폐시키는 부식방지밀폐부재에 압력조절공을 형성하여 유체통로와 슬라이드공간 사이의 압력차 발생을 억제하여 슬라이드공간에 파티클이 유입되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 유체통로밀폐부재에 의해 밀폐되는 유체통로의 플랜지에 히팅부재를 구비하여 유체통로밀폐부재에 제공되는 열에 의해 파티클이 침착되는 것을 방지하여 밸브의 성능을 최적화할 수 있다.
한편, 본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1a 내지 도 1c는 종래의 게이트 밸브를 나타낸 도면;
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 게이트 밸브를 나타낸 사시도;
도 3a 내지 도 3c는 각각 도 2의 게이트 밸브를 나타낸 분해사시도, 평면도 및 측단면도; 및
도 4 내지 도 6은 각각 도 2의 게이트 밸브에 있어서 유체통로가 닫힐 때와 열릴 때의 상태를 보인 측단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 게이트 밸브를 나타낸 사시도이고, 도 3a 내지 도 3c는 각각 도 2의 게이트 밸브를 나타낸 분해사시도, 평면도 및 측단면도이며, 도 4 내지 도 6은 각각 도 2의 게이트 밸브에 있어서 유체통로가 닫힐 때와 열릴 때의 상태를 보인 측단면도이다.
도 2 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 게이트 밸브는, 챔버(미도시)에 연결되는 유입부(111)와 진공펌프(미도시)에 연결되는 유출부(112)를 가지는 유체통로(110)와 상기 유체통로(110)에 직교방향으로 관통하는 슬라이드공간(120)을 가지는 하우징(130), 상기 슬라이드공간(120) 내에 삽입되어 유체통로(110)를 개폐하는 유체통로밀폐부재(140), 상기 유체통로밀폐부재(140)를 슬라이드공간(120) 내에 이동시키는 제1액츄에이터(150), 상기 유체통로(110)의 하측부에 구비되어 상기 유체통로밀폐부재(140)가 유체통로(110) 밀폐시 상기 유체통로(110) 공간을 수직 이동하여 유체통로밀폐부재(140)가 유입부(111)에 밀착되도록 승강시킴과 동시에 슬라이드공간(120)을 개폐시키는 부식방지밀폐부재(160), 상기 부식방지밀폐부재(160)를 상하로 구동시키는 제2액츄에이터(170), 상기 부식방지밀폐부재(160)의 상측부에 부식방지밀폐부재(160)의 외측으로부터 내측을 향해 유체통로(110)와 슬라이드공간(120)을 연통하도록 경사지는 사선 방향으로 형성되어 상기 유체통로(110)의 개폐시 상기 유체통로(110)와 슬라이드공간(120)의 유체가 진공펌프에 의해 펌핑되도록 하여 유체통로(110)와 슬라이드공간(120) 사이의 압력차 발생을 억제하는 압력조절공(180) 및 상기 유입부(111)가 결합되는 유체통로(110)의 플랜지(114)에 구비되어 유체통로(110)의 몸체를 가열시켜 상기 유체통로밀폐부재(140)에 열이 전달되도록 하여 파티클의 침착을 억제하는 히팅부재(190)를 포함한다.
상기 유체통로(110)는, 일측에 챔버에 연결되는 유입부(111)와, 타측에 진공펌프에 연결되는 유출부(112)가 연결되며, 상기 챔버에서 유입되는 유체가 상기 진공펌프로 유출되는 통로이다.
상기 슬라이드공간(120)은, 상기 유체통로(110)를 직교방향으로 관통하여 형성되어 유체통로(110)를 개폐하기 위한 유체통로밀폐부재(140)가 슬라이딩되는 이동통로이다.
상기 유체통로밀폐부재(140)는, 상기 슬라이드공간(120)을 이동하면서 유체통로(110)의 유입부(111)를 개폐하는 얇은 판으로서, 제1액츄에이터(150)의 동작에 따라 슬라이드공간(120)을 이동하며 유체통로(110)를 개폐하는 플레이트(141), 상기 플레이트(141)의 상측에 구비되고 유입부(111)의 내경 보다 큰 지름을 가지며 플레이트(141)가 유입부(111)에 밀착시 상기 유입부(111)를 밀폐시키는 오링부재(미부호) 및 상기 플레이트(141)의 일측으로부터 연장되어 제1액츄에이터(150)에 연결되며 상기 제1액츄에이터(150)의 구동력을 전달받아 상기 플레이트(141)를 슬라이드공간(120) 내부로 이동시키는 샤프트(143)를 포함한다.
여기서, 상기 플레이트(141)는 상기 유체통로(110)의 내부에 형성되는 슬라이드공간(120)에 대응되는 사이즈와 형상을 가진다.
따라서 상기 제1액츄에이터(150)의 구동에 따라 플레이트(141)가 슬라이드공간(120)으로 이동하게 됨과 동시에 후술된 부식방지밀폐부재(160)의 상승 구동에 따라 상기 플레이트(141)의 상면이 유입부(111)에 밀착되게 되고 플레이트(141)의 오링부재(미부호)에 의해 유입부(111)가 밀폐되게 된다.
또한, 상기 유체통로밀폐부재(140)의 플레이트(141)에 의해 유체통로(110)의 유입부(111)가 밀폐된 상태에서 후술된 부식방지밀폐부재(160)가 하강 구동하게 되면 상기 플레이트(141)의 상면이 유입부(111)로부터 밀착 해제되게 되고, 이때, 상기 플레이트(141)가 제1액츄에이터(150)의 구동에 따라 플레이트(141)가 제1액츄에이터(150)측으로 이동하게 되면 유입부(111)가 개방되게 된다.
한편, 상기 유체통로밀폐부재(140)의 플레이트(141)는 샤프트(143)를 통하여 제1액츄에이터(150)에 슬라이드공간(120)에 슬라이딩 가능하게 연결되는데, 상기 제1액츄에이터(150)는 상기 샤프트(143)에 연결되는 구동축(151)을 전/후진시키는 동작을 제어하는 것으로서, 자동식 또는 수동식 등이 있을 수 있으며, 자동식의 경우 압축공기에 의하여 작동하는 뉴메틱(PNEUMATIC) 타입으로 하는 것이 바람직하다. 상기 뉴메틱타입의 액츄에이터는 압축공기가 유입되는 압축공기유입부(미도시), 실린더(미도시) 및 구동축(미도시) 등을 포함하나, 공지기술이므로 자세한 설명은 생략한다. 여기서, 상기 제1액츄에이터(150)는 외부에서 액츄에이터의 구동을 쉽게 인지할 수 있도록 인디게이터 등과 같은 인식수단이 더 구비되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 유체통로(110)는, 후술된 부식방지밀폐부재(160)가 상승 구동하여 슬라이드공간(120)을 밀폐할 때에 상기 부식방지밀폐부재(160)의 상단과 맞닿는 부분에 오링(113)이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
상기 부식방지밀폐부재(160)는, 상기 유체통로(110)의 하측부에 구비되어 제2액츄에이터(170)의 구동에 따라 상기 유체통로(110) 공간을 수직 이동하여 유체통로밀폐부재(140)가 유입부(111)에 밀착되도록 승강시킴과 동시에 유체통로(110)의 내측에 형성된 슬라이드공간(120)을 개폐시키는 것으로, 그 형태는 다양한 형상으로 구성될 수 있으나, 간단하게는 유체통로(110) 내측에 끼워지는 실린더 형상의 몸체(161)와, 상기 몸체(161)의 중앙이나 하측부에 후술된 제2액츄에이터(170)의 공기 입출에 따라 상기 몸체(161)가 수직 이동하도록 하는 돌출구(162)를 가진다.
상기 제2액츄에이터(170)는, 상기 부식방지밀폐부재(160)의 몸체(161)가 유체통로(110) 내부를 수직이동하도록 하기 위한 것으로, 상기 몸체(161)의 상측부와 하측부에 압축공기가 출입되도록 유체통로(110)에 각각 형성되는 상승압축공기유입부(163)와 하강압축공기유입부(164)의 통공에 압축공기가 출입되도록 한다.
여기서, 상기 부식방지밀폐부재(160)는 상기 하강압축공기유입부(164)로부터 공기가 유입되어 몸체(161)가 하측으로 하강 이동되도록 하고 있지만, 외부로부터 힘이 가해지지 않는 경우 자체 무게에 의한 자유 낙하 또한 가능한 것이 바람직하다.
상기 압력조절공(180)은 상기 부식방지밀폐부재(160)의 몸체(161) 상측에 몸체(161)의 외측으로부터 내측을 향해 경사지는 사선 방향으로 형성되어 상기 유체통로(110)의 개폐시 상기 진공펌프에 의해 유체통로(110)와 슬라이드공간(120)의 유체가 펌핑되도록 하여 유체통로(110)와 슬라이드공간(120) 사이의 압력차 발생을 억제하는 것으로, 상기 유체통로(110)를 통하여 챔버의 유체가 진공펌프에 의해 펌핑되는 경우 상기 슬라이드공간(120)의 공기도 유체통로(110)를 통하여 펌핑되도록 하여 항상 유체통로(110)와 슬라이드공간(120)이 동일한 공기압 상태를 가지도록 하여 챔버측에서 발생된 반응 생성물인 파티클이 진공펌프의 펌핑시 슬라이드공간으로 유입되는 것을 억제할 수 있다.
여기서, 상기 제2액츄에이터(170)는, 상기 부식방지밀폐부재(160)의 몸체(161)가 신속하게 이동되도록 급속배기밸브(미도시)가 더 구비되는 것이 바람직하며, 상기 급속배기밸브를 통하여 상기 몸체(161)가 하방으로 이동시 제2액츄에이터(170) 내의 유체가 외부로 빠르게 배출됨으로써 몸체(161)의 신속한 이동을 가능하게 할 수 있다.
상기 히팅부재(190)는, 상기 유입부(111)가 결합되는 유체통로(110)의 플랜지(114)에 구비되어 유체통로(110)의 몸체를 가열시켜 상기 유체통로밀폐부재(140)에 열이 전달되도록 하여 파티클의 침착을 억제하기 위한 것으로, 상기 유체통로(110)의 바디 전체가 가열되도록 플랜지(114)에 코일 형태로 일정 간격을 두고 설치되는 히터(191)와, 상기 플랜지(114)의 외측 하우징(130)의 슬라이드공간(120) 외부에 위치되어 상기 히터(191)에 동작전원을 공급하는 전원공급수단(192)을 포함한다.
상기 히터(191)는, 상기 플랜지(114)에 형성된 장착홈(114a)에 코일 형태로 구비되는 히팅코일(191a), 상기 히팅코일(191a)에 일체로 연결되며 상기 플랜지(114)의 장착홈(114a)으로부터 연장되는 통공(114b)을 통하여 플랜지(114)의 외측까지 연장되는 연결케이블(191b) 및 상기 연결케이블(191b)의 단부에 연결되는 커넥터(191c)를 포함한다.
상기 전원공급수단(192)은, 상기 히터(191)의 커넥터(191c)에 접속되는 플러그(192a), 상기 플러그(192a)에 일단이 연결되는 와이어(192b) 및 상기 와이어(192b)의 종단에 구비되는 콘센트(192c)를 포함한다.
여기서, 상기 히터(191)의 히팅코일(191a)을 제외한 히팅부재(190)의 다른 구성부들은 모두 상기 슬라이드공간(120)의 외부에 밀폐부재에 의해 실링되어 주변의 열로부터 보호되는 것이 바람직하며, 상기 콘센트(192c)는 외부의 전원공급장치나 충전부재로부터 전원을 공급받아 상기 히팅코일(191a)에 전원을 공급하는 것이 좋다.
따라서 상기 히팅부재(190)에 의하면, 상기 유체통로(110)의 플랜지(114) 가열을 통해 유체통로(110)의 유입부(111)를 밀폐하는 상기 유체통로밀폐부재(140)의 플레이트(141)에 열이 전달되도록 하여 플레이트(141)에 유체의 가스 반응에 의해 생성되는 반응 생성물이 침착되는 것을 억제할 수 있다. 즉, 상기 플레이트(141)가 유체통로(110)의 유입부(111) 밀폐 중 플레이트(141)에 유체의 반응 생성물이나 이물질이 집중된 상태로 슬라이드공간(120)으로 이동되는 것을 방지하여 플레이트(141)의 열화 또는 리크(Leak), 작동 불량 등을 방지하고 반도체의 생산성을 향상시킬 수 있다.
여기서, 상기 히팅부재(190)는 상기 유체통로(110)의 유입부(111) 즉, 플레이트(141)가 밀착되는 플랜지(114)에만 구비되는 것을 설명하고 있으나, 상기 유체통로(110)의 벽 내부 전체에 히팅코일(191a)이 전반적으로 구비되도록 할 수도 있다.
이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 게이트 밸브의 작용과 효과에 대해 설명하기로 한다.
먼저, 게이트 밸브가 닫힐 때의 과정을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 제2액츄에이터(170)에 의해 상기 부식방지밀폐부재(160)가 상기 유체통로(110)를 따라 수직 상승되어 유입부(111)에 밀착되는 과정을 통하여 상기 슬라이드공간(120)을 차단한 상태로 유체통로(110)가 개방된 상태에서, 상기 제1액츄에이터(150)측의 슬라이드공간(120)에 위치된 유체통로밀폐부재(140)의 플레이트(141)를 유체통로(110)측에 위치되도록 하기 위해 상기 제1액츄에이터(150)가 구동되고 이에 따라 상기 플레이트(141)가 슬라이드공간(120)으로 이동한다. 여기서, 상기 슬라이드공간(120)은 상기 부식방지밀폐부재(160)의 상측부에 형성된 압력조절공(180)에 의해 유체통로(110)의 하측부 즉, 상기 유입부(111)에 밀착된 플레이트(141)의 하측부 공간과 동일한 공기압을 가지게 된다.
이때, 유체통로(110)의 하측부에 위치된 부식방지밀폐부재(160)가 제2액츄에이터(170)의 구동에 따라 유체통로(110)를 따라 수직 상승하게 되고 이에 따라 상기 플레이트(141)가 유입부(111)에 밀착되게 되어 유체통로(110)가 밀폐된다.
한편, 게이트 밸브가 열릴 때의 과정을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 유체통로밀폐부재(140)의 플레이트(141)에 의해 유체통로(110)의 유입부(111)가 밀폐된 상태에서 제2액츄에이터(170)에 의해 유체통로(110)를 따라 수직 상승한 부식방지밀폐부재(160)가 수직 하강하게 되고, 상기 플레이트(141)가 제1액츄에이터(150)측에 위치하도록 하기 위해 제1액츄에이터(150)가 구동되어 상기 플레이트(141)가 제1액츄에이터(150)측을 향해 슬라이드공간(120)을 이동한다.
여기서, 상기 유체통로(110)가 밀폐된 상태에서 개방될 때 상기 유체통로밀폐부재(140)가 유입부(111)로부터 밀착해제 되는 경우, 상기 슬라이드공간(120)은 상기 부식방지밀폐부재(160)의 상측부에 형성된 압력조절공(180)에 의해 유체통로(110)의 하측부 즉, 상기 유입부(111)에 밀착된 플레이트(141)의 하측부 공간과 동일한 공기압을 가지기 때문에, 진공펌프에 의해 유입부(111)에 유입된 챔버의 유체가 유체통로(110)를 통하여 유출부(112)로 유출될 때 상기 유체가 슬라이드공간(120)으로 유입되지 않고 바로 유출부(112)를 통해서만 유출되게 되어 슬라이드공간(120)에 파티클이 유입되지 않게 된다.
이후, 상기 유체통로밀폐부재(140)가 상기 슬라이드공간(120)을 이동하여 제1액츄에이터(150)측으로 완전히 이동하게 되면, 상기 제2액츄에이터(170)에 의해 상기 부식방지밀폐부재(160)가 상기 유체통로(110)를 따라 수직 이동하게 되어 유입부(111)에 밀착되는 과정을 통하여 상기 슬라이드공간(120)을 차단한 상태로 유체통로(110)가 개방된다.
한편, 상기 유체통로(110)의 개폐시 상기 유체통로(110)의 플랜지(114)에 구비된 히팅부재(190)에 의해 유입부(111)를 밀폐하는 상기 유체통로밀폐부재(140)의 플레이트(141)에 열이 전달되도록 상기 플랜지(114)가 가열되어 상기 플레이트(141)에 유체의 가스 반응에 의해 생성되는 반응 생성물이 침착되는 것이 억제된다.
따라서 본 발명에 의하면, 유체통로 내부에서 유체통로를 개폐시키는 유체통로밀폐부재의 슬라이드공간을 밀폐시키는 부식방지밀폐부재에 압력조절공을 형성하여 유체통로와 슬라이드공간 사이의 압력차 발생을 억제하여 슬라이드공간에 파티클이 유입되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 유체통로밀폐부재에 의해 밀폐되는 유체통로의 플랜지에 히팅부재를 구비하여 유체통로밀폐부재에 제공되는 열에 의해 파티클이 침착되는 것을 방지하여 밸브의 성능을 최적화할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

Claims (4)

  1. 챔버(미도시)에 연결되는 유입부(111)와 진공펌프(미도시)에 연결되는 유출부(112)에 연결되는 유체통로(110)와 상기 유체통로(110)에 직교방향으로 관통하는 슬라이드공간(120)을 가지는 하우징(130); 상기 슬라이드공간(120) 내에 삽입되어 유체통로(110)를 개폐하는 유체통로밀폐부재(140); 상기 유체통로밀폐부재(140)를 슬라이드공간(120) 내에 이동시키는 제1액츄에이터(150); 상기 유체통로(110)의 하측부에 구비되어 상기 유체통로밀폐부재(140)가 유체통로(110) 밀폐시 상기 유체통로(110) 공간을 수직 이동하여 유체통로밀폐부재(140)가 유입부(111)에 밀착되도록 승강시킴과 동시에 슬라이드공간(120)을 개폐시키는 부식방지밀폐부재(160); 및 상기 부식방지밀폐부재(160)를 상하로 구동시키는 제2액츄에이터(170)를 포함하는 게이트 밸브에 있어서,
    상기 부식방지밀폐부재(160)의 상측부에 부식방지밀폐부재(160)의 외측으로부터 내측을 향해 경사지는 사선 방향으로 형성되어 상기 유체통로(110)의 개폐시 상기 유체통로(110)와 슬라이드공간(120)의 유체가 진공펌프에 의해 펌핑되도록 하여 유체통로(110)와 슬라이드공간(120) 사이의 압력차 발생을 억제하는 압력조절공(180)을 포함하며,
    상기 압력조절공(180)은,
    상기 부식방지밀폐부재(160)의 몸체(161) 상측에 몸체(161)의 외측으로부터 내측을 향해 유체통로(110)와 슬라이드공간(120)을 연통하도록 경사지는 사선 방향으로 형성되어 상기 부식방지밀폐부재(160)의 상승 동작에 따른 유체통로(110)의 개방 또는 폐쇄시 슬라이드공간(120)의 공기가 유체통로(110)로 펌핑되도록 하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서, 상기 유입부(111)가 결합되는 유체통로(110)의 플랜지(114)에 구비되어 유체통로(110)의 몸체를 가열시켜 상기 유체통로밀폐부재(140)에 열이 전달되도록 하여 파티클의 침착을 억제하는 히팅부재(190)를 더 포함하며,
    상기 히팅부재(190)는,
    상기 유체통로(110)의 플랜지(114)에 코일 형태로 일정 간격을 두고 설치되는 히터(191)와,
    상기 플랜지(114)의 외측 하우징(130)의 슬라이드공간(120) 외부에 위치되어 상기 히터(191)에 동작전원을 공급하는 전원공급수단(192)을 포함하며,
    상기 히터(191)는,
    상기 플랜지(114)에 형성된 장착홈(114a)에 코일 형태로 구비되는 히팅코일(191a);
    상기 히팅코일(191a)에 일체로 연결되며 상기 플랜지(114)의 장착홈(114a)으로부터 연장되는 통공(114b)을 통하여 플랜지(114)의 외측까지 연장되는 연결케이블(191b); 및
    상기 연결케이블(191b)의 단부에 연결되는 커넥터(191c)를 포함하고,
    상기 전원공급수단(192)은,
    상기 히터(191)의 커넥터(191c)에 접속되는 플러그(192a);
    상기 플러그(192a)에 일단이 연결되는 와이어(192b); 및
    상기 와이어(192b)의 종단에 구비되는 콘센트(192c)를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
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